JPH08136304A - 微小流量測定装置 - Google Patents
微小流量測定装置Info
- Publication number
- JPH08136304A JPH08136304A JP29579394A JP29579394A JPH08136304A JP H08136304 A JPH08136304 A JP H08136304A JP 29579394 A JP29579394 A JP 29579394A JP 29579394 A JP29579394 A JP 29579394A JP H08136304 A JPH08136304 A JP H08136304A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- sealed container
- flow rate
- measured
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定時間を大幅に短縮できる微小流量測定装
置を提供する。 【構成】 密封容器１３に収容した被測定物１２を、電
磁弁１８を介して空気源２０に接続し、密封容器１３
に、流量計１５と、空気源に接続される電磁弁２２及び
ストローク調整機構３１を有する単動形の空気圧シリン
ダ２３を備えた空気充填装置１６を接続する。被測定物
１２からリークした空気の量は、流量計１５によって測
定される。 【効果】 空気充填装置によって速やかに密封容器に空
気が充填されるので、測定時間が大幅に短縮される。
置を提供する。 【構成】 密封容器１３に収容した被測定物１２を、電
磁弁１８を介して空気源２０に接続し、密封容器１３
に、流量計１５と、空気源に接続される電磁弁２２及び
ストローク調整機構３１を有する単動形の空気圧シリン
ダ２３を備えた空気充填装置１６を接続する。被測定物
１２からリークした空気の量は、流量計１５によって測
定される。 【効果】 空気充填装置によって速やかに密封容器に空
気が充填されるので、測定時間が大幅に短縮される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物からリークす
る流体の量を測定するための微小流量測定装置に関する
ものである。
る流体の量を測定するための微小流量測定装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】バルブや管継手等の流体圧機器は、これ
らの流体圧機器から圧縮空気がリークすると作動不良の
原因となるので、空気のリークの有無を検出する必要が
ある。この場合、リークのような１cm3 ／min （ＡＮ
Ｒ）程度の微小流量の測定には、通常流量計が使用され
る。図６は、流量計を使用した公知の微小流量測定装置
を示し、この微小流量測定装置１は、所望の流体圧機器
２を収容する密封容器３と、該密封容器３から流出する
空気の量を測定する流量計４とを備え、密封容器３内に
収容された流体圧機器２は、電磁弁５を有する供給管路
６によって空気源７に接続されている。この微小流量測
定装置１は、空気源７から流体圧機器２に供給される圧
縮空気が流体圧機器２からリークすると、リークした空
気が密封容器３に排出される。したがって、密封容器３
から流出する空気の量を流量計４が測定することによっ
て、リークした空気の量を測定することができる。
らの流体圧機器から圧縮空気がリークすると作動不良の
原因となるので、空気のリークの有無を検出する必要が
ある。この場合、リークのような１cm3 ／min （ＡＮ
Ｒ）程度の微小流量の測定には、通常流量計が使用され
る。図６は、流量計を使用した公知の微小流量測定装置
を示し、この微小流量測定装置１は、所望の流体圧機器
２を収容する密封容器３と、該密封容器３から流出する
空気の量を測定する流量計４とを備え、密封容器３内に
収容された流体圧機器２は、電磁弁５を有する供給管路
６によって空気源７に接続されている。この微小流量測
定装置１は、空気源７から流体圧機器２に供給される圧
縮空気が流体圧機器２からリークすると、リークした空
気が密封容器３に排出される。したがって、密封容器３
から流出する空気の量を流量計４が測定することによっ
て、リークした空気の量を測定することができる。
【０００３】しかしながら、上記公知の微小流量測定装
