JPH0815234A

JPH0815234A - 超音波映像検査装置

Info

Publication number: JPH0815234A
Application number: JP6167391A
Authority: JP
Inventors: Yukio Arima; 幸男有馬; Toshihiro Kimura; 敏宏木村; Yuichi Kunitomo; 裕一國友; Takeshi Takeuchi; 健竹内; Shoji Yamaguchi; 祥司山口
Original assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Current assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority date: 1994-06-27
Filing date: 1994-06-27
Publication date: 1996-01-19

Abstract

(57)【要約】【目的】被検体の平行出しが容易で、被検体内の部映像
を高分解能で表示したときに発生する干渉縞を抑制する
ことができる超音波映像検査装置を提供することにあ
る。【構成】載置台をＸＺ面あるいはＹＺ面内において所定
の点を中心にして基準点を回動させる載置台傾斜機構を
設けて被検体の表面の傾斜量に対応する傾斜量をキャン
セルする方向に被検体を回転させるので、被検体の傾斜
を簡単になくすことができる。さらに、基準点の移動量
が算出されるので、新しい基準点での焦点合わせや元の
位置に基準点を戻す作業等が簡単にできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、超音波映像検査装置
に関し、詳しくは、被検体の平行出しが容易で、被検体
内部の映像を高分解能で表示したときに発生する干渉縞
を抑制することができるような超音波映像検査装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】超音波測定装置の１つである超音波映像
検査装置は、被検体の内部をＢスコープ像やＣスコープ
像の映像として表示することが可能である。より鮮明な
映像を採取するために、この種の映像検査装置は、プロ
ーブの音響特性や媒体、被検体内部でのそのときの温度
による音速等の各種の測定条件を入力し、それに応じて
被検体内の所望の深さ位置にプローブの焦点を設定する
焦点合わせ作業やゲート位置、ゲート幅の設定作業が必
要である。

【０００３】超音波映像検査装置でＩＣを検査をする場
合には、半導体チップとリードフレームとの接合面測定
のように、肉厚の薄い被検体の界面映像を高分解能で得
る必要がある。そのためには、共振周波数の高い狭帯域
のプローブを使用して高い周波数の増幅特性が優れた超
音波探傷器を使わねばならないが、このほかに、プロー
ブの焦点合わせとゲート位置，ゲート幅とを適正に設定
し、かつ、できるだけ狭いゲート幅のゲートを設定する
ことが要求される。

【０００４】また、半導体チップとリードフレームとの
接合面測定のように、ＩＣ等の電子部品を超音波測定に
より検査を行う時には、一般に、表面エコー追従ゲート
が使用される。特に、この種の観察面を高分解能で超音
波測定したい場合は、高周波で近焦点型の水浸探触子
（プローブ）が使用される。しかし、近焦点型プローブ
を使用した場合は被検体への入射角が大きいため、被検
体表面と走査面との平行度が不十分で、表面に傾きがあ
ると、被検体表面においてレーリ波が発生する。このレ
ーリ波が被検体の表面エコーと干渉すると、被検体内部
の映像に干渉縞が現れる。この縞模様は、通常、被検体
表面と走査面との距離の差が５０μｍ程度ずれると、走
査過程で被検体−プローブ間距離が徐々に変化すること
から被検体表面を伝搬するレーリ波の波長に対応して現
れる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来、測定映像におい
て、この縞模様が観察された場合は、被検体表面と走査
面との平行度を２点以上で距離計測することにより確認
し、さらに左右の距離を調整する距離調整による角度調
整機構を使って角度を調整した上で測定し直すというこ
とが行われている。しかし、左右の距離調整によりいっ
たん角度調整をすると、被検体の位置の移動も大きくな
り、被検体とプローブとの位置関係がずれ、それが大幅
となって、１回のプローブあるいは被検体の位置修正で
済む程度のものではなくなってしまうことが多い。この
ため、角度調整と位置修正とを交互に繰り返し、さらに
これに焦点合わせも加わり、煩雑な作業を繰り返さなけ
ればならなくなる。これにより被検体−プローブ間距離
や走査面における被検体位置も大きく移動してしまうの
で、焦点合わせのために、再度、プローブ位置の設定を
し直すことが必要になる。この発明の目的は、このよう
な従来技術の問題点を解決するものであって、被検体の
平行出しが容易で、被検体内部の映像を高分解能で表示
したときに発生する干渉縞を抑制することができる超音
波映像検査装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るためのこの発明の特徴は、ＸＹ平面に沿って被検体を
載置する載置台と、この載置台をＸＺ面あるいはＹＺ面
内において所定の点を中心に回動させる載置台傾斜機構
と、プローブをＸＹＺ方向に移動させる移動機構と、被
検体の表面のＸ方向またはＹ方向において設定された基
準点から実質的に等距離の表面上の２点とプローブまで
の距離をそれぞれ算出して算出された前記２点間の距離
に基づいて表面の傾斜量を得て基準点を前記載置台傾斜
機構により被検体の表面の傾斜をキャンセルする方向に
傾斜量分回転させ、回転後の基準点の移動量を算出する
演算制御装置とを備えるものである。

【０００７】

【作用】このように、載置台をＸＺ面あるいはＹＺ面内
において所定の点を中心にして基準点を回動させる載置
台傾斜機構を設けて被検体の表面の傾斜量に対応する傾
斜量をキャンセルする方向に被検体を回転させるので、
被検体の傾斜を簡単になくすことができる。さらに、基
準点の移動量が算出されるので、新しい基準点での焦点
合わせや元の位置に基準点を戻す作業等が簡単にでき
る。その結果、被検体表面近傍を、高周波で近焦点のプ
ローブにより、高分解能な映像を得るときに、走査過程
で被検体−プローブ間距離が一定に保たれないことで生
ずる表面エコーとレーリ波の合成波の位相差による映像
の縞模様が測定データに影響しなくなるまで、角度調整
と焦点調整とを繰り返さなくても済み、被検体表面の平
行出しが誰でも容易にできるようになり、傾斜調整や測
定作業の効率化が図れる。また、被検体表面が平行にな
るので、基準信号から一定時間後にゲートを設定する固
定ゲートにより表面直下にゲート設定することが可能に
なる。これにより、レーリ波の影響による波形歪みや映
像むらが少ない、被検体表面近傍映像を高分解能で得る
ことが可能になる。

【０００８】

【実施例】図１は、この発明の一実施例の超音波映像検
査装置のブロック図、図２は、平行出し装置の説明図、
図３は、画面上に表示された基準線の説明図、図４は、
被検体に対する平行出し処理のフローチャートである。
図１において、２０は、超音波映像検査装置であって、
１は、ＸＹＺ移動機構を有するその走査機構である。焦
点型のプローブ３は、この走査機構１に取付られていて
被検体１７をＹ方向に主走査をし、Ｘ方向に副走査をす
る。

【０００９】超音波映像検査装置２０は、このＸＹ走査
によりそれぞれの測定点でＡスコープ像が得られる測定
値を得て、これに基づいてＢスコープ像の表示データや
Ｃスコープ像の表示データを生成してＢスコープ像やＣ
スコープ像の画像を表示する。なお、この実施例におけ
る被検体１７は、図２に示すように、被検体傾斜装置１
６の上に載置された水槽１８の中に投入されている。被
検体１７は、ＩＣ等の電子部品であり、表面近傍のある
深さに検査対象面とされるリードフレームの面やＩＣチ
ップとこれが接着されるセラミックスの基板あるいはパ
ッドとの接合面が存在しているものとする。

【００１０】被検体傾斜装置１６は、Ｙ方向傾斜機構１
６ｂの上にＸ方向傾斜機構１６ａが搭載されている、い
わゆるゴニオステージであって、Ｘ方向傾斜機構１６ａ
の表面に水槽１８が置かれてこれが被検体１７の載置台
になっている。Ｘ方向傾斜機構１６ａもＹ方向傾斜機構
１６ｂも円弧の摺動面で嵌合する凹凸の部材からなって
いて、水槽１８の中央上部に位置する回転中心Ｏを中心
としてそれぞれＸＺ面，ＹＺ面に沿って回動する。１６
ｃがＸ方向傾斜機構１６ａの摺動面であり、１６ｄがＹ
方向傾斜機構１６ｂの摺動面であるが、図では、円弧状
の摺動面は現れていない。

【００１１】走査機構１は、スキャン制御装置２により
制御され、スキャン制御装置２は、インタフェース８を
介して画像処理・制御装置１１により制御される。プロ
ーブ３は、超音波探傷器４に接続されている。超音波探
傷器４は、パルサー・レシーバ等から構成されている。
これは、画像処理・制御装置１１からの制御信号に応じ
てその送信端子からプローブ３に所定の測定周期でパル
ス信号を送ってプローブ３を駆動する。このとき発生し
た超音波に対して被検体１７から得られるエコーをプロ
ーブ３が電気信号に変換し、この変換された電気信号を
プローブ３からエコー受信信号としてその受信端子で受
ける。そして、これを増幅し、さらに検波し、得られた
信号をピーク検出回路５や時間計測回路６に送出する。

【００１２】ピーク検出回路５は、検波されたエコー受
信信号から所定の位置にゲートをかけて必要なエコー部
分のピーク値を検出し、これをＡ／Ｄ変換回路７に出力
する。なお、ゲート位置は、インタフェース８を介して
画像処理・制御装置１１から受けた設定信号による。ピ
ーク検出回路５は、この設定信号に応じて、例えば、表
面エコーを検出して時間カウントをすることでゲートを
設定する。時間計測回路６は、表面エコー検出後の経過
時間を計測する回路であり、測定データごとに表面エコ
ーからデータ測定までの経過時間を求め、これをインタ
フェース８を介して画像処理・制御装置１１に送出す
る。Ａ／Ｄ変換回路７は、画像処理・制御装置１１から
の制御信号に応じて得られたピーク値のアナログ信号
を、例えば、８ビット２５６段階でデジタル値に変換す
る。このデジタル値を画像処理・制御装置１１のマイク
ロプロセッサ（ＭＰＵ）９が処理できるように入力デー
タとしてバス１４に送出する。

【００１３】以上の構成において超音波映像検査装置２
０は、通常の測定状態にあっては、例えば、プローブ３
は、Ｙ方向に１ライン走査後にＸ方向にピッチ送りさ
れ、Ｙ方向に先とは逆方向に走査する、いわゆるＹ方向
での往復走査により被検体１７をＸＹ平面上で走査す
る。この走査で所定のピッチで割り当てられる各測定点
ごとにピーク検出回路５でピーク値が検出され、それを
デジタル値の形でマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）９が取
込む。ＭＰＵ９は、これらピーク値のデータを各測定点
に対応して順次メモリ１０に記憶していく。

【００１４】さて、バス１４には、ＭＰＵ９のほかに、
各種プログラムやデータを記憶したメモリ１０、画像メ
モリ１２、ディスプレイ１３、操作パネル１５等が接続
されている。そして、メモリ１０には、基準位置記憶部
１０ａ，傾斜データ記憶部１０ｂ，レーリ波音速データ
記憶部１０ｃ，試料傾斜状態測定プログラム１０ｄ，平
行出し処理プログラム１０ｅ，位置補正プログラム１０
ｆとが設けられている。

【００１５】試料傾斜状態測定プログラム１０ｄは、Ｘ
Ｙ測定画像を表示している状態にあって、この画像に重
ねて十字カーソル（以下＋カーソル）Ｋを表示し、その
現在位置を入力キー（例えば、リターンキー）の入力を
受けて現在位置を走査機構１のＸＹ軸の座標値に変換し
て、入力された＋カーソルの位置に対応する走査座標位
置（ｘ，ｙ）にプローブ３を移動してプローブ３から被
検体表面までの路程（距離）ｄo を算出する。そして、
この距離ｄo を傾斜データ記憶部１０ｂにその座標デー
タとともに記憶する。また、最初に＋カーソルＫで指定
された位置については、これを基準位置（ｘo ，ｙo ）
として基準位置記憶部１０ａに記憶する。これにより基
準点Ｐ（図２，図３参照）が設定される。基準点Ｐが決
定されると、この基準点Ｐを中心としてＸ軸あるいはＹ
軸にそって左右にあらかじめ決められた、等しいドット
数で基準直線ＡＢを発生させる。

【００１６】この基準直線ＡＢは、例えば、測定映像の
表示画面上の領域を６００×４００ドットの範囲とすれ
ば、Ｘ方向（横方向）のドット数６００の１／３である
２００点分（実際は２０１点）の基準直線ＡＢとして直
線ＡＢ（図３参照）が基準点Ｐを中心として左右１００
点ずつ表示される。なお、Ｙ方向のドット数は、１ドッ
ト乃至数ドットとして直線として確認できるものとされ
る。この直線の長さは、被検体形状が映像よりも小さい
場合などのために、調節できるようになっていて、＋カ
ーソルＫに指定に応じて基準点Ｐを中心として左右が等
しい長さになるように調整することができるが、これに
ついは、発明に直接関係しないので割愛する。

【００１７】次に、この基準直線ＡＢが決定されると、
その左右の端点Ａ，Ｂにプローブ３を移動させて、それ
ぞれの点においてプローブ３から被検体表面までの路程
（距離）ＬA ，ＬB を算出して、それぞれの距離ＬA ，
ＬB を傾斜データ記憶部１０ｂにその座標データととも
に記憶する。そして、処理を平行出し処理プログラム１
０ｅに移す。

【００１８】平行出し処理プログラム１０ｅは、ＸＺ面
での傾斜補正とＹＺ面での傾斜補正を行うが、以下は、
Ｘ軸方向を例としてＸＺ面での傾斜について説明する。
まず、前記基準点Ｐの座標を基準位置記憶部１０ａから
読み出してＺ軸に平行な中心Ｏを通る半径を基準にして
これと基準点Ｐ（図２参照）と位置回動中心Ｏとを結ぶ
半径とのなす角φを求める。これは、中心Ｏとプローブ
３の距離ｚo を求め、基準点Ｐのプローブ３から被検体
表面までの距離ｄo を読み出して、 φ＝arctan〔ｘo ／（ｚo ＋ｄo ) 〕により、三角関数演算を行うことで求める。次に、傾斜
データ記憶部１０ｂから距離ＬA ，ＬB を読出して水平
面からの傾きθを次の式から求める。 θ＝arctan（（ＬB −ＬA）／Ｌ）ただし、Ｌは基準直線ＡＢのＸ軸方向の長さであり、走
査機構１のＸ軸方向の測定ピッチとＸ軸方向に対応する
表示ドット数との関係から演算される。求められたθに
よりＸ方向傾斜機構１６ａをθだけ回転駆動して被検体
１７が水平になるように補正する。そして、位置補正プ
ログラム１０ｆに処理を移す。

【００１９】位置補正プログラム１０ｆは、前記θ回転
により位置ずれしたＺ方向の量とＸ方向のずれ量とを算
出し、これらに基づいて被検体とプローブとの位置関係
をもとの状態に戻す位置補正を行う。Ｚ方向の変化量Ｚ
s は、Ｚs ＝｛ｘo²＋（ｚo ＋ｄo ）² ｝^1/2 ×cos （φ−
θ）−（ｚo ＋ｄo ）であり、Ｘ方向の変化量Ｘs は、Ｘs ＝ｘo −｛ｘo²＋（ｚo ＋ｄo ）² ｝^1/2 sin （φ
−θ）である。そこで、この−Ｚs ，−Ｘs だけプローブを移
動させる処理により被検体の位置補正をする。なお、こ
の場合、被検体傾斜装置１６自体がＸＹステージ上に載
置されていれば、そのＸＹステージを移動させてもよ
い。このような位置補正に代えて、後から移動した基準
点Ｐの座標情報あるいは前記のずれ量を得て、例えば、
マニュアルにて新しい基準点に対してプローブ３あるい
は被検体１７を相対的に移動させて焦点合わせ等を行っ
てもよい。そのために、θ回転した後の基準点の位置を
基準点Ｐ’の座標（ｘ，ｚ）を新しい角度φ−θから算
出して基準位置記憶部１０ａに（ｘ，ｙ，ｚ）として記
憶しておくとよい。ただし、この場合には、ｙ＝ｙo で
ある。

【００２０】以上の処理は、Ｙ軸方向の傾斜補正につい
ても行われるが、Ｘ軸上の座標がＹ軸上の座標に変わる
だけで処理自体は前記したものと同じであるのでその説
明を割愛する。なお、位置補正を後からマニュアル等で
行う場合には、基準位置記憶部１０ａに記憶される
（ｘ，ｙ，ｚ）のうち、基準点Ｐ’の座標（ｙ，ｚ）が
求められてｘ座標は前記のＸ軸の傾斜補正の際に求めた
そのままの値を採る。

【００２１】Ｃスコープ像等の測定画像を得る前に、前
記のようにして被検体の傾斜状態の測定と被検体の平行
出し処理が行われる。これらについての全体的な処理に
ついて図４の処理ステップに従って説明する。まず、平
行出しの傾斜角度の調整に先立ち、ＭＰＵ９が傾斜状態
測定プログラム１０ｄを実行して次のステップ(1) から
(4) において被検体の傾斜状態の測定が行われる。な
お、この例では、最初に、Ｘ軸方向の平行出しを行うも
のとする。ステップ(1) では、無調整状態で被検体１７
の表面のＸＹ二次元の被検体映像が採取され、採取され
たその表示画面の中央に、基準点Ｐを設定する＋カーソ
ルＫが表示される。＋カーソルは、操作パネル１５ある
いはキーボード（図示せず）上のカーソル移動キーもし
くはマウスによって移動可能である。

【００２２】そこで、ステップ(2) において、操作者
は、例えば、マウスによって画面上で映像が鮮明に見え
る位置を選んで＋カーソルを移動させた後、クリックし
て、被検体１７の表面における基準点Ｐを定義する。＋
カーソルの各表示点は、走査機構１のＸＹ軸の座標値に
変換できるので、＋カーソルの現在位置でリターンキー
が入力されると、その時点で＋カーソルの現在位置が基
準点Ｐとして処理され、定義された基準点ＰのＸＹ座標
値（ｘo ，ｙo ）は基準位置記憶部１０ａに基準点デー
タとして記憶される。

【００２３】さらに、ステップ(3) で走査機構１のＸＹ
軸が動作して、プローブ３を定義した基準点Ｐに移動さ
せ、基準点Ｐにおける被検体１７表面までの路程を測定
し、これに水における音速を乗じて、プローブ３から被
検体表面の基準点Ｐまでの距離ｄ0 をプローブ３と被検
体１７との距離として傾斜データ記憶部１０ｂに座標位
置（ｘ0 ，ｙ0 ）とともに記憶する。

【００２４】次のステップ(4) では、画面上に基準直線
ＡＢが表示されて、基準直線ＡＢの左右の点の座標と被
検体表面までの距離ＬA ，ＬB が算出され、傾斜データ
記憶部１０ｂに記憶される。次にステップ(5) におい
て、ＭＰＵ９は、平行出し処理プログラム１０ｅを実行
して、傾斜角θと補正前の基準点Ｐの角度φとを算出し
て、Ｘ方向傾斜機構１６ａによりＯを中心としてその被
検体載置台を傾斜を補正する方向にθ回転させる。次
に、ステップ(6) で、位置補正プログラム１０ｆをＭＰ
Ｕ９が実行してＺ方向の変化量Ｚs とＸ方向の変化量Ｘ
s を算出して−Ｚs ，−Ｘs だけプローブ３あるいは被
検体１７を移動させる処理を行う。なお、位置補正を行
わない場合には、ステップ(6) で、φ−θから補正後の
基準点の座標置を算出して基準点Ｐ’の座標（ｘ，ｙ，
ｚ）を記憶する。

【００２５】次のステップ(7) では、Ｙ軸方向の傾斜処
理終了か否かが判定され、ここで、ＮＯとなりパラメー
タをＸ軸からＹ軸に変更してステップ(1) から(6) まで
の処理が行われてＹ軸方向の傾斜補正が同様に行われ
る。そして、ステップ(7) でＹＥＳとなり、ステップ
(8) では、必要に応じて再度の焦点合わせが行われる。
そしてステップ(9) でゲート位置選定が行われて、ステ
ップ(10)で測定処理に入る。なお、ステップ(8) の処理
は、後からプローブをマニュアルにて位置設定するとき
に有効であるが、自動位置補正を行う場合にはスキップ
してもよい。

【００２６】ここで、前記の傾斜補正の補正量について
の具体例について説明すると、走査機構１の走査範囲と
して、例えば、その走査範囲（視野）が６×４ｍｍで、
基準点Ｐまでの路程が２μｓ、Ａ点，Ｂ点における路程
がそれぞれ１．９，２．１μｓ、水の音速を１．５×１
０⁶ mm/secすれば、基準点Ｐ，Ａ点，Ｂ点におけるプロ
ーブ３と被検体１７との距離は次のようになる。１．５×１０⁶ ×２×１０^-6÷２＝１．５mm １．５×１０⁶ ×１．９×１０^-6÷２＝１．４２５mm １．５×１０⁶ ×２．１×１０^-6÷２＝１．５７５mm したがって、基準直線ＡＢの両端Ａ，Ｂにおける距離の
差は、０．１５mmである。基準直線ＡＢの距離Ｌは、２
０１ドットの長さであるので２mmである。傾斜角θは、 θ＝arctan（０．１５／２）＝４．２９° となる。次にレーリ波音速メモリ部１０ｃから被検体の
レーリ波音速データを読み出し、干渉縞の波長を演算す
る。干渉縞の波長λは次の式により求められる。 λ＝Ｖr²／（ｆ・Ｖw ）ただし、Ｖr ：被検体レーリ波音速，Ｖw ：水の音速、
ｆ：使用超音波の周波数である。

【００２７】使用超音波の周波数が１００ＭＨｚで被検
体が石英ガラスのときには、Ｖr ＝３４８０ｍ／ｓであ
るので、波長λ≒８０μｍとなる。１／８λは１０μｍ
となるので、走査範囲６×４mmにおいては、干渉縞の影
響を−３dB以内（最大でずれ量で１／８λ以下）に抑え
るには、許容角度θs ＝arctan（０．０１mm／６mm）＝
０．１°により、被検体の傾斜を０．１°以内に収めれ
ばよい。なお、干渉縞の波長λは、表面エコーとレーリ
波の合成波として現れ、その１／２波長以下にすること
で干渉縞の発生を抑制できる。この程度の調整であれ
ば、被検体傾斜装置１６による前記の角度調整により可
能である。また、位置補正を行うことで、他の測定条件
は、そのまま利用できる。なお、前記の処理ステップ
(8) とステップ(9) との間に処理ステップ(8)aとしてこ
の許容角度θs の算出の処理ステップを挿入して位置補
正後あるいは新しい基準点Ｐ’の座標（ｘ，ｙ，ｚ）に
おいてＸ方向とＹ方向の傾斜測定を行い、傾斜角θが許
容角度θs 以下であることを判定するようにするとよ
い。この判定の結果、許容角度以上になっているときに
は、ステップ(1) からの傾斜補正を再度行う。

【００２８】以上説明してきたが、実施例では表面追従
ゲートで測定する場合を例としているがこの発明はこれ
に限定されるものではなく、送信波（その同期信号）を
基準とする固定ゲートの場合にも適用できる。この場合
には、ゲートの設定時間の基準点が変わるだけである。
プローブ３と被検体１７と距離ｄo に対して超音波の水
中伝搬速度から水中伝搬時間を算出してゲート設定をす
ればよい。特に、固定ゲートを使用すれば、被検体表面
と走査面の平行が確保されているので、表面エコーまで
ゲートを近付けることができる。この場合には、表面エ
コー追従形の場合とは異なり、機械的にゲートが表面に
近付き、その位置が安定しているので波形歪みがない状
態で表面側への接近限界をゼロとすることができる。そ
の結果、表面直下の良好な映像が得られる。

【００２９】

【発明の効果】この発明にあっては、載置台をＸＺ面あ
るいはＹＺ面内において所定の点を中心にして基準点を
回動させる載置台傾斜機構を設けて被検体の表面の傾斜
量に対応する傾斜量をキャンセルする方向に被検体を回
転させるので、被検体の傾斜を簡単になくすことができ
る。さらに、基準点の移動量が算出されるので、新しい
基準点での焦点合わせや元の位置に基準点を戻す作業等
が簡単にできる。その結果、干渉縞が消せるので測定デ
ータの信頼性が向上する。また、被検体表面と走査面の
平行が確保されるので、最良の分解能で映像が得られ
る。さらに、被検体表面と走査面の平行状態を誰でも容
易に得ることができるので、作業効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の一実施例の超音波映像検査
装置のブロック図である。

【図２】図２は、平行出し装置の説明図である。

【図３】図３は、画面上に表示された基準線の説明図で
ある。

【図４】図４は、被検体に対する平行出し処理のフロー
チャートである。

【符号の説明】

１…走査機構、２…スキャン制御装置、３…プローブ、
４…超音波探傷器、５…ピーク検出回路、５ａ…ゲート
位置調整回路。６…時間計測回路、７…Ａ／Ｄ変換回
路、８…インタフェース、９…マイクロプロセッサ（Ｍ
ＰＵ）、１０…メモリ、１０ａ…基準位置記憶部、１０
ｂ…傾斜データ記憶部、１０ｃ…レーリ波音速データ記
憶部、１０ｄ…料傾斜状態測定プログラム、１０ｅ…平
行出し処理プログラム、１０ｆ…位置補正プログラム、
１１…画像処理装置、１２…画像メモリ、１３…ディス
プレイ、１４…バス、１５…操作パネル、１６…被検体
傾斜装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者竹内健茨城県土浦市神立町650番地日立建機株式会社土浦工場内 (72)発明者山口祥司茨城県土浦市神立町650番地日立建機株式会社土浦工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＸＹ平面に沿って被検体を載置する載置台
と、この載置台をＸＺ面あるいはＹＺ面内において所定
の点を中心に回動させる載置台傾斜機構と、プローブを
ＸＹＺ方向に移動させる移動機構と、前記被検体の表面
のＸ方向またはＹ方向において設定された基準点から実
質的に等距離の前記表面上の２点と前記プローブまでの
距離をそれぞれ算出して算出された前記２点間の距離に
基づいて前記表面の傾斜量を得て前記基準点を前記載置
台傾斜機構により前記被検体の表面の傾斜をキャンセル
する方向に前記傾斜量分回転させ、回転後の前記基準点
の移動量を算出する演算制御装置とを備える超音波映像
検査装置。
【請求項２】ＸＹ平面に沿って被検体を載置する載置台
と、この載置台をＸＺ面あるいはＹＺ面内において所定
の点を中心に回動させる載置台傾斜機構と、プローブを
ＸＹＺ方向に移動させる移動機構と、前記被検体の表面
のＸ方向またはＹ方向において設定された基準点と前記
プローブとの第１の距離を算出し、前記基準点から実質
的に等距離の前記表面上の２点と前記プローブとの第
２，第３の距離を算出して前記第２及び第３の距離と前
記２点間の距離とに基づいて前記表面の傾斜量を得て前
記基準点を前記載置台傾斜機構により前記被検体の表面
の傾斜をキャンセルする方向に前記傾斜量分回転させ、
前記第１の距離と回転前の前記基準点の位置とに基づい
て前記ＸＺ面あるいは前記ＹＺ面内における前記基準点
の回転後の移動量を算出して前記移動機構により前記プ
ローブの位置を移動させて前記基準点に対応させる演算
制御装置とを備える超音波映像検査装置。
【請求項３】さらに、前記演算制御装置は、前記中心を
通るＺ方向に平行な半径を基準とした回転前の前記基準
点の角度と回転後の前記基準点の角度とをそれぞれ算出
し、前記基準点の回転後の移動量をこれら角度と前記第
１の距離と回転前の前記基準点の位置とに基づいて算出
する請求項２記載の超音波映像検査装置。
【請求項４】さらに、前記演算制御装置は、干渉縞の波
長を算出する手段と、この手段により算出された波長の
１／２以下の所定値を基準値として傾斜した前記被検体
の表面の最大差が前記基準値以下であるか否かを判定す
る手段とを有し、前記最大差が前記基準値以下になるま
で前記傾斜量分の回転を行う請求項３記載の超音波映像
検査装置。