JPH0814756A - スライド扉開口部の密閉構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置の開口部を閉止するスライド扉のシール
性を確保し、保温性と密閉性の向上を図るスライド扉開
口部の密閉構造を提供する。 【構成】 装置本体２の開口部３の外縁を囲んで台形状
の装置側枠形部材６を設けると共に開口部３に係合する
スライド扉４の開口部３側に装置側枠形部材６と相似形
の扉側枠形部材７を設け、両枠形部材６，７間にシール
部材８を介在させる。また、スライド扉４はリニアガイ
ドのガイドレール１０およびガイドブロック１１を介し
て装置本体２側に上下方向に摺動自在に支持される。ス
ライド扉４を閉止方向に移動すると閉止の少し前の位置
でシール部材８が両枠形部材６，７間で挟持され閉止位
置で完全に圧縮される。以上により、シール性が確保さ
れると共にシール部材の削り，損傷等が防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば有機感光体を製
造する際に使用する乾燥装置等の各種装置の開口部を閉
止するスライド扉開口部の密閉構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】各種装置の開口部のスライド扉に関して
は各種のものが数多く採用されている。例えば、特開平
５−５５１０１号公報には「半導体製造装置用チャンバ
ー扉開閉装置」に関する技術が紹介されている。このも
のは前記チャンバーに半導体を出入させる際の扉の開閉
を容易に行わしめるためのものである。しかしながらこ
の技術は扉の開口部の密閉構造について特に考慮してい
るものでなく、その主構成要素である操作部を収納する
スペースが大となる問題点を有すると共に扉の開閉が必
ずしも円滑に行われにくい問題点がある。

【０００３】装置の開口部に配置されるスライド扉とし
ては装置内の温度変化を少なくするため保温性に優れ、
かつ密閉性が良好であることが必要である。この要求を
一応満足した従来のスライド扉の密閉構造として図６お
よび図７に示すものがある。図示のように装置本体２ａ
の前面には開口部３が開口形成される。装置本体２ａの
開口部３の左右にはスライドガイド１４，１４が上下方
向に沿って固定される。スライド扉４ａは開口部３を閉
止すると共にスライドガイド１４，１４に案内されスラ
イドシリンダ１２ａによって上下動される。

【０００４】なお、装置本体２ａの開口部３を囲む外縁
部位にはシール部材１５が固定される。また、スライド
ガイド１４側には密着用シリンダ１６が固設される。密
着用シリンダ１６は開口部３を閉止したスライド扉４ａ
をシール部材１５側に押圧するものである。なお、密着
用シリンダ１６の押圧力はスライド扉４ａの開放時には
開放される。しかしながら、スライド扉４ａは円滑に上
下動するために上下動時においてはシール部材１５に接
触せず、かつスライドガイド１４とも若干の隙間を保持
して接触しかじり等が生じないように形成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図６，図７に示した従
来のスライド扉４ａにより装置本体２ａの開口部３は一
応シールされるが次のような問題点がある。すなわち、
前記したように開口部３まわりの密閉性を保持するには
スライド扉４ａを密着用シリンダ１６によりシール部材
１５側に押圧することが必要である。

【０００６】しかしながら、密着用シリンダ１６は部分
的に配置されているものでその部分におけるスライド扉
４ａとシール部材１５との密着性はよいがその他の部分
では密着性が確保されにくい。そのため、密着性を向上
させるため密着用シリンダ１６の数を増加したり、スラ
イド扉４ａとシール部材１５間の隙間を極力少なくする
ことが必要になる。前者の場合はコスト高となる問題点
が生じ、後者の場合はスライド扉４ａの上下動時にスラ
イド扉４ａとシール部材１５との面接触が生じ、シール
部材１５が削られ摩滅し又は損傷する問題点が生じる。

【０００７】また、スライド扉４ａはスライドガイド１
４側に若干の隙間を介して支持されているためスライド
扉４ａの上下動が円滑に行われない問題点があった。更
に、図６に示すように密着用シリンダ１６がスライドガ
イド１４の表面から出っ張って配置されるためその分設
置スペースが広くなりスペース効率が低下する問題点が
あった。

【０００８】本発明は、以上の問題点を解決するもの
で、開口部の密閉性が良く装置内部の保温性が向上する
と共に、シール部材の損傷や機能低下が少なく、摩滅も
低減し、かつスライド扉の上下動が円滑に行われるスラ
イド扉開口部の密閉構造を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のスライ
ド扉開口部の密閉構造は、装置の開口部を上下にスライ
ドする扉で密閉する開口部の密閉構造であって、前記装
置の開口部まわりを台形状の装置側枠形部材で囲むと共
に前記スライド扉側の前記枠形部材と係合する位置に前
記枠形部材と相似形の台形状の扉側枠形部材を設け、該
扉側枠形部材又は前記装置側枠形部材のいずれか一方又
は双方にスライド扉の閉止時において相互の枠形部材間
で挟持されるシール部材を固着してなることを特徴とす
る。

【００１０】請求項２に記載のスライド扉開口部の密閉
構造は、前記枠形部材は上辺又は下辺が短辺に形成され
るものであることを特徴とする。

【００１１】請求項３に記載のスライド扉開口部の密閉
構造は、前記スライド扉は上下方向に沿って配置された
リニアガイドにより摺動自在に支持されてなることを特
徴とする。

【００１２】請求項４に記載のスライド扉開口部の密閉
構造は、前記装置が乾燥装置であることを特徴とする。

【００１３】

【作用】スライド扉はその両側をリニアガイドにより案
内されるため上下動が円滑に、かつガタなく行われる。
一方、シール部材は装置側枠形部材と扉側枠形部材との
間に設けられ、スライド扉の閉止時においては両枠形部
材でシール部材を挟持するためシールの確実化が図られ
密閉性を確保することができる。両枠形部材は相似形の
台形状のものからなるため、シール部材はスライド扉の
閉止するわずか手前の位置からのみ両枠形部材間で挟持
される。そのため、シール部材の削れや損傷および摩滅
が殆ど発生しない。これにより、長期間にわたり装置保
温性，密閉性を確保することができる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。図１は本実施例の主要部の構造を説明するための
装置およびスライド扉の正面図、図２は閉止状態におけ
るスライド扉と装置の前面を示す正面図、図３は図２の
上面図、図４は図２の線Ｂ−Ｂ断面図、図５は図１の線
Ａ−Ａ断面図である。

【００１５】本実施例は図４等に示すように乾燥装置１
の装置本体２の開口部３を閉止するスライド扉４の密閉
構造を示すものである。装置本体２内にはヒータ５が設
けられている。また、図１に示すように開口部３は矩形
状の開口孔からなる。装置本体２の開口部３の外縁を囲
む前面には図１に示すように台形状の装置側枠形部材６
が固定される。

【００１６】なお、装置側枠形部材６はその上辺が短辺
の台形状の枠体から形成され、その横断面は図４に示す
ようにＬ形状のものからなる。一方、図１に示すように
スライド扉４の裏面側には装置側枠形部材６と相似形の
扉側枠形部材７が固定される。この扉側枠形部材７も図
４に示すようにＬ形状の横断面を有するものからなる。

【００１７】図１および図４に示すように装置側枠形部
材６の上方側にはシール部材８が台形状の輪郭に沿って
固着される。シール部材８の材質は特に限定するもので
はないが弾性を有し、かつ適度の押圧力に耐えると共に
シール性を有し、かつ用途によっては耐熱性，耐候性を
有するものが望ましい。また、シール部材８は扉側枠形
部材７の下方側に固着してもよいが、メンテナンスの面
から前記のように装置側枠形部材６側に固着する方が好
ましい。

【００１８】次に、スライド扉４を上下方向に沿って摺
動自在に装置本体２側に支持するリニアガイドについて
説明する。図１乃至図３に示すように装置本体２の前面
の両側には上下方向に沿ってガイドレール取付板９が固
定される。ガイドレール取付板９にはガイドレール１０
が上下方向に沿って固定される。一方、スライド扉４側
のガイドレール１０と相対向する位置にはガイドブロッ
ク１１が固定される。なお、ガイドブロック１１はガイ
ドレール１０に摺動自在に係着し、スライド扉４を案内
する。

【００１９】図１乃至図４に示すように、スライド扉４
の上端の中央部にはシリンダ１２のロッド１３の下端側
が連結される。なお、シリンダ１２は装置本体２側に固
持される。

【００２０】次に、本実施例の作用を説明する。図５は
スライド扉４が開口部３を開放する上方位置にある場合
を示す。すなわち、シリンダ１２を作動することにより
スライド扉４は上方に移動し、開口部３が露出される。

【００２１】一方、開口部３を閉止する場合には図５の
状態にあったスライド扉４をシリンダ１２を作動して下
方に移動させる。スライド扉４はそのガイドブロック１
１とガイドレール１０との係合により傾斜することなく
真直に下降し、かつガタなく円滑に移動する。扉側枠形
部材７が装置側枠形部材６に近接するとまず装置側枠形
部材６の台形状の傾斜部に固着しているシール部材８に
扉側枠形部材７が接触する。

【００２２】しかしながら、この傾斜部の傾斜角度によ
りスライド扉４の垂直方向の移動量に比較してシール部
材８の圧縮量は小さくシール部材８側からの極端な反力
作用は生じない。更に、スライド扉４が下降すると装置
側枠形部材６の上辺および下辺に固着しているシール部
材８に扉側枠形部材７が当接する。引き続きスライド扉
４を下降するとシール部材８は装置側枠形部材６と扉側
枠形部材７間により圧縮され両者により挟持される。そ
の結果、両枠形部材６，７はシール部材８を介して隙間
なく係合する。従って、開口部３は完全に閉止される。

【００２３】本実施例では従来技術のものと異なり、シ
ール部材８はスライド扉４が開口部３を閉止する位置の
少し前の位置までは扉側枠形部材７と当接しない。その
ため、シール部材８の損傷や削り等が発生しない。また
摩滅も少ない。

【００２４】以上の説明において装置側枠形部材６と扉
側枠形部材７の台形状の上辺を短辺のものとしたが上辺
が長辺で下辺が短辺のものでもよい。また、台形状の形
状は図１のものに限定するものではない。更に、リニア
ガイドの形状も前記のものに限定するものではない。更
に、本実施例の適用される装置は乾燥装置１に限定する
ものではなく、保温性，密閉性を必要とするすべてのス
ライド扉４に適用される。

【００２５】

【発明の効果】本発明によれば、次のような顕著な効果
を奏する。 １）スライド扉が開口部を閉止する少し前の位置からシ
ール部材が圧縮され、スライド扉が閉止位置に位置決め
された状態でシール部材が適圧で圧縮される構造に形成
されるため開口部は確実にシールされると共にシール部
材の削り，損傷，摩滅が生じない。 ２）装置の開口部はシール部材により囲まれ、シール部
材はスライド扉の閉止方向の移動に比例して圧縮される
構造から形成されるため優れたシール効果を発揮するこ
とができる。 ３）スライド扉はリニアガイドによりガタなく支持され
るため上下動が円滑に行われると共に、スライド扉側と
シール部材との係合位置が安定し、常時確実なシール性
を確保することができる。 ４）スライド扉より前方側への出っ張り部がなく、コン
パクトにまとめられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のスライド扉の開放時におけ
る正面図。

【図２】本実施例のスライド扉の閉止状態における正面
図。

【図３】図２の上面図。

【図４】図２の線Ｂ−Ｂ断面図。

【図５】図１の線Ａ−Ａ断面図。

【図６】従来のスライド扉の密閉構造の一例を示す上面
図。

【図７】図６の正面図。

【符号の説明】

１ 乾燥装置 ２ 装置本体 ３ 開口部 ４ スライド扉 ５ ヒータ ６ 装置側枠形部材 ７ 扉側枠形部材 ８ シール部材 ９ ガイドレール取付板 １０ ガイドレール １１ ガイドブロック １２ シリンダ １３ ロッド

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 装置の開口部を上下にスライドする扉で
   密閉する開口部の密閉構造であって、前記装置の開口部
   まわりを台形状の装置側枠形部材で囲むと共に前記スラ
   イド扉側の前記枠形部材と係合する位置に前記枠形部材
   と相似形の台形状の扉側枠形部材を設け、該扉側枠形部
   材又は前記装置側枠形部材のいずれか一方又は双方にス
   ライド扉の閉止時において相互の枠形部材間で挟持され
   るシール部材を固着することを特徴とするスライド扉開
   口部の密閉構造。
2. 【請求項２】 前記枠形部材は上辺又は下辺が短辺に形
   成されるものであることを特徴とする請求項１に記載の
   スライド扉開口部の密閉構造。
3. 【請求項３】 前記スライド扉は上下方向に沿って配置
   されたリニアガイドにより摺動自在に支持されてなるこ
   とを特徴とする請求項１に記載のスライド扉開口部の密
   閉構造。
4. 【請求項４】 前記装置が乾燥装置であることを特徴と
   する請求項１に記載のスライド扉開口部の密閉構造。