置１は、図７に示すように、流体圧機器２からリークし
た空気が密封容器３内に充填して測定可能となるまでの
時間が長いために、測定に時間がかかるという問題があ
る。この測定時間は、密封容器３の容積を小さくするこ
とによって短縮することができるが、密封容器３と被測
定物２との間の容積がリークする空気の量に比べて非常
に大きいために、密封容器３の容積の減少による測定時
間の短縮には限界がある。
置１は、図７に示すように、流体圧機器２からリークし
た空気が密封容器３内に充填して測定可能となるまでの
時間が長いために、測定に時間がかかるという問題があ
る。この測定時間は、密封容器３の容積を小さくするこ
とによって短縮することができるが、密封容器３と被測
定物２との間の容積がリークする空気の量に比べて非常
に大きいために、密封容器３の容積の減少による測定時
間の短縮には限界がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、測定時間を大幅に短縮できる微小流量測定
装置を提供することにある。
する課題は、測定時間を大幅に短縮できる微小流量測定
装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の微小流量測定装置は、被測定物を収容する
密封容器と、該密封容器から流出する流体の量を測定す
る流量計とを備え、上記密封容器に収容した被測定物に
圧力流体を供給して、被測定物からリークする流体の量
を流量計によって測定する微小流量測定装置において、
上記密封容器に、該密封容器に所定量の流体を充填する
ための流体充填装置を接続したことを特徴としている。
め、本発明の微小流量測定装置は、被測定物を収容する
密封容器と、該密封容器から流出する流体の量を測定す
る流量計とを備え、上記密封容器に収容した被測定物に
圧力流体を供給して、被測定物からリークする流体の量
を流量計によって測定する微小流量測定装置において、
上記密封容器に、該密封容器に所定量の流体を充填する
ための流体充填装置を接続したことを特徴としている。
【０００６】また、同様の課題を解決するため、本発明
の微小流量測定装置は、被測定物を収容する密封容器
と、該密封容器の流体圧を測定する圧力スイッチとを備
え、上記密封容器に収容した被測定物に圧力流体を供給
して、被測定物からリークする流体の量を圧力スイッチ
によって測定する微小流量測定装置において、上記密封
容器に、該密封容器内に所定量の流体を供給するための
流体充填装置を接続したことを特徴としている。
の微小流量測定装置は、被測定物を収容する密封容器
と、該密封容器の流体圧を測定する圧力スイッチとを備
え、上記密封容器に収容した被測定物に圧力流体を供給
して、被測定物からリークする流体の量を圧力スイッチ
によって測定する微小流量測定装置において、上記密封
容器に、該密封容器内に所定量の流体を供給するための
流体充填装置を接続したことを特徴としている。
【０００７】さらに、同様の課題を解決するため、これ
らの微小流量測定装置における流体充填装置が、流体圧
源に連通する切換弁と、ストローク調整機構を有し上記
切換弁から出力される圧力流体で駆動して密封容器に所
定量の流体を充填する流体圧アクチュエータとを備えて
いることを特徴としている。
らの微小流量測定装置における流体充填装置が、流体圧
源に連通する切換弁と、ストローク調整機構を有し上記
切換弁から出力される圧力流体で駆動して密封容器に所
定量の流体を充填する流体圧アクチュエータとを備えて
いることを特徴としている。
【０００８】また、同様の課題を解決するため、これら
の微小流量測定装置における密封容器が、底箱と該底箱
に対して気密に摺動可能な上箱とを備え、流体充填装置
が、流体圧源に連通する切換弁と、ストローク調整機構
を有し上記切換弁から給排される圧力流体により駆動し
て上箱を移動させる流体圧アクチュエータとを備え、上
箱の移動で密封容器の容積を縮小させることにより該密
封容器に所定量の流体を充填することを特徴としてい
る。
の微小流量測定装置における密封容器が、底箱と該底箱
に対して気密に摺動可能な上箱とを備え、流体充填装置
が、流体圧源に連通する切換弁と、ストローク調整機構
を有し上記切換弁から給排される圧力流体により駆動し
て上箱を移動させる流体圧アクチュエータとを備え、上
箱の移動で密封容器の容積を縮小させることにより該密
封容器に所定量の流体を充填することを特徴としてい
る。
【０００９】
【作用】流体充填装置から密封容器に所定量の流体を供
給することによって、短時間で密封容器に流体を充填で
きるので、流量計によって、密封容器から流出する流体
の量を速やかに測定することができる。したがって、流
量計が測定した全流量から、流体充填装置で充填された
流体の所定量を引くことによって、被測定物からリーク
した流体の量を測定することができる。また、圧力スイ
ッチによって密封容器の流体圧を測定し、この流体圧か
ら、流体充填装置で充填された流体の所定量に基づく圧
力を引くことによって、リークした空気の圧力を測定
し、この測定圧力に基づいて被測定物からリークした流
体の量を測定することができる。
給することによって、短時間で密封容器に流体を充填で
きるので、流量計によって、密封容器から流出する流体
の量を速やかに測定することができる。したがって、流
量計が測定した全流量から、流体充填装置で充填された
流体の所定量を引くことによって、被測定物からリーク
した流体の量を測定することができる。また、圧力スイ
ッチによって密封容器の流体圧を測定し、この流体圧か
ら、流体充填装置で充填された流体の所定量に基づく圧
力を引くことによって、リークした空気の圧力を測定
し、この測定圧力に基づいて被測定物からリークした流
体の量を測定することができる。
【００１０】具体的には、切換弁から流体圧アクチュエ
ータに圧力流体を供給して、該流体圧アクチュエータを
所定のストローク駆動することによって、密封容器に所
定量の流体を充填することができ、充填する流体の量
は、ストローク調整機構により流体圧アクチュエータの
ストロークを調整することで、調整することができる。
したがって、被測定物の容積の大小等に応じて、充填す
る流体の量を調整することができる。
ータに圧力流体を供給して、該流体圧アクチュエータを
所定のストローク駆動することによって、密封容器に所
定量の流体を充填することができ、充填する流体の量
は、ストローク調整機構により流体圧アクチュエータの
ストロークを調整することで、調整することができる。
したがって、被測定物の容積の大小等に応じて、充填す
る流体の量を調整することができる。
【００１１】また、切換弁から流体圧アクチュエータに
圧力流体を供給して、密封容器の上箱を底箱に向け移動
させて密閉容器の容積を縮小することによって、密封容
器に所定量の流体を充填することができ、この場合も、
充填する流体の量は、流体圧アクチュエータのストロー
クを調整することで調整することができる。
圧力流体を供給して、密封容器の上箱を底箱に向け移動
させて密閉容器の容積を縮小することによって、密封容
器に所定量の流体を充填することができ、この場合も、
充填する流体の量は、流体圧アクチュエータのストロー
クを調整することで調整することができる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明の第１実施例を示し、この微小
流量測定装置１１は、被測定物１２を収容する密封容器
１３と、検出管路１４によって上記密封容器１３に連通
する流量計１５と、密封容器１３に所定量の圧縮空気を
供給する空気充填装置１６とを備え、密封容器１３に収
容された被測定物１２には、第１の電磁弁１８を有する
供給管路１９から空気源２０の圧縮空気が供給される。
流量測定装置１１は、被測定物１２を収容する密封容器
１３と、検出管路１４によって上記密封容器１３に連通
する流量計１５と、密封容器１３に所定量の圧縮空気を
供給する空気充填装置１６とを備え、密封容器１３に収
容された被測定物１２には、第１の電磁弁１８を有する
供給管路１９から空気源２０の圧縮空気が供給される。
【００１３】上記空気充填装置１６は、駆動管路２１に
よって空気源２０に連通する第２の電磁弁２２と、第２
の電磁弁２２から出力される圧縮空気で駆動する単動形
の空気圧シリンダ２３とを備え、復帰ばね２４が収容さ
れた空気圧シリンダ２３のばね室２５は、充填管路２６
によって密封容器１３に連通し、充填管路２６には、密
封容器１３への空気の流出のみを許容する逆止弁２７
と、そのばね室側の、ばね室２５への空気の流入のみを
許容する逆止弁２８とが設けられている。
よって空気源２０に連通する第２の電磁弁２２と、第２
の電磁弁２２から出力される圧縮空気で駆動する単動形
の空気圧シリンダ２３とを備え、復帰ばね２４が収容さ
れた空気圧シリンダ２３のばね室２５は、充填管路２６
によって密封容器１３に連通し、充填管路２６には、密
封容器１３への空気の流出のみを許容する逆止弁２７
と、そのばね室側の、ばね室２５への空気の流入のみを
許容する逆止弁２８とが設けられている。
【００１４】上記被測定物１２は、該被測定物１２に供
給された圧縮空気が、シール箇所等から漏洩する恐れが
ある機器を含み、バルブや管継手等の流体圧機器に限定
されるものではない。また、空気圧シリンダ２３は、ロ
ッド３０のストロークを調整するためのストローク調整
機構３１を有する空気圧シリンダとして構成されてい
る。なお、図示を簡略化しているが、密封容器１３は該
密封容器を気密に閉鎖する蓋を備え、蓋の開閉によって
密封容器１３に被測定物１２を挿入したり取り出たりす
ることができる。
給された圧縮空気が、シール箇所等から漏洩する恐れが
ある機器を含み、バルブや管継手等の流体圧機器に限定
されるものではない。また、空気圧シリンダ２３は、ロ
ッド３０のストロークを調整するためのストローク調整
機構３１を有する空気圧シリンダとして構成されてい
る。なお、図示を簡略化しているが、密封容器１３は該
密封容器を気密に閉鎖する蓋を備え、蓋の開閉によって
密封容器１３に被測定物１２を挿入したり取り出たりす
ることができる。
【００１５】上記第１実施例は、第１、第２の電磁弁１
８，２２のソレノイドを同時に励磁すると、被測定物１
２に空気源２０から圧縮空気が供給されるとともに、空
気充填装置１６の空気圧シリンダ２３にも圧縮空気が供
給されるので、空気圧シリンダ２３が駆動してばね室２
５の空気が密封容器１３に充填される。したがって、図
２のＶ1 とＶ2 との対比（図７も参照）で明らかなよう
に、公知の微小流量測定装置に比べて密封容器１３の空
気充填時間を大幅に短縮することができる。この場合、
空気圧シリンダ２３から密封容器１３に充填される空気
の量は、ストローク調整機構３１により空気圧シリンダ
２３のストロークを調整することで、調整することがで
きる。密封容器１３から流出する空気の量は、流量計１
５によって測定することができ、流量計１５が測定した
全流量から空気充填装置１６によって充填された空気量
を引くことによって、被測定物１２からリークした空気
の量を測定することができる。
８，２２のソレノイドを同時に励磁すると、被測定物１
２に空気源２０から圧縮空気が供給されるとともに、空
気充填装置１６の空気圧シリンダ２３にも圧縮空気が供
給されるので、空気圧シリンダ２３が駆動してばね室２
５の空気が密封容器１３に充填される。したがって、図
２のＶ1 とＶ2 との対比（図７も参照）で明らかなよう
に、公知の微小流量測定装置に比べて密封容器１３の空
気充填時間を大幅に短縮することができる。この場合、
空気圧シリンダ２３から密封容器１３に充填される空気
の量は、ストローク調整機構３１により空気圧シリンダ
２３のストロークを調整することで、調整することがで
きる。密封容器１３から流出する空気の量は、流量計１
５によって測定することができ、流量計１５が測定した
全流量から空気充填装置１６によって充填された空気量
を引くことによって、被測定物１２からリークした空気
の量を測定することができる。
【００１６】図３は、本発明の第２実施例を示し、この
微小流量測定装置３４における密封容器３５は、底箱３
６と、底箱３６に対して気密に摺動可能な上箱３７を備
え、上箱３７は、空気充填装置３９を構成する複動形の
空気圧シリンダ４０のロッド４１に連結されており、該
空気圧シリンダ４０にはロッド４１のストロークを調整
するストローク調整機構３１が設けられている。また、
空気圧シリンダ４０の圧力室４０ａと４０ｂは、第２の
電磁弁４２と駆動管路２１とによって空気源２０に連通
している。第２実施例の他の構成は第１実施例と同じで
あるから、図の主要な同一の箇所に同一の符号を付し
て、詳細な説明は省略する。
微小流量測定装置３４における密封容器３５は、底箱３
６と、底箱３６に対して気密に摺動可能な上箱３７を備
え、上箱３７は、空気充填装置３９を構成する複動形の
空気圧シリンダ４０のロッド４１に連結されており、該
空気圧シリンダ４０にはロッド４１のストロークを調整
するストローク調整機構３１が設けられている。また、
空気圧シリンダ４０の圧力室４０ａと４０ｂは、第２の
電磁弁４２と駆動管路２１とによって空気源２０に連通
している。第２実施例の他の構成は第１実施例と同じで
あるから、図の主要な同一の箇所に同一の符号を付し
て、詳細な説明は省略する。
【００１７】上記第２実施例は、第２の電磁弁４２から
空気圧シリンダ４０の圧力室４０ａに圧縮空気を供給す
ると、上箱３７が図において上動して底箱３６から外れ
るので、底箱３６に被測定物１２を収容することができ
る。第２の電磁弁４２を切り換えて圧力室４０ｂに圧縮
空気を供給すると、上箱３７が図において下動して底箱
３６を密封し、上箱３７の引き続く下動によって密封容
器３５に所定量の空気が充填される。この場合、上箱３
７の内径をＤ、底箱３６を密封した後の上蓋のストロー
クをＬとすると、密封容器３５の空気充填量はπＤ2 ／
４×Ｌとなり、この空気充填量は、ストローク調整機構
３１により空気圧シリンダ４０のストロークを調整する
ことで調整することができる。第２実施例の他の作用は
第１実施例と同じであるから、説明は省略する。
空気圧シリンダ４０の圧力室４０ａに圧縮空気を供給す
ると、上箱３７が図において上動して底箱３６から外れ
るので、底箱３６に被測定物１２を収容することができ
る。第２の電磁弁４２を切り換えて圧力室４０ｂに圧縮
空気を供給すると、上箱３７が図において下動して底箱
３６を密封し、上箱３７の引き続く下動によって密封容
器３５に所定量の空気が充填される。この場合、上箱３
７の内径をＤ、底箱３６を密封した後の上蓋のストロー
クをＬとすると、密封容器３５の空気充填量はπＤ2 ／
４×Ｌとなり、この空気充填量は、ストローク調整機構
３１により空気圧シリンダ４０のストロークを調整する
ことで調整することができる。第２実施例の他の作用は
第１実施例と同じであるから、説明は省略する。
【００１８】図４は本発明の第３実施例を示し、この微
小流量測定装置４４における密封容器１３は、検出管路
１４によって圧力スイッチ４５に連通している。第３実
施例の他の構成は第１実施例と同じであるから、図の主
要な箇所に同一の符号を付して、詳細な説明は省略す
る。上記第３実施例は、空気圧シリンダ２３によって充
填される所定の空気量に応じて密封容器１３の空気圧が
上昇する。したがって、圧力スイッチ４５が測定した単
位時間当たりの空気圧から、空気充填装置１６から充填
された空気量によって上昇した空気圧を引いた空気圧に
基づいて、被測定物１２からリークした空気の量を測定
することができる。
小流量測定装置４４における密封容器１３は、検出管路
１４によって圧力スイッチ４５に連通している。第３実
施例の他の構成は第１実施例と同じであるから、図の主
要な箇所に同一の符号を付して、詳細な説明は省略す
る。上記第３実施例は、空気圧シリンダ２３によって充
填される所定の空気量に応じて密封容器１３の空気圧が
上昇する。したがって、圧力スイッチ４５が測定した単
位時間当たりの空気圧から、空気充填装置１６から充填
された空気量によって上昇した空気圧を引いた空気圧に
基づいて、被測定物１２からリークした空気の量を測定
することができる。
【００１９】図５は本発明の第４実施例を示し、この微
小流量測定装置４７における密封容器３５は、検出管路
１４によって圧力スイッチ４５に連通している。第４実
施例の他の構成は第２実施例と同じであるから、図の主
要な同一の箇所に同一の符号を付して、詳細な説明は省
略する。第４実施例の作用は、流量計１５に代えて、圧
力スイッチ４５によって被測定物１２からリークした空
気の量を測定する以外は第２実施例と同じであるから、
説明は省略する。なお、密封容器に流体を充填するもの
は、図示の流体圧シリンダに限定されるものではなく、
公知の流体圧アクチュエータとすることができる。
小流量測定装置４７における密封容器３５は、検出管路
１４によって圧力スイッチ４５に連通している。第４実
施例の他の構成は第２実施例と同じであるから、図の主
要な同一の箇所に同一の符号を付して、詳細な説明は省
略する。第４実施例の作用は、流量計１５に代えて、圧
力スイッチ４５によって被測定物１２からリークした空
気の量を測定する以外は第２実施例と同じであるから、
説明は省略する。なお、密封容器に流体を充填するもの
は、図示の流体圧シリンダに限定されるものではなく、
公知の流体圧アクチュエータとすることができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明の微小流量測定装置は、流体充填
装置から被測定物を収容した密封容器に圧力流体を充填
することによって、密封容器への流体の充填時間が短縮
されるので、微小流量の測定時間を大幅に短縮すること
ができる。また、流体充填装置における流体圧アクチュ
エータにストローク調整機構を設けたので、密封装置と
被測定物間の容積に応じて、密封装置に供給する流体の
量を調整することができる。
装置から被測定物を収容した密封容器に圧力流体を充填
することによって、密封容器への流体の充填時間が短縮
されるので、微小流量の測定時間を大幅に短縮すること
ができる。また、流体充填装置における流体圧アクチュ
エータにストローク調整機構を設けたので、密封装置と
被測定物間の容積に応じて、密封装置に供給する流体の
量を調整することができる。
【図１】第１実施例の構成図である。
【図２】第１実施例の流量と時間の線図である。
【図３】第２実施例の構成図である。
【図４】第３実施例の構成図である。
【図５】第４実施例の構成図である。
【図６】公知の微小流量測定装置の構成図である。
【図７】公知の測定装置の流量と時間の線図である。
１１，３４，４４，４７ 微小流量測定装置 １２ 被測定物 １３，３５ 密封容器 １５ 流量計 １６，３９ 空気充填装置 ２２，４２ 第２の電磁弁 ２３，４０ 空気圧シリンダ ３１ ストローク調整機構 ３６ 底箱 ３７ 上箱 ４５ 圧力スイッチ
Claims (4)
- 【請求項１】被測定物を収容する密封容器と、該密封容
器から流出する流体の量を測定する流量計とを備え、上
記密封容器に収容した被測定物に圧力流体を供給して、
被測定物からリークする流体の量を流量計によって測定
する微小流量測定装置において、 上記密封容器に、該密封容器に所定量の流体を充填する
ための流体充填装置を接続した、ことを特徴とする微小
流量測定装置。 - 【請求項２】被測定物を収容する密封容器と、該密封容
器の流体圧を測定する圧力スイッチとを備え、上記密封
容器に収容した被測定物に圧力流体を供給して、被測定
物からリークする流体の量を圧力スイッチによって測定
する微小流量測定装置において、 上記密封容器に、該密封容器内に所定量の流体を充填す
るための流体充填装置を接続した、ことを特徴とする微
小流量測定装置。 - 【請求項３】流体充填装置が、流体圧源に連通する切換
弁と、ストローク調整機構を有し上記切換弁から出力さ
れる圧力流体で駆動して密封容器に所定量の流体を充填
する流体圧アクチュエータとを備えている、ことを特徴
とする請求項１または２に記載した微小流量測定装置。 - 【請求項４】密封容器が、底箱と該底箱に対して気密に
摺動可能な上箱とを備え、 流体充填装置が、流体圧源に連通する切換弁と、ストロ
ーク調整機構を有し上記切換弁から給排される圧力流体
により駆動して上箱を移動させる流体圧アクチュエータ
とを備え、上箱の移動で密封容器の容積を縮小させるこ
とにより該密封容器に所定量の流体を充填する、ことを
特徴とする請求項１または２に記載した微小流量測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29579394A JP3510688B2 (ja) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | 微小流量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29579394A JP3510688B2 (ja) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | 微小流量測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08136304A true JPH08136304A (ja) | 1996-05-31 |
| JP3510688B2 JP3510688B2 (ja) | 2004-03-29 |
Family
ID=17825240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29579394A Expired - Fee Related JP3510688B2 (ja) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | 微小流量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3510688B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021013656A (ja) * | 2019-07-14 | 2021-02-12 | 株式会社愛工舎製作所 | 連続ミキサー・エアーレーション装置における内圧調整レギュレータのパンク（破損）検知システム |
-
1994
- 1994-11-04 JP JP29579394A patent/JP3510688B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021013656A (ja) * | 2019-07-14 | 2021-02-12 | 株式会社愛工舎製作所 | 連続ミキサー・エアーレーション装置における内圧調整レギュレータのパンク（破損）検知システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3510688B2 (ja) | 2004-03-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8740175B2 (en) | Filling channel opening and closing device for liquid product filling apparatus | |
| KR100376127B1 (ko) | 흡인 밸브 | |
| UA86210C2 (uk) | Спосіб та пристрій для заповнення рідиною пакетів з фольги з шийкою | |
| US4918968A (en) | Apparatus and method of detecting leaks in pressurized piping systems | |
| US4012945A (en) | Means for testing containers for leakage | |
| JP3540428B2 (ja) | 液体充填方法及び装置 | |
| EP1589266B1 (en) | Seal device | |
| JP4674743B2 (ja) | 充填装置 | |
| JP3510688B2 (ja) | 微小流量測定装置 | |
| JPH11304633A (ja) | エアーリーク検出装置 | |
| JPH0249984A (ja) | ポンプの試験装置 | |
| JP2007514159A (ja) | タンクに収容された液体又はダクトを流れる流体の圧力の検査装置 | |
| JPS58171302A (ja) | 容積計量装置 | |
| JP2963143B2 (ja) | ポンプステーション | |
| CN211398639U (zh) | 具有传感器的电磁阀 | |
| JP2781533B2 (ja) | 磁石弁 | |
| CN113418662A (zh) | 一种液体分离的容器密封性测试仪 | |
| SU1188557A1 (ru) | Устройство дл контрол герметичности изделий | |
| JP3345392B2 (ja) | エアリーク検出装置 | |
| CN221033403U (zh) | 一种改良密封性气路 | |
| JP3449903B2 (ja) | アセプティック充填弁 | |
| JPH0518666Y2 (ja) | ||
| KR101476999B1 (ko) | 유압실린더의 내부 누유 측정 장치 | |
| JPH11281515A (ja) | ヘリウムリークテスト装置 | |
| CN220084281U (zh) | 一种电磁阀密封性检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20031226 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130109 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |