JP2000321254A

JP2000321254A - 音響強度分布測定装置における超音波振動子の音軸調整方法

Info

Publication number: JP2000321254A
Application number: JP11130965A
Authority: JP
Inventors: Yuji Wada; 裕司和田
Original assignee: Fuji Photo Optical Co Ltd
Current assignee: Fujinon Corp
Priority date: 1999-05-12
Filing date: 1999-05-12
Publication date: 2000-11-24

Abstract

(57)【要約】【課題】超音波振動子用の音響強度分布測定装置の音
軸調整方法において、簡易且つ短時間で、音軸と測定面
とを略垂直にすることができるようにする。【解決手段】測定面と平行で且つ超音波振動子５３か
らの距離が比較的小さいＸ軸座標がｘ１のＡ面上の各位
置において、超音波振動子５３から発せられた超音波の
強度を測定して、該強度のピーク地点（１，３，５・・
・）を検出する第１ステップと、検出したピーク地点を
測定面と垂直なＸ軸に平行に、超音波振動子５３からの
距離が比較的大きくなるようにｘ２まで移動したＢ面上
の地点（２，４，６・・・）において、超音波振動子５
３から発せられた超音波の強度を測定して、該強度がピ
ークとなるように、超音波振動子５３の角度を調整する
第２ステップとをｎ回繰り返すことにより、音軸をＸ軸
に平行に収束させ、結果として、音軸を測定面に対して
略垂直に調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波診断装置
等、超音波を利用する機器の性能を評価するために用い
る音響強度分布測定装置において、超音波振動子の音軸
を測定面に対して略垂直にするための調整方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、超音波内視鏡や超音波診断装置
等、超音波振動子を使用し、該超音波振動子から発せら
れた超音波を利用する機器（以下超音波機器という）が
実用化されている。この超音波機器を使用するに際して
は、超音波振動子から所定の距離における音響強度分布
により、該超音波機器の分解能などの性能が決めるた
め、この音響強度分布を把握することが必要とされる。

【０００３】音響強度分布の測定を行うための装置（以
下音響強度分布測定装置という）としては、超音波振動
子から発せられた超音波を受信する超音波センサと、該
超音波センサを保持すると共に超音波振動子から所定距
離離れた測定面上を移動せしめることができるセンサ保
持手段と、超音波振動子を保持する振動子保持手段と、
測定面上の各位置において超音波振動子から発せられた
超音波を超音波センサで受信して得た電気信号の振幅に
基づいて超音波振動子の音響強度分布を取得する音響強
度分布取得手段とを備えたものがある。

【０００４】音響強度分布を測定する場合、超音波振動
子の音軸（超音波強度が最大となる軸であって、一般に
は送信面の鉛直軸に相当する）に略垂直な測定面上にお
ける超音波の強度を測定する必要がある。一方、従来の
音響強度分布測定装置においては、前記測定面は固定さ
れた面であるため、超音波振動子の音軸を測定面に対し
て垂直にするには、超音波振動子の保持角度を調整する
こと、所謂音軸調整が必要となる。

【０００５】従来、この音軸の調整方法として、例え
ば、超音波振動子の送信面の前記測定面に対する角度を
目視で確認しながら調整するという方法があった。ま
た、測定時には特に音軸の調整を行わず、音軸のズレ量
分をデータ処理（数値計算）によって補正するという方
法もあった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
超音波プローブ内の超音波振動子はシースに覆われて見
え難いため、超音波振動子の位置や角度を正確に把握す
ることができず、目視で確認しながら調整するという方
法では、調整後にも音軸が傾いている虞があり、音響強
度分布を正確に測定することは困難であった。

【０００７】また、データ処理によって補正するという
方法においても、同様の理由により、音軸のズレ量を正
確に把握することができず、計算誤差が生じ正確な音響
強度分布を把握できず、また処理に多くの時間を要する
という問題もあった。

【０００８】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、音響強度分布を測定するに際して、超音波振動子
の音軸を正確且つ短時間に調整することができる音軸調
整方法を提供することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明による音軸調整方
法は、超音波振動子に近い、通常測定時の測定面と平行
な仮想平面上において超音波センサを移動させて超音波
強度が最大となるピーク地点を検出し、測定面に対して
垂直な軸に平行に且つ超音波振動子から遠ざかるように
前記ピーク点を移動させた所定の位置（第２の仮想平面
上の位置）において、超音波の強度が最大値となるよう
に超音波振動子の角度を調整し、これを繰り返すことに
よって音軸を調整するものである。すなわち、本発明に
よる音軸調整方法は、超音波振動子から所定距離だけ離
れた位置における測定面上を移動可能な超音波センサに
より、超音波振動子の音軸を中心とする前記測定面上の
各位置において、超音波振動子から発せられた超音波を
受信することにより、音軸を中心とする超音波振動子の
音響強度分布を測定する音響強度分布測定装置におい
て、超音波振動子の音軸を測定面に対して略垂直にする
ための調整方法であって、前記測定面と平行で且つ超音
波振動子からの距離が比較的小さい１つの仮想平面（第
１の仮想平面）上の各位置において、超音波振動子から
発せられた超音波の強度を測定して、該仮想平面内にお
ける超音波の強度が最大となるピーク地点を検出する第
１ステップと、検出したピーク地点から前記測定面に垂
直方向に、超音波振動子からの距離が比較的大きくなる
ように移動した所望の地点（第２の仮想平面上の地点）
において、超音波振動子から発せられた超音波の強度を
測定して、該強度が最大値となるように、超音波振動子
の角度を調整する第２ステップとからなり、前記測定面
と平行で且つ前記第２ステップにおける所望の地点より
も超音波振動子からの距離が比較的小さい平面を第１の
仮想平面として、前記第１ステップと前記第２ステップ
とからなるサイクルを繰り返すことにより、音軸が測定
面に対して垂直となるように収束せしめることを特徴と
するものである。

【００１０】ここで「超音波振動子の角度」とは、超音
波振動子の送信面の前記測定面に対する角度を意味す
る。

【００１１】測定面を該測定面に垂直な軸に平行に移動
させた、すなわち夫々が測定面に平行な面の超音波強度
が最大となるピーク点を多数連ねてなる軸が音軸となる
ので、このピーク点を連ねてなる軸が前記測定面に垂直
な軸と等しくなったときに、収束したと判断することが
できる。具体的には、上記第１ステップにおいて検出し
たピーク地点を第２ステップで移動せしめた所望の地点
において超音波の強度を測定したときに、超音波振動子
の角度を変更する必要がないとき、若しくは、第２ステ
ップにおける角度調整後の次のサイクルの第１ステップ
で検出したピーク地点が、前のサイクルの第２ステップ
の所望の地点と等しいときに収束したと判断することが
できる。

【００１２】収束速度を速くするには、両ステップにお
ける超音波振動子からの距離の差を大きくするとよい。

【００１３】なお、上記第１ステップと第２ステップと
を繰り返す際には、少なくとも前記測定面と平行で且つ
第２ステップにおける所望の地点よりも超音波振動子か
らの距離が比較的小さい平面を第１の仮想平面として繰
り返すものであればよく、最初のサイクルの第１の平面
の超音波振動子からの距離と次のサイクルの第１の平面
の超音波振動子からの距離は、異なっていてもよい。同
様に、最初のサイクルの所望の地点の超音波振動子から
の距離と次のサイクルの所望の地点の超音波振動子から
の距離は、異なっていてもよい。

【００１４】また、超音波振動子から第１の仮想平面
（第１ステップ）までの距離と超音波振動子から所望の
地点（第２ステップ）までの距離とは、相対的に前記の
大小関係を有していればいかなる大きさでもよく、また
いずれかが超音波振動子から前記測定面までの距離と同
じであってもよい。

【００１５】

【発明の効果】本発明による音軸調整方法によれば、超
音波振動子に近い、測定面と平行な仮想平面上におい
て、通常の測定と同じように超音波センサを移動させて
超音波強度のピーク点を検出し、次に、測定面に対して
垂直な軸に平行に、且つ超音波振動子から比較的長距離
となるように前記ピーク点を移動させた所定の点におい
て、超音波の強度がピークとなるように超音波振動子の
角度を調整し、これを繰り返すようにしたので、測定面
に対して垂直な軸と超音波振動子の音軸とがなす角度、
すなわち音軸のズレ角が、調整を繰り返す毎に次第に小
さくなり、最終的には測定面に対して垂直な軸と音軸と
が平行になり、結果として、超音波振動子の音軸を測定
面に対して略垂直にすることができるようになる。

【００１６】また、詳しくは後述するが、超音波振動子
の取付け位置や取付け角度に拘わらず、測定面に対して
垂直な軸と音軸とを精度よく平行に収束させることがで
き、調整後に音軸が傾いている虞は生じないので、音響
強度分布を正確に測定することができる。

【００１７】また、上述の調整ステップにおいて強度の
ピーク点を検出するに際しては、通常の音響強度分布の
測定方法と同様の方法を用いることができるので、簡易
且つ短時間に調整することができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について詳細に説明する。

【００１９】図１は、本発明による音軸調整方法を適用
する音響強度分布測定装置の概略構成図である。測定対
象である超音波機器５０は、超音波プローブ５１と該超
音波プローブ５１に駆動用の電気信号を送る超音波送信
機５２とを有する。超音波プローブ５１の先端部５１ａ
内には超音波振動子５３が設けられている。

【００２０】この図１に示す音響強度分布測定装置１０
は、超音波センサとしてハイドロホン１１を使用し、超
音波振動子５３とハイドロホン１１とが水中に位置する
ように設定して、音響強度分布を水中で測定するもので
ある。すなわち、該音響強度分布測定装置１０は、水槽
１２を備えており、その中に水１３が入っている。

【００２１】水槽１２の周囲には固定脚１４が設けら
れ、この固定脚１４の一方１４ａには、Ｌ字状の振動子
固定部２０が、Ｌ字の先端部２０ａが水１３の上部に位
置するように固設されている。

【００２２】振動子固定部２０の先端部２０ａには傾斜
ステージ２１および回転ステージ２２が設けられ、更
に、振動子固定アーム２３の先端部２３ａが水１３に浸
るように振動子固定アーム２３が取り付けられている。
超音波プローブ５１の先端部５１ａ内の超音波振動子５
３が、水１３中に位置するように、振動子固定アーム２
３の先端部２３ａに超音波プローブ５１の先端部５１ａ
が保持される。

【００２３】傾斜ステージ２１と回転ステージ２２によ
って、振動子固定アーム２３の先端部２３ａに保持され
た超音波プローブ５１の先端部５１ａの、ハイドロホン
１１に対する向きを調整することができるようになって
おり、結果として、超音波振動子５３の送信面のハイド
ロホン１１に対する向き（角度）を調整することができ
るように構成されている。

【００２４】一方、固定脚１４の他方１４ｂには、ＸＹ
テーブル３１、垂直軸３２およびＺ軸アーム３３からな
るＸＹＺ軸ロボット３０が、ＸＹテーブル３１が水１３
の上部まで延びて位置するように固設されている。ＸＹ
テーブル３１には垂直軸３２がＸＹテーブル３１上で移
動可能に設けられている。このＸＹテーブル３１の移動
可能な面をＸＹ面とする。垂直軸３２には、Ｚ軸アーム
３３が、この垂直軸３２の軸方向、すなわちＸＹ面と垂
直な方向に移動可能に取り付けられている。Ｚ軸アーム
３３の先端部３３ａにはハイドロホン固定部３４が設け
られ、このハイドロホン固定部３４が水１３の中に浸っ
ており、このハイドロホン固定部３４にハイドロホン１
１が取り付けられている。

【００２５】駆動モータ３５ｘ，３５ｙがＸＹテーブル
３１に設けられ、駆動モータ３５ｚが垂直軸３２の上部
３２ａに設けられている。これらの駆動モータ３５ｘ，
３５ｙ，３５ｚにはコントローラ３６が接続されてお
り、このコントローラ３６から駆動モータ３５ｘに駆動
電流が供給されることにより垂直軸３２がＸＹ面のＸ軸
方向（図中左右方向）に移動し、同じく駆動モータ３５
ｙに駆動電流が供給されることにより垂直軸３２がＸＹ
面のＸ軸と直交するＹ軸方向（図中奥行き方向）に移動
する。また駆動モータ３５ｚに駆動電流が供給されるこ
とにより、Ｚ軸アーム３３がＸ軸およびＹ軸と直交する
Ｚ軸方向（図中上下方向）に移動する。つまり、ＸＹＺ
軸ロボット３０は、Ｚ軸アーム３３の先端部３３ａに設
けられたハイドロホン固定部３４に取り付けられたハイ
ドロホン１１を、互いに直交するＸ軸，Ｙ軸およびＺ軸
の３軸方向に移動させることができるように構成されて
いる。

【００２６】これにより、超音波プローブ５１の先端部
５１ａ内の超音波振動子５３に対してハイドロホン１１
を任意の距離に設定すると共に、Ｙ軸およびＺ軸からな
るＹＺ平面を走査面（移動面）として、該ＹＺ平面上を
移動するハイドロホン１１により、超音波振動子５３の
音軸を中心とするＹＺ平面上の各位置において、超音波
振動子５３から発せられた超音波を受信することができ
るようになっている。超音波を受信して得たハイドロホ
ン１１の出力信号はケーブル１５を介して超音波受信器
１６に入力される。

【００２７】超音波送信機５２、超音波受信器１７およ
びコントローラ３６はパソコン等のシステム制御装置１
７と接続されている。システム制御装置１７は、超音波
送信機５２等に指令を発して装置の動作を制御するもの
であると共に、ハイドロホン１１から送られてきた電気
信号とＹＺ平面上のハイドロホン１１の位置とを対応さ
せて処理することにより、超音波振動子５３の音響強度
分布を取得するものでもある。

【００２８】次に上記構成の音響強度分布測定装置１０
において、超音波振動子５３の音軸を調整する方法につ
いて、図２〜図４を参照して説明する。図２は本発明に
よる音軸調整方法を３次元で示した図、図３は本発明に
よる音軸調整方法を２次元で示した図、図４は超音波振
動子の角度調整における送信部の移動を説明する図であ
る。

【００２９】先ず、ＸＹＺ軸ロボット３０により、水１
３の中でハイドロホン１１を超音波プローブ５１の先端
部５１ａに対して所定の距離に設定する。具体的には、
図２に示すように、Ｘ座標がｘ１の点におけるＹＺ平面
を仮想測定面（以下Ａ面という）として、このＡ面上の
任意の位置にハイドロホン１１を配置する。

【００３０】次に、超音波送信器５２から超音波振動子
５３に電気信号を送って駆動し、超音波振動子５３から
超音波を水１３の中に放射させる。

【００３１】放射された超音波は水１３の中を伝搬して
ハイドロホン１１に到達し、このハイドロホン１１で受
信され、電気信号に変換される。この電気信号は超音波
受信器１６で遅延合成などの処理が行われ、ハイドロホ
ン１１が受信した超音波の強度に応じた振幅レベルの受
信信号に変換され、システム制御装置１７に送られる。

【００３２】そして、超音波振動子５３から超音波を発
しながら、ＸＹＺ軸ロボット３０により、通常の音響強
度分布を測定する場合と同様に、仮想測定面であるＡ面
上をハイドロホン１１の位置を変えながら（走査しなが
ら）、上記と同様に超音波振動子５３から発せられた超
音波の強度を各位置毎に測定し、強度のピーク地点を検
出する（本発明の第１ステップに相当）。すなわち、ハ
イドロホン１１のＡ面上の各位置と受信信号の振幅の関
係をプロットすることにより、Ａ面上における超音波振
動子５３の音響強度分布を求め、その結果として、強度
のピーク地点を検出する。このピーク地点を図２および
図３中において“１”と示す。

【００３３】次に、検出したピーク地点１を、測定面と
垂直な軸（Ｘ軸）に平行に、且つ超音波振動子５３から
の距離が、前述のＡ面上の位置よりも比較的大きくなる
ように移動せしめた、Ｘ座標がｘ２の点におけるＹＺ平
面を仮想測定面（以下Ｂ面という）とする、該Ｂ面上の
地点（図中において“２”と示す）までハイドロホン１
１を移動させる。そして、この地点２において、超音波
振動子５３から発せられた超音波の強度を測定して、該
強度がピークとなるように、傾斜ステージ２１と回転ス
テージ２２とにより超音波振動子５３の角度を調整する
（本発明による第２ステップに相当）。この角度調整に
より、調整前の音軸が図中“ａ”で示す方向にあったも
のが、よりＸ軸に対して平行に近い“ｂ”で示す方向に
なる。なお、ここでは角度調整時の回転中心が送信部５
３ａ、すなわち超音波振動子５３の角度を調整しても、
送信部５３ａの位置は変わらないものとして示してい
る。

【００３４】次に、ハイドロホン１１をＡ面上まで移動
させ、このＡ面上において、上述と同様に、超音波強度
のピーク地点を検出する。このピーク地点は、軸“ａ”
よりも、Ｘ軸に対して平行に近い軸“ｂ”上の点となる
から、図中“３”で示す地点となる。

【００３５】以下、上述と同様の処理を繰り返すことに
より、超音波振動子５３の音軸が、図中“ａ”、
“ｂ”、“ｃ”と示すように、次第にＸ軸に対して平行
となるように収束する。

【００３６】図３は、この収束の過程をより詳細に説明
するために、Ｘ軸およびＺ軸の２次元で示したものであ
る。図３において、方向ａの音軸のＸ軸に対する角度を
θａとする。このθａは、音軸の最初のズレ角を表す。

【００３７】超音波振動子５３の送信部５３ａを原点０
とするＸ軸上の位置ｘ１にＡ面が配され、より離れた位
置ｘ２にＢ面が配される。ｘ１は送信部５３ａからＡ面
までの距離を表し、ｘ２は送信部５３ａからＢ面までの
距離を表す（ｘ１＜ｘ２）。上述した調整によって、音
軸の向きがｂ，ｃ，ｄと変更されたものとし、夫々がＸ
軸となす角度をθｂ，θｃ，θｄとする。

【００３８】Ａ面上における超音波強度のピーク地点
“１”のＺ１軸上の距離と、Ｂ面上における超音波強度
のピーク地点“２”のＺ２軸上の距離とは同じであるか
ら、ｘ１・ｔａｎθａ＝ｘ２・ｔａｎθｂより、ｔａｎθｂ＝（ｘ１／ｘ２）・ｔａｎθａとなる。同様にｔａｎθｃ＝（ｘ１／ｘ２）・ｔａｎθｂ＝（ｘ１／ｘ
２）²・ｔａｎθａｔａｎθｄ＝（ｘ１／ｘ２）・ｔａｎθｃ＝（ｘ１／ｘ
２）³・ｔａｎθａとなる。

【００３９】つまり、上述した調整方法における第１お
よび第２ステップからなる１サイクルをｎ回繰り返すも
のとすれば、調整後の音軸のズレ角θｎは、 θｎ＝ｔａｎ^-1｛（ｘ１／ｘ２）ⁿ・ｔａｎθａ｝と表すことができ、ズレ角θｎは次第に０に近づく。つ
まり音軸は、Ｘ軸に対して平行となるように収束する。

【００４０】なお、超音波振動子５３からの距離の差が
大きく、（ｘ１／ｘ２）が小さい程、少ない回数で収束
することになる。具体的には、Ａ面を超音波振動子５３
に近接して配し（ｘａ→０）、Ｂ面を遠距離に配する
（ｘｂ→∞）程、少ない回数で収束する。

【００４１】Ｘ軸は、本来の音響強度分布を測定すべき
Ｘ座標上の所定の位置における測定面に対して垂直な軸
であるから、上述のように音軸がＸ軸に対して平行（本
例ではＸ軸そのもの）となるように収束させた後に音響
強度分布を測定すれば、強度のピーク点は測定面に対し
て垂直となるＸ軸上にあることになり、精度の良い測定
を行うなうことができるようになる。

【００４２】また、超音波振動子からのＸ軸上の測定距
離が異なるだけで、通常の音響強度分布を測定する場合
と略同様の測定方法によって超音波強度のピークを検出
することができ、調整作業を簡易且つ迅速に行うことが
できる。

【００４３】上述の説明は、超音波振動子５３の角度を
調整しても、送信部５３ａの位置は変わらないものとし
て説明したものであるが、実際には、超音波プロープ５
１の先端部５１ａ内の超音波振動子５３の取付け位置や
取付け角度は、必ずしも正確に把握できるというもので
はない。したがって、傾斜ステージ２１および回転ステ
ージ２２により先端部５１ａの向きを調整したときに、
送信部５３ａを中心に回転するように、振動子固定アー
ム２３の先端部２３ａに超音波プローブ５１の先端部５
１ａを保持することは困難である。この場合、角度調整
時における送信部５３ａの動きは、図４に示すようにな
る。すなわち、送信部５３ａとは異なる位置Ｏを回転中
心として角度調整が行われる。このため、ａ，ｂ，ｃと
いうように音軸を調整する毎に、送信部５３ａの位置も
変動する。しかしながら、このように送信部５３ａの位
置が変動しても、本発明による調整方法においては、音
軸はＸ軸に対して平行となるように次第に収束するとい
うことに変わりはない。

【００４４】したがって、上述のように音軸がＸ軸に対
して平行となるように収束させた後に音響強度分布を測
定すれば、強度のピーク点は測定面に対して垂直なＸ軸
と平行な軸上にあることになり、角度調整時における回
転中心が何れの位置にあるかに拘わらず、音軸を測定面
に対して略垂直にすることができ、音響強度分布を精度
良く測定することができる。

【００４５】なお、上述の説明は、ＸＹＺ軸ロボットを
用いて、通常測定時に使用されるハイドロホンをＡ面お
よびＢ面に移動させて調整を行うようにしたものである
が、これに限らず、超音波振動子から発せられる超音波
を受信することができるセンサを各面の所望の位置に配
するようにしてもよい。

【００４６】また、上述の説明は、超音波振動子から発
せられる超音波の強度が最大となるＡ面上におけるピー
ク地点を求め、また、このピーク地点を超音波振動子か
ら遠ざかるように移動したＢ面上の地点において、超音
波振動子から発せられる超音波の強度が最大値となるよ
うに超音波振動子の角度を調整するようにし、これを繰
り返すことによって音軸を調整するものとしているが、
本発明はこれに限定されるものではない。つまり、第１
ステップと第２ステップからなる１サイクルを繰り返す
に際しては、少なくとも測定面と平行で且つ第２ステッ
プにおける所望の地点よりも超音波振動子からの距離が
比較的小さい平面を第１の仮想平面として繰り返すもの
であればよく、最初のサイクルの第１の平面の超音波振
動子からの距離と次のサイクルの第１の平面の超音波振
動子からの距離、および最初のサイクルの所望の地点の
超音波振動子からの距離と次のサイクルの所望の地点の
超音波振動子からの距離は、夫々異なっていてもよく、
新たに設定された新しい面を、次のサイクルのそれぞれ
のＡ面若しくはＢ面として上述した両ステップを繰り返
すようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による音軸調整方法を適用する音響強度
分布測定装置の概略構成図

【図２】本発明による音軸調整方法を３次元で示した図

【図３】本発明による音軸調整方法を２次元で示した図

【図４】超音波振動子の角度調整における送信部の移動
を説明する図

【符号の説明】

１０音響強度分布測定装置１１ハイドロホン（超音波センサ）５３超音波振動子２１傾斜ステージ２２回転ステージ２３振動子固定アーム３０ＸＹＺロボット３１ＸＹテーブル３２垂直軸３３Ｚ軸アーム３４ハイドロホン固定部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】超音波振動子から所定距離だけ離れた位
置における測定面上を移動可能な超音波センサにより、
前記超音波振動子の音軸を中心とする前記測定面上の各
位置において、前記超音波振動子から発せられた超音波
を受信することにより、前記音軸を中心とする前記超音
波振動子の音響強度分布を測定する音響強度分布測定装
置において、前記音軸を前記測定面に対して略垂直にす
るための調整方法であって、前記測定面と平行で且つ前記超音波振動子からの距離が
比較的小さい１つの仮想平面上の各位置において、前記
超音波振動子から発せられた超音波の強度を測定して、
該仮想平面内における前記超音波の強度が最大となるピ
ーク地点を検出する第１ステップと、前記ピーク地点から前記測定面に垂直方向に、前記超音
波振動子からの距離が比較的大きくなるように移動した
所望の地点において、前記超音波振動子から発せられた
超音波の強度を測定して、該強度が最大値となるよう
に、前記超音波振動子の角度を調整する第２ステップと
からなり、前記測定面と平行で且つ前記所望の地点よりも前記超音
波振動子からの距離が比較的小さい平面を前記仮想平面
として、前記第１ステップと前記第２ステップとを繰り
返すことにより、前記音軸が前記測定面に対して垂直と
なるように収束せしめることを特徴とする音軸調整方
法。