JPH08146091A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit

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JPH08146091A
JPH08146091A JP6287677A JP28767794A JPH08146091A JP H08146091 A JPH08146091 A JP H08146091A JP 6287677 A JP6287677 A JP 6287677A JP 28767794 A JP28767794 A JP 28767794A JP H08146091 A JPH08146091 A JP H08146091A
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Yasunori Yoshizawa
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Abstract

PURPOSE: To perform a high speed operation test without using a frequency divider circuit in a semiconductor integrated circuit requiring high speed operation exceeding the standards of an LSI tester. CONSTITUTION: Output terminals 102, 104 are directly connected to input terminals 105, 113 on a test board. A comparison circuit 107 performs the comparison of the coincidence/non-coincidence of the logic of the output data signal (a) of a circuit to be inspected and an expect value signal (c). A latch circuit 110 stores the output comparison result of the comparison circuit 107 and holds a memory state at the time of a high level showing non-coincidence even once in the comparison result. By this constitution, a high speed operation test exceeding the standards of an LSI tester can be performed within a semiconductor integrated circuit even when the LSI tester is not used. The memory content of the latch circuit 110 can be judged by the LSI tester through an output terminal 116.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路に係り、
特に高速動作が要求され、かつ、良品判定テストのため
の回路を備えた半導体集積回路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor integrated circuit,
In particular, the present invention relates to a semiconductor integrated circuit that requires a high-speed operation and that includes a circuit for a non-defective product determination test.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体集積回路は、一般的に大規模半導
体集積回路(LSI)用のテスタを用いて良品の選別を
行っている。この良品判定の項目の一つとして、動作ス
ピードの試験を行う場合がある。従来は、被測定の半導
体集積回路がLSIテスタの保証規格を越えた高速動作
を必要とされる場合は、LSIテスタでは規格内の低速
のテスト周期でのみ試験を行い、高速動作の試験は各半
導体集積回路に個別なテスト用パネルに実装して行って
いた。
2. Description of the Related Art Semiconductor integrated circuits generally use a tester for large-scale semiconductor integrated circuits (LSI) to select good products. An operation speed test may be performed as one of the items for determining the non-defective product. Conventionally, when a semiconductor integrated circuit to be measured is required to operate at a high speed exceeding the guaranteed standard of the LSI tester, the LSI tester performs a test only at a low-speed test cycle within the standard, and the high-speed operation is tested by each test. It was carried out by mounting the semiconductor integrated circuit on a separate test panel.

【0003】しかし、半導体集積回路の高速動作の試験
のためにはテスト用パネルが必要となるため、従来、図
3に示すようなテスト回路を備え、これにより高速動作
の試験を行うようにした半導体集積回路が提案されてい
る(特開平2−45971号公報)。
However, since a test panel is required to test the high-speed operation of the semiconductor integrated circuit, conventionally, a test circuit as shown in FIG. 3 is provided to test the high-speed operation. A semiconductor integrated circuit has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 2-45971).

【0004】この従来の半導体集積回路は、出力バッフ
ァを出力バッファ301と入力バッファ302とが直列
接続された双方向バッファに置き換え、出力バッファ3
01より出力端子303へ出力される信号を入力バッフ
ァ302にも入力し、この入力バッファ302の出力信
号を分周回路304を介してセレクタ回路305に論理
信号と共に供給し、このセレクタ回路305によりセレ
クト信号に基づいて選択した信号を、出力バッファ30
6を介して出力端子307へ出力する構成である。
In this conventional semiconductor integrated circuit, the output buffer is replaced with a bidirectional buffer in which an output buffer 301 and an input buffer 302 are connected in series.
The signal output from 01 to the output terminal 303 is also input to the input buffer 302, the output signal of the input buffer 302 is supplied to the selector circuit 305 together with the logic signal via the frequency dividing circuit 304, and the selector circuit 305 selects the signal. The signal selected based on the signal is output to the output buffer 30.
It is a configuration for outputting to the output terminal 307 via 6.

【0005】この従来の半導体集積回路によれば、テス
ト時にはセレクト信号によりセレクタ回路305が分周
回路304の出力信号を選択するようにし、高速動作に
よる信号を分周回路304により低速化して、その信号
をセレクタ回路305及び出力バッファ306を介して
出力端子307へ出力させ、この出力信号に基づいて良
否判定のテストを行うものである。
According to this conventional semiconductor integrated circuit, the selector circuit 305 selects the output signal of the frequency dividing circuit 304 by the select signal at the time of test, and the frequency dividing circuit 304 reduces the speed of the signal due to the high speed operation. A signal is output to the output terminal 307 via the selector circuit 305 and the output buffer 306, and a pass / fail judgment test is performed based on this output signal.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかるに、LSIテス
タで低速のテスト周期のみで試験を行う従来の半導体集
積回路では、実動作よりも遅いスピードでのテストしか
行えないため、高速動作に問題がある固体が良品として
判定されてしまう場合がある。そのため、再度テスト用
パネルに実装して高速動作の試験を行う必要が生じてい
る。
However, in the conventional semiconductor integrated circuit in which the LSI tester performs the test only in the low-speed test cycle, only the test at a speed slower than the actual operation can be performed, which causes a problem in the high-speed operation. A solid may be determined as a good product. Therefore, it is necessary to mount it on the test panel again to test the high-speed operation.

