JPH08136304A - 微小流量測定装置 - Google Patents

微小流量測定装置

Info

Publication number
JPH08136304A
JPH08136304A JP29579394A JP29579394A JPH08136304A JP H08136304 A JPH08136304 A JP H08136304A JP 29579394 A JP29579394 A JP 29579394A JP 29579394 A JP29579394 A JP 29579394A JP H08136304 A JPH08136304 A JP H08136304A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluid
sealed container
flow rate
measured
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP29579394A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3510688B2 (ja
Inventor
Takehiko Kanazawa
澤 猛 彦 金
Hisao Sagara
良 久 男 相
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP29579394A priority Critical patent/JP3510688B2/ja
Publication of JPH08136304A publication Critical patent/JPH08136304A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3510688B2 publication Critical patent/JP3510688B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 測定時間を大幅に短縮できる微小流量測定装
置を提供する。 【構成】 密封容器13に収容した被測定物12を、電
磁弁18を介して空気源20に接続し、密封容器13
に、流量計15と、空気源に接続される電磁弁22及び
ストローク調整機構31を有する単動形の空気圧シリン
ダ23を備えた空気充填装置16を接続する。被測定物
12からリークした空気の量は、流量計15によって測
定される。 【効果】 空気充填装置によって速やかに密封容器に空
気が充填されるので、測定時間が大幅に短縮される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物からリークす
る流体の量を測定するための微小流量測定装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】バルブや管継手等の流体圧機器は、これ
らの流体圧機器から圧縮空気がリークすると作動不良の
原因となるので、空気のリークの有無を検出する必要が
ある。この場合、リークのような1cm3 /min (AN
R)程度の微小流量の測定には、通常流量計が使用され
る。図6は、流量計を使用した公知の微小流量測定装置
を示し、この微小流量測定装置1は、所望の流体圧機器
2を収容する密封容器3と、該密封容器3から流出する
空気の量を測定する流量計4とを備え、密封容器3内に
収容された流体圧機器2は、電磁弁5を有する供給管路
6によって空気源7に接続されている。この微小流量測
定装置1は、空気源7から流体圧機器2に供給される圧
縮空気が流体圧機器2からリークすると、リークした空
気が密封容器3に排出される。したがって、密封容器3
から流出する空気の量を流量計4が測定することによっ
て、リークした空気の量を測定することができる。
【0003】しかしながら、上記公知の微小流量測定装
置1は、図7に示すように、流体圧機器2からリークし
た空気が密封容器3内に充填して測定可能となるまでの
時間が長いために、測定に時間がかかるという問題があ
る。この測定時間は、密封容器3の容積を小さくするこ
とによって短縮することができるが、密封容器3と被測
定物2との間の容積がリークする空気の量に比べて非常
に大きいために、密封容器3の容積の減少による測定時
間の短縮には限界がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、測定時間を大幅に短縮できる微小流量測定
装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の微小流量測定装置は、被測定物を収容する
密封容器と、該密封容器から流出する流体の量を測定す
る流量計とを備え、上記密封容器に収容した被測定物に
圧力流体を供給して、被測定物からリークする流体の量
を流量計によって測定する微小流量測定装置において、
上記密封容器に、該密封容器に所定量の流体を充填する
ための流体充填装置を接続したことを特徴としている。
【0006】また、同様の課題を解決するため、本発明
の微小流量測定装置は、被測定物を収容する密封容器
と、該密封容器の流体圧を測定する圧力スイッチとを備
え、上記密封容器に収容した被測定物に圧力流体を供給
して、被測定物からリークする流体の量を圧力スイッチ
によって測定する微小流量測定装置において、上記密封
容器に、該密封容器内に所定量の流体を供給するための
流体充填装置を接続したことを特徴としている。
【0007】さらに、同様の課題を解決するため、これ
らの微小流量測定装置における流体充填装置が、流体圧
源に連通する切換弁と、ストローク調整機構を有し上記
切換弁から出力される圧力流体で駆動して密封容器に所
定量の流体を充填する流体圧アクチュエータとを備えて
いることを特徴としている。
【0008】また、同様の課題を解決するため、これら
の微小流量測定装置における密封容器が、底箱と該底箱
に対して気密に摺動可能な上箱とを備え、流体充填装置
が、流体圧源に連通する切換弁と、ストローク調整機構
を有し上記切換弁から給排される圧力流体により駆動し
て上箱を移動させる流体圧アクチュエータとを備え、上
箱の移動で密封容器の容積を縮小させることにより該密
封容器に所定量の流体を充填することを特徴としてい
る。
【0009】
【作用】流体充填装置から密封容器に所定量の流体を供
給することによって、短時間で密封容器に流体を充填で
きるので、流量計によって、密封容器から流出する流体
の量を速やかに測定することができる。したがって、流
量計が測定した全流量から、流体充填装置で充填された
流体の所定量を引くことによって、被測定物からリーク
した流体の量を測定することができる。また、圧力スイ
ッチによって密封容器の流体圧を測定し、この流体圧か
ら、流体充填装置で充填された流体の所定量に基づく圧
力を引くことによって、リークした空気の圧力を測定
し、この測定圧力に基づいて被測定物からリークした流
体の量を測定することができる。
【0010】具体的には、切換弁から流体圧アクチュエ
ータに圧力流体を供給して、該流体圧アクチュエータを
所定のストローク駆動することによって、密封容器に所
定量の流体を充填することができ、充填する流体の量
は、ストローク調整機構により流体圧アクチュエータの
ストロークを調整することで、調整することができる。
したがって、被測定物の容積の大小等に応じて、充填す
る流体の量を調整することができる。
【0011】また、切換弁から流体圧アクチュエータに
圧力流体を供給して、密封容器の上箱を底箱に向け移動
させて密閉容器の容積を縮小することによって、密封容
器に所定量の流体を充填することができ、この場合も、
充填する流体の量は、流体圧アクチュエータのストロー
クを調整することで調整することができる。
【0012】
【実施例】図1は本発明の第1実施例を示し、この微小
流量測定装置11は、被測定物12を収容する密封容器
13と、検出管路14によって上記密封容器13に連通
する流量計15と、密封容器13に所定量の圧縮空気を
供給する空気充填装置16とを備え、密封容器13に収
容された被測定物12には、第1の電磁弁18を有する
供給管路19から空気源20の圧縮空気が供給される。
【0013】上記空気充填装置16は、駆動管路21に
よって空気源20に連通する第2の電磁弁22と、第2
の電磁弁22から出力される圧縮空気で駆動する単動形
の空気圧シリンダ23とを備え、復帰ばね24が収容さ
れた空気圧シリンダ23のばね室25は、充填管路26
によって密封容器13に連通し、充填管路26には、密
封容器13への空気の流出のみを許容する逆止弁27
と、そのばね室側の、ばね室25への空気の流入のみを
許容する逆止弁28とが設けられている。
【0014】上記被測定物12は、該被測定物12に供
給された圧縮空気が、シール箇所等から漏洩する恐れが
ある機器を含み、バルブや管継手等の流体圧機器に限定
されるものではない。また、空気圧シリンダ23は、ロ
ッド30のストロークを調整するためのストローク調整
機構31を有する空気圧シリンダとして構成されてい
る。なお、図示を簡略化しているが、密封容器13は該
密封容器を気密に閉鎖する蓋を備え、蓋の開閉によって
密封容器13に被測定物12を挿入したり取り出たりす
ることができる。
【0015】上記第1実施例は、第1、第2の電磁弁1
8,22のソレノイドを同時に励磁すると、被測定物1
2に空気源20から圧縮空気が供給されるとともに、空
気充填装置16の空気圧シリンダ23にも圧縮空気が供
給されるので、空気圧シリンダ23が駆動してばね室2
5の空気が密封容器13に充填される。したがって、図
2のV1 とV2 との対比(図7も参照)で明らかなよう
に、公知の微小流量測定装置に比べて密封容器13の空
気充填時間を大幅に短縮することができる。この場合、
空気圧シリンダ23から密封容器13に充填される空気
の量は、ストローク調整機構31により空気圧シリンダ
23のストロークを調整することで、調整することがで
きる。密封容器13から流出する空気の量は、流量計1
5によって測定することができ、流量計15が測定した
全流量から空気充填装置16によって充填された空気量
を引くことによって、被測定物12からリークした空気
の量を測定することができる。
【0016】図3は、本発明の第2実施例を示し、この
微小流量測定装置34における密封容器35は、底箱3
6と、底箱36に対して気密に摺動可能な上箱37を備
え、上箱37は、空気充填装置39を構成する複動形の
空気圧シリンダ40のロッド41に連結されており、該
空気圧シリンダ40にはロッド41のストロークを調整
するストローク調整機構31が設けられている。また、
空気圧シリンダ40の圧力室40aと40bは、第2の
電磁弁42と駆動管路21とによって空気源20に連通
している。第2実施例の他の構成は第1実施例と同じで
あるから、図の主要な同一の箇所に同一の符号を付し
て、詳細な説明は省略する。
【0017】上記第2実施例は、第2の電磁弁42から
空気圧シリンダ40の圧力室40aに圧縮空気を供給す
ると、上箱37が図において上動して底箱36から外れ
るので、底箱36に被測定物12を収容することができ
る。第2の電磁弁42を切り換えて圧力室40bに圧縮
空気を供給すると、上箱37が図において下動して底箱
36を密封し、上箱37の引き続く下動によって密封容
器35に所定量の空気が充填される。この場合、上箱3
7の内径をD、底箱36を密封した後の上蓋のストロー
クをLとすると、密封容器35の空気充填量はπD2
4×Lとなり、この空気充填量は、ストローク調整機構
31により空気圧シリンダ40のストロークを調整する
ことで調整することができる。第2実施例の他の作用は
第1実施例と同じであるから、説明は省略する。
【0018】図4は本発明の第3実施例を示し、この微
小流量測定装置44における密封容器13は、検出管路
14によって圧力スイッチ45に連通している。第3実
施例の他の構成は第1実施例と同じであるから、図の主
要な箇所に同一の符号を付して、詳細な説明は省略す
る。上記第3実施例は、空気圧シリンダ23によって充
填される所定の空気量に応じて密封容器13の空気圧が
上昇する。したがって、圧力スイッチ45が測定した単
位時間当たりの空気圧から、空気充填装置16から充填
された空気量によって上昇した空気圧を引いた空気圧に
基づいて、被測定物12からリークした空気の量を測定
することができる。
【0019】図5は本発明の第4実施例を示し、この微
小流量測定装置47における密封容器35は、検出管路
14によって圧力スイッチ45に連通している。第4実
施例の他の構成は第2実施例と同じであるから、図の主
要な同一の箇所に同一の符号を付して、詳細な説明は省
略する。第4実施例の作用は、流量計15に代えて、圧
力スイッチ45によって被測定物12からリークした空
気の量を測定する以外は第2実施例と同じであるから、
説明は省略する。なお、密封容器に流体を充填するもの
は、図示の流体圧シリンダに限定されるものではなく、
公知の流体圧アクチュエータとすることができる。
【0020】
【発明の効果】本発明の微小流量測定装置は、流体充填
装置から被測定物を収容した密封容器に圧力流体を充填
することによって、密封容器への流体の充填時間が短縮
されるので、微小流量の測定時間を大幅に短縮すること
ができる。また、流体充填装置における流体圧アクチュ
エータにストローク調整機構を設けたので、密封装置と
被測定物間の容積に応じて、密封装置に供給する流体の
量を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例の構成図である。
【図2】第1実施例の流量と時間の線図である。
【図3】第2実施例の構成図である。
【図4】第3実施例の構成図である。
【図5】第4実施例の構成図である。
【図6】公知の微小流量測定装置の構成図である。
【図7】公知の測定装置の流量と時間の線図である。
【符号の説明】
11,34,44,47 微小流量測定装置 12 被測定物 13,35 密封容器 15 流量計 16,39 空気充填装置 22,42 第2の電磁弁 23,40 空気圧シリンダ 31 ストローク調整機構 36 底箱 37 上箱 45 圧力スイッチ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被測定物を収容する密封容器と、該密封容
    器から流出する流体の量を測定する流量計とを備え、上
    記密封容器に収容した被測定物に圧力流体を供給して、
    被測定物からリークする流体の量を流量計によって測定
    する微小流量測定装置において、 上記密封容器に、該密封容器に所定量の流体を充填する
    ための流体充填装置を接続した、ことを特徴とする微小
    流量測定装置。
  2. 【請求項2】被測定物を収容する密封容器と、該密封容
    器の流体圧を測定する圧力スイッチとを備え、上記密封
    容器に収容した被測定物に圧力流体を供給して、被測定
    物からリークする流体の量を圧力スイッチによって測定
    する微小流量測定装置において、 上記密封容器に、該密封容器内に所定量の流体を充填す
    るための流体充填装置を接続した、ことを特徴とする微
    小流量測定装置。
  3. 【請求項3】流体充填装置が、流体圧源に連通する切換
    弁と、ストローク調整機構を有し上記切換弁から出力さ
    れる圧力流体で駆動して密封容器に所定量の流体を充填
    する流体圧アクチュエータとを備えている、ことを特徴
    とする請求項1または2に記載した微小流量測定装置。
  4. 【請求項4】密封容器が、底箱と該底箱に対して気密に
    摺動可能な上箱とを備え、 流体充填装置が、流体圧源に連通する切換弁と、ストロ
    ーク調整機構を有し上記切換弁から給排される圧力流体
    により駆動して上箱を移動させる流体圧アクチュエータ
    とを備え、上箱の移動で密封容器の容積を縮小させるこ
    とにより該密封容器に所定量の流体を充填する、ことを
    特徴とする請求項1または2に記載した微小流量測定装
    置。
JP29579394A 1994-11-04 1994-11-04 微小流量測定装置 Expired - Fee Related JP3510688B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29579394A JP3510688B2 (ja) 1994-11-04 1994-11-04 微小流量測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29579394A JP3510688B2 (ja) 1994-11-04 1994-11-04 微小流量測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08136304A true JPH08136304A (ja) 1996-05-31
JP3510688B2 JP3510688B2 (ja) 2004-03-29

Family

ID=17825240

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29579394A Expired - Fee Related JP3510688B2 (ja) 1994-11-04 1994-11-04 微小流量測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3510688B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021013656A (ja) * 2019-07-14 2021-02-12 株式会社愛工舎製作所 連続ミキサー・エアーレーション装置における内圧調整レギュレータのパンク(破損)検知システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021013656A (ja) * 2019-07-14 2021-02-12 株式会社愛工舎製作所 連続ミキサー・エアーレーション装置における内圧調整レギュレータのパンク(破損)検知システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP3510688B2 (ja) 2004-03-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8740175B2 (en) Filling channel opening and closing device for liquid product filling apparatus
SA06270173B1 (ar) طريقة وجهاز لتعبئة السوائل في اكياس من رقائق معدنية لها فوهة
KR100376127B1 (ko) 흡인 밸브
US4918968A (en) Apparatus and method of detecting leaks in pressurized piping systems
US4012945A (en) Means for testing containers for leakage
JP3540428B2 (ja) 液体充填方法及び装置
JP4674743B2 (ja) 充填装置
EP1589266A1 (en) Seal device
JP3510688B2 (ja) 微小流量測定装置
JPH11304633A (ja) エアーリーク検出装置
JPH0249984A (ja) ポンプの試験装置
JP2007514159A (ja) タンクに収容された液体又はダクトを流れる流体の圧力の検査装置
JPS58171302A (ja) 容積計量装置
JP2963143B2 (ja) ポンプステーション
CN211398639U (zh) 具有传感器的电磁阀
JP2781533B2 (ja) 磁石弁
CN113418662A (zh) 一种液体分离的容器密封性测试仪
JP3345392B2 (ja) エアリーク検出装置
CN221033403U (zh) 一种改良密封性气路
JP3449903B2 (ja) アセプティック充填弁
JPH0518666Y2 (ja)
KR101476999B1 (ko) 유압실린더의 내부 누유 측정 장치
JPH11281515A (ja) ヘリウムリークテスト装置
CN220084281U (zh) 一种电磁阀密封性检测装置
JP3504941B2 (ja) 切換弁

Legal Events

Date Code Title Description
A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20031226

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 5

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 7

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 8

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 9

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees