SU1566316A1 - Устройство дл ослаблени оптического излучени и способ калибровки устройства дл ослаблени оптического излучени - Google Patents
Устройство дл ослаблени оптического излучени и способ калибровки устройства дл ослаблени оптического излучени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1566316A1 SU1566316A1 SU864065625A SU4065625A SU1566316A1 SU 1566316 A1 SU1566316 A1 SU 1566316A1 SU 864065625 A SU864065625 A SU 864065625A SU 4065625 A SU4065625 A SU 4065625A SU 1566316 A1 SU1566316 A1 SU 1566316A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- photodetector
- attenuator
- radiation
- attenuating
- aperture
- Prior art date
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к оптическому приборостроению, в частности к устройствам, предназначенным дл ослаблени оптического излучени . Цель изобретени - уменьшение градиента ослаблени за счет применени пленочного ослабител и увеличение точности при калибровке путем получени эталонного сигнала с фотоприемника при установке ослабител в плоскости апертуры фотоприемника. Устройство дл ослаблени оптического излучени содержит ослабитель, выполненный в виде пленки из диэлектрического или провод щего материала на подложке, источник излучени 1, формирователь 4, согласующий апертуру источника излучени с фотоприемником 5. При перемещении ослабител между формирователем и фотоприемником происходит изменение сигнала с фотоприемника, причем градиент ослаблени мал. Способ калибровки устройства дл ослаблени оптического излучени включает в себ сравнение эталонного и измер емого сигналов с фотоприемника. За эталонный принимаетс сигнал с фотоприемника при установке ослабител в плоскости апертуры фотоприемника, а за измеренный - при другом положении ослабител в плоскости формирователь-фотоприемник. 2 с.п.ф-лы. 2 ил.
Description
1
(21)4065625/24-10
(22)02.04.86
(46) 23.05.90. Бюл. № 19 (75) М.М.Дедловский
(53)535.241.19 (088.8)
(56)Импульсна фотометри . Сб. статей , вып. 6. Л.: Машиностроение, 1979, с. 120.
(54)УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСЛАБЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ И СПОСОБ КАЛИБРОВКИ УСТРОЙСТВА ДЛЯ ОСЛАБЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
(57)Изобретение относитс к оптическому приборостроению, в частности
к устройствам, предназначенным дл ослаблени оптического излучени . Цель изобретени - уменьшение градиента ослаблени за счет применени пленочного ослабител и увеличение точности при калибровке путем получени эталонного сигнала с фотоприемника при установке ослабител в плоскости апертуры фотоприемника. Устройство дл ослаблени оптического излучени содержит ослабитель, выполненный в виде пленки из диэлектрического или провод щего материала на подложке, источник излучени 1, формирователь 4, согласующий апертуру источника излучени с фотоприемником 5. При перемещении ослабител между формирователем и фотоприемником происходит изменение сигнала с фотоприемника, причем градиент ослаблени мал. Способ калибровки устройства дл ослаблени оптического излучени включает в себ сравнение эталонного и измер емого сигналов с ослабител в плоскости апертуры фотоприемника, а за измеренный - при другом положении ослабител в плоскости формирователь - фотоприемник . 2 с. п. ф-лы. 2 ил.
(Л
/
7
СП
О
Изобретение относитс к оптическому приборостроению, в частности к фотометрическим измерительным приборам .
Цель изобретени - уменьшение градиента ослаблени и повышение точности при калибровке устройства.
На фиг. 1 приведено устройство ослабител ; на фиг. 2 - схема уст- ройства дл ослаблени интенсивности излучени .
Устройство ослабител содержит держатель 1 и пленку-ослабитель 2. Устройство (дл ослаблени ) содер- жит источник 3 излучени , линзу- формирователь 4, фотоприемник 5 и
схему 6 индикации.
Устройство дл ослаблени оптического излучени работает следую- щим образом.
Излучение источника 3 проходит через линзу-формирователь 4, котора сопр гает апертуру источника излучени с апертурой фотоприемника, ослабитель 1 и попадает на фотоприемник 5 со схемой 6 индикации. При изменении рассто ни .L между осча- бителем 1 и фотоприемником 1 проис- ходит изменение величины излучени , попадающего на фотоприемник. Способ калибровки устройства дл ослаблени излучени заключаетс и следующем.«
0
0 5
5
При калибровке устройства дл ослаблени интенсивности (фиг. 2) за эталонный принимаетс сигнал с фотоприемника при установке ослабител 2 в плоскости апертуры фотоприемника А-А, а за контрольный - Б любой другой плоскости, перпендикул рной оптической оси в зоне между фотоприемником 5 и формирователем 4 излучени .
Claims (1)
1. Устройство дл ослаблени оптического излучени , содержащее источник излучени , ослабитель, ус- тлновленшш с возможностью перемещени , и фотоприемник, отличающеес тем, что, с целью уменьшени градиента ослаблени , ослаби- ТРЛЬ выполнен в виде прозрачной пленки из диэлектрического или провод щего материала на подложке, а апертуру источника согласовывают с апертурой фотоприемника.
. Способ калибровки устройства дл ослаблени оптического излучени , включающий операции сравнени эталонного и образцового сигналов с фотоприемника, отличающий- с тем, , с целью повышени точности, в качестве эталонного используют сигнал с фотоприемника при установке ослабител в плоскости шертуры фотоприемника.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864065625A SU1566316A1 (ru) | 1986-04-02 | 1986-04-02 | Устройство дл ослаблени оптического излучени и способ калибровки устройства дл ослаблени оптического излучени |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864065625A SU1566316A1 (ru) | 1986-04-02 | 1986-04-02 | Устройство дл ослаблени оптического излучени и способ калибровки устройства дл ослаблени оптического излучени |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1566316A1 true SU1566316A1 (ru) | 1990-05-23 |
Family
ID=21237014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU864065625A SU1566316A1 (ru) | 1986-04-02 | 1986-04-02 | Устройство дл ослаблени оптического излучени и способ калибровки устройства дл ослаблени оптического излучени |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1566316A1 (ru) |
-
1986
- 1986-04-02 SU SU864065625A patent/SU1566316A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE7400508L (ru) | ||
| DE3689640D1 (de) | Fiberoptischer Sensor. | |
| UST102104I4 (en) | Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices | |
| SU1566316A1 (ru) | Устройство дл ослаблени оптического излучени и способ калибровки устройства дл ослаблени оптического излучени | |
| JPH0814943A (ja) | 変位量検出装置 | |
| RU2033603C1 (ru) | Способ измерения коэффициента отражения | |
| JPS5726704A (en) | Measuring instrument for three-dimensional shape | |
| SU1700510A1 (ru) | Способ определени прозрачности среды | |
| US3068687A (en) | Method and apparatus for measuring the surface tension of liquids | |
| JPS5612729A (en) | ?alignmening device for ic projection exposure equipment | |
| SU1689809A1 (ru) | Способ определени прозрачности атмосферы | |
| RU1784868C (ru) | Способ определени чистоты поверхности подложки | |
| SU1404813A1 (ru) | Способ градуировки фотоэлектрических измерителей амплитуды механических колебаний | |
| SU1562794A1 (ru) | Устройство дл измерени коэффициента отражени поверхностей | |
| SU673895A1 (ru) | Нефелометр | |
| JPS5690227A (en) | Optical fiber temperature detector | |
| EP0509847A2 (en) | Measuring the cross-sectional distribution of the refractive index of optical waveguides | |
| SU1603196A1 (ru) | Способ фотометрической градуировки нефелометров и устройство дл его осуществлени | |
| SU761847A1 (ru) | Устройство для бесконтактного измерения линейных перемещений и резонансных частот изделий 1 | |
| SU1150525A1 (ru) | Устройство дл регистрации зависимости интенсивности отраженного излучени от угла падени на исследуемый объект | |
| JPS6410103A (en) | Optical displacement sensor | |
| SU872955A1 (ru) | Способ измерени толщины сло и устройство дл его осуществлени | |
| SU1553868A1 (ru) | Фокометр | |
| JPS56130606A (en) | Optical measuring device for thickness of transparent material | |
| SU121957A1 (ru) | Зеркальный микроманометр |