JPH08152710A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム - Google Patents
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルムInfo
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- JPH08152710A JPH08152710A JP29359994A JP29359994A JPH08152710A JP H08152710 A JPH08152710 A JP H08152710A JP 29359994 A JP29359994 A JP 29359994A JP 29359994 A JP29359994 A JP 29359994A JP H08152710 A JPH08152710 A JP H08152710A
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- resin composition
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- photosensitive
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- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 めっき浴を着色せず、安定性の良好な感光性
樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルムを提供す
る。 【構成】 （Ａ）マラカイトグリーンシュウ酸塩及び
（Ｂ）油溶性染料を含有する、活性光線により重合反応
を開始する感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フ
ィルム。
樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルムを提供す
る。 【構成】 （Ａ）マラカイトグリーンシュウ酸塩及び
（Ｂ）油溶性染料を含有する、活性光線により重合反応
を開始する感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フ
ィルム。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板、金属
精密部品等の製造に用いられる感光性樹脂組成物及びこ
れを用いた感光性フィルムに関する。
精密部品等の製造に用いられる感光性樹脂組成物及びこ
れを用いた感光性フィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント配線板や金属精密部品を製造す
る際、精度向上の面から感光性樹脂をレジストとして用
い、エッチング、めっき等の工程を経て作ることが一般
的になってきている。特に、資源有効活用の面、高精度
を発揮できる面等から、不要部を除去するエッチング法
よりも、必要部を析出させるめっき法に注目が集まって
いる。
る際、精度向上の面から感光性樹脂をレジストとして用
い、エッチング、めっき等の工程を経て作ることが一般
的になってきている。特に、資源有効活用の面、高精度
を発揮できる面等から、不要部を除去するエッチング法
よりも、必要部を析出させるめっき法に注目が集まって
いる。
【０００３】このめっき法は、最終的にチップ搭載のた
めのスルーホール及び電気回路となる領域を除いてレジ
ストを被覆し、電気めっきにより前記領域に銅を析出さ
せスルーホール及び電気回路を作成し、その後、レジス
ト剥離、エッチングによって電気回路の作製を行う方法
である。めっき法におけるめっき液には、例えば、ピロ
リン酸銅、硫酸銅、はんだ、ニッケル、パラジウム、金
等が用いられる。
めのスルーホール及び電気回路となる領域を除いてレジ
ストを被覆し、電気めっきにより前記領域に銅を析出さ
せスルーホール及び電気回路を作成し、その後、レジス
ト剥離、エッチングによって電気回路の作製を行う方法
である。めっき法におけるめっき液には、例えば、ピロ
リン酸銅、硫酸銅、はんだ、ニッケル、パラジウム、金
等が用いられる。
【０００４】レジストの形態は、感光性フィルムと称さ
れるフィルム状の感光性樹脂組成物積層体が、操作性、
特性共に良好で一般に用いられている。感光性フィルム
は、通常、人間の目に優しい緑色染料により着色されて
おり、マラカイトグリーン、ダイヤモンドグリーン等が
用いられ、特公平３−６８３７６号公報にはマラカイト
グリーンが記載されている。しかし、マラカイトグリー
ン等は水溶性の染料であるため、めっき液に容易に溶出
し、めっき液を着色し、めっき液を劣化させる問題があ
る。一方、油溶性の染料を用いると、安定性が著しく劣
る。また、染料以外のものでめっき浴へ溶出し易い物質
として、発色剤がある。
れるフィルム状の感光性樹脂組成物積層体が、操作性、
特性共に良好で一般に用いられている。感光性フィルム
は、通常、人間の目に優しい緑色染料により着色されて
おり、マラカイトグリーン、ダイヤモンドグリーン等が
用いられ、特公平３−６８３７６号公報にはマラカイト
グリーンが記載されている。しかし、マラカイトグリー
ン等は水溶性の染料であるため、めっき液に容易に溶出
し、めっき液を着色し、めっき液を劣化させる問題があ
る。一方、油溶性の染料を用いると、安定性が著しく劣
る。また、染料以外のものでめっき浴へ溶出し易い物質
として、発色剤がある。
【０００５】特公平３−６８３７６号公報には、トリブ
ロモメチルフェニルスルホンとロイコクリスタルバイオ
レットの組合せが、特公昭６０−１１８４０号公報に
は、ロイコクリスタルバイオレットが、特開平２−３３
１４８号公報にはロイコクリスタルバイオレットと四臭
化炭素の組合せが、この目的で用いられていることが示
されている。しかし、これらに共通して用いられている
ロイコクリスタルバイオレットは、反応によりクリスタ
ルバイオレット染料となり、前述の染料同様の問題を引
きおこす。
ロモメチルフェニルスルホンとロイコクリスタルバイオ
レットの組合せが、特公昭６０−１１８４０号公報に
は、ロイコクリスタルバイオレットが、特開平２−３３
１４８号公報にはロイコクリスタルバイオレットと四臭
化炭素の組合せが、この目的で用いられていることが示
されている。しかし、これらに共通して用いられている
ロイコクリスタルバイオレットは、反応によりクリスタ
ルバイオレット染料となり、前述の染料同様の問題を引
きおこす。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来の技術の問題を解消し、めっき浴を着色せず、安定性
の良好な感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィ
ルムを提供するものである。
来の技術の問題を解消し、めっき浴を着色せず、安定性
の良好な感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィ
ルムを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、（Ａ）マラカ
イトグリーンシュウ酸塩及び（Ｂ）油溶性染料を含有す
る、活性光線により重合反応を開始する感光性樹脂組成
物及びこれを用いた感光性フィルムに関する。
イトグリーンシュウ酸塩及び（Ｂ）油溶性染料を含有す
る、活性光線により重合反応を開始する感光性樹脂組成
物及びこれを用いた感光性フィルムに関する。
【０００８】次に本発明について詳述する。本発明の必
須成分として用いられるマラカイトグリーンシュウ酸塩
（(Ａ)成分）としては、例えば、アイゼンマラカイトグ
リーン（保土谷化学工業(株)製、商品名）等が挙げられ
る。このマラカイトグリーンシュウ酸塩（(Ａ)成分）の
配合量は、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対
し、０．００５〜０．１重量部とすることが好ましく、
０．０１〜０．０５重量部とすることがより好ましい。
この配合量が０．００５重量部未満では、感光性樹脂組
成物の安定性が低下する傾向があり、０．１重量部を超
えると、めっき浴の着色性が増大する傾向がある。
須成分として用いられるマラカイトグリーンシュウ酸塩
（(Ａ)成分）としては、例えば、アイゼンマラカイトグ
リーン（保土谷化学工業(株)製、商品名）等が挙げられ
る。このマラカイトグリーンシュウ酸塩（(Ａ)成分）の
配合量は、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対
し、０．００５〜０．１重量部とすることが好ましく、
０．０１〜０．０５重量部とすることがより好ましい。
この配合量が０．００５重量部未満では、感光性樹脂組
成物の安定性が低下する傾向があり、０．１重量部を超
えると、めっき浴の着色性が増大する傾向がある。
【０００９】本発明の必須成分として用いられる油溶性
染料（(Ｂ)成分）としては、例えば、アイゼンスピロン
染料（保土ヶ谷化学製）、スピリート染料（住友化学
製）、シラドオイル染料（シラド化学製）、アルゾール
ファスト染料（大日本インキ化学製）、プピョン染料
（東京インキ製）、カヤセット染料（日本化薬製）、ミ
ハラサンコスモ染料（ミハラ化工製）、ヤマモトオイル
染料（山本化成製）、ミツイＰＳカラー染料（三井東圧
化学製）等が挙げられ、これらのうち、緑色染料が目に
優しいため好ましい。この油溶性染料（(Ｂ)成分）の配
合量は、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対し、
０．００５〜０．５重量部とすることが好ましく、０．
０１〜０．１重量部とすることがより好ましい。この配
合量が０．００５重量部未満では、感光性樹脂組成物の
色が透明になるため確認しにくく取扱いが不便となる傾
向があり、０．５重量部を超えると、感光性樹脂組成物
の色が濃くなり、下地との位置合せが難しくなる傾向が
あり、また、現像液に不溶で装置に付着し易くなる傾向
がある。
染料（(Ｂ)成分）としては、例えば、アイゼンスピロン
染料（保土ヶ谷化学製）、スピリート染料（住友化学
製）、シラドオイル染料（シラド化学製）、アルゾール
ファスト染料（大日本インキ化学製）、プピョン染料
（東京インキ製）、カヤセット染料（日本化薬製）、ミ
ハラサンコスモ染料（ミハラ化工製）、ヤマモトオイル
染料（山本化成製）、ミツイＰＳカラー染料（三井東圧
化学製）等が挙げられ、これらのうち、緑色染料が目に
優しいため好ましい。この油溶性染料（(Ｂ)成分）の配
合量は、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対し、
０．００５〜０．５重量部とすることが好ましく、０．
０１〜０．１重量部とすることがより好ましい。この配
合量が０．００５重量部未満では、感光性樹脂組成物の
色が透明になるため確認しにくく取扱いが不便となる傾
向があり、０．５重量部を超えると、感光性樹脂組成物
の色が濃くなり、下地との位置合せが難しくなる傾向が
あり、また、現像液に不溶で装置に付着し易くなる傾向
がある。
【００１０】また、（Ａ）成分と（Ｂ）成分の重量比
は、(Ａ)成分／(Ｂ)成分が１／１０〜１／１の範囲とす
ることが好ましく、１／５〜１／２の範囲とすることが
より好ましい。この重量比（(Ａ)成分／(Ｂ)成分）が、
１／１０未満では、感光性樹脂組成物の安定性が劣る傾
向があり、１／１を超えると、めっき浴の着色性が増大
する傾向がある。
は、(Ａ)成分／(Ｂ)成分が１／１０〜１／１の範囲とす
ることが好ましく、１／５〜１／２の範囲とすることが
より好ましい。この重量比（(Ａ)成分／(Ｂ)成分）が、
１／１０未満では、感光性樹脂組成物の安定性が劣る傾
向があり、１／１を超えると、めっき浴の着色性が増大
する傾向がある。
【００１１】本発明の感光性樹脂組成物は、活性光線に
より重合反応を開始するものであり、上記（Ａ）成分及
び（Ｂ）成分以外に、通常、光重合性モノマ又はオリゴ
マ及び光重合開始剤を含有する。
より重合反応を開始するものであり、上記（Ａ）成分及
び（Ｂ）成分以外に、通常、光重合性モノマ又はオリゴ
マ及び光重合開始剤を含有する。
【００１２】光重合性モノマ又はオリゴマとしては、例
えば、ウレタンアクリレートビスコート＃８３１（大阪
有機化学工業社製、商品名）、ポリエーテル型ウレタン
アクリレートＢＴＧ−Ａ（共栄社油脂化学工業社製、商
品名）、ポリエステル型ウレタンアクリレートＤ−２０
０Ａ（共栄社油脂化学工業社製、商品名）、ウレタンア
クリレートフォトマー６００８（サンノプコ社製、商品
名）、ウレタンジアクリレートケムリンク９５０３（サ
ートマ社製、商品名）、これらのウレタンメタクリレー
ト等が用いられる。また、イソシアネート化合物（トリ
メチルヘキサンメチレンジイソシアネート等）と必要に
応じて用いられるジアルコール化合物（シクロヘキサン
ジメタノール等）とヒドロキシル基含有（メタ）アクリ
レート（２−ヒドロキシエチルアクリレート等）とを反
応させ得られる化合物、トリメチロールプロパンエトキ
シトリアクリレート（ＳＲ−４５４、サートマー社製、
商品名）、トリメチロールプロパンプロポキシトリアク
リレート（Ｒ−９２４、日本化薬社製、商品名）、ポリ
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート（エチレン
基の数が２〜１４のもの）、トリメチロールプロパンジ
（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ
（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ
（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ
（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ
（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜１４の
もの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリ
レート、多価アルコール（ジペンタエリスリトールヘキ
サ（メタ）アクリレート等）にα、β−不飽和カルボン
酸を反応させて得られる化合物、ビスフェノールＡジオ
キシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノール
Ａトリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフ
ェノールＡジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート
（ビスフェノールＡデカオキシエチレンジ（メタ）アク
リレート等）、トリメチロールプロパントリグリシジル
エーテルトリアクリレート、グリシジル基含有化合物
（ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリレート
等）にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化
合物、多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及び
エチレン性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレート等）とのエステル化物、（メ
タ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エ
チルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、
（メタ）アクリル酸のアルキルエステル（（メタ）アク
リル酸２−エチルヘキシルエステル等）などが挙げられ
る。
えば、ウレタンアクリレートビスコート＃８３１（大阪
有機化学工業社製、商品名）、ポリエーテル型ウレタン
アクリレートＢＴＧ−Ａ（共栄社油脂化学工業社製、商
品名）、ポリエステル型ウレタンアクリレートＤ−２０
０Ａ（共栄社油脂化学工業社製、商品名）、ウレタンア
クリレートフォトマー６００８（サンノプコ社製、商品
名）、ウレタンジアクリレートケムリンク９５０３（サ
ートマ社製、商品名）、これらのウレタンメタクリレー
ト等が用いられる。また、イソシアネート化合物（トリ
メチルヘキサンメチレンジイソシアネート等）と必要に
応じて用いられるジアルコール化合物（シクロヘキサン
ジメタノール等）とヒドロキシル基含有（メタ）アクリ
レート（２−ヒドロキシエチルアクリレート等）とを反
応させ得られる化合物、トリメチロールプロパンエトキ
シトリアクリレート（ＳＲ−４５４、サートマー社製、
商品名）、トリメチロールプロパンプロポキシトリアク
リレート（Ｒ−９２４、日本化薬社製、商品名）、ポリ
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート（エチレン
基の数が２〜１４のもの）、トリメチロールプロパンジ
（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ
（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ
（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ
（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ
（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜１４の
もの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリ
レート、多価アルコール（ジペンタエリスリトールヘキ
サ（メタ）アクリレート等）にα、β−不飽和カルボン
酸を反応させて得られる化合物、ビスフェノールＡジオ
キシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノール
Ａトリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフ
ェノールＡジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート
（ビスフェノールＡデカオキシエチレンジ（メタ）アク
リレート等）、トリメチロールプロパントリグリシジル
エーテルトリアクリレート、グリシジル基含有化合物
（ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリレート
等）にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化
合物、多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及び
エチレン性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレート等）とのエステル化物、（メ
タ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エ
チルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、
（メタ）アクリル酸のアルキルエステル（（メタ）アク
リル酸２−エチルヘキシルエステル等）などが挙げられ
る。
【００１３】光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフ
ェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノ
ベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ−テトラメ
チル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキ
シ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチル
アントラキノン、芳香族ケトン（フェナントレンキノン
等）、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエ
ーテル、ベンゾインエーテル（ベンゾインフェニルエー
テル等）、メチルベンゾイン、ベンゾイン（エチルベン
ゾイン等）、ベンジル誘導体（ベンジルジメチルケター
ル等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体
（２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，
５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、
２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メ
トキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二
量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−ジフ
ェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシ
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、
２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフ
ェニルイミダゾール二量体等）、９−フェニルアクリジ
ン、アクリジン誘導体（１，７−ビス（９，９′−アク
リジニル）ヘプタン等）などが挙げられる。これらは、
単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
ェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノ
ベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ−テトラメ
チル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキ
シ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチル
アントラキノン、芳香族ケトン（フェナントレンキノン
等）、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエ
ーテル、ベンゾインエーテル（ベンゾインフェニルエー
テル等）、メチルベンゾイン、ベンゾイン（エチルベン
ゾイン等）、ベンジル誘導体（ベンジルジメチルケター
ル等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体
（２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，
５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、
２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メ
トキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二
量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−ジフ
ェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシ
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、
２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフ
ェニルイミダゾール二量体等）、９−フェニルアクリジ
ン、アクリジン誘導体（１，７−ビス（９，９′−アク
リジニル）ヘプタン等）などが挙げられる。これらは、
単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００１４】更に、本発明の感光性樹脂組成物は、アル
カリ現像液により現像するアルカリ現像型である場合、
通常、カルボキシル基含有ポリマを成分として含有す
る。カルボキシル基含有ポリマとしては、例えば、（メ
タ）アクリル酸アルキルエステル（（メタ）アクリル酸
とはメタクリル酸及びアクリル酸を意味する。以下同
じ）と（メタ）アクリル酸とこれらと共重合しうるビニ
ルモノマーとの共重合体等が挙げられる。これらの共重
合体は、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用され
る。（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例
えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）ア
クリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエ
ステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステ
ル等が挙げられる。また、（メタ）アクリル酸アルキル
エステルや（メタ）アクリル酸と共重合しうるビニルモ
ノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒ
ドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチル
アミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルア
ミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジルエステ
ル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレ
ート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メ
タ）アクリレートアクリルアミド、ジアセトンアクリル
アミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。
カリ現像液により現像するアルカリ現像型である場合、
通常、カルボキシル基含有ポリマを成分として含有す
る。カルボキシル基含有ポリマとしては、例えば、（メ
タ）アクリル酸アルキルエステル（（メタ）アクリル酸
とはメタクリル酸及びアクリル酸を意味する。以下同
じ）と（メタ）アクリル酸とこれらと共重合しうるビニ
ルモノマーとの共重合体等が挙げられる。これらの共重
合体は、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用され
る。（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例
えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）ア
クリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエ
ステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステ
ル等が挙げられる。また、（メタ）アクリル酸アルキル
エステルや（メタ）アクリル酸と共重合しうるビニルモ
ノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒ
ドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチル
アミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルア
ミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジルエステ
ル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレ
ート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メ
タ）アクリレートアクリルアミド、ジアセトンアクリル
アミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。
【００１５】本発明の感光性樹脂組成物は、イメージン
グ性の点から、更に一般式（Ｉ）
グ性の点から、更に一般式（Ｉ）
【化２】 （式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3又はＲ4は各々独立して水素原
子、アルキル基、アルコキシル基、アミノ基、アルキル
アミノ基又はアリールアミノ基を示し、Ｘは縮環する場
合は、Ｏ、Ｓ又はＮＨを示し、縮環しない場合は異なる
芳香環に結合した２個の水素原子を示す）で表される化
合物を含有することが好ましく、このような化合物とし
ては、例えば、３−ジエチルアミノ−６−メチル−７−
アルキル（Ｃ8〜Ｃ16）−アミノフルオラン（市販品、
ＯＤＢ−４(山本化成(株)製、商品名)）、３−ジエチル
アミノ−６−メチル−７−アニリノフルオラン（市販
品、ＯＤＢ(山本化成(株)製、商品名)）、３−ジブチル
アミノ−６−メチル−７−アニリノフルオラン（市販
品、ＯＤＢ−２(山本化成(株)製、商品名)）、３−ジエ
チルアミノ−６−メチル−７−キリジノフルオラン（市
販品、Black−１５(山本化成(株)製、商品名)）、３，
３−ビス（ｐ−ジメチルアミノフェニル）−６−ジメチ
ルアミノフタリド（市販品、ＣＶＬ(山本化成(株)製、
商品名)）、３−ジエチルアミノ−７−クロロアニリノ
フルオラン（市販品、Green−４０(山本化成(株)製、商
品名)）、３，６−ジメトキシフルオラン（市販品、Ｙ
−１(山本化成(株)製、商品名)）、３−ジエチルアミノ
−６−メトキシ−７−アミノフルオラン（市販品、Viol
et−４０２(山本化成(株)製、商品名)）等が挙げられ
る。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使
用される。
子、アルキル基、アルコキシル基、アミノ基、アルキル
アミノ基又はアリールアミノ基を示し、Ｘは縮環する場
合は、Ｏ、Ｓ又はＮＨを示し、縮環しない場合は異なる
芳香環に結合した２個の水素原子を示す）で表される化
合物を含有することが好ましく、このような化合物とし
ては、例えば、３−ジエチルアミノ−６−メチル−７−
アルキル（Ｃ8〜Ｃ16）−アミノフルオラン（市販品、
ＯＤＢ−４(山本化成(株)製、商品名)）、３−ジエチル
アミノ−６−メチル−７−アニリノフルオラン（市販
品、ＯＤＢ(山本化成(株)製、商品名)）、３−ジブチル
アミノ−６−メチル−７−アニリノフルオラン（市販
品、ＯＤＢ−２(山本化成(株)製、商品名)）、３−ジエ
チルアミノ−６−メチル−７−キリジノフルオラン（市
販品、Black−１５(山本化成(株)製、商品名)）、３，
３−ビス（ｐ−ジメチルアミノフェニル）−６−ジメチ
ルアミノフタリド（市販品、ＣＶＬ(山本化成(株)製、
商品名)）、３−ジエチルアミノ−７−クロロアニリノ
フルオラン（市販品、Green−４０(山本化成(株)製、商
品名)）、３，６−ジメトキシフルオラン（市販品、Ｙ
−１(山本化成(株)製、商品名)）、３−ジエチルアミノ
−６−メトキシ−７−アミノフルオラン（市販品、Viol
et−４０２(山本化成(株)製、商品名)）等が挙げられ
る。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使
用される。
【００１６】一般式（Ｉ）で表される化合物の配合量
は、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対し、０．
１〜５重量部とすることが好ましい。この配合量が０．
１重量部未満では、イメージング量が少なく、判別しづ
らい傾向があり、５重量部を超えるととりたてて効果が
見られず不経済となる傾向がある。
は、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対し、０．
１〜５重量部とすることが好ましい。この配合量が０．
１重量部未満では、イメージング量が少なく、判別しづ
らい傾向があり、５重量部を超えるととりたてて効果が
見られず不経済となる傾向がある。
【００１７】本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じ
て可塑剤、フィラー、レベリング剤、密着性向上剤等を
添加しても良い。
て可塑剤、フィラー、レベリング剤、密着性向上剤等を
添加しても良い。
【００１８】本発明の感光性樹脂組成物は、銅、ニッケ
ル、クロム等の金属の表面、好ましくは銅表面上に、液
状レジストとして塗布して乾燥後、保護フィルムを被覆
して用いるか、あるいは感光性フィルムとして用いられ
る。感光性フィルム中の感光性樹脂組成物層の厚みは用
途により異なるが、乾燥後の厚みで１０〜１００μｍで
あることが好ましい。液状レジストの場合は、保護フィ
ルムとしてポリエチレン、ポリプロピレン等の不活性な
ポリオレフィンフィルムなどが用いられる。
ル、クロム等の金属の表面、好ましくは銅表面上に、液
状レジストとして塗布して乾燥後、保護フィルムを被覆
して用いるか、あるいは感光性フィルムとして用いられ
る。感光性フィルム中の感光性樹脂組成物層の厚みは用
途により異なるが、乾燥後の厚みで１０〜１００μｍで
あることが好ましい。液状レジストの場合は、保護フィ
ルムとしてポリエチレン、ポリプロピレン等の不活性な
ポリオレフィンフィルムなどが用いられる。
【００１９】本発明の感光性フィルムは、ポリエステル
等の支持フィルム上に前記感光性樹脂組成物を塗布乾燥
することにより積層し、必要に応じてポリオレフィン等
の保護フィルムを積層して得られる。感光性樹脂組成物
は、必要に応じてアセトン、メチルエチルケトン、塩化
メチレン、トルエン、メタノール、エタノール、プロパ
ノール、ブタノール、メチルグリコール、エチルグリコ
ール、プロピレングリコール、エチレングリコールモノ
メチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤と混合し
て溶液として塗布してもよい。
等の支持フィルム上に前記感光性樹脂組成物を塗布乾燥
することにより積層し、必要に応じてポリオレフィン等
の保護フィルムを積層して得られる。感光性樹脂組成物
は、必要に応じてアセトン、メチルエチルケトン、塩化
メチレン、トルエン、メタノール、エタノール、プロパ
ノール、ブタノール、メチルグリコール、エチルグリコ
ール、プロピレングリコール、エチレングリコールモノ
メチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤と混合し
て溶液として塗布してもよい。
【００２０】前記の感光性樹脂組成物層は、アートワー
クと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性
光線が照射された後、現像液で現像され、レジストパタ
ーンとされる。この際用いられる活性光線としては、例
えば、カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、
キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものが用い
られる。
クと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性
光線が照射された後、現像液で現像され、レジストパタ
ーンとされる。この際用いられる活性光線としては、例
えば、カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、
キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものが用い
られる。
【００２１】現像液としては、安全かつ安定であり、操
作性が良好なものが用いられ、アルカリ現像型のフォト
レジストでは、炭酸ナトリウムの希薄溶液等が用いられ
る。現像の方式には、ディップ方式、スプレー方式等が
あり、高圧スプレー方式が解像度向上のためには最も適
している。
作性が良好なものが用いられ、アルカリ現像型のフォト
レジストでは、炭酸ナトリウムの希薄溶液等が用いられ
る。現像の方式には、ディップ方式、スプレー方式等が
あり、高圧スプレー方式が解像度向上のためには最も適
している。
【００２２】現像後に行われる電気めっきには、例え
ば、硫酸銅めっき、銅めっき（ピロリン酸銅めっき
等）、はんだめっき（ハイスローはんだめっき等）、ワ
ット浴（硫酸ニッケル−塩化ニッケル）めっき、ニッケ
ルめっき（スルファミン酸ニッケルめっき等）、金めっ
き（ハード金めっき、ソフト金めっき等）などがある。
ば、硫酸銅めっき、銅めっき（ピロリン酸銅めっき
等）、はんだめっき（ハイスローはんだめっき等）、ワ
ット浴（硫酸ニッケル−塩化ニッケル）めっき、ニッケ
ルめっき（スルファミン酸ニッケルめっき等）、金めっ
き（ハード金めっき、ソフト金めっき等）などがある。
【００２３】
【実施例】次に、本発明を実施例により説明する。
【００２４】実施例１〜３及び比較例１〜２ 表１及び表２に示す材料を配合し、溶液を得た。
【表１】
【表２】
【００２５】この溶液に、表３に示す（Ａ）成分及び
（Ｂ）成分を、それぞれ表３に示す量で加え、場合によ
ってロイコクリスタルバイオレットに代えて、表３に示
すフルオラン化合物０．５ｇを溶解させて感光性樹脂組
成物の溶液を得た。
（Ｂ）成分を、それぞれ表３に示す量で加え、場合によ
ってロイコクリスタルバイオレットに代えて、表３に示
すフルオラン化合物０．５ｇを溶解させて感光性樹脂組
成物の溶液を得た。
【表３】
【００２６】次いで、この感光性樹脂組成物の溶液を、
２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に
均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間
乾燥し、感光性フィルムを得た。感光性樹脂組成物層の
乾燥後の膜厚は、５０μｍであった。
２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に
均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間
乾燥し、感光性フィルムを得た。感光性樹脂組成物層の
乾燥後の膜厚は、５０μｍであった。
【００２７】一方、銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積層
した、ガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成
工業(株)製、商品名、ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、
＃６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓(株)製）を用
いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り
積層板を８０℃に加温し、その銅表面上に前記感光性樹
脂組成物層を１２０℃に加熱しながらラミネートした。
した、ガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成
工業(株)製、商品名、ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、
＃６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓(株)製）を用
いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り
積層板を８０℃に加温し、その銅表面上に前記感光性樹
脂組成物層を１２０℃に加熱しながらラミネートした。
【００２８】次いで、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に、ネガフィルムを載置し、３kW高圧水銀灯
（(株)オーク製作所製、ＨＭＷ−２０１Ｂ）で６０mJ/c
m2及び１２０mJ/cm2の露光を行った。この際、光感度を
評価できるように、ネガフィルムに光透過量が段階的に
少なくなる領域（光学密度０．０５を１段目とし、１段
ごとに光学密度が０．１５ずつ増加するステップタブレ
ット(ＳＴ)）を設けた。次いで、ポリエチレンテレフタ
レートフィルムを除去し、３０℃で１重量％炭酸ナトリ
ウム水溶液を５０秒間スプレーすることにより、未露光
部分を除去した。さらに、銅張り積層板上に形成された
光硬化膜のステップタブレットの段数を測定することに
より、感光性樹脂組成物の光感度を評価した。その結果
を表４に示した。光感度は、ステップタブレットの段数
で表され、このステップタブレットの段数が高いほど、
光感度が高いことを示す。
ルム上に、ネガフィルムを載置し、３kW高圧水銀灯
（(株)オーク製作所製、ＨＭＷ−２０１Ｂ）で６０mJ/c
m2及び１２０mJ/cm2の露光を行った。この際、光感度を
評価できるように、ネガフィルムに光透過量が段階的に
少なくなる領域（光学密度０．０５を１段目とし、１段
ごとに光学密度が０．１５ずつ増加するステップタブレ
ット(ＳＴ)）を設けた。次いで、ポリエチレンテレフタ
レートフィルムを除去し、３０℃で１重量％炭酸ナトリ
ウム水溶液を５０秒間スプレーすることにより、未露光
部分を除去した。さらに、銅張り積層板上に形成された
光硬化膜のステップタブレットの段数を測定することに
より、感光性樹脂組成物の光感度を評価した。その結果
を表４に示した。光感度は、ステップタブレットの段数
で表され、このステップタブレットの段数が高いほど、
光感度が高いことを示す。
【００２９】また、光学密度１．１０の部分のレジスト
は残存するが１．２５の部分のレジストは残存しなくな
るような露光量をＳＴ＝８露光量として表４に示した。
一方、作成した感光性フィルムを０．３ｍ2切取り、こ
れをポリエチレンテレフタレートフィルム側からＳＴ＝
８露光量で露光した。
は残存するが１．２５の部分のレジストは残存しなくな
るような露光量をＳＴ＝８露光量として表４に示した。
一方、作成した感光性フィルムを０．３ｍ2切取り、こ
れをポリエチレンテレフタレートフィルム側からＳＴ＝
８露光量で露光した。
【００３０】この後、露光部の保護フィルム、支持フィ
ルムを除去し、感光性樹脂組成物をニッケルめっき液
〔硫酸ニッケル３５０g/リットル、塩化ニッケル４５g/リット
ル、ホウ酸４５g/リットル、ナイカルＰＣ−３（メルテック
ス(株)製、商品名）３０ml/リットル及びニッケルグリーム
ＮＡＷ−４（メルテックス(株)製、商品名）０．１ml/リ
ットル〕に加え、５０℃で３日間放置し、めっき液の色変
化を調べた。色変化は、色差計（ＴＣ−１、東京電色
(株)製）で測定した。値はブランクとの差（ニッケルメ
ッキ液色差）として表４に示した。この値が大きい程め
っき液の色は大きく変化していることになり不良であ
る。
ルムを除去し、感光性樹脂組成物をニッケルめっき液
〔硫酸ニッケル３５０g/リットル、塩化ニッケル４５g/リット
ル、ホウ酸４５g/リットル、ナイカルＰＣ−３（メルテック
ス(株)製、商品名）３０ml/リットル及びニッケルグリーム
ＮＡＷ−４（メルテックス(株)製、商品名）０．１ml/リ
ットル〕に加え、５０℃で３日間放置し、めっき液の色変
化を調べた。色変化は、色差計（ＴＣ−１、東京電色
(株)製）で測定した。値はブランクとの差（ニッケルメ
ッキ液色差）として表４に示した。この値が大きい程め
っき液の色は大きく変化していることになり不良であ
る。
【００３１】安定性の評価として、感光性樹脂組成物の
溶液を作成した直後と、３０℃で５日間放置後にそれぞ
れ感光性フィルムを作成し、その色相を前述した色差計
で測定した。値は、溶液作成直後に作成した感光性フィ
ルムの色相値をブランクとし、３０℃で５日間溶液放置
後の値との差（フィルム色差）として表４に示した。こ
の値が大きい程安定性が不良である。
溶液を作成した直後と、３０℃で５日間放置後にそれぞ
れ感光性フィルムを作成し、その色相を前述した色差計
で測定した。値は、溶液作成直後に作成した感光性フィ
ルムの色相値をブランクとし、３０℃で５日間溶液放置
後の値との差（フィルム色差）として表４に示した。こ
の値が大きい程安定性が不良である。
【００３２】
【表４】
【００３３】
【発明の効果】本発明の、感光性樹脂組成物及びこれを
用いた感光性フィルムは、めっき液の着色が少なく、フ
ィルム安定性に優れたものである。
用いた感光性フィルムは、めっき液の着色が少なく、フ
ィルム安定性に優れたものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/028 // Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ Ｊ 3/18 Ｄ 7511−4Ｅ
Claims (4)
- 【請求項１】 （Ａ）マラカイトグリーンシュウ酸塩及
び（Ｂ）油溶性染料を含有する、活性光線により重合反
応を開始する感光性樹脂組成物。 - 【請求項２】 請求項１記載の感光性樹脂組成物におい
て、感光性樹脂組成物の総量１００重量部に対し、
（Ａ）成分の配合量が０．００５〜０．１重量部、
（Ｂ）成分の配合量が０．００５〜０．５重量部であ
り、(Ａ)成分／(Ｂ)成分の重量比が１／１０〜１／１で
ある感光性樹脂組成物。 - 【請求項３】 更に、一般式（Ｉ） 【化１】 （式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3又はＲ4は各々独立して水素原
子、アルキル基、アルコキシル基、アミノ基、アルキル
アミノ基又はアリールアミノ基を示し、Ｘは縮環する場
合は、Ｏ、Ｓ又はＮＨを示し、縮環しない場合は異なる
芳香環に結合した２個の水素原子を示す）で表される化
合物を含有する請求項１又は２記載の感光性樹脂組成
物。 - 【請求項４】 支持フィルム上に請求項１、２又は３記
載の感光性樹脂組成物の層を積層して成る感光性フィル
ム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29359994A JP3415688B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29359994A JP3415688B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08152710A true JPH08152710A (ja) | 1996-06-11 |
| JP3415688B2 JP3415688B2 (ja) | 2003-06-09 |
Family
ID=17796807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29359994A Expired - Lifetime JP3415688B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3415688B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180109694A (ko) | 2017-03-27 | 2018-10-08 | 동우 화인켐 주식회사 | 착색 수지 조성물, 컬러 필터 및 표시 장치 |
-
1994
- 1994-11-29 JP JP29359994A patent/JP3415688B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180109694A (ko) | 2017-03-27 | 2018-10-08 | 동우 화인켐 주식회사 | 착색 수지 조성물, 컬러 필터 및 표시 장치 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3415688B2 (ja) | 2003-06-09 |
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