JP2700391B2 - 感光性組成物 - Google Patents
感光性組成物Info
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- JP2700391B2 JP2700391B2 JP63086578A JP8657888A JP2700391B2 JP 2700391 B2 JP2700391 B2 JP 2700391B2 JP 63086578 A JP63086578 A JP 63086578A JP 8657888 A JP8657888 A JP 8657888A JP 2700391 B2 JP2700391 B2 JP 2700391B2
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/09—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
- G03F7/091—Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers characterised by antireflection means or light filtering or absorbing means, e.g. anti-halation, contrast enhancement
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、露光により硬化すると共に該露光部が発色
する感光性組成物に関するものである。
する感光性組成物に関するものである。
従来の技術 光照射により発色し、現像前に未露光部と露光部を可
視的に区別できる感光性組成物は、フォトレジスト、感
光性平版印刷板、PS板などの用途に有用である。
視的に区別できる感光性組成物は、フォトレジスト、感
光性平版印刷板、PS板などの用途に有用である。
すなわち、プリント配線基板製造用のフォトレジスト
にこの種の感光性組成物を用いれば、フォトマスクが正
しく置かれたかどうかを現像前に知ることができ、露光
部に欠陥があるかどうかを検査することも容易である。
また、感光性平版印刷板に数種の原稿を繰り返し焼きつ
けるに際しこの種の感光性組成物を用いれば、すでに焼
きつけた部分への重ね焼きを防止することができる。
にこの種の感光性組成物を用いれば、フォトマスクが正
しく置かれたかどうかを現像前に知ることができ、露光
部に欠陥があるかどうかを検査することも容易である。
また、感光性平版印刷板に数種の原稿を繰り返し焼きつ
けるに際しこの種の感光性組成物を用いれば、すでに焼
きつけた部分への重ね焼きを防止することができる。
従来、この目的の感光性組成物として、バインダーポ
リマーに光酸化剤と発色剤とを組み合わせて配合したも
のが提案されており、その典型的なものは、光酸化剤と
して有機ポリハロゲン化合物またはイミダゾール二量体
を用い、発色剤として各種のロイコ染料を用いたもので
ある。この場合、さらに必要に応じ発色助剤を加えた
り、定着剤を添加または定着剤層を積層することもあ
る。（たとえば、Sci.Eng.,５,98-103（1961）、米国特
許明細書第3042515号、特公昭43-19161号公報、特公昭4
5-37377号公報、特開昭47-12879号公報、特開昭59-1404
47号公報、特開昭59-142545号公報参照） 特開昭59-107344号公報、特開昭55-32070号公報、特
開昭55-13780号公報、特開昭54-147829号公報にも、有
機ポリハロゲン化合物とある種の発色剤とを用いた感光
性組成物が示されている。
リマーに光酸化剤と発色剤とを組み合わせて配合したも
のが提案されており、その典型的なものは、光酸化剤と
して有機ポリハロゲン化合物またはイミダゾール二量体
を用い、発色剤として各種のロイコ染料を用いたもので
ある。この場合、さらに必要に応じ発色助剤を加えた
り、定着剤を添加または定着剤層を積層することもあ
る。（たとえば、Sci.Eng.,５,98-103（1961）、米国特
許明細書第3042515号、特公昭43-19161号公報、特公昭4
5-37377号公報、特開昭47-12879号公報、特開昭59-1404
47号公報、特開昭59-142545号公報参照） 特開昭59-107344号公報、特開昭55-32070号公報、特
開昭55-13780号公報、特開昭54-147829号公報にも、有
機ポリハロゲン化合物とある種の発色剤とを用いた感光
性組成物が示されている。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、光酸化剤として有機ポリハロゲン化合
物またはイミダゾール二量体を用い、発色剤として各種
のロイコ染料を用いた感光性組成物は、次に述べるよう
な問題点がある。
物またはイミダゾール二量体を用い、発色剤として各種
のロイコ染料を用いた感光性組成物は、次に述べるよう
な問題点がある。
空気酸化 露光後の現像工程において、現像液に溶解したロイコ
染料が空気酸化によりしだいに青色に発色してくる。そ
のため、装置、基材、衣類等に付着した現像液が時間の
経過とともに青色に発色し、色が消えなくなる。
染料が空気酸化によりしだいに青色に発色してくる。そ
のため、装置、基材、衣類等に付着した現像液が時間の
経過とともに青色に発色し、色が消えなくなる。
退色 メッキ工程においてホウフッ化ハンダメッキ浴を用い
ると、ロイコ染料が退色する。そのためメッキ後の検査
が行いにくくなる。
ると、ロイコ染料が退色する。そのためメッキ後の検査
が行いにくくなる。
コントラスト 光酸化剤とロイコ染料との組み合せによっては必ずし
も十分な感度が得られず、露光後のコントラスト（露光
部と未露光部の色差）が不足することがある。
も十分な感度が得られず、露光後のコントラスト（露光
部と未露光部の色差）が不足することがある。
特開昭59-107344号公報、特開昭55-32070号公報、特
開昭55-13780号公報、特開昭54-147829号公報に開示の
感光性組成物も、上記、およびの全てを解消する
までには至っていない。
開昭55-13780号公報、特開昭54-147829号公報に開示の
感光性組成物も、上記、およびの全てを解消する
までには至っていない。
本発明は、このような状況に鑑み、上記、および
の問題点を全て解消した感光性組成物を提供すること
を目的とするものである。
の問題点を全て解消した感光性組成物を提供すること
を目的とするものである。
課題を解決するための手段 すなわち、本発明の感光性組成物は、バインダーポリ
マー（Ａ）、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）、光重合開
始剤（Ｃ）、有機ハロゲン化合物系光酸化剤（Ｄ）およ
び発色剤（Ｅ）を主成分とする組成物であって、 前記有機ハロゲン化合物系光酸化剤（Ｄ）がトリブロ
モメチルフェニルスルホンであり、前記発色剤（Ｅ）が
式 （ただし、Ｒ1,R2はアルキル基または置換アルキル基、
Ｒ3はＨまたはアルキル基、Ｒ4はＨ、アルキル基または
置換アルキル基、Ｒ5は置換アルキル基またはフェニル
基）で示されるラクトン系化合物であり、かつ、各成分
の配合割合が、 バインダーポリマー（Ａ）とエチレン性不飽和化合物
（Ｂ）との割合が重量比で90:10〜30:70であり、 光重合開始剤（Ｃ）の配合割合がエチレン性不飽和化
合物（Ｂ）に対し１〜20重量％であり、 光酸化剤（Ｄ）および発色剤（Ｅ）の合計量が、バイ
ンダーポリマー（Ａ）とエチレン性不飽和化合物（Ｂ）
との合計量に対し0.1〜10重量％であり、かつ、光酸化
剤（Ｄ）と発色剤（Ｅ）との配合割合が重量比で10:1〜
1:10であること を特徴とするものである。
マー（Ａ）、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）、光重合開
始剤（Ｃ）、有機ハロゲン化合物系光酸化剤（Ｄ）およ
び発色剤（Ｅ）を主成分とする組成物であって、 前記有機ハロゲン化合物系光酸化剤（Ｄ）がトリブロ
モメチルフェニルスルホンであり、前記発色剤（Ｅ）が
式 （ただし、Ｒ1,R2はアルキル基または置換アルキル基、
Ｒ3はＨまたはアルキル基、Ｒ4はＨ、アルキル基または
置換アルキル基、Ｒ5は置換アルキル基またはフェニル
基）で示されるラクトン系化合物であり、かつ、各成分
の配合割合が、 バインダーポリマー（Ａ）とエチレン性不飽和化合物
（Ｂ）との割合が重量比で90:10〜30:70であり、 光重合開始剤（Ｃ）の配合割合がエチレン性不飽和化
合物（Ｂ）に対し１〜20重量％であり、 光酸化剤（Ｄ）および発色剤（Ｅ）の合計量が、バイ
ンダーポリマー（Ａ）とエチレン性不飽和化合物（Ｂ）
との合計量に対し0.1〜10重量％であり、かつ、光酸化
剤（Ｄ）と発色剤（Ｅ）との配合割合が重量比で10:1〜
1:10であること を特徴とするものである。
以下本発明を詳細に説明する。
〈バインダーポリマー（Ａ）〉 バインダーポリマー（Ａ）としては、アクリル系樹
脂、スチレン系樹脂、ナイロン系樹脂、ポリカーボネー
ト系樹脂、塩化ビニル系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、
ビニルエステル系樹脂、ビニルアルコール系樹脂、ポリ
ビニルアセタール、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、
セルロース系高分子、ゼラチン、合成ゴム、ポリエステ
ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂などが用いられる。
脂、スチレン系樹脂、ナイロン系樹脂、ポリカーボネー
ト系樹脂、塩化ビニル系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、
ビニルエステル系樹脂、ビニルアルコール系樹脂、ポリ
ビニルアセタール、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、
セルロース系高分子、ゼラチン、合成ゴム、ポリエステ
ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂などが用いられる。
〈エチレン性不飽和化合物（Ｂ）〉 エチレン性不飽和化合物（Ｂ）としては、エチレング
リコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アク
リレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレ
ート、1,6−ヘキサングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリス
リトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテ
トラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテ
トラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサ（メタ）アクリレート、2,2−ビス（４−（メタ）
アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、2,2−ビ
ス（４−（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）
プロパン、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイル
オキシプロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコ
ールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジ
エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）ア
クリレート、1,6−ヘキサメチルジグリシジルエーテル
ジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステ
ルジ（メタ）アクリレート、グリセリンポリグリシジル
エーテルポリ（メタ）アクリレート、ビスフェノールジ
（メタ）アクリレートなどの多官能モノマーが単独でま
たは併用して用いられる。
リコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メタ）アク
リレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレ
ート、1,6−ヘキサングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリス
リトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテ
トラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテ
トラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサ（メタ）アクリレート、2,2−ビス（４−（メタ）
アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、2,2−ビ
ス（４−（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）
プロパン、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイル
オキシプロピル（メタ）アクリレート、エチレングリコ
ールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジ
エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）ア
クリレート、1,6−ヘキサメチルジグリシジルエーテル
ジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステ
ルジ（メタ）アクリレート、グリセリンポリグリシジル
エーテルポリ（メタ）アクリレート、ビスフェノールジ
（メタ）アクリレートなどの多官能モノマーが単独でま
たは併用して用いられる。
これらの多官能モノマーと共に、２−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メ
タ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アク
リレート、フェノキシエチレングリコール（メタ）アク
リレート、２−フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル
（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキ
シ−２−ヒドロキシプロピルフタレート、３−クロロ−
２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートなどのヒ
ドロキシル基含有（メタ）アクリレート；エチレングリ
コールモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、エチ
レングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレー
ト、ジエチレングリコールモノメチルエーテル（メタ）
アクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテ
ル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノ−
ｎ−プロピルエーテル（メタ）アクリレート、トリエチ
レングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレー
トなどのモノまたはポリエチレングリコールモノアルキ
ルエーテル（メタ）アクリレート；ポリエチレングリコ
ールモノ（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メ
タ）アクリレートなどの多価アルコールモノ（メタ）ア
クリレート；エチル（メタ）アクリロキシフタレート、
エチレングリコール（メタ）アクリレートフタレート、
エチレングリコール（メタ）アクリレートヒドロキシフ
タレートなどのフタル酸またはフタル酸誘導体のハーフ
（メタ）アクリレート；エチレングリコール（メタ）ア
クリレートサクシネートなどのコハク酸のハーフ（メ
タ）アクリレート；フェノキシエチレングリコール（メ
タ）アクリレート;N−メチロール（メタ）アクリルアミ
ド、ダイアセトン（メタ）アクリルアミド、ジメチル
（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルアミド；ジ
メチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルア
ミノエチル（メタ）アクリレート；ラウリル（メタ）ア
クリレート；スチレン、ビニルトルエン;N−ビニルピロ
リドン;2−（メタ）アクリロイルオキシエチルアシッド
ホスフェート；などの単官能モノマーを併用することも
できる。
ル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メ
タ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アク
リレート、フェノキシエチレングリコール（メタ）アク
リレート、２−フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル
（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイルオキ
シ−２−ヒドロキシプロピルフタレート、３−クロロ−
２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートなどのヒ
ドロキシル基含有（メタ）アクリレート；エチレングリ
コールモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、エチ
レングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレー
ト、ジエチレングリコールモノメチルエーテル（メタ）
アクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテ
ル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノ−
ｎ−プロピルエーテル（メタ）アクリレート、トリエチ
レングリコールモノエチルエーテル（メタ）アクリレー
トなどのモノまたはポリエチレングリコールモノアルキ
ルエーテル（メタ）アクリレート；ポリエチレングリコ
ールモノ（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メ
タ）アクリレートなどの多価アルコールモノ（メタ）ア
クリレート；エチル（メタ）アクリロキシフタレート、
エチレングリコール（メタ）アクリレートフタレート、
エチレングリコール（メタ）アクリレートヒドロキシフ
タレートなどのフタル酸またはフタル酸誘導体のハーフ
（メタ）アクリレート；エチレングリコール（メタ）ア
クリレートサクシネートなどのコハク酸のハーフ（メ
タ）アクリレート；フェノキシエチレングリコール（メ
タ）アクリレート;N−メチロール（メタ）アクリルアミ
ド、ダイアセトン（メタ）アクリルアミド、ジメチル
（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリルアミド；ジ
メチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルア
ミノエチル（メタ）アクリレート；ラウリル（メタ）ア
クリレート；スチレン、ビニルトルエン;N−ビニルピロ
リドン;2−（メタ）アクリロイルオキシエチルアシッド
ホスフェート；などの単官能モノマーを併用することも
できる。
〈光重合開始剤（Ｃ）〉 光重合開始剤（Ｃ）としては、たとえば、ベンゾイ
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインｎ
−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベ
ンゾインフェニルエーテル、ベンジルジフェニルジスル
フィド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベンジル、ジ
アセチル、アントラキノン、ナフトキノン、ベンゾフェ
ノン、p,p′−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノ
ン、ピバロインエチルエーテル、ベンゾイルパーオキサ
イド、ベンジルケタール、ベンジルジメチルケタール、
1,1−ジクロロアセトフェノン、ｐ−ｔ−ブチルジクロ
ロアセトフェノン、２−クロロチオキサントン、２−メ
チルチオキサントン、2,2−ジエトキシアセトフェノ
ン、2,2−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、
2,2−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン、ジメ
チルアミノアセトフェノン、ミヒラーズケトン、フェニ
ルグリオキシレート、α−ヒドロキシイソブチルフェノ
ン、ジベゾスパロン、ベンゾフェノンアミン系、１−
（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−
メチル−１−プロパノン、２−メチル−［４−（メチル
チオ）フェニル］−２−モノフォリノ−１−プロパノ
ン、トリブロモフェニルスルホン、トリブロモメチルフ
ェニルスルホン、ｐ−メトキシフェノール、ビクトリア
ピュアブルーなどがあげられ、これらを適当に組合せて
用いることができる。
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインｎ
−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベ
ンゾインフェニルエーテル、ベンジルジフェニルジスル
フィド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベンジル、ジ
アセチル、アントラキノン、ナフトキノン、ベンゾフェ
ノン、p,p′−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノ
ン、ピバロインエチルエーテル、ベンゾイルパーオキサ
イド、ベンジルケタール、ベンジルジメチルケタール、
1,1−ジクロロアセトフェノン、ｐ−ｔ−ブチルジクロ
ロアセトフェノン、２−クロロチオキサントン、２−メ
チルチオキサントン、2,2−ジエトキシアセトフェノ
ン、2,2−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、
2,2−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン、ジメ
チルアミノアセトフェノン、ミヒラーズケトン、フェニ
ルグリオキシレート、α−ヒドロキシイソブチルフェノ
ン、ジベゾスパロン、ベンゾフェノンアミン系、１−
（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−
メチル−１−プロパノン、２−メチル−［４−（メチル
チオ）フェニル］−２−モノフォリノ−１−プロパノ
ン、トリブロモフェニルスルホン、トリブロモメチルフ
ェニルスルホン、ｐ−メトキシフェノール、ビクトリア
ピュアブルーなどがあげられ、これらを適当に組合せて
用いることができる。
〈光酸化剤（Ｄ）〉 光酸化剤（Ｄ）としては、トリブロモメチルフェニル
スルホンが用いられる。この化合物は、活性光線照射に
よりハロゲン化物遊離基を遊離して成分（Ｅ）を発色す
る性質を持つ有機ハロゲン化合物として特にすぐれてい
る。
スルホンが用いられる。この化合物は、活性光線照射に
よりハロゲン化物遊離基を遊離して成分（Ｅ）を発色す
る性質を持つ有機ハロゲン化合物として特にすぐれてい
る。
〈発色剤（Ｅ）〉 発色剤（Ｅ）としては、式 （ただし、Ｒ1,R2はアルキル基または置換アルキル基、
Ｒ3はＨまたはアルキル基、Ｒ4はＨ、アルキル基または
置換アルキル基、Ｒ5は置換アルキル基またはフェニル
基）で示されるラクトン系化合物が用いられる。式
（ｉ）で示されるラクトン系化合物としては、具体的に
は、 グリーンDCF（保土谷化学工業株式会社製） CF-51（保土谷化学工業株式会社製） TH-107（保土谷化学工業株式会社製） などがあげられる。
Ｒ3はＨまたはアルキル基、Ｒ4はＨ、アルキル基または
置換アルキル基、Ｒ5は置換アルキル基またはフェニル
基）で示されるラクトン系化合物が用いられる。式
（ｉ）で示されるラクトン系化合物としては、具体的に
は、 グリーンDCF（保土谷化学工業株式会社製） CF-51（保土谷化学工業株式会社製） TH-107（保土谷化学工業株式会社製） などがあげられる。
〈各成分の配合割合〉 バインダーポリマー（Ａ）とエチレン製不飽和化合物
（Ｂ）との配合割合は、重量比で90:10〜30:70、特に7
0:30〜40:60の範囲に設定される。（Ａ）の過少、
（Ｂ）の過多は、感光性組成物の粘度が低すぎて塗工性
を損ない、フィルム形成性も不足し、さらにはタックが
強くなり、（Ａ）の過多、（Ｂ）の過少は、感度の低
下、現像速度の低下、耐現像液性の低下等をもたらす。
（Ｂ）との配合割合は、重量比で90:10〜30:70、特に7
0:30〜40:60の範囲に設定される。（Ａ）の過少、
（Ｂ）の過多は、感光性組成物の粘度が低すぎて塗工性
を損ない、フィルム形成性も不足し、さらにはタックが
強くなり、（Ａ）の過多、（Ｂ）の過少は、感度の低
下、現像速度の低下、耐現像液性の低下等をもたらす。
光重合開始剤（Ｃ）の配合割合は、エチレン性不飽和
化合物（Ｂ）に対し１〜20重量％に設定される。
化合物（Ｂ）に対し１〜20重量％に設定される。
光酸化剤（Ｄ）および発色剤（Ｅ）は、その合計量が
バインダーポリマー（Ａ）とエチレン性不飽和化合物
（Ｂ）との合計量に対し0.1〜10重量％となるように用
い、かつ、光酸化剤（Ｄ）と発色剤（Ｅ）との配合割合
が、重量比で10:1〜1:10、特に5:1〜1:5の範囲から選択
される。
バインダーポリマー（Ａ）とエチレン性不飽和化合物
（Ｂ）との合計量に対し0.1〜10重量％となるように用
い、かつ、光酸化剤（Ｄ）と発色剤（Ｅ）との配合割合
が、重量比で10:1〜1:10、特に5:1〜1:5の範囲から選択
される。
〈感光性組成物〉 上記各成分からなる本発明の感光性組成物は、通常ケ
トン類、エステル類、アルコール類、エーテル類、炭化
水素類、含窒素有機溶剤、含ハロゲン有機溶剤などの有
機溶剤に溶解した溶液として塗布に供される。なお、光
重合開始剤（Ｃ）を含む成分を別に調製し、使用時に混
合することもできる。
トン類、エステル類、アルコール類、エーテル類、炭化
水素類、含窒素有機溶剤、含ハロゲン有機溶剤などの有
機溶剤に溶解した溶液として塗布に供される。なお、光
重合開始剤（Ｃ）を含む成分を別に調製し、使用時に混
合することもできる。
本発明の感光性組成物には、必要に応じ充填剤、可塑
剤、レベリング剤、安定剤、消泡剤などの添加剤を配合
することができ、また、従来使用されている光酸化剤、
発色剤、発色助剤等を、本発明の趣旨を損なわない範囲
で併用することもできる。
剤、レベリング剤、安定剤、消泡剤などの添加剤を配合
することができ、また、従来使用されている光酸化剤、
発色剤、発色助剤等を、本発明の趣旨を損なわない範囲
で併用することもできる。
〈成層方法〉 上記の感光性組成物は、プラスチックスフィルム、金
属面、その他任意の基材の表面に塗布成層される。塗布
は、全面塗布のほか、パターン印刷とすることもでき
る。
属面、その他任意の基材の表面に塗布成層される。塗布
は、全面塗布のほか、パターン印刷とすることもでき
る。
なおドライフィルムとするときは、該組成物をポリエ
ステルフィルムなどのベースフィルム面に塗布、乾燥し
て成層した後、その成層面の上からポリエチレンフィル
ム、ポリビニルアルコールフィルムなどの保護フィルム
を被覆し、使用時には、ベースフィルムまたは保護フィ
ルムのうち剥離しやすい方を剥離してから、その感光性
組成物面を銅張基板の銅面などの対象物に向けて積層す
る。
ステルフィルムなどのベースフィルム面に塗布、乾燥し
て成層した後、その成層面の上からポリエチレンフィル
ム、ポリビニルアルコールフィルムなどの保護フィルム
を被覆し、使用時には、ベースフィルムまたは保護フィ
ルムのうち剥離しやすい方を剥離してから、その感光性
組成物面を銅張基板の銅面などの対象物に向けて積層す
る。
〈露光〉 成層後の露光は紫外線照射により行い、その際の光源
としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カーボンアーク
灯、キセノン灯、メタルハライドランプ、ケミカルラン
プ、ブラックライトなどが用いられる。露光量は、40〜
1000mJ/cm2程度とすることが多い。紫外線照射後は、必
要に応じ加熱を行って硬化の完全を図ることもできる。
としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カーボンアーク
灯、キセノン灯、メタルハライドランプ、ケミカルラン
プ、ブラックライトなどが用いられる。露光量は、40〜
1000mJ/cm2程度とすることが多い。紫外線照射後は、必
要に応じ加熱を行って硬化の完全を図ることもできる。
〈その後の工程〉 用途によっては、露光後、稀アルカリ水溶液や1,1,1
−トリクロロエタン等の溶剤を用いて現像することによ
り未露光部分を除去し、さらには常法に従ってエッチン
グまたはメッキを行い、続いて強アルカリ水溶液や塩化
メチレン等の溶剤を用いて硬化部分の剥離除去を行う。
−トリクロロエタン等の溶剤を用いて現像することによ
り未露光部分を除去し、さらには常法に従ってエッチン
グまたはメッキを行い、続いて強アルカリ水溶液や塩化
メチレン等の溶剤を用いて硬化部分の剥離除去を行う。
〈用途〉 本発明の感光性組成物は、特にフォトレジスト、感光
性平版印刷板、PS板などの用途に有用である。
性平版印刷板、PS板などの用途に有用である。
作用および発明の効果 本発明の感光剤組成物を対象物に塗布成層し、露光す
ると、露光部分のみが発色し、しかもその際の感度が高
く、露光後の露光部と未露光部とのコントラストが大き
い。従って、フォトレジストの目的に用いたときは、現
像前に露光部分に欠陥があるかどうかを容易に検査する
ことができる。また感光性平版印刷板の目的に用いたと
きは、数種の原稿を繰り返し焼きつけるに際し、すでに
焼きつけた部分への重ね焼きを防止することができる。
ると、露光部分のみが発色し、しかもその際の感度が高
く、露光後の露光部と未露光部とのコントラストが大き
い。従って、フォトレジストの目的に用いたときは、現
像前に露光部分に欠陥があるかどうかを容易に検査する
ことができる。また感光性平版印刷板の目的に用いたと
きは、数種の原稿を繰り返し焼きつけるに際し、すでに
焼きつけた部分への重ね焼きを防止することができる。
しかも、本発明の感光性組成物は空気酸化を受けにく
いので、貯蔵性が良好であるのみならず、未露光部分が
溶解した現像液が装置、基材、衣服等に付着しても発色
しないという利点がある。
いので、貯蔵性が良好であるのみならず、未露光部分が
溶解した現像液が装置、基材、衣服等に付着しても発色
しないという利点がある。
また、メッキ工程においてホウフッ酸メッキ浴を用い
ても退色を生じないので、検査に支障を来たさないとい
う効果を奏する。
ても退色を生じないので、検査に支障を来たさないとい
う効果を奏する。
よって本発明はこの業界に貢献するところが大であ
る。
る。
実施例 次に実施例をあげて本発明をさらに説明する。以下
「部」、「％」とあるのは重量基準で表わしたものであ
る。
「部」、「％」とあるのは重量基準で表わしたものであ
る。
実施例１ 〈処方〉 次の組成の感光性組成物を調製した。
バインダーポリマー（Ａ） ・ 分子量が９万のメチルメタクリレート/n−ブチルア
クリレート／メタクリル酸（57/20/23）共重合体の40％
メチルエチルケトン／メチルセロソルブ（80/20）溶液 140部 エチレン性不飽和化合物（Ｂ） ・ トリメチロールプロパントリアクリレート 18部 ・ テトラエチレングリコールジアクリレート 10部 ・ ビスフェノールジメタクリレート ７部 光重合開始剤（Ｃ） ・ ベンゾフェノン ４部 ・ N,N−ジメチルアミノ−ｐ−ベンゾフェノン 0.2部 光酸化剤（Ｄ） ・ トリブロモメチルフェニルスルホン 0.4部 発色剤（Ｅ） ・ CF-51 0.5部 その他の添加剤 ・ マラカイトグリーン 0.05部 溶剤 ・ メチルエチルケトン 40部 〈ドライフィルムの作成〉 上記組成物を均一に溶解後、25μｍ厚のポリエチレン
テレフタレートフィルム上に塗布し、95℃で10分間熱風
乾燥して厚さ50μｍの塗膜を形成させ、その上から30μ
ｍ厚のポリエチレンフィルムを積層した。
クリレート／メタクリル酸（57/20/23）共重合体の40％
メチルエチルケトン／メチルセロソルブ（80/20）溶液 140部 エチレン性不飽和化合物（Ｂ） ・ トリメチロールプロパントリアクリレート 18部 ・ テトラエチレングリコールジアクリレート 10部 ・ ビスフェノールジメタクリレート ７部 光重合開始剤（Ｃ） ・ ベンゾフェノン ４部 ・ N,N−ジメチルアミノ−ｐ−ベンゾフェノン 0.2部 光酸化剤（Ｄ） ・ トリブロモメチルフェニルスルホン 0.4部 発色剤（Ｅ） ・ CF-51 0.5部 その他の添加剤 ・ マラカイトグリーン 0.05部 溶剤 ・ メチルエチルケトン 40部 〈ドライフィルムの作成〉 上記組成物を均一に溶解後、25μｍ厚のポリエチレン
テレフタレートフィルム上に塗布し、95℃で10分間熱風
乾燥して厚さ50μｍの塗膜を形成させ、その上から30μ
ｍ厚のポリエチレンフィルムを積層した。
〈銅張基板へのラミネート〉 このようにして得られたドライフィルムを、ラミネー
ターを用いて、予め表面研磨を施した銅厚40μｍの銅張
基板に、ロール温度95℃、ロール圧力3kg/cm2、ラミネ
ート速度1.5m/minの条件でポリエチレンフィルムを剥離
しながらラミネートした。
ターを用いて、予め表面研磨を施した銅厚40μｍの銅張
基板に、ロール温度95℃、ロール圧力3kg/cm2、ラミネ
ート速度1.5m/minの条件でポリエチレンフィルムを剥離
しながらラミネートした。
〈露光〉 次に、3KW高圧水銀灯を光源とする露光機を用いて露
光量が100mJ/cm2となるように露光し、その際のコント
ラストΔＥ（未露光部分と露光部分の色差）を日本電色
工業株式会社製の色差形Σ80を用いて測定した。ΔＥの
値が大きいほどコントラストが良いことを意味する。
光量が100mJ/cm2となるように露光し、その際のコント
ラストΔＥ（未露光部分と露光部分の色差）を日本電色
工業株式会社製の色差形Σ80を用いて測定した。ΔＥの
値が大きいほどコントラストが良いことを意味する。
〈現像〉 露光終了後、ポリエステルフィルムを剥離してから、
温度30℃の１％炭酸ソーダ水溶液を使用して、スプレー
圧1.0kg/cm2、現像時間60秒の条件でスプレー現像を行
った。
温度30℃の１％炭酸ソーダ水溶液を使用して、スプレー
圧1.0kg/cm2、現像時間60秒の条件でスプレー現像を行
った。
なお、上記で得られたドライフィルムの一部を切り取
ってポリエチレンフィルムとポリエチレンテレフタレー
トフィルムの双方を剥離し、上記現像液に0.3m2／リッ
トルとなるように溶解した後、この溶液に市販の織布片
を浸漬してから引き上げ、空気中に室温で24時間放置後
の発色の有無を観察した。
ってポリエチレンフィルムとポリエチレンテレフタレー
トフィルムの双方を剥離し、上記現像液に0.3m2／リッ
トルとなるように溶解した後、この溶液に市販の織布片
を浸漬してから引き上げ、空気中に室温で24時間放置後
の発色の有無を観察した。
〈メッキ〉 現像後の基板を、常法に従い、脱脂剤、ソフトエッチ
ング剤などのメッキ前処理を用いて前処理した後、ホウ
フッ化ハンダメッキ浴（ホウフッ酸濃度350g/リット
ル、20℃）に浸漬して40分間メッキを行った。メッキ後
２回水洗を行い、風乾して、硬化レジストの退色の有無
を観察した。
ング剤などのメッキ前処理を用いて前処理した後、ホウ
フッ化ハンダメッキ浴（ホウフッ酸濃度350g/リット
ル、20℃）に浸漬して40分間メッキを行った。メッキ後
２回水洗を行い、風乾して、硬化レジストの退色の有無
を観察した。
実施例２〜３ 光酸化剤（Ｄ）および発色剤（Ｅ）として次の組み合
せを採用したほかを、実施例１と同様の実験を行った。
せを採用したほかを、実施例１と同様の実験を行った。
実施例２ トリブロモメチルフェニルスルホン 0.8部 グリーンDCF 0.8部 実施例３ トリブロモメチルフェニルスルホン 0.4部 TH-107 0.4部 比較例１〜２ 光酸化剤（Ｄ）および発色剤（Ｅ）として次の組み合
せを採用したほかは、実施例１と同様の実験を行った。
せを採用したほかは、実施例１と同様の実験を行った。
比較例１ ２−（ｏ−クロロフェニル）−4,5−ジフェニルイミダ
ゾリル二量体 0.8部 ロイコクリスタルバイオレット 0.8部 比較例２ トリブロモメチルフェニルスルホン 0.8部 ロイコマラカイトグリーン 0.8部 以上、実施例１〜３および比較例１〜２の結果を第１表
に示す。
ゾリル二量体 0.8部 ロイコクリスタルバイオレット 0.8部 比較例２ トリブロモメチルフェニルスルホン 0.8部 ロイコマラカイトグリーン 0.8部 以上、実施例１〜３および比較例１〜２の結果を第１表
に示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−107344（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−32070（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−13780（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−147829（ＪＰ，Ａ) 米国特許3042515（ＵＳ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】バインダーポリマー（Ａ）、エチレン性不
飽和化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、有機ハロゲン
化合物系光酸化剤（Ｄ）および発色剤（Ｅ）を主成分と
する組成物であって、 前記有機ハロゲン化合物系光酸化剤（Ｄ）がトリブロモ
メチルフェニルスルホンであり、前記発色剤（Ｅ）が式 （ただし、Ｒ1,R2はアルキル基または置換アルキル基、
Ｒ3はＨまたはアルキル基、Ｒ4はＨ、アルキル基または
置換アルキル基、Ｒ5は置換アルキル基またはフェニル
基）で示されるラクトン系化合物であり、かつ、各成分
の配合割合が、 バインダーポリマー（Ａ）とエチレン性不飽和化合物
（Ｂ）との割合が重量比で90:10〜30:70であり、 光重合開始剤（Ｃ）の配合割合がエチレン性不飽和化合
物（Ｂ）に対し１〜20重量％であり、 光酸化剤（Ｄ）および発色剤（Ｅ）の合計量が、バイン
ダーポリマー（Ａ）とエチレン性不飽和化合物（Ｂ）と
の合計量に対し0.1〜10重量％であり、かつ、光酸化剤
（Ｄ）と発色剤（Ｅ）との配合割合が重量比で10:1〜1:
10であること を特徴とする感光性組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63086578A JP2700391B2 (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 | 感光性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63086578A JP2700391B2 (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 | 感光性組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01257841A JPH01257841A (ja) | 1989-10-13 |
| JP2700391B2 true JP2700391B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=13890889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63086578A Expired - Fee Related JP2700391B2 (ja) | 1988-04-07 | 1988-04-07 | 感光性組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2700391B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1938370B (zh) * | 2004-04-07 | 2011-01-26 | 西巴特殊化学品控股有限公司 | 涂料组合物显色方法 |
| CN102770805B (zh) * | 2010-02-26 | 2016-10-12 | 太阳控股株式会社 | 图像形成方法以及用于该方法的感光性组合物 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3042515A (en) | 1959-01-16 | 1962-07-03 | Horizons Inc | Print-out compositions for photographic purposes and process of using same |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1153610A (en) * | 1978-05-09 | 1983-09-13 | Edward J. Reardon, Jr. | Carbonylic halides as activators for phototropic compositions |
| CA1164710A (en) * | 1978-05-09 | 1984-04-03 | Edward J. Reardon, Jr. | Phototropic photosensitive compositions containing fluoran colorformer |
| JPS6053300B2 (ja) * | 1978-08-29 | 1985-11-25 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
| JPS59107344A (ja) * | 1982-12-13 | 1984-06-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物 |
-
1988
- 1988-04-07 JP JP63086578A patent/JP2700391B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3042515A (en) | 1959-01-16 | 1962-07-03 | Horizons Inc | Print-out compositions for photographic purposes and process of using same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01257841A (ja) | 1989-10-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |