JPH0812419B2 - カラーフィルターの形成法 - Google Patents
カラーフィルターの形成法Info
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- JPH0812419B2 JPH0812419B2 JP59093716A JP9371684A JPH0812419B2 JP H0812419 B2 JPH0812419 B2 JP H0812419B2 JP 59093716 A JP59093716 A JP 59093716A JP 9371684 A JP9371684 A JP 9371684A JP H0812419 B2 JPH0812419 B2 JP H0812419B2
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
- G03F1/56—Organic absorbers, e.g. of photo-resists
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、フィルター内蔵型フルカラー液晶表示装
置、カラーファクシミリ、３管式または単管式カラービ
デオカメラ、固体カラービデオカメラ等に装着されるカ
ラーフィルターの形成法に関する。
置、カラーファクシミリ、３管式または単管式カラービ
デオカメラ、固体カラービデオカメラ等に装着されるカ
ラーフィルターの形成法に関する。
近年家庭用カラービデオカメラに対する関心が急速に
高まりつつある。家庭用カラービデオカメラは、小型で
あること、軽量であることそして高価でないことが要求
されており、このため２種または３種以上の色相を異に
する極めて微細なストライプが透明基板上に設けられた
カラーフィルターを撮像管に装着した単管式カラービデ
オカメラが用いられている。また同様の目的で、カラー
ビデオカメラの固体撮像素子の受光面上に直接密着する
ようにしてカラーフィルターを設けた固体カラービデオ
カメラも提案されている。
高まりつつある。家庭用カラービデオカメラは、小型で
あること、軽量であることそして高価でないことが要求
されており、このため２種または３種以上の色相を異に
する極めて微細なストライプが透明基板上に設けられた
カラーフィルターを撮像管に装着した単管式カラービデ
オカメラが用いられている。また同様の目的で、カラー
ビデオカメラの固体撮像素子の受光面上に直接密着する
ようにしてカラーフィルターを設けた固体カラービデオ
カメラも提案されている。
一方、液晶表示装置においても、表示される画像のカ
ラー化に対する関心が高まっており、そのための１つの
方法として、平行な一対の透明電極間に液晶材料を封入
し、透明電極を不連続な微細区域に分割するとともに、
この透明電極上の微細区域のそれぞれに赤、青、緑のい
ずれか１色から選ばれたカラーを交互にパターン状に設
ける方式あるいは基板上にカラーフィルターを形成した
後透明電極を設ける方式などが提案されている。
ラー化に対する関心が高まっており、そのための１つの
方法として、平行な一対の透明電極間に液晶材料を封入
し、透明電極を不連続な微細区域に分割するとともに、
この透明電極上の微細区域のそれぞれに赤、青、緑のい
ずれか１色から選ばれたカラーを交互にパターン状に設
ける方式あるいは基板上にカラーフィルターを形成した
後透明電極を設ける方式などが提案されている。
このようにカラービデオカメラあるいはカラー液晶表
示装置などに用いられるカラーフィルターは、色相の異
なる２種または３種以上の色に着色された極めて微細な
領域を透明基板あるいは固体撮像素子上に設けることに
よって形成されている。一般的に、微細な領域を色相の
異なる２種または３種以上の色に着色するには、透明な
着色画像（画素）を形成しうる感光性樹脂が用いられて
いる。
示装置などに用いられるカラーフィルターは、色相の異
なる２種または３種以上の色に着色された極めて微細な
領域を透明基板あるいは固体撮像素子上に設けることに
よって形成されている。一般的に、微細な領域を色相の
異なる２種または３種以上の色に着色するには、透明な
着色画像（画素）を形成しうる感光性樹脂が用いられて
いる。
従来、感光性樹脂により２種または３種以上の透明着
色画像を形成するには、まずポリビニルアルコール、ポ
リビニルピロリドン、ゼラチン、カゼイン、グリューな
どの親水性樹脂に、感光材として重クロム酸塩、クロム
酸塩あるいはジアゾ化合物などが添加されてなる感光性
樹脂を、透明基板あるいは固体撮像素子などの支持体上
に塗布して透明感光性樹脂層を形成する。次いで、この
感光性樹脂層上に所定形状の開口パターンを有するマス
クを載置し、露光および現像を行なって第１樹脂層を形
成し、この第１樹脂層を所望の染料で染色して第１透明
着色画像を形成する。次に、この第１透明着色画像上
に、染料の移行を防止するために、疎水性樹脂からなる
透明な防染用樹脂膜を形成した後、第１透明着色画像の
形成法と同様にして第２透明着色画像を形成する。上記
の操作を繰り返すことによって、２種または３種以上の
色に着色された透明着色画像が支持体上形成される。
色画像を形成するには、まずポリビニルアルコール、ポ
リビニルピロリドン、ゼラチン、カゼイン、グリューな
どの親水性樹脂に、感光材として重クロム酸塩、クロム
酸塩あるいはジアゾ化合物などが添加されてなる感光性
樹脂を、透明基板あるいは固体撮像素子などの支持体上
に塗布して透明感光性樹脂層を形成する。次いで、この
感光性樹脂層上に所定形状の開口パターンを有するマス
クを載置し、露光および現像を行なって第１樹脂層を形
成し、この第１樹脂層を所望の染料で染色して第１透明
着色画像を形成する。次に、この第１透明着色画像上
に、染料の移行を防止するために、疎水性樹脂からなる
透明な防染用樹脂膜を形成した後、第１透明着色画像の
形成法と同様にして第２透明着色画像を形成する。上記
の操作を繰り返すことによって、２種または３種以上の
色に着色された透明着色画像が支持体上形成される。
ところが上記の方法によれば、各色ごとに感光性樹脂
層を所定形状にパターニングしなければならず、しかも
各色ごとに透明な防染用樹脂膜を形成しなければ、複数
色の透明画像を設けることができないため、製造工程が
極めて煩雑であるという欠点がある。さらに、ある種の
カラーフィルターは、その使用中に加熱される場合があ
るが、上記方法では染料を用いて透明画像が着色されて
いるため、得られるカラーフィルターの耐熱性あるいは
耐光性には限界があり、この点で満足のいくものではな
かった。
層を所定形状にパターニングしなければならず、しかも
各色ごとに透明な防染用樹脂膜を形成しなければ、複数
色の透明画像を設けることができないため、製造工程が
極めて煩雑であるという欠点がある。さらに、ある種の
カラーフィルターは、その使用中に加熱される場合があ
るが、上記方法では染料を用いて透明画像が着色されて
いるため、得られるカラーフィルターの耐熱性あるいは
耐光性には限界があり、この点で満足のいくものではな
かった。
また、上記の方法によれば、透明基板上に設けられる
着色画像層の膜厚にばらつきが生じ、たとえばカラー液
晶表示装置などにこの着色画像を用いると、各色ごとに
電圧降下現象にばらつきが生ずるという問題点があっ
た。
着色画像層の膜厚にばらつきが生じ、たとえばカラー液
晶表示装置などにこの着色画像を用いると、各色ごとに
電圧降下現象にばらつきが生ずるという問題点があっ
た。
本発明は、従来技術に伴なう上記のような欠点あるい
は問題点を一挙に解決しようとするものであり、以下の
ような目的を有する。
は問題点を一挙に解決しようとするものであり、以下の
ような目的を有する。
（ａ） カラーフィルターなどのように２種または３種
以上に着色された透明着色画像を隣接して支持体上に設
ける際に、各色ごとに透明な防染用樹脂膜を形成する必
要がなく、したがって製造工程を簡略化しうる透明な着
色画像の形成法を提供すること。
以上に着色された透明着色画像を隣接して支持体上に設
ける際に、各色ごとに透明な防染用樹脂膜を形成する必
要がなく、したがって製造工程を簡略化しうる透明な着
色画像の形成法を提供すること。
（ｂ） 耐熱性ならびに耐光性に優れた透明な着色画像
を提供しうる透明な着色画像の形成法を提供すること。
を提供しうる透明な着色画像の形成法を提供すること。
（ｃ） 着色画像層の膜厚のばらつきが小さく、したが
って液晶表示装置に用いた場合に電圧降下にばらつきの
小さい透明な着色画像の形成法を提供すること。
って液晶表示装置に用いた場合に電圧降下にばらつきの
小さい透明な着色画像の形成法を提供すること。
上記目的を達成するため、本発明に係るカラーフィル
ターの形成法は、支持体上に、粒径１μｍ以上の粒子が
全粒子の10重量％以下であり、かつ、0.01〜0.3μｍの
範囲の粒子が全粒子の60重量％以上であるような粒径分
布を有する顔料が分散された感光性ポリイミド被膜を形
成し、次いで、この感光性ポリイミド被膜をパターン露
光したのち現像してパターン状の着色画像を形成し、さ
らに上記操作を複数回繰り返して複数色の着色画像をパ
ターン状に形成し、前記着色画像の上に所定のパターン
の透明導電膜を形成することを特徴としている。
ターの形成法は、支持体上に、粒径１μｍ以上の粒子が
全粒子の10重量％以下であり、かつ、0.01〜0.3μｍの
範囲の粒子が全粒子の60重量％以上であるような粒径分
布を有する顔料が分散された感光性ポリイミド被膜を形
成し、次いで、この感光性ポリイミド被膜をパターン露
光したのち現像してパターン状の着色画像を形成し、さ
らに上記操作を複数回繰り返して複数色の着色画像をパ
ターン状に形成し、前記着色画像の上に所定のパターン
の透明導電膜を形成することを特徴としている。
従来、ある種の顔料を支持体上に付着させてなる着色
物品は知られているが、そこで用いられている顔料の粒
径は、本発明のそれと比較して著しく大きいため透明性
が不充分であって、マスキングなどの用途にしか使用さ
れておらず、たとえカラーフィルタなどに使用したとし
ても透過率が低いため充分な感度を有するものは得られ
ない。
物品は知られているが、そこで用いられている顔料の粒
径は、本発明のそれと比較して著しく大きいため透明性
が不充分であって、マスキングなどの用途にしか使用さ