【0007】また、図3に示した従来の半導体集積回路
においては、分周前のテストパターンの周期毎にすべて
分周後の出力波形を検証することは行えないため、分周
後の出力波形が変化直後に数パターンの論理誤りが発生
していたとしても検出が行えない場合があるという問題
がある。
Further, in the conventional semiconductor integrated circuit shown in FIG. 3, since it is not possible to verify the output waveform after frequency division for every cycle of the test pattern before frequency division, the output waveform after frequency division can be verified. However, there is a problem in that detection may not be possible even if a logical error of several patterns occurs immediately after the change.

【0008】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
LSIテスタの規格を越える高速動作を要求される半導
体集積回路において、分周回路を用いることなく高速動
作テストを行い得る半導体集積回路を提供することを目
的とする。
The present invention has been made in view of the above points,
It is an object of the present invention to provide a semiconductor integrated circuit capable of performing a high speed operation test without using a frequency dividing circuit in a semiconductor integrated circuit which requires a high speed operation exceeding the standard of an LSI tester.

【0009】また、本発明の他の目的は、期待値信号の
位相とデータ信号の位相とが異なっていても、高速動作
のテスト結果を正確に得ることができる半導体集積回路
を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a semiconductor integrated circuit capable of accurately obtaining a test result of high-speed operation even when the phase of an expected value signal and the phase of a data signal are different. is there.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、被検証回路の出力データ信号と第1の入力
端子から与えられる期待値信号との論理の一致/不一致
を求める比較回路と、比較回路の出力比較結果を被検証
回路に与えられるテストパターンの1パターン周期毎に
記憶し、かつ、1パターン周期でも不一致を示す比較結
果を記憶した時はその記憶内容を保持し続ける第1のラ
ッチ回路と、第1のラッチ回路の出力信号を外部へ出力
する第1の出力端子とを有する構成としたものである。
In order to achieve the above object, the present invention provides a comparison circuit for determining whether or not the output data signal of the circuit under test and the expected value signal given from the first input terminal are in logic. And the output comparison result of the comparison circuit is stored for each pattern cycle of the test pattern given to the circuit to be verified, and when the comparison result indicating a mismatch even in the one pattern cycle is stored, the stored content is kept retained. The first latch circuit and the first output circuit output the output signal of the first latch circuit to the outside.

【0011】また、本発明では、第1のラッチ回路の出
力信号を所定パターン数毎に記憶して第1の出力端子へ
出力し、かつ、一度でも一致を示す比較結果を示してい
る第1のラッチ回路の出力信号を記憶した時にはその記
憶内容を保持し続ける第2のラッチ回路を有し、期待値
信号の位相を第1の位相から第2の位相まで所定パター
ン数毎に漸次所定位相ずつ変化させて比較結果を求める
ようにしたものである。
Further, according to the present invention, the output signal of the first latch circuit is stored for each predetermined number of patterns and is output to the first output terminal, and the comparison result showing a coincidence even once is shown. Has a second latch circuit that keeps the stored contents when the output signal of the latch circuit is stored, and the phase of the expected value signal is gradually increased from the first phase to the second phase by a predetermined pattern every predetermined number of patterns. The result of comparison is obtained by changing the value each time.

【0012】更に、本発明では、被検証回路の出力デー
タ信号を外部へ出力する第2の出力端子と、テストパタ
ーンの1パターン周期のクロック信号を外部へ出力する
第3の出力端子と、被検証回路の出力データ信号を外部
より入力される第2の入力端子と、第1のラッチ回路の
ラッチ信号を外部より入力される第3の入力端子とを有
する半導体集積回路において、第2の出力端子と第2の
入力端子間、及び第3の出力端子と第3の入力端子間を
テストボード上で直接接続するようにしたものである。
Further, according to the present invention, a second output terminal for outputting the output data signal of the circuit to be verified to the outside, a third output terminal for outputting a clock signal of one pattern period of the test pattern to the outside, and In a semiconductor integrated circuit having a second input terminal to which the output data signal of the verification circuit is externally input and a third input terminal to which the latch signal of the first latch circuit is externally input, a second output The terminals and the second input terminals and the third output terminals and the third input terminals are directly connected on the test board.

【0013】[0013]

【作用】一般的にLSIテスタの出力負荷容量は数十p
Fと大きく、この負荷が高速動作の検証を不可能にして
いる一因である。そこで、本発明では、被検証回路の出
力データ信号を外部へ取り出す出力端子が設けられてい
ない半導体集積回路においては、比較回路により上記デ
ータ信号と期待値信号との論理の比較を行い、その比較
結果を第1のラッチ回路に入力することにより、第1の
ラッチ回路より比較結果を得るようにしているため、分
周回路やLSIテスタを用いなくとも比較結果を得るこ
とができる。
[Operation] Generally, the output load capacity of an LSI tester is several tens of p
This is one of the reasons why this load makes verification of high-speed operation impossible. Therefore, in the present invention, in a semiconductor integrated circuit which is not provided with an output terminal for taking out the output data signal of the circuit to be verified, the comparison circuit compares the logics of the data signal and the expected value signal, and the comparison is performed. Since the comparison result is obtained from the first latch circuit by inputting the result to the first latch circuit, the comparison result can be obtained without using the frequency dividing circuit or the LSI tester.

【0014】また、本発明では、期待値信号の位相を第
1の位相から第2の位相まで所定パターン数毎に漸次所
定位相ずつ変化させて求めた比較結果を第2のラッチ回
路に記憶し、かつ、その比較結果が一度でも一致を示す
比較結果を示している時にはその記憶内容を保持し続け
るようにしたため、期待値信号のいずれかの位相で不一
致が生じなかったか否かの判定結果を第2のラッチ回路
より取り出すことができる。
Further, according to the present invention, the comparison result obtained by gradually changing the phase of the expected value signal from the first phase to the second phase by a predetermined phase for each predetermined number of patterns is stored in the second latch circuit. Moreover, when the comparison result shows a comparison result showing a match even once, since the stored contents are kept retained, it is possible to determine whether or not a mismatch occurs in any phase of the expected value signal. It can be taken out from the second latch circuit.

【0015】更に、本発明では、被検証回路の出力デー
タ信号を外部へ取り出す第2の出力端子が設けられてい
る半導体集積回路においては、被検証回路の出力データ
信号を外部より入力される第2の入力端子との間をテス
トボード上で直接接続するようにしたため、LSIテス
タを介在させることなく、データ信号と期待値信号との
論理の一致/不一致の比較結果を得ることができる。
Further, according to the present invention, in the semiconductor integrated circuit having the second output terminal for taking out the output data signal of the circuit to be verified to the outside, the output data signal of the circuit to be verified is inputted from the outside. Since the two input terminals are directly connected on the test board, it is possible to obtain the comparison result of the logic match / mismatch of the data signal and the expected value signal without interposing the LSI tester.

【0016】[0016]

【実施例】次に、本発明の実施例について説明する。図
1は本発明になる半導体集積回路の第1実施例の回路図
を示す。本実施例の半導体集積回路100は、元々出力
バッファ101及び103、出力端子102及び104
を有する半導体集積回路において、入力端子105、1
08及び113、入力バッファ106、109及び11
4、比較回路107、ラッチ回路110、出力バッファ
115及び出力端子116よりなるテスト回路を設けた
ものである。ラッチ回路110は、2入力OR回路11
1及びこのOR回路111の出力信号が入力端子に印加
されるフリップフロップ112よりなる。
Next, an embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 shows a circuit diagram of a first embodiment of a semiconductor integrated circuit according to the present invention. The semiconductor integrated circuit 100 according to the present embodiment originally has output buffers 101 and 103 and output terminals 102 and 104.
In the semiconductor integrated circuit having the
08 and 113, input buffers 106, 109 and 11
4, a comparison circuit 107, a latch circuit 110, an output buffer 115, and a test circuit including an output terminal 116 are provided. The latch circuit 110 is a 2-input OR circuit 11
1 and a flip-flop 112 to which an output signal of the OR circuit 111 is applied to an input terminal.

【0017】次に、本実施例の動作について説明する
に、この半導体集積回路100では、内部の被検証回路
に与えられるテストパターンにより得られた出力データ
信号aは出力バッファ101を介して出力端子102よ
り外部へ出力される。また、このデータ信号aに同期し
た、上記テストパターンの1パターン周期のクロック信
号bが、出力バッファ103を介して出力端子104よ
り外部へ出力される。LSIテスタの規格内の低速動作
時には、この出力端子102及び104の出力信号a及
びbがLSIテスタに入力され、期待値と比較され良否
が判定される。
Next, the operation of this embodiment will be described. In the semiconductor integrated circuit 100, the output data signal a obtained by the test pattern given to the circuit under test is output via the output buffer 101 to the output terminal. It is output from 102 to the outside. Further, the clock signal b of one pattern cycle of the test pattern, which is synchronized with the data signal a, is output from the output terminal 104 to the outside via the output buffer 103. When the LSI tester operates at a low speed within the standard, the output signals a and b of the output terminals 102 and 104 are input to the LSI tester and compared with an expected value to determine pass / fail.

【0018】しかし、LSIテスタの規格を越える高速
動作のテスト時には、LSIテスタとの接続を切断し、
DUTボード(LSIテスタとLSIのインタフェース
のためのテストボード)上で出力端子102及び104
をそれぞれ入力端子105及び113に接続する。この
接続には、実動作上の負荷条件を設定することも可能で
ある。なお、出力端子116がLSIテスタに接続され
るが、これは後述するように、期待値信号との比較のた
めではなく、単に比較結果の識別のためである。
However, when testing a high-speed operation that exceeds the standard of the LSI tester, disconnect the connection with the LSI tester,
Output terminals 102 and 104 on the DUT board (test board for interface between LSI tester and LSI)
Are connected to the input terminals 105 and 113, respectively. It is also possible to set a load condition in actual operation for this connection. The output terminal 116 is connected to the LSI tester, but this is not for comparison with the expected value signal, but merely for identifying the comparison result, as described later.

【0019】前述したように、一般的にLSIテスタの
出力負荷容量は数十pFと大きく、この負荷が高速動作
の検証を不可能にしている一因である。従って、本実施
例では高速動作の検証時には、LSIテスタでのデータ
信号と期待値との比較が正確にできないので、上記のよ
うに半導体集積回路100の出力端子102及び104
とLSIテスタとの接続を切断して、DUTボード上で
出力端子102及び104をそれぞれ入力端子105及
び113に直接に接続することにより、上記の負荷容量
による遅延をなくし、高速動作の検証を可能としてい
る。
As described above, the output load capacitance of an LSI tester is generally as large as several tens of pF, and this load is one of the reasons why verification of high-speed operation is impossible. Therefore, in this embodiment, when verifying the high-speed operation, the data signal in the LSI tester cannot be accurately compared with the expected value, so that the output terminals 102 and 104 of the semiconductor integrated circuit 100 as described above.
And the LSI tester are disconnected and the output terminals 102 and 104 are directly connected to the input terminals 105 and 113 on the DUT board, thereby eliminating the delay due to the load capacitance and verifying high-speed operation. I am trying.

【0020】上記の出力端子102より出力されたデー
タ信号aは、入力端子105及び入力バッファ106を
介して比較回路107の一方の入力端子に供給される。
一方、入力端子108には期待値信号cが入力され、入
力バッファ109を介して比較回路107の他方の入力
端子に供給される。これにより、比較回路107から
は、データ信号aと期待値信号cとが不一致の場合にハ
イレベルが出力され、一致している場合はローレベルが
出力される。
The data signal a output from the output terminal 102 is supplied to one input terminal of the comparison circuit 107 via the input terminal 105 and the input buffer 106.
On the other hand, the expected value signal c is input to the input terminal 108, and is supplied to the other input terminal of the comparison circuit 107 via the input buffer 109. As a result, the comparison circuit 107 outputs a high level when the data signal a and the expected value signal c do not match, and outputs a low level when they match.

【0021】比較回路107の出力信号(比較結果)
は、ラッチ回路110内のOR回路111によりフリッ
プフロップ112の出力信号と論理和をとられた後、フ
リップフロップ112の入力端子に印加される。また、
出力端子104より出力されたクロック信号bは、入力
端子113及び入力バッファ114を介してフリップフ
ロップ112のクロック端子にラッチ信号として印加さ
れる。これにより、このクロック信号bに同期してOR
回路111の出力信号がフリップフロップ112でラッ
チされる。
Output signal of comparison circuit 107 (comparison result)
Is ORed with the output signal of the flip-flop 112 by the OR circuit 111 in the latch circuit 110 and then applied to the input terminal of the flip-flop 112. Also,
The clock signal b output from the output terminal 104 is applied as a latch signal to the clock terminal of the flip-flop 112 via the input terminal 113 and the input buffer 114. As a result, OR is performed in synchronization with this clock signal b.
The output signal of the circuit 111 is latched by the flip-flop 112.

【0022】従って、ラッチ回路110によりクロック
信号bの周期(前記被検証回路に与えられるテストパタ
ーンの1パターン周期)で判定が行われ、一度でも比較
回路107の出力信号がハイレベル(すなわち、不一
致)となると、比較回路107の出力信号がその後にた
とえローレベルとなっても、フリップフロップ112の
出力信号がハイレベルであるため、OR回路111の出
力信号もハイレベルとなるから、ラッチ回路110の出
力信号(フリップフロップ112の出力信号)は常にハ
イレベルを保持する。ここで、リセット信号dはラッチ
回路110の出力信号及び内部状態をローレベルに初期
化する信号である。
Therefore, the latch circuit 110 makes a determination in the cycle of the clock signal b (one pattern cycle of the test pattern given to the circuit to be verified), and the output signal of the comparison circuit 107 is at a high level (that is, inconsistency) even once. ), Even if the output signal of the comparison circuit 107 becomes low level thereafter, the output signal of the flip-flop 112 becomes high level, and the output signal of the OR circuit 111 also becomes high level. The output signal of (the output signal of the flip-flop 112) always holds the high level. Here, the reset signal d is a signal that initializes the output signal of the latch circuit 110 and the internal state to a low level.

【0023】このラッチ回路110の出力信号は、デー
タ信号aと期待値信号cとの比較結果を示しており、出
力バッファ115及び出力端子116を経て外部のLS
Iテスタ(図示せず)に入力され、高速動作テストの比
較結果が判定される。このように、本実施例によれば、
出力端子102及び104を直接にすぐ近くの位置の入
力端子105及び113に接続して比較回路107でデ
ータ信号aと期待値信号cとの比較照合を行うことによ
り、半導体集積回路100の高速動作時の検証を分周回
路を用いることなく行うことができる。
The output signal of the latch circuit 110 shows the result of comparison between the data signal a and the expected value signal c. The output signal passes through the output buffer 115 and the output terminal 116 and the external LS.
It is input to the I tester (not shown) and the comparison result of the high speed operation test is judged. Thus, according to the present embodiment,
High speed operation of the semiconductor integrated circuit 100 by directly connecting the output terminals 102 and 104 to the input terminals 105 and 113 in the immediate vicinity and comparing and collating the data signal a with the expected value signal c in the comparison circuit 107. The time verification can be performed without using the frequency dividing circuit.

【0024】なお、上記の説明では、クロック信号bに
同期するデータ信号aについて説明したが、非同期回路
の場合についても有効で、この場合にはラッチ回路11
0のラッチ信号をパターン周期に同期した別のクロック
信号とすればよい。
In the above description, the data signal a synchronized with the clock signal b has been described, but it is also effective in the case of an asynchronous circuit. In this case, the latch circuit 11 is used.
The latch signal of 0 may be used as another clock signal synchronized with the pattern period.

【0025】また、高速のデータ信号a及びクロック信
号bの外部出力を必要としない半導体集積回路において
は、半導体集積回路の内部において直接にデータ信号a
及びクロック信号bをそれぞれ比較回路107及びラッ
チ回路110に入力するように接続してもよい。
Further, in the semiconductor integrated circuit which does not require external output of the high speed data signal a and the clock signal b, the data signal a is directly supplied inside the semiconductor integrated circuit.
And the clock signal b may be connected so as to be input to the comparison circuit 107 and the latch circuit 110, respectively.

【0026】次に、本発明の第2実施例について図2と
共に説明する。図2は本発明の第2実施例の回路図を示
す。同図中、図1と同一構成部分には同一符号を付し、
その説明を省略する。図1に示した第1実施例では、入
力端子105から入力されるデータ信号aと入力端子1
08から入力される期待値信号cの位相が互いに大きく
異なっている場合には、遅延量の違いから比較回路10
7及びラッチ回路110において不一致と判定される場
合がある。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 shows a circuit diagram of the second embodiment of the present invention. In the figure, the same components as those in FIG.
The description is omitted. In the first embodiment shown in FIG. 1, the data signal a input from the input terminal 105 and the input terminal 1
If the phases of the expected value signals c input from 08 are significantly different from each other, the comparison circuit 10
7 and the latch circuit 110 may be determined to be inconsistent.

【0027】そこで、図2に示す第2実施例の半導体集
積回路200では、ラッチ回路110の出力側に第2の
ラッチ回路201を設け、その第2のラッチ回路201
の出力信号を出力バッファ204を介して出力端子20
5へ出力する構成とし、かつ、期待値信号cの位相を漸
次変化させ、いずれかの位相で不一致が生じなかった時
に高速動作に問題ないと判定するようにしたものであ
る。
Therefore, in the semiconductor integrated circuit 200 of the second embodiment shown in FIG. 2, the second latch circuit 201 is provided on the output side of the latch circuit 110, and the second latch circuit 201 is provided.
Output signal of the output terminal 20 via the output buffer 204
5, the phase of the expected value signal c is gradually changed, and when there is no discrepancy in any of the phases, it is determined that there is no problem in the high speed operation.

【0028】ここで、上記の第2のラッチ回路201
は、2入力AND回路202とフリップフロップ203
とからなり、AND回路202によりラッチ回路110
の出力信号とフリップフロップ203の出力信号との論
理積をとった信号をフリップフロップ203のデータ入
力端子に入力する構成である。なお、フリップフロップ
203のクロック端子にはラッチ信号fが入力され、ま
た、セット端子にはセット信号gが入力される。
Here, the second latch circuit 201 described above is used.
Is a 2-input AND circuit 202 and a flip-flop 203
And the AND circuit 202 causes the latch circuit 110 to
Of the output signal of the flip-flop 203 and the signal of the output signal of the flip-flop 203 are input to the data input terminal of the flip-flop 203. The latch signal f is input to the clock terminal of the flip-flop 203, and the set signal g is input to the set terminal.

【0029】次に、本実施例の動作について説明する。
まず、期待値信号cの位相(遅延量)をP1として、比
較回路107でこの期待値信号cとデータ信号aの比較
を行い、得られた比較結果を第1のラッチ回路110に
入力してクロック信号bによりラッチする。このラッチ
回路110によりラッチされた比較結果は、前述したよ
うに不一致の場合にハイレベルが出力され、一致してい
る場合はローレベルが出力され、一度でも比較回路10
7の出力信号がハイレベルとなると、ラッチ回路110
の出力信号(フリップフロップ112の出力信号)は常
にハイレベルを保持する。
Next, the operation of this embodiment will be described.
First, the phase (delay amount) of the expected value signal c is set to P1, the comparison circuit 107 compares the expected value signal c with the data signal a, and the obtained comparison result is input to the first latch circuit 110. It is latched by the clock signal b. As described above, the comparison result latched by the latch circuit 110 outputs a high level when they do not match, and outputs a low level when they do match, so that the comparison circuit 10 outputs even once.
When the output signal of 7 becomes high level, the latch circuit 110
The output signal of (the output signal of the flip-flop 112) always holds the high level.

【0030】このラッチ回路110の出力信号eはラッ
チ回路201内のAND回路202に供給される。ここ
で、ラッチ回路201の初期化時に、セット信号gによ
りフリップフロップ203がセット状態とされているた
め、AND回路202は初期状態ではゲート「開」状態
であり、よって上記のラッチ回路110の出力信号eが
AND回路202を通してフリップフロップ203のデ
ータ入力端子に入力される。
The output signal e of the latch circuit 110 is supplied to the AND circuit 202 in the latch circuit 201. Here, since the flip-flop 203 is set to the set state by the set signal g when the latch circuit 201 is initialized, the AND circuit 202 is in the gate “open” state in the initial state, and thus the output of the latch circuit 110 described above. The signal e is input to the data input terminal of the flip-flop 203 through the AND circuit 202.

【0031】上記の比較回路107により所定のパター
ン数について上記の位相(遅延量)P1の期待値信号c
とデータ信号aとの比較が行われると、ラッチ信号fに
よりフリップフロップ203がデータ入力端子に入力さ
れた信号eをラッチする。ここで、ラッチ回路110の
出力信号eは、上記の所定パターン数について上記の位
相(遅延量)P1の期待値信号cとデータ信号aとの比
較結果に一度でも不一致があるとハイレベルであり、す
べて一致している時のみローレベルである。
An expected value signal c of the phase (delay amount) P1 for a predetermined number of patterns by the comparison circuit 107.
And the data signal a are compared, the flip-flop 203 latches the signal e input to the data input terminal by the latch signal f. Here, the output signal e of the latch circuit 110 is at a high level if the comparison result of the expected value signal c of the phase (delay amount) P1 and the data signal a does not match even once for the above-mentioned predetermined number of patterns. , Low level only when all match.

【0032】フリップフロップ203でラッチされた信
号は、出力バッファ204を介して出力端子205へ出
力される一方、AND回路202に入力される。従っ
て、ラッチ回路110の出力信号eが一度でもローレベ
ルとなると、ラッチ回路110の出力信号eがその後に
たとえハイレベルとなっても、フリップフロップ112
の出力信号がローレベルであるため、AND回路202
の出力信号もローレベルとなるから、ラッチ回路201
の出力信号(フリップフロップ203の出力信号)はロ
ーレベルを保持する。
The signal latched by the flip-flop 203 is output to the output terminal 205 via the output buffer 204, and is also input to the AND circuit 202. Therefore, even if the output signal e of the latch circuit 110 becomes low level even once, even if the output signal e of the latch circuit 110 subsequently becomes high level, the flip-flop 112
Output signal is low level, the AND circuit 202
Since the output signal of the latch circuit 201 also becomes low level, the latch circuit 201
Output signal (output signal of the flip-flop 203) holds a low level.

【0033】次に、リセット信号dによりフリップフロ
ップ112をリセットした後、上記の期待値信号cの位
相(遅延量)がP2に切り換えられて、再び上記の所定
パターン数についてデータ信号aとの比較を比較回路1
07で行い、その比較結果がフリップフロップ203に
ラッチされる。以下、上記と同様の動作を期待値信号c
の位相(遅延量)をPnまで変化させながら繰り返す。
Next, after the flip-flop 112 is reset by the reset signal d, the phase (delay amount) of the expected value signal c is switched to P2, and the predetermined number of patterns is again compared with the data signal a. Comparing circuit 1
The comparison result is latched in the flip-flop 203. Hereinafter, the same operation as above is performed with the expected value signal c
Is repeated while changing the phase (delay amount) of Pn to Pn.

【0034】このようにして、期待値信号cの位相(遅
延量)がP1からPnまでのすべてにおいてラッチ回路
110の出力信号がハイレベルである時にのみ、ラッチ
回路201、出力バッファ204及び出力端子205を
経て出力される比較結果が不一致を示すハイレベルとな
り、これによりLSIテスタにより半導体集積回路20
0が不良と判定される。
In this way, the latch circuit 201, the output buffer 204, and the output terminal are provided only when the output signal of the latch circuit 110 is at a high level in all the phases (delay amounts) of the expected value signal c from P1 to Pn. The comparison result output via 205 becomes a high level indicating a non-coincidence, which causes the LSI tester to output the semiconductor integrated circuit 20.
0 is determined to be defective.

【0035】一方、期待値信号cの位相(遅延量)がP
1からPnまでのいずれかにおいてラッチ回路110の
出力信号がローレベルとなると(つまり、期待値信号c
のいずれかの位相でデータ信号aが期待値信号cと一致
していた時には)、ラッチ回路201、出力バッファ2
04及び出力端子205を経て出力される比較結果が一
致を示すローレベルとなり、これによりLSIテスタに
より半導体集積回路200が高速動作に問題がない良品
と判定される。
On the other hand, the phase (delay amount) of the expected value signal c is P
When the output signal of the latch circuit 110 becomes low level in any of 1 to Pn (that is, the expected value signal c
(When the data signal a matches the expected value signal c in any one of the phases), the latch circuit 201, the output buffer 2
The comparison result output via 04 and the output terminal 205 becomes a low level indicating coincidence, and the LSI tester determines that the semiconductor integrated circuit 200 is a non-defective product with no problem in high-speed operation.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
分周回路やLSIテスタを用いなくとも、被検証回路の
出力データ信号と期待値信号との論理の一致/不一致の
比較結果を得ることができるため、LSIテスタの保証
規格を越えた高速動作のテストを実施できると共に、分
周回路を用いた場合の不具合を除去でき、上記の比較結
果をLSIテスタに入力した場合は上記の高速動作のテ
ストをLSIテスタ上でできる。
As described above, according to the present invention,
Since it is possible to obtain the result of comparison of the logic match / mismatch between the output data signal of the circuit under test and the expected value signal without using the frequency divider circuit or the LSI tester, it is possible to perform high-speed operation exceeding the guaranteed standard of the LSI tester. In addition to being able to carry out the test, it is possible to eliminate the inconvenience in the case of using the frequency dividing circuit, and when the above comparison result is input to the LSI tester, the above high speed operation test can be performed on the LSI tester.

【0037】また、本発明によれば、期待値信号の位相
を第1の位相から第2の位相まで所定パターン数毎に漸
次所定位相ずつ変化させて求めた比較結果を第2のラッ
チ回路に記憶し、かつ、その比較結果が一度でも一致を
示す比較結果を示している時にはその記憶内容を保持し
続けることにより、期待値信号のいずれかの位相で不一
致が生じなかったか否かの判定結果を第2のラッチ回路
より取り出すようにしたため、期待値信号の位相とデー
タ信号の位相とが異なっていても、高速動作のテスト結
果を正確に得ることができる。
Further, according to the present invention, the comparison result obtained by gradually changing the phase of the expected value signal from the first phase to the second phase by the predetermined phase for each predetermined pattern number is stored in the second latch circuit. The result of judgment whether or not a mismatch occurs in any phase of the expected value signal by storing and holding the stored content when the comparison result shows a comparison result showing a match even once. Therefore, even if the phase of the expected value signal and the phase of the data signal are different, the high-speed operation test result can be accurately obtained.

【0038】更に、本発明によれば、被検証回路の出力
データ信号を外部へ取り出す出力端子と被検証回路の出
力データ信号を外部より入力される入力端子との間をテ
ストボード上で直接接続することにより、LSIテスタ
を介在させることなく、データ信号と期待値信号との論
理の一致/不一致の比較結果を得るようにしたため、L
SIテスタの保証規格を越えた高速動作テストを実施す
ることができる。
Further, according to the present invention, the output terminal for taking out the output data signal of the circuit to be verified to the outside and the input terminal for inputting the output data signal of the circuit to be verified from the outside are directly connected on the test board. By doing so, the comparison result of the logic match / mismatch of the data signal and the expected value signal is obtained without interposing the LSI tester.
A high-speed operation test that exceeds the guarantee standard of the SI tester can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例の回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram of a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2実施例の回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram of a second embodiment of the present invention.

【図3】従来の一例の回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100、200 半導体集積回路 101、103、115、204 出力バッファ 102、104、116、205 出力端子 105、108、113 入力端子 106、109、114 入力バッファ 107 比較回路 110 第1のラッチ回路 112、203 フリップフロップ 201 第2のラッチ回路 100, 200 Semiconductor integrated circuits 101, 103, 115, 204 Output buffers 102, 104, 116, 205 Output terminals 105, 108, 113 Input terminals 106, 109, 114 Input buffer 107 Comparison circuit 110 First latch circuit 112, 203 Flip-flop 201 Second latch circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/822 H01L 27/04 T ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Office reference number FI technical display location H01L 21/822 H01L 27/04 T

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被検証回路の出力データ信号と第1の入
力端子から与えられる期待値信号との論理の一致/不一
致を求める比較回路と、 該比較回路の出力比較結果を前記被検証回路に与えられ
るテストパターンの1パターン周期毎に記憶し、かつ、
1パターン周期でも不一致を示す該比較結果を記憶した
時はその記憶内容を保持し続ける第1のラッチ回路と、 該第1のラッチ回路の出力信号を外部へ出力する第1の
出力端子とを有することを特徴とする半導体集積回路。
1. A comparison circuit for obtaining a logic match / mismatch between an output data signal of a circuit to be verified and an expected value signal given from a first input terminal, and an output comparison result of the comparison circuit to the circuit to be verified. Store for each pattern cycle of the given test pattern, and
A first latch circuit that keeps the stored content when the comparison result indicating a mismatch even in one pattern period is stored, and a first output terminal that outputs the output signal of the first latch circuit to the outside. A semiconductor integrated circuit having.
【請求項2】 前記第1のラッチ回路の出力信号を所定
パターン数毎に記憶して前記第1の出力端子へ出力し、
かつ、一度でも一致を示す比較結果を示している該第1
のラッチ回路の出力信号を記憶した時にはその記憶内容
を保持し続ける第2のラッチ回路を有し、前記期待値信
号の位相を第1の位相から第2の位相まで前記所定パタ
ーン数毎に漸次所定位相ずつ変化させて前記比較結果を
求めることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回
路。
2. The output signal of the first latch circuit is stored for each predetermined number of patterns and output to the first output terminal,
In addition, the first result showing a comparison result indicating a match even once
When the output signal of the latch circuit is stored, it has a second latch circuit that keeps the stored content, and the phase of the expected value signal is gradually increased from the first phase to the second phase for each predetermined pattern number. 2. The semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein the comparison result is obtained by changing the phase by a predetermined phase.
【請求項3】 前記被検証回路の出力データ信号を外部
へ出力する第2の出力端子と、前記テストパターンの1
パターン周期のクロック信号を外部へ出力する第3の出
力端子と、前記被検証回路の出力データ信号を外部より
入力される第2の入力端子と、前記第1のラッチ回路の
ラッチ信号を外部より入力される第3の入力端子とを有
し、前記第2の出力端子と前記第2の入力端子間、及び
前記第3の出力端子と前記第3の入力端子間をテストボ
ード上で直接接続することを特徴とする請求項1又は2
記載の半導体集積回路。
3. A second output terminal for outputting the output data signal of the circuit to be verified to the outside, and 1 of the test pattern.
A third output terminal for outputting a clock signal of a pattern cycle to the outside, a second input terminal for receiving the output data signal of the circuit to be verified from the outside, and a latch signal for the first latch circuit from the outside. A third input terminal for inputting, and directly connecting between the second output terminal and the second input terminal and between the third output terminal and the third input terminal on a test board The method according to claim 1 or 2, wherein
The semiconductor integrated circuit described.
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