JPH0814943A - 変位量検出装置 - Google Patents
変位量検出装置Info
- Publication number
- JPH0814943A JPH0814943A JP14965794A JP14965794A JPH0814943A JP H0814943 A JPH0814943 A JP H0814943A JP 14965794 A JP14965794 A JP 14965794A JP 14965794 A JP14965794 A JP 14965794A JP H0814943 A JPH0814943 A JP H0814943A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- shielding plate
- displacement
- face
- light receiving
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】検知する変位量を大きくし、受光面の受光位置
による光検知特性の影響を除去する。 【構成】互いに対向配置した発光部と受光部間の光路
に、光透過性の基質を有し且つその進退方向に沿ってそ
の光透過度が逓変する遮光板を光路を遮る方向に進退す
ることを特徴とする変位量検出装置。
による光検知特性の影響を除去する。 【構成】互いに対向配置した発光部と受光部間の光路
に、光透過性の基質を有し且つその進退方向に沿ってそ
の光透過度が逓変する遮光板を光路を遮る方向に進退す
ることを特徴とする変位量検出装置。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、各種の産業分野にお
いて位置センサなどとして用いられる変位量検出装置に
関する。
いて位置センサなどとして用いられる変位量検出装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来の変位量検出装置の例を図3に示
す。発光ダイオードを使用した発光部1の発光面1aと
フォトダイオードを使用した受光部2の受光面2aが平
行に対向し、光は発光面1aから垂直に発射され、受光
面2aに垂直に入射する。発光面1aと受光面2aの間
に遮光板4を光路に対して垂直に挿入し、これを位置を
検出したい対象物と一体に移動させることにより、発光
面1aより発射された光の一部が遮蔽されるので受光面
2aにおける受光光量が変化する。これを電気信号に変
換して位置を検出する。発光部1と受光部2は保持台3
により一体に保持されている。この構造では、遮光板4
が光路の一部を遮蔽することにより受光面に到来する光
束の断面積を変化させ、これによる受光光量の変化を検
出しているので、受光面2aの大きさの範囲内しか変位
量を検出できない。更に、受光面2aの変位方向の光検
知特性が一定でないと即ち受光面の検出特性に位置によ
るバラツキがあると変位を精度よく検出することができ
ない。
す。発光ダイオードを使用した発光部1の発光面1aと
フォトダイオードを使用した受光部2の受光面2aが平
行に対向し、光は発光面1aから垂直に発射され、受光
面2aに垂直に入射する。発光面1aと受光面2aの間
に遮光板4を光路に対して垂直に挿入し、これを位置を
検出したい対象物と一体に移動させることにより、発光
面1aより発射された光の一部が遮蔽されるので受光面
2aにおける受光光量が変化する。これを電気信号に変
換して位置を検出する。発光部1と受光部2は保持台3
により一体に保持されている。この構造では、遮光板4
が光路の一部を遮蔽することにより受光面に到来する光
束の断面積を変化させ、これによる受光光量の変化を検
出しているので、受光面2aの大きさの範囲内しか変位
量を検出できない。更に、受光面2aの変位方向の光検
知特性が一定でないと即ち受光面の検出特性に位置によ
るバラツキがあると変位を精度よく検出することができ
ない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、以上の問
題点を解決するもので、変位量の検出範囲を大きくし、
受光面の位置による特性のバラツキの影響も除去するも
のである。
題点を解決するもので、変位量の検出範囲を大きくし、
受光面の位置による特性のバラツキの影響も除去するも
のである。
【0004】
【課題を解決するための手段】この発明は、かかる目的
を達成するために、互いに対向配置した発光部と受光部
間の光路に、光透過性の基質を有し且つその進退方向に
沿ってその光透過度が逓変する遮光板を光路を遮る方向
に進退する構造を提供するものである。
を達成するために、互いに対向配置した発光部と受光部
間の光路に、光透過性の基質を有し且つその進退方向に
沿ってその光透過度が逓変する遮光板を光路を遮る方向
に進退する構造を提供するものである。
【0005】
【作用】発光部より発射された光は光路の断面形状を変
化させることなく遮光板を透過して受光部に到達する。
遮光板はその進退方向の透過率が変化しているので、受
光面に入射する透過光の強さが、遮光板の変位に応じて
変化し、結果的に受光部の出力の変化として取り出すこ
とができる。
化させることなく遮光板を透過して受光部に到達する。
遮光板はその進退方向の透過率が変化しているので、受
光面に入射する透過光の強さが、遮光板の変位に応じて
変化し、結果的に受光部の出力の変化として取り出すこ
とができる。
【0006】
【実施例】以下、この発明の実施例を図1を参照して説
明する。発光部1の発光面1aと受光部2の受光面2a
が平行に対向し、光は発光面1aより垂直に発射され、
受光面2aに垂直に入射する。発光面1aと受光面2a
の間に遮光板4が光路に対して略垂直方向に挿入され、
位置を検出したい対象物と一体に移動する。遮光板4は
透過率が変位方向に対して傾斜した特性を有しており、
発光面1aより発射された光束(A)5は遮光板4を透
過した際一部が吸収されて光量が減少して光束(B)6
になる。この光量を受光面2aで受光して、電気信号に
変換し、電気信号表示計7に送り、移動体の位置を検出
する。遮光板4は、透明石英ガラス板の片面(光の透過
方向と垂直な面)に酸化インジウム膜をコーティングし
たものを使用している。酸化インジウム膜は、変位方向
に対して膜厚が漸増するようにコーティングしてある。
光の透過率はそれに対応して、漸減する。発光部1と受
光部2は保持台3により一体に保持されている。
明する。発光部1の発光面1aと受光部2の受光面2a
が平行に対向し、光は発光面1aより垂直に発射され、
受光面2aに垂直に入射する。発光面1aと受光面2a
の間に遮光板4が光路に対して略垂直方向に挿入され、
位置を検出したい対象物と一体に移動する。遮光板4は
透過率が変位方向に対して傾斜した特性を有しており、
発光面1aより発射された光束(A)5は遮光板4を透
過した際一部が吸収されて光量が減少して光束(B)6
になる。この光量を受光面2aで受光して、電気信号に
変換し、電気信号表示計7に送り、移動体の位置を検出
する。遮光板4は、透明石英ガラス板の片面(光の透過
方向と垂直な面)に酸化インジウム膜をコーティングし
たものを使用している。酸化インジウム膜は、変位方向
に対して膜厚が漸増するようにコーティングしてある。
光の透過率はそれに対応して、漸減する。発光部1と受
光部2は保持台3により一体に保持されている。
【0007】なお、この発明の変形例として、遮光板4
は、図2のように透明石英ガラス板11の片面(光の透
過方向と垂直な面)に光を透過させない光遮蔽膜11a
をコーティングして光の透過できる領域を変化させるこ
とにより、変位方向の光の透過量を変えることもでき
る。また、別の変形例として、透明板を構成する物質の
変位方向の組成を変えて光の透過率を変化させた傾斜機
能材料を遮光板4として使用しても同様の効果が得られ
る。
は、図2のように透明石英ガラス板11の片面(光の透
過方向と垂直な面)に光を透過させない光遮蔽膜11a
をコーティングして光の透過できる領域を変化させるこ
とにより、変位方向の光の透過量を変えることもでき
る。また、別の変形例として、透明板を構成する物質の
変位方向の組成を変えて光の透過率を変化させた傾斜機
能材料を遮光板4として使用しても同様の効果が得られ
る。
【0008】また、遮光板4の光透過量を変位方向に対
して大きく変化させることで、変位測定の精度を向上す
ることができる。
して大きく変化させることで、変位測定の精度を向上す
ることができる。
【0009】
【発明の効果】この発明は、以上のように、受光面の変
位方向の長さの制約をうけないため、位置検出範囲の長
さを大きくとることができる。また、遮光板の変位に対
して受光面の受光位置が同一であるので、光検知特性の
受光面の位置による変動の影響を除去できる。
位方向の長さの制約をうけないため、位置検出範囲の長
さを大きくとることができる。また、遮光板の変位に対
して受光面の受光位置が同一であるので、光検知特性の
受光面の位置による変動の影響を除去できる。
【図1】この発明の実施例の変位量検出装置の構成を示
す図。
す図。
【図2】この発明の変形例の変位量検出装置の遮光板の
構成を示す図。
構成を示す図。
【図3】従来の変位量検出装置の構成を示す図。
1…発光部 1a…発光面 2
…受光部 2a…受光面 3…保持台
4…遮光板 7…電気信号表示計
…受光部 2a…受光面 3…保持台
4…遮光板 7…電気信号表示計
Claims (1)
- 【請求項1】互いに対向配置した発光部と受光部と、こ
の発光部と受光部間の光路に、この光路を遮る方向に進
退する遮光板と、受光部の出力を計測する手段とを備
え、遮光板を被測定物の変位に応動させることにより物
体の変位量を計測する装置において、前記遮光板を光透
過性の基質を有し且つその進退方向に沿ってその光透過
度が逓変する部材をもって構成したことを特徴とする変
位量検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14965794A JPH0814943A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 変位量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14965794A JPH0814943A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 変位量検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0814943A true JPH0814943A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15480010
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14965794A Pending JPH0814943A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 変位量検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0814943A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012159771A3 (de) * | 2011-05-26 | 2013-04-18 | Ghanem Husam | Sensor oder sensor-messeinheit mit einem mechanisch-elektrischen wandler |
EP2678592A2 (en) * | 2011-02-21 | 2014-01-01 | Emerson Electric Co. | Valves, pressure sensing devices, and controllers for heating appliances |
KR101357496B1 (ko) * | 2006-07-05 | 2014-02-03 | 엘지전자 주식회사 | 냉장고의 입력장치 |
JP2018514336A (ja) * | 2015-05-12 | 2018-06-07 | ブラウン ゲーエムベーハー | 処置力測定ユニットを備えた個人衛生装置 |
JP2019522203A (ja) * | 2016-07-11 | 2019-08-08 | プラッサー ウント トイラー エクスポート フォン バーンバウマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングPlasser & Theurer, Export von Bahnbaumaschinen, Gesellschaft m.b.H. | 軌道を測定するためのシステムおよび方法 |
-
1994
- 1994-06-30 JP JP14965794A patent/JPH0814943A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101357496B1 (ko) * | 2006-07-05 | 2014-02-03 | 엘지전자 주식회사 | 냉장고의 입력장치 |
EP2678592A2 (en) * | 2011-02-21 | 2014-01-01 | Emerson Electric Co. | Valves, pressure sensing devices, and controllers for heating appliances |
EP2678592A4 (en) * | 2011-02-21 | 2014-10-15 | Emerson Electric Co | VALVES, PRESSURE SENSORS, AND REGULATORS FOR HEATING EQUIPMENT |
WO2012159771A3 (de) * | 2011-05-26 | 2013-04-18 | Ghanem Husam | Sensor oder sensor-messeinheit mit einem mechanisch-elektrischen wandler |
JP2018514336A (ja) * | 2015-05-12 | 2018-06-07 | ブラウン ゲーエムベーハー | 処置力測定ユニットを備えた個人衛生装置 |
US10433636B2 (en) | 2015-05-12 | 2019-10-08 | Braun Gmbh | Personal hygiene device having treatment-force-measurement unit |
JP2019522203A (ja) * | 2016-07-11 | 2019-08-08 | プラッサー ウント トイラー エクスポート フォン バーンバウマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングPlasser & Theurer, Export von Bahnbaumaschinen, Gesellschaft m.b.H. | 軌道を測定するためのシステムおよび方法 |
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