れておらず、たとえカラーフィルタなどに使用したとし
ても透過率が低いため充分な感度を有するものは得られ
ない。
また従来、支持体上に顔料を分散させた樹脂層を形成
する場合、顔料の粒径をどの範囲に制御すれば得られる
着色画像の透明性が高められるかということは知られて
いなかった。本発明は、特定の粒径分布を有する顔料を
分散させた感光性ポリイミド膜により着色層を形成する
ようにすれば、光の散乱による光透過率の低下が抑えさ
れ、得られる着色画像の透明性が実用に耐える程度に充
分に大きくなるという事実を見出したことに基づいてい
る。
する場合、顔料の粒径をどの範囲に制御すれば得られる
着色画像の透明性が高められるかということは知られて
いなかった。本発明は、特定の粒径分布を有する顔料を
分散させた感光性ポリイミド膜により着色層を形成する
ようにすれば、光の散乱による光透過率の低下が抑えさ
れ、得られる着色画像の透明性が実用に耐える程度に充
分に大きくなるという事実を見出したことに基づいてい
る。
以下、本発明に係る着色画像の形成法を図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
図（ａ）〜（ｄ）は、本発明に係る着色画像の形成法
を示す断面工程図である。本発明の方法においては、ま
ず図（ａ）に示すように、支持体１上に、たとえば赤色
顔料が分布された感光性ポリイミド被膜２を刷毛塗り
法、ロールコート法、浸漬法、回転塗布法、スプレー法
などにより、0.2〜3.0μｍの膜厚で形成する。
を示す断面工程図である。本発明の方法においては、ま
ず図（ａ）に示すように、支持体１上に、たとえば赤色
顔料が分布された感光性ポリイミド被膜２を刷毛塗り
法、ロールコート法、浸漬法、回転塗布法、スプレー法
などにより、0.2〜3.0μｍの膜厚で形成する。
支持体１としては、ソーダライムガラス、パイレック
スガラス、石英ガラス、合成石英板、光学用樹脂板、透
明樹脂フィルム（たとえばポリエステルフィルム）など
の透明支持体に加えてブラウン管基板、TFTなどの能動
素子、カラーファクシミリ用センサ、固体撮像素子など
の不透明支持体が用いられうる。また支持体に設けられ
たパターン状の透明電極上に本発明に係る着色画像を形
成することもでき、この意味で透明電極なども支持体１
となりうる。本発明にて得られる透明な着色画像を、カ
ラー液晶表示装置に用いる場合には、支持体および導電
膜は透明であることが好ましい。
スガラス、石英ガラス、合成石英板、光学用樹脂板、透
明樹脂フィルム（たとえばポリエステルフィルム）など
の透明支持体に加えてブラウン管基板、TFTなどの能動
素子、カラーファクシミリ用センサ、固体撮像素子など
の不透明支持体が用いられうる。また支持体に設けられ
たパターン状の透明電極上に本発明に係る着色画像を形
成することもでき、この意味で透明電極なども支持体１
となりうる。本発明にて得られる透明な着色画像を、カ
ラー液晶表示装置に用いる場合には、支持体および導電
膜は透明であることが好ましい。
本明細書において「顔料」とは、有機溶剤あるいは水
に難溶性である着色粉末を意味し、有機顔料および無機
顔料を含めて意味する。なお、ある種の染料（たとえば
分散顔料）は、有機溶剤あるいは水に難溶性であるもの
があり、この種の染料は本発明における「顔料」として
用いることができる。
に難溶性である着色粉末を意味し、有機顔料および無機
顔料を含めて意味する。なお、ある種の染料（たとえば
分散顔料）は、有機溶剤あるいは水に難溶性であるもの
があり、この種の染料は本発明における「顔料」として
用いることができる。
有機顔料としては、アゾレーキ系、不溶性アゾ系、縮
合アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ジオキ
サジン系、イソインドリノン系、アントラキノン系、ペ
リノン系、チオインジコ系、ペリレン系、あるいはこら
れの顔料の混合物が用いられうる。
合アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ジオキ
サジン系、イソインドリノン系、アントラキノン系、ペ
リノン系、チオインジコ系、ペリレン系、あるいはこら
れの顔料の混合物が用いられうる。
無機顔料としては、ミロリブルー、酸化鉄、コバルト
紫、マンガン紫、群青、紺青、コバルトブルー、セルリ
アンブルー、ビリアジン、エメラルドグリーン、コバル
トグリーンなどが用いられうる。
紫、マンガン紫、群青、紺青、コバルトブルー、セルリ
アンブルー、ビリアジン、エメラルドグリーン、コバル
トグリーンなどが用いられうる。
上記顔料は、粒径１μｍ以上の粒子が全顔料粒子の10
重量％以下、好ましくは５重量％以下、さらに好ましく
は２重量％以下であるような粒径分布を有していること
が好ましい。粒径１μｍ以上の粒子が全顔料粒子の10重
量％を越えると、光の散乱などによって光の透過率が低
下するため好ましくない。同時に、本発明に用いられう
る顔料は、粒径0.01〜0.7μｍ、好ましくは0.01〜0.3μ
ｍの粒子が全顔料粒子の20重量％以上、好ましくは30重
量％以上、さらに好ましくは50重量％以上，最も好まし
くは60重量％以上であるような粒径分布を有しているこ
とが望ましい。
重量％以下、好ましくは５重量％以下、さらに好ましく
は２重量％以下であるような粒径分布を有していること
が好ましい。粒径１μｍ以上の粒子が全顔料粒子の10重
量％を越えると、光の散乱などによって光の透過率が低
下するため好ましくない。同時に、本発明に用いられう
る顔料は、粒径0.01〜0.7μｍ、好ましくは0.01〜0.3μ
ｍの粒子が全顔料粒子の20重量％以上、好ましくは30重
量％以上、さらに好ましくは50重量％以上，最も好まし
くは60重量％以上であるような粒径分布を有しているこ
とが望ましい。
上記顔料が分散される感光性ポリイミド樹脂として
は、イミド結合により構成されるポリイミド、またアミ
ド結合とイミド結合により構成されるポリアミドイミ
ド、およびエステル結合とイミド結合により構成される
ポリエステルイミドなどがある。さらにたとえば特公昭
55-10180号公報に開示されている、ピロメリット酸無水
物と、4,4′−ジアミノジフェニルエーテルとの縮合物
を脱水閉環させたポリイミドも用いられる。
は、イミド結合により構成されるポリイミド、またアミ
ド結合とイミド結合により構成されるポリアミドイミ
ド、およびエステル結合とイミド結合により構成される
ポリエステルイミドなどがある。さらにたとえば特公昭
55-10180号公報に開示されている、ピロメリット酸無水
物と、4,4′−ジアミノジフェニルエーテルとの縮合物
を脱水閉環させたポリイミドも用いられる。
上記のようにして顔料が分布された感光性ポリイミド
被膜２を支持体１上に形成したのち、この感光性ポリイ
ミド被膜２を常法に従い所定形状にパターニングして、
着色画像2a（たとえば赤色）を形成する（図（ｂ））。
パターニングの方法としては、支持体上に形成された感
光性ポリイミド被膜に所定パターンのマスクを介して紫
外線などを照射し、これにより不溶化したパターンを残
して、非露光部を溶解除去することによりパターン露光
部を現像し、さらに必要に応じてこれを加熱などにより
乾燥させるとともにさらに硬化させる方法がとられる。
被膜２を支持体１上に形成したのち、この感光性ポリイ
ミド被膜２を常法に従い所定形状にパターニングして、
着色画像2a（たとえば赤色）を形成する（図（ｂ））。
パターニングの方法としては、支持体上に形成された感
光性ポリイミド被膜に所定パターンのマスクを介して紫
外線などを照射し、これにより不溶化したパターンを残
して、非露光部を溶解除去することによりパターン露光
部を現像し、さらに必要に応じてこれを加熱などにより
乾燥させるとともにさらに硬化させる方法がとられる。
次に上記と同様にして、着色画像2aとは異なる色を有
する着色画像2b（たとえば緑色）を着色画像2aに隣接す
るようにして設ける（図（ｃ））。さらに必要に応じ
て、着色画像2aおよび2bとは異なる色を有する着色画像
2c（たとえば青色）を、上記と同様にして、着色画像2a
と2bとの間に挟まれるようにして設ける（図（ｄ））。
する着色画像2b（たとえば緑色）を着色画像2aに隣接す
るようにして設ける（図（ｃ））。さらに必要に応じ
て、着色画像2aおよび2bとは異なる色を有する着色画像
2c（たとえば青色）を、上記と同様にして、着色画像2a
と2bとの間に挟まれるようにして設ける（図（ｄ））。
なお、必要に応じては、３色より大きい複数色の着色
画像を支持体上に設けることも可能である。
画像を支持体上に設けることも可能である。
本発明に係る着色画像を、たとえば液晶などのカラー
フィルタとして用いる場合には、特定の粒径を有する顔
料が分散されてなるポリイミド被膜を、布などによって
こするなどして配向処理することが好ましい。このよう
な場合には、ポリイミド被膜は着色層としての働きのほ
か配向層しての働きをも有する。
フィルタとして用いる場合には、特定の粒径を有する顔
料が分散されてなるポリイミド被膜を、布などによって
こするなどして配向処理することが好ましい。このよう
な場合には、ポリイミド被膜は着色層としての働きのほ
か配向層しての働きをも有する。
本発明により得られる透明な着色画像に、200℃程度
で２時間程度加熱処理を加えても、その分光透過率特性
はほとんど変化せず、優れた耐熱性を有している。な
お、一般の染料によって染色された着色画像は、200℃
で数十分間加熱されると大きく退色する。
で２時間程度加熱処理を加えても、その分光透過率特性
はほとんど変化せず、優れた耐熱性を有している。な
お、一般の染料によって染色された着色画像は、200℃
で数十分間加熱されると大きく退色する。
また、本発明により得られる透明な着色画像は、カー
ボンアークランプで30時間程度まで光照射しても色相の
変化は認められず、優れた耐光性を有している。
ボンアークランプで30時間程度まで光照射しても色相の
変化は認められず、優れた耐光性を有している。
なお、本発明に係る着色画像を液晶表示装置に用いる
場合には、ポリイミド着色画像上に、透明導電膜、配向
層をさらに設けてもよく、さらに支持体上の光源側に偏
光板を設けてもよい。
場合には、ポリイミド着色画像上に、透明導電膜、配向
層をさらに設けてもよく、さらに支持体上の光源側に偏
光板を設けてもよい。
本発明に係る着色画像の形成法は、特定の粒径分布を
有する顔料が分散されてなる感光性ポリイミド被膜をパ
ターン露光して形成されているので、以下のような効果
を有する。
有する顔料が分散されてなる感光性ポリイミド被膜をパ
ターン露光して形成されているので、以下のような効果
を有する。
（ａ） 複数色の着色画像を支持体上に設ける場合に、
各色ごとに透明は防染用樹脂膜を形成する必要がなく、
したがって製造工程を簡素化できる。
各色ごとに透明は防染用樹脂膜を形成する必要がなく、
したがって製造工程を簡素化できる。
（ｂ） 耐熱性ならびに耐光性に優れた着色画像が得ら
れる。
れる。
（ｃ） 着色画像層の膜厚のばらつきが小さく、したが
って液晶表示装置に用いる場合に電圧降下のばらつきが
小さい。
って液晶表示装置に用いる場合に電圧降下のばらつきが
小さい。
（ｄ） 液晶表示装置に用いる場合に、ポリイミド着色
画像を配向層して機能させることも可能となり、装置の
簡素化が図れる。
画像を配向層して機能させることも可能となり、装置の
簡素化が図れる。
以下本発明を実施例により説明するが、本発明はこれ
ら野実施例に限定されるものではない。
ら野実施例に限定されるものではない。
実施例１ クロモノタルレッドBRN（チバガイキー社製赤色顔
料）１重量部と、感光性ポリイミドである固形分17％の
フォトニース（東レ（株）製）をＮ−メチル−２−ピロ
リドンに溶解させて得られた（フォトニース：ピロリド
ン＝1:3（重量比））溶液10重量部とを混合し、得られ
た混合物を三本ロールで練肉分散した後、1200rpmで遠
心分離し１μｍのグラスフィルターで濾過した。次いで
得られた赤色感光性樹脂組成物を1mm厚みパイレックス
ガラル基板上に１μｍの膜厚に回転塗布し、80℃で30分
間乾燥し、所定形状のマスクを介して超高圧水銀ランプ
で密着露光した。次にパターン露光された感光性樹脂組
成物をスプレー現像し、非露光部を選択的に溶解除去し
た後、170℃で60分間加熱して、赤色画像を形成した。
料）１重量部と、感光性ポリイミドである固形分17％の
フォトニース（東レ（株）製）をＮ−メチル−２−ピロ
リドンに溶解させて得られた（フォトニース：ピロリド
ン＝1:3（重量比））溶液10重量部とを混合し、得られ
た混合物を三本ロールで練肉分散した後、1200rpmで遠
心分離し１μｍのグラスフィルターで濾過した。次いで
得られた赤色感光性樹脂組成物を1mm厚みパイレックス
ガラル基板上に１μｍの膜厚に回転塗布し、80℃で30分
間乾燥し、所定形状のマスクを介して超高圧水銀ランプ
で密着露光した。次にパターン露光された感光性樹脂組
成物をスプレー現像し、非露光部を選択的に溶解除去し
た後、170℃で60分間加熱して、赤色画像を形成した。
次に上記感光性ポリイミド溶液10重量部とリオノール
グリーン2Y-301（東洋インキ製造（株）製緑色顔料）１
重量部とを添加混合した後、得られた混合物を三本ロー
ルで練肉分散した後1200rpmで遠心分離し、１μｍのグ
ラスフィルターで濾過した。次いで得られた緑色感光性
樹脂組成物を、上記の赤色透明画像が設けられてガラス
基板の全面上に１μｍの膜厚で回転塗布し、80℃で30分
間乾燥した後、所定のマスクの精密に位置合せした後、
密着露光し、現像により非露光部を選択的に溶解除去、
170℃60分間のベーキングを行ない、上記赤色画像に隣
接するようにして緑色画像を形成した。
グリーン2Y-301（東洋インキ製造（株）製緑色顔料）１
重量部とを添加混合した後、得られた混合物を三本ロー
ルで練肉分散した後1200rpmで遠心分離し、１μｍのグ
ラスフィルターで濾過した。次いで得られた緑色感光性
樹脂組成物を、上記の赤色透明画像が設けられてガラス
基板の全面上に１μｍの膜厚で回転塗布し、80℃で30分
間乾燥した後、所定のマスクの精密に位置合せした後、
密着露光し、現像により非露光部を選択的に溶解除去、
170℃60分間のベーキングを行ない、上記赤色画像に隣
接するようにして緑色画像を形成した。
同様にして上記感光性ポリイミド溶液10重量部とクロ
モブルーA3R（チバガイギ社製青色顔料）１重量部とを
添加混合し、得られた混合物を３本ロールで練肉分散し
た後1200rpmで遠心分散し、１μｍのグラスフィルター
で濾過した。次いで得られた青色感光性樹脂組成物を上
記の赤色および緑色透明画像が設けられたガラス基板の
全面上に１μｍの膜厚で回転塗布し、80℃30分間乾燥し
た後、所定のマスクを精密に位置合せして、密着露光
し、現像により非露光部を選択的に溶解除去して乾燥し
上記緑色画像に隣接するようにして青色画像を形成し本
発明の着色画像を形成した。
モブルーA3R（チバガイギ社製青色顔料）１重量部とを
添加混合し、得られた混合物を３本ロールで練肉分散し
た後1200rpmで遠心分散し、１μｍのグラスフィルター
で濾過した。次いで得られた青色感光性樹脂組成物を上
記の赤色および緑色透明画像が設けられたガラス基板の
全面上に１μｍの膜厚で回転塗布し、80℃30分間乾燥し
た後、所定のマスクを精密に位置合せして、密着露光
し、現像により非露光部を選択的に溶解除去して乾燥し
上記緑色画像に隣接するようにして青色画像を形成し本
発明の着色画像を形成した。
このようにして得られた着色画像上にIn2O3（５％SnO
2）の透明導電膜を低温スパッタ法により800オングスト
ロームの膜厚で設け、次いでポリイミドをこの上に1000
オングストロームの膜厚で塗布形成した後、ラビング処
理を行ない、対向電極と組み合せた。次いで液晶を注入
してセルの組み立てを行ない、着色画像をセル内部に形
成したフルカラー液晶表示装置に適用したところすぐれ
た特性が得られた。
2）の透明導電膜を低温スパッタ法により800オングスト
ロームの膜厚で設け、次いでポリイミドをこの上に1000
オングストロームの膜厚で塗布形成した後、ラビング処
理を行ない、対向電極と組み合せた。次いで液晶を注入
してセルの組み立てを行ない、着色画像をセル内部に形
成したフルカラー液晶表示装置に適用したところすぐれ
た特性が得られた。
なお、赤色画像中での顔料の粒径分布をCoutler N4サ
ブミクロン粒子アナライザーにより分析したところ、平
均粒径は0.3μｍであり、１μｍ以上の粒径を有する粒
子は全粒子の２％以下、0.5μｍ以上の粒径を有する粒
子は全粒子の３％以下、0.01〜0.3μｍの粒径を有する
粒子は全粒子の60％であった。同様に緑色画像および青
色画像中での顔料の粒径分布を分析したところ、平均粒
径はそれぞれ0.3μｍであり、１μｍ以上の粒径を有す
る粒子は全粒子のそれぞれ２％以下、0.5μｍ以上の粒
径を有する全粒子のそれぞれ３％以下、0.01〜0.3μｍ
の粒径を有する粒子は全粒子のそれぞれ62％、63％であ
った。
ブミクロン粒子アナライザーにより分析したところ、平
均粒径は0.3μｍであり、１μｍ以上の粒径を有する粒
子は全粒子の２％以下、0.5μｍ以上の粒径を有する粒
子は全粒子の３％以下、0.01〜0.3μｍの粒径を有する
粒子は全粒子の60％であった。同様に緑色画像および青
色画像中での顔料の粒径分布を分析したところ、平均粒
径はそれぞれ0.3μｍであり、１μｍ以上の粒径を有す
る粒子は全粒子のそれぞれ２％以下、0.5μｍ以上の粒
径を有する全粒子のそれぞれ３％以下、0.01〜0.3μｍ
の粒径を有する粒子は全粒子のそれぞれ62％、63％であ
った。
実施例２ 1mm厚のソーダライムガラスである透明支持体上にSiO
2を膜厚1000オングストロームにスパッタ法で成膜後、I
n2O3（5wt％SnO2）を膜厚800にスパッタ成膜し、透明導
電膜を形成した。次にポジ型のレジストであるFHPR（富
士薬品工業（株）製）を塗布、乾燥後所定パターン形状
のマスクにより密着電光し現像ベーキング後塩化鉄溶液
により透明導電膜をエッチングした後レジストを剥離
し、透明電極を所定形状にパターン化した。
2を膜厚1000オングストロームにスパッタ法で成膜後、I
n2O3（5wt％SnO2）を膜厚800にスパッタ成膜し、透明導
電膜を形成した。次にポジ型のレジストであるFHPR（富
士薬品工業（株）製）を塗布、乾燥後所定パターン形状
のマスクにより密着電光し現像ベーキング後塩化鉄溶液
により透明導電膜をエッチングした後レジストを剥離
し、透明電極を所定形状にパターン化した。
次いで、実施例１と同様にして着色画像を前記透明電
極上に形成した。
極上に形成した。
すなわちクロモフタルレッドBRN（チバガイギー社製
赤色顔料）１重量部と、感光性ポリイミドで固形分17％
のフォトニース（東レ（株）製）をＮ−メチル−２−ピ
ロリドンに溶解させて得られた溶液（フォトニース：ピ
ロリドン＝1:3（重量比）10重量部とを混合し、得られ
た混合物を三本ロールで練肉分散した後、1200rpmで遠
心分離し１μｍのグラスフィルターで濾過した。次いで
得られた赤色感光性樹脂組成物をパターン状に設けられ
た上記透明電極の一部上に１μｍの膜厚に回転塗布し、
80℃で30分間乾燥し、所定形状のマスクを介して超高圧
水銀ランプで密着露光した。次にパターン露光された感
光性樹脂組成物をスプレー現像し、非露光部を選択的に
溶解除去した後、170℃で60分間加熱して、赤色画像を
形成した。
赤色顔料）１重量部と、感光性ポリイミドで固形分17％
のフォトニース（東レ（株）製）をＮ−メチル−２−ピ
ロリドンに溶解させて得られた溶液（フォトニース：ピ
ロリドン＝1:3（重量比）10重量部とを混合し、得られ
た混合物を三本ロールで練肉分散した後、1200rpmで遠
心分離し１μｍのグラスフィルターで濾過した。次いで
得られた赤色感光性樹脂組成物をパターン状に設けられ
た上記透明電極の一部上に１μｍの膜厚に回転塗布し、
80℃で30分間乾燥し、所定形状のマスクを介して超高圧
水銀ランプで密着露光した。次にパターン露光された感
光性樹脂組成物をスプレー現像し、非露光部を選択的に
溶解除去した後、170℃で60分間加熱して、赤色画像を
形成した。
次に上記感光性ポリイミド溶液10重量部とリオノール
グリーン2Y-301（東洋インキ製造（株）製緑色顔料）１
重量部とを添加混合した後、得られた混合物を三本ロー
ルで練肉分散した後1200rpmで遠心分離し、１μｍのグ
ラスフィルターで濾過した。次いで得られた緑色感光性
樹脂組成物を、赤色画像が設けられていないパターン状
の透明電極の一部上に１μｍの膜厚で回転塗布し、80℃
で30分間乾燥した後、所定のマスクを精密に位置合せし
た後、密着露光し、現像により非露光部を選択的に溶解
除去、170℃60分間のベーキングを行ない、上記赤色画
像に隣接するようにして緑色画像を形成した。
グリーン2Y-301（東洋インキ製造（株）製緑色顔料）１
重量部とを添加混合した後、得られた混合物を三本ロー
ルで練肉分散した後1200rpmで遠心分離し、１μｍのグ
ラスフィルターで濾過した。次いで得られた緑色感光性
樹脂組成物を、赤色画像が設けられていないパターン状
の透明電極の一部上に１μｍの膜厚で回転塗布し、80℃
で30分間乾燥した後、所定のマスクを精密に位置合せし
た後、密着露光し、現像により非露光部を選択的に溶解
除去、170℃60分間のベーキングを行ない、上記赤色画
像に隣接するようにして緑色画像を形成した。
同様にして上記感光性ポリイミド溶液10重量部とクロ
モブルーA3R（チバガイギ社製青色顔料）１重量部とを
添加混合し、得られた混合物を３本ロールで練肉分散し
た後1200rpmで遠心分散し、１μｍのグラスフィルター
で濾過した。次いで得られた青色感光性樹脂組成物を、
赤色画像および緑色画像が設けられていないパターン状
の上記透明電極上に１μｍの膜厚で回転塗布し、80℃30
分間乾燥した後、所定のマスクを精密に位置合せして、
密着露光し、現像により非露光部を選択的に溶解除去し
て乾燥し上記緑色画像に隣接するようにして青色画像を
形成し本発明の着色画像を形成した。
モブルーA3R（チバガイギ社製青色顔料）１重量部とを
添加混合し、得られた混合物を３本ロールで練肉分散し
た後1200rpmで遠心分散し、１μｍのグラスフィルター
で濾過した。次いで得られた青色感光性樹脂組成物を、
赤色画像および緑色画像が設けられていないパターン状
の上記透明電極上に１μｍの膜厚で回転塗布し、80℃30
分間乾燥した後、所定のマスクを精密に位置合せして、
密着露光し、現像により非露光部を選択的に溶解除去し
て乾燥し上記緑色画像に隣接するようにして青色画像を
形成し本発明の着色画像を形成した。
このようにして得られた着色画像の表面をラビング処理
して、対向電極と組み合せ、液晶を注入してセルの組み
立てを行ない、着色画像をセル内部に形成したフルカラ
ー液晶表示装置を作成したところ、すぐれた特性が得ら
れた。
して、対向電極と組み合せ、液晶を注入してセルの組み
立てを行ない、着色画像をセル内部に形成したフルカラ
ー液晶表示装置を作成したところ、すぐれた特性が得ら
れた。
なお、赤色画像中での顔料の粒径分布をCoutler N4サ
ブミクロン粒子アナライザーにより分析したところ、平
均粒径は0.3μｍであり、１μｍ以上の粒径を有する粒
子は全粒子の２％以下、0.5μｍ以上の粒径を有する粒
子は全粒子の３％以下、0.01〜0.3μｍの粒径を有する
粒子は全粒子の60％であった。同様に緑色画像および青
色画像中での顔料の粒径分布を分析したところ、平均粒
径はそれぞれ0.3μｍであり、１μｍ以上の粒径を有す
る粒子は全粒子のそれぞれ２％以下、0.5μｍ以上の粒
径を有する全粒子のそれぞれ３％以下、0.01〜0.3μｍ
の粒径を有する粒子は全粒子のそれぞれ62％、63％であ
った。
ブミクロン粒子アナライザーにより分析したところ、平
均粒径は0.3μｍであり、１μｍ以上の粒径を有する粒
子は全粒子の２％以下、0.5μｍ以上の粒径を有する粒
子は全粒子の３％以下、0.01〜0.3μｍの粒径を有する
粒子は全粒子の60％であった。同様に緑色画像および青
色画像中での顔料の粒径分布を分析したところ、平均粒
径はそれぞれ0.3μｍであり、１μｍ以上の粒径を有す
る粒子は全粒子のそれぞれ２％以下、0.5μｍ以上の粒
径を有する全粒子のそれぞれ３％以下、0.01〜0.3μｍ
の粒径を有する粒子は全粒子のそれぞれ62％、63％であ
った。
第１図（ａ）〜（ｄ）は、本発明に係る着色画像の形成
法の各工程を示す断面図である。 １……支持体、２……ポリイミド着色画像。
法の各工程を示す断面図である。 １……支持体、２……ポリイミド着色画像。
Claims (1)
- 【請求項１】支持体上に、粒径１μｍ以上の粒子が全粒
子の10重量％以下であり、かつ、0.01〜0.3μｍの範囲
の粒子が全粒子の60重量％以上であるような粒径分布を
有する顔料が分散された感光性ポリイミド被膜を形成
し、 次いで、この感光性ポリイミド被膜をパターン露光した
のち現像してパターン状の着色画像を形成し、さらに上
記操作を複数回繰り返して複数色の着色画像をパターン
状に形成し、前記着色画像の上に所定のパターンの透明
導電膜を形成することを特徴とする、カラーフィルター
の形成法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59093716A JPH0812419B2 (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | カラーフィルターの形成法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59093716A JPH0812419B2 (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | カラーフィルターの形成法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60237441A JPS60237441A (ja) | 1985-11-26 |
| JPH0812419B2 true JPH0812419B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=14090136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59093716A Expired - Lifetime JPH0812419B2 (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | カラーフィルターの形成法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0812419B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6194004A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-05-12 | Nec Corp | カラ−フイルタ−製造方法 |
| JPS62145202A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-06-29 | Kyodo Printing Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
| JPH07113685B2 (ja) * | 1986-03-20 | 1995-12-06 | キヤノン株式会社 | カラーフィルター |
| JPS62242918A (ja) * | 1986-04-15 | 1987-10-23 | Kyodo Printing Co Ltd | カラ−フイルタ |
| JPS6318303A (ja) * | 1986-07-10 | 1988-01-26 | Minolta Camera Co Ltd | カラ−フイルタ−を有する受光素子 |
| JP2520399B2 (ja) * | 1986-08-12 | 1996-07-31 | シチズン時計株式会社 | カラ−液晶パネルの製造方法 |
| JP2530440B2 (ja) * | 1986-11-20 | 1996-09-04 | キヤノン株式会社 | 強誘電性液晶素子の製造方法 |
| JPH01121802A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラーフィルタの製造法 |
| JPH01201603A (ja) * | 1988-02-08 | 1989-08-14 | Sanyo Electric Co Ltd | カラーフィルタおよびその製造方法 |
| JPH02103501A (ja) * | 1988-10-13 | 1990-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JPH02203347A (ja) * | 1989-01-31 | 1990-08-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | 着色画像形成用感光性組成物 |
| EP0646845B1 (en) * | 1992-06-19 | 2001-03-14 | Nippon Steel Corporation | Color filter, material thereof and resin |
| EP2567995B1 (en) | 2006-12-26 | 2014-02-19 | Asahi Kasei E-materials Corporation | Resin composition for printing plate |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5716407A (en) * | 1980-07-03 | 1982-01-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Manufacture for stripe filter |
-
1984
- 1984-05-10 JP JP59093716A patent/JPH0812419B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 新編色彩科学ハンドブック編日本色彩学会東京大学出版会（昭和５５年７月３１日発行）第６８３頁 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60237441A (ja) | 1985-11-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |