JPH08122649A - 顕微鏡用落射照明装置 - Google Patents
顕微鏡用落射照明装置Info
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- JPH08122649A JPH08122649A JP26345894A JP26345894A JPH08122649A JP H08122649 A JPH08122649 A JP H08122649A JP 26345894 A JP26345894 A JP 26345894A JP 26345894 A JP26345894 A JP 26345894A JP H08122649 A JPH08122649 A JP H08122649A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 偏光子や複屈折結晶板を用いる微分干渉法に
よらず、簡易に試料面の微細な凹凸を強調観察すること
を可能にする。 【構成】 顕微鏡用落射照明装置に開口絞りの移動機構
２０を設け、この移動機構２０によって開口絞り３を光
軸に垂直な面内で移動させて、照明光を対物レンズ８の
中心より僅かにずらし、斜め照明効果を得る。
よらず、簡易に試料面の微細な凹凸を強調観察すること
を可能にする。 【構成】 顕微鏡用落射照明装置に開口絞りの移動機構
２０を設け、この移動機構２０によって開口絞り３を光
軸に垂直な面内で移動させて、照明光を対物レンズ８の
中心より僅かにずらし、斜め照明効果を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料面の微細な凹凸を
簡易に強調して観察するための顕微鏡用落射照明装置に
関する。
簡易に強調して観察するための顕微鏡用落射照明装置に
関する。
【０００２】
＜一般的な顕微鏡用落射照明装置＞図８を参照して、一
般の顕微鏡装置で使用されている落射照明装置を説明す
る。図８に示される落射照明法はケーラー法と言われる
ものである。但し、図８では、顕微鏡本体は落射照明装
置の説明に必要な対物レンズ８のみが示されている。
般の顕微鏡装置で使用されている落射照明装置を説明す
る。図８に示される落射照明法はケーラー法と言われる
ものである。但し、図８では、顕微鏡本体は落射照明装
置の説明に必要な対物レンズ８のみが示されている。
【０００３】図８において、従来の顕微鏡用落射照明装
置Ｄは、照明ランプ１と、コレクタレンズ２と、開口絞
り３と、リレーレンズ４と、視野絞り５と、フィールド
レンズ６と、ハーフミラー７から構成され、これらの部
品１〜７が落射照明筒９及び顕微鏡筒に設置されてい
る。但し、開口絞り３及びハーフミラー７の位置はラン
プ像１Ｂが対物レンズ８の中心を通るように、光軸に対
して位置が固定されている。対物レンズ８を通る光はラ
ンプ像１Ｂが持つ光強度に対応して、試料１０の表面に
対し平均的に照射されるようになっている。
置Ｄは、照明ランプ１と、コレクタレンズ２と、開口絞
り３と、リレーレンズ４と、視野絞り５と、フィールド
レンズ６と、ハーフミラー７から構成され、これらの部
品１〜７が落射照明筒９及び顕微鏡筒に設置されてい
る。但し、開口絞り３及びハーフミラー７の位置はラン
プ像１Ｂが対物レンズ８の中心を通るように、光軸に対
して位置が固定されている。対物レンズ８を通る光はラ
ンプ像１Ｂが持つ光強度に対応して、試料１０の表面に
対し平均的に照射されるようになっている。
【０００４】即ち、照明ランプ１から出た光はコレクタ
レンズ２を通り、開口絞り３の位置にランプ像１Ａとし
て結像する。この開口絞り３はランプ像１Ａを規制し適
当な光強度を設定するものである。更にリレーレンズ
４，視野絞り５及びフィールドレンズ６を通り、ハーフ
ミラー７を介して対物レンズ８の後ろ焦点位置に、開口
絞り３で規制されたランプ像１Ｂが結像される。ここ
で、対物レンズ８を通る光は、ランプ像１Ｂが対物レン
ズ８の後ろ焦点位置にあるため、同ランプ像１Ｂのもつ
光強度に対応して試料１０面に対し平均的に照射され
る。なお、視野絞り５はフィールドレンズ６により試料
１０面に結像し、照明視野を規制するものである。
レンズ２を通り、開口絞り３の位置にランプ像１Ａとし
て結像する。この開口絞り３はランプ像１Ａを規制し適
当な光強度を設定するものである。更にリレーレンズ
４，視野絞り５及びフィールドレンズ６を通り、ハーフ
ミラー７を介して対物レンズ８の後ろ焦点位置に、開口
絞り３で規制されたランプ像１Ｂが結像される。ここ
で、対物レンズ８を通る光は、ランプ像１Ｂが対物レン
ズ８の後ろ焦点位置にあるため、同ランプ像１Ｂのもつ
光強度に対応して試料１０面に対し平均的に照射され
る。なお、視野絞り５はフィールドレンズ６により試料
１０面に結像し、照明視野を規制するものである。
【０００５】上述した構成により、落射照明装置Ｄで
は、開口絞り３で照明の明るさを、視野絞り５で照明の
領域を、それぞれ独立にコントロールすることが可能に
なっている。
は、開口絞り３で照明の明るさを、視野絞り５で照明の
領域を、それぞれ独立にコントロールすることが可能に
なっている。
【０００６】しかし、開口絞り３による規制像であるラ
ンプ像１Ｂが対物レンズ８の中心を通るため、試料１０
の表面に垂直に照明光が照射されることになり、試料１
０面の微細な凹凸を顕微鏡で観察することが困難である
という欠点がある。
ンプ像１Ｂが対物レンズ８の中心を通るため、試料１０
の表面に垂直に照明光が照射されることになり、試料１
０面の微細な凹凸を顕微鏡で観察することが困難である
という欠点がある。
【０００７】＜微分干渉法＞試料表面の微細な凹凸を強
調して観察するための顕微鏡観察法として、従来、微分
干渉法があり広く利用されている。この微分干渉法で
は、顕微鏡の光路に偏光子や、複屈折結晶板を挿入する
ことにより、試料表面の微細な凹凸を強調観察している
調して観察するための顕微鏡観察法として、従来、微分
干渉法があり広く利用されている。この微分干渉法で
は、顕微鏡の光路に偏光子や、複屈折結晶板を挿入する
ことにより、試料表面の微細な凹凸を強調観察している
【０００８】しかし、このような微分干渉法による観察
では、偏光子や複屈折結晶板などの高価な構成部品を必
要とするという欠点がある。また、微分干渉法では、こ
れらの構成部品の使用により、試料表面の色調が干渉色
観察のために実際の試料面の色調とは異なるものになる
という欠点がある。
では、偏光子や複屈折結晶板などの高価な構成部品を必
要とするという欠点がある。また、微分干渉法では、こ
れらの構成部品の使用により、試料表面の色調が干渉色
観察のために実際の試料面の色調とは異なるものになる
という欠点がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した従来
技術の欠点に鑑み、偏光子や複屈折結晶板などの高価な
部品を使用することなく、簡易に試料面の微細な凹凸の
強調観察を可能とする、顕微鏡用落射照明装置を提供す
ることを目的とするものである。
技術の欠点に鑑み、偏光子や複屈折結晶板などの高価な
部品を使用することなく、簡易に試料面の微細な凹凸の
強調観察を可能とする、顕微鏡用落射照明装置を提供す
ることを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の顕微鏡用落射照明装置は、対物レンズの後ろ焦点位
置に結像する開口絞り機構による規制像を対物レンズの
中心よりずらす機構を備えたものであり、例えば、開口
絞り機構を光軸に対し垂直な面内で移動可能とする機構
と、ハーフミラーを光軸面内で回転可能とする機構との
うち、いずれか一方、あるいは双方を具備することを特
徴とする。
明の顕微鏡用落射照明装置は、対物レンズの後ろ焦点位
置に結像する開口絞り機構による規制像を対物レンズの
中心よりずらす機構を備えたものであり、例えば、開口
絞り機構を光軸に対し垂直な面内で移動可能とする機構
と、ハーフミラーを光軸面内で回転可能とする機構との
うち、いずれか一方、あるいは双方を具備することを特
徴とする。
【００１１】
【作用】開口絞り機構による規制像を対物レンズ中心よ
り僅かにずらすと、この移動によって試料面に斜め照明
効果を得ることができ、この斜め照明効果によって試料
面の凹凸を強調観察することが可能になる。従って、従
来の微分干渉法に比し、簡易な部品構成で所望の効果を
得ることができる。また、観察原理から明らかなよう
に、試料色調そのままでの観察が可能である。開口絞り
機構による規制像の移動は、開口絞り機構を光軸に対し
垂直な面内で移動するか、ハーフミラーを光軸面内で回
転することにより達成することができる。開口絞り機構
の移動とハーフミラーの回転とを併用する場合は、それ
ぞれを個別に調整することにより、観察試料面の明るさ
の均一化を図ることができる。
り僅かにずらすと、この移動によって試料面に斜め照明
効果を得ることができ、この斜め照明効果によって試料
面の凹凸を強調観察することが可能になる。従って、従
来の微分干渉法に比し、簡易な部品構成で所望の効果を
得ることができる。また、観察原理から明らかなよう
に、試料色調そのままでの観察が可能である。開口絞り
機構による規制像の移動は、開口絞り機構を光軸に対し
垂直な面内で移動するか、ハーフミラーを光軸面内で回
転することにより達成することができる。開口絞り機構
の移動とハーフミラーの回転とを併用する場合は、それ
ぞれを個別に調整することにより、観察試料面の明るさ
の均一化を図ることができる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の顕微鏡用落射
照明装置をその実施例とともに説明する。
照明装置をその実施例とともに説明する。
【００１３】＜第１実施例：開口絞り機構の移動機構単
独＞図１は本発明の第１実施例に係る顕微鏡用落射照明
装置Ａを示し、同落射照明装置Ａは照明ランプ１と、コ
レクタレンズ２と、開口絞り３と、この開口絞り３を光
軸に垂直な面内で矢印２１方向に移動させる移動機構２
０と、リレーレンズ４と、視野絞り５と、フィールドレ
ンズ６と、ハーフミラー７から構成され、これらは落射
照明筒９及び顕微鏡筒に設置されている。なお、顕微鏡
本体は説明に必要な対物レンズ８のみが示されている。
独＞図１は本発明の第１実施例に係る顕微鏡用落射照明
装置Ａを示し、同落射照明装置Ａは照明ランプ１と、コ
レクタレンズ２と、開口絞り３と、この開口絞り３を光
軸に垂直な面内で矢印２１方向に移動させる移動機構２
０と、リレーレンズ４と、視野絞り５と、フィールドレ
ンズ６と、ハーフミラー７から構成され、これらは落射
照明筒９及び顕微鏡筒に設置されている。なお、顕微鏡
本体は説明に必要な対物レンズ８のみが示されている。
【００１４】移動機構２０は図２，図３に示すように、
落射照明筒９に横からロ形状の貫通孔２２を明け、この
貫通孔２２に開口絞り３を矢印２３方向に進退可能に挿
入したものであり、絞り中心３Ａの移動（矢印２１方
向）を、この挿入位置で調整することができる。
落射照明筒９に横からロ形状の貫通孔２２を明け、この
貫通孔２２に開口絞り３を矢印２３方向に進退可能に挿
入したものであり、絞り中心３Ａの移動（矢印２１方
向）を、この挿入位置で調整することができる。
【００１５】移動機構２０によって開口絞り３の中心３
Ａを矢印２１方向に適宜移動することにより、対物レン
ズ８の後ろ焦点位置に結像するランプ像１Ｂ（開口絞り
３による規制像）を対物レンズ８の中心より僅かにずら
すことができる。この移動によって試料１０に対し斜め
照明効果を得ることができ、この斜め照明効果によって
試料１０面の微細な凹凸を強調観察することができる。
Ａを矢印２１方向に適宜移動することにより、対物レン
ズ８の後ろ焦点位置に結像するランプ像１Ｂ（開口絞り
３による規制像）を対物レンズ８の中心より僅かにずら
すことができる。この移動によって試料１０に対し斜め
照明効果を得ることができ、この斜め照明効果によって
試料１０面の微細な凹凸を強調観察することができる。
【００１６】なお、図１中の各部品１〜１０は図８の従
来の落射照明装置Ｄにおける同符号のものと同一機能を
持つ。即ち、照明ランプ１から出た光はコレクタレンズ
２を通り、移動機構２０により矢印２１方向に適宜移動
された開口絞り３の位置にランプ像１Ａとして結像す
る。開口絞り３はランプ像１Ａを規制し適当な光強度を
設定する。更にリレーレンズ４，視野絞り５及びフィー
ルドレンズ６を通り、ハーフミラー７を介して対物レン
ズ８の後ろ焦点位置に、開口絞り３で規制されたランプ
像１Ｂが結像される。ここで、対物レンズ８の後ろ焦点
位置に結像するランプ像１Ｂは、開口絞り３の移動によ
り対物レンズ８の中心より僅かにずれる。なお、視野絞
り５はフィールドレンズ６により試料１０面に結像し、
照明視野を規制する。また、開口絞り３が照明の明るさ
を、視野絞り５が照明の領域を、それぞれ独立にコント
ロールすることが可能になっている。
来の落射照明装置Ｄにおける同符号のものと同一機能を
持つ。即ち、照明ランプ１から出た光はコレクタレンズ
２を通り、移動機構２０により矢印２１方向に適宜移動
された開口絞り３の位置にランプ像１Ａとして結像す
る。開口絞り３はランプ像１Ａを規制し適当な光強度を
設定する。更にリレーレンズ４，視野絞り５及びフィー
ルドレンズ６を通り、ハーフミラー７を介して対物レン
ズ８の後ろ焦点位置に、開口絞り３で規制されたランプ
像１Ｂが結像される。ここで、対物レンズ８の後ろ焦点
位置に結像するランプ像１Ｂは、開口絞り３の移動によ
り対物レンズ８の中心より僅かにずれる。なお、視野絞
り５はフィールドレンズ６により試料１０面に結像し、
照明視野を規制する。また、開口絞り３が照明の明るさ
を、視野絞り５が照明の領域を、それぞれ独立にコント
ロールすることが可能になっている。
【００１７】＜第２実施例：ハーフミラーの回転機構単
独＞図４は本発明の第２実施例に係る顕微鏡用落射照明
装置Ｂを示し、同落射照明装置Ｂは照明ランプ１と、コ
レクタレンズ２と、開口絞り３と、リレーレンズ４と、
視野絞り５と、フィールドレンズ６と、ハーフミラー７
と、このハーフミラー７を光軸面内で矢印３１方向に回
転させる回転機構３０から構成され、これらは落射照明
筒９及び顕微鏡筒に設置されている。なお、顕微鏡本体
は説明に必要な対物レンズ８のみが示されている。
独＞図４は本発明の第２実施例に係る顕微鏡用落射照明
装置Ｂを示し、同落射照明装置Ｂは照明ランプ１と、コ
レクタレンズ２と、開口絞り３と、リレーレンズ４と、
視野絞り５と、フィールドレンズ６と、ハーフミラー７
と、このハーフミラー７を光軸面内で矢印３１方向に回
転させる回転機構３０から構成され、これらは落射照明
筒９及び顕微鏡筒に設置されている。なお、顕微鏡本体
は説明に必要な対物レンズ８のみが示されている。
【００１８】回転機構３０は図５，図６に示すように、
ハーフミラー７の回転中心に回転軸３２を設けて顕微鏡
筒１１の側壁に回転可能に貫通させ、回転軸３２にこれ
を回転させるためのダイヤル３３を連結したものであ
り、顕微鏡筒１１の外側からダイヤル３３によってハー
フミラー７を矢印３１方向に微小回転操作することがで
きる。
ハーフミラー７の回転中心に回転軸３２を設けて顕微鏡
筒１１の側壁に回転可能に貫通させ、回転軸３２にこれ
を回転させるためのダイヤル３３を連結したものであ
り、顕微鏡筒１１の外側からダイヤル３３によってハー
フミラー７を矢印３１方向に微小回転操作することがで
きる。
【００１９】回転機構３０によってハーフミラー７を矢
印３１方向に適宜回転することにより、対物レンズ８の
後ろ焦点位置に結像するランプ像１Ｂ（開口絞り３によ
る規制像）を対物レンズ８の中心より僅かにずらすこと
ができる。この移動によって試料１０に対し斜め照明効
果を得ることができ、この斜め照明効果によって試料１
０面の微細な凹凸を強調観察することができる。
印３１方向に適宜回転することにより、対物レンズ８の
後ろ焦点位置に結像するランプ像１Ｂ（開口絞り３によ
る規制像）を対物レンズ８の中心より僅かにずらすこと
ができる。この移動によって試料１０に対し斜め照明効
果を得ることができ、この斜め照明効果によって試料１
０面の微細な凹凸を強調観察することができる。
【００２０】なお、図４中の各部品１〜１０も図８の従
来の落射照明装置Ｄにおける同符号のものと同一機能を
持つ。即ち、照明ランプ１から出た光はコレクタレンズ
２を通り、開口絞り３の位置にランプ像１Ａとして結像
する。開口絞り３はランプ像１Ａを規制し適当な光強度
を設定する。更にリレーレンズ４，視野絞り５及びフィ
ールドレンズ６を通り、回転機構３０により矢印３１方
向に適宜回転されたハーフミラー７を介して対物レンズ
８の後ろ焦点位置に、開口絞り３で規制されたランプ像
１Ｂが結像される。ここで、対物レンズ８の後ろ焦点位
置に結像するランプ像１Ｂは、ハーフミラー７の回転に
より対物レンズ８の中心より僅かにずれる。なお、視野
絞り５はフィールドレンズ６により試料１０面に結像
し、照明視野を規制する。また、開口絞り３が照明の明
るさを、視野絞り５が照明の領域を、それぞれ独立にコ
ントロールすることが可能になっている。
来の落射照明装置Ｄにおける同符号のものと同一機能を
持つ。即ち、照明ランプ１から出た光はコレクタレンズ
２を通り、開口絞り３の位置にランプ像１Ａとして結像
する。開口絞り３はランプ像１Ａを規制し適当な光強度
を設定する。更にリレーレンズ４，視野絞り５及びフィ
ールドレンズ６を通り、回転機構３０により矢印３１方
向に適宜回転されたハーフミラー７を介して対物レンズ
８の後ろ焦点位置に、開口絞り３で規制されたランプ像
１Ｂが結像される。ここで、対物レンズ８の後ろ焦点位
置に結像するランプ像１Ｂは、ハーフミラー７の回転に
より対物レンズ８の中心より僅かにずれる。なお、視野
絞り５はフィールドレンズ６により試料１０面に結像
し、照明視野を規制する。また、開口絞り３が照明の明
るさを、視野絞り５が照明の領域を、それぞれ独立にコ
ントロールすることが可能になっている。
【００２１】＜第３実施例：開口絞り機構の移動機構と
ハーフミラーの回転機構併用＞図７に示すように、開口
絞り機構の移動機構２０と、ハーフミラーの回転機構３
０との両方を設けても良い。即ち、開口絞りの移動機構
２０とハーフミラーの回転機構３０はいずれも照明光中
心を対物レンズ８の中心より外す機構になっているた
め、顕微鏡観察領域の明るさに若干不均一性を生じる。
両者を併用することにより、照明光中心の移動（開口絞
りの移動機構２０）と照明光の中心軸に対する傾き（ハ
ーフミラーの回転機構３０）を個別に調整できるので、
観察試料面の明るさの均一化を図ることができる。
ハーフミラーの回転機構併用＞図７に示すように、開口
絞り機構の移動機構２０と、ハーフミラーの回転機構３
０との両方を設けても良い。即ち、開口絞りの移動機構
２０とハーフミラーの回転機構３０はいずれも照明光中
心を対物レンズ８の中心より外す機構になっているた
め、顕微鏡観察領域の明るさに若干不均一性を生じる。
両者を併用することにより、照明光中心の移動（開口絞
りの移動機構２０）と照明光の中心軸に対する傾き（ハ
ーフミラーの回転機構３０）を個別に調整できるので、
観察試料面の明るさの均一化を図ることができる。
【００２２】詳しく説明すれば、図７は本発明の第３実
施例に係る顕微鏡用落射照明装置Ｃを示し、同落射照明
装置Ｃは照明ランプ１と、コレクタレンズ２と、開口絞
り３と、この開口絞り３を光軸に垂直な面内で矢印２１
方向に移動させる移動機構２０と、リレーレンズ４と、
視野絞り５と、フィールドレンズ６と、ハーフミラー７
と、ハーフミラー７を光軸面内で矢印３１方向に回転さ
せる回転機構３０から構成され、これらは落射照明筒９
及び顕微鏡筒に設置されている。なお、顕微鏡本体は説
明に必要な対物レンズ８のみが示されている。
施例に係る顕微鏡用落射照明装置Ｃを示し、同落射照明
装置Ｃは照明ランプ１と、コレクタレンズ２と、開口絞
り３と、この開口絞り３を光軸に垂直な面内で矢印２１
方向に移動させる移動機構２０と、リレーレンズ４と、
視野絞り５と、フィールドレンズ６と、ハーフミラー７
と、ハーフミラー７を光軸面内で矢印３１方向に回転さ
せる回転機構３０から構成され、これらは落射照明筒９
及び顕微鏡筒に設置されている。なお、顕微鏡本体は説
明に必要な対物レンズ８のみが示されている。
【００２３】移動機構２０は第１実施例の図２，図３に
示したように、落射照明筒９に横からロ形状の貫通孔２
２を明け、この貫通孔２２に開口絞り３を矢印２３の如
く進退可能に挿入したものであり、絞り中心３Ａの移動
（矢印２１方向）を、この挿入位置で調整することがで
きる。
示したように、落射照明筒９に横からロ形状の貫通孔２
２を明け、この貫通孔２２に開口絞り３を矢印２３の如
く進退可能に挿入したものであり、絞り中心３Ａの移動
（矢印２１方向）を、この挿入位置で調整することがで
きる。
【００２４】回転機構３０は第２実施例の図５，図６に
示したように、ハーフミラー７の回転中心に回転軸３２
を設けて顕微鏡筒１１の側壁に回転可能に貫通させ、回
転軸３２にこれを回転させるためのダイヤル３３を連結
したものであり、顕微鏡筒１１の外側からダイヤル３３
によってハーフミラー７を矢印３１方向に微小回転操作
することができる。
示したように、ハーフミラー７の回転中心に回転軸３２
を設けて顕微鏡筒１１の側壁に回転可能に貫通させ、回
転軸３２にこれを回転させるためのダイヤル３３を連結
したものであり、顕微鏡筒１１の外側からダイヤル３３
によってハーフミラー７を矢印３１方向に微小回転操作
することができる。
【００２５】上述の移動機構２０によって開口絞り３の
中心３Ａを矢印２１方向に適宜移動し、またこれと同時
に回転機構３０によってハーフミラー７を矢印３１方向
に適宜回転することにより、対物レンズ８の後ろ焦点位
置に結像するランプ像１Ｂ（開口絞り３に規制像）を対
物レンズ８の中心より僅かにずらすことができ、且つ試
料１０面の明るさの均一化を図ることができる。このラ
ンプ像１Ｂの移動によって試料１０に対し斜め照明効果
を得ることができ、この斜め照明効果によって試料１０
面の微細な凹凸を強調観察することができる。
中心３Ａを矢印２１方向に適宜移動し、またこれと同時
に回転機構３０によってハーフミラー７を矢印３１方向
に適宜回転することにより、対物レンズ８の後ろ焦点位
置に結像するランプ像１Ｂ（開口絞り３に規制像）を対
物レンズ８の中心より僅かにずらすことができ、且つ試
料１０面の明るさの均一化を図ることができる。このラ
ンプ像１Ｂの移動によって試料１０に対し斜め照明効果
を得ることができ、この斜め照明効果によって試料１０
面の微細な凹凸を強調観察することができる。
【００２６】なお、図７中の各部品１〜１０も図８の従
来の落射照明装置Ｄにおける同符号のものと同一機能を
持つ。即ち、照明ランプ１から出た光はコレクタレンズ
２を通り、移動機構２０により矢印２１方向に適宜移動
された開口絞り３の位置にランプ像１Ａとして結像す
る。開口絞り３はランプ像１Ａを規制し適当な光強度を
設定する。更にリレーレンズ４，視野絞り５及びフィー
ルドレンズ６を通り、回転機構３０により矢印３１方向
に適宜回転されたハーフミラー７を介して対物レンズ８
の後ろ焦点位置に、開口絞り３で規制されたランプ像１
Ｂが結像される。ここで、対物レンズ８の後ろ焦点位置
に結像するランプ像１Ｂは、開口絞り３の移動及びハー
フミラー７の回転により対物レンズ８の中心より僅かに
ずれる。なお、視野絞り５はフィールドレンズ６により
試料１０面に結像し、照明視野を規制する。また、開口
絞り３が照明の明るさを、視野絞り５が照明の領域を、
それぞれ独立にコントロールすることが可能になってい
る。
来の落射照明装置Ｄにおける同符号のものと同一機能を
持つ。即ち、照明ランプ１から出た光はコレクタレンズ
２を通り、移動機構２０により矢印２１方向に適宜移動
された開口絞り３の位置にランプ像１Ａとして結像す
る。開口絞り３はランプ像１Ａを規制し適当な光強度を
設定する。更にリレーレンズ４，視野絞り５及びフィー
ルドレンズ６を通り、回転機構３０により矢印３１方向
に適宜回転されたハーフミラー７を介して対物レンズ８
の後ろ焦点位置に、開口絞り３で規制されたランプ像１
Ｂが結像される。ここで、対物レンズ８の後ろ焦点位置
に結像するランプ像１Ｂは、開口絞り３の移動及びハー
フミラー７の回転により対物レンズ８の中心より僅かに
ずれる。なお、視野絞り５はフィールドレンズ６により
試料１０面に結像し、照明視野を規制する。また、開口
絞り３が照明の明るさを、視野絞り５が照明の領域を、
それぞれ独立にコントロールすることが可能になってい
る。
【００２７】＜第２実施例と従来の落射照明装置との効
果の対比＞図４に示した第２実施例の装置Ｂ（ハーフミ
ラー７の回転機構３０付き）と、図８に示した従来の落
射照明装置Ｄとを下記（１）〜（４）の条件下で使用し
て試料１０表面の凹凸を観察し、顕微鏡写真をとった
所、図９（ａ），（ｂ）に模式的に示すような効果の差
異があった。図９（ａ）は従来装置Ｄの場合であり、ハ
ーフミラー７の角度は落射照明光に対し標準の４５°固
定である。図９（ｂ）は第２実施例装置Ｂの場合であ
り、ハーフミラー７の角度は落射照明光に対し４５°±
５°の範囲で回転させ最適と思われる角度に設定した。
なお、条件（１）：対物レンズ８の倍率はともに×８０
である。条件（２）：開口絞り３はともにmax （絞り孔
最小、閉口）である。条件（３）：視野絞り５はともに
min （絞り孔最大、開口）である。条件（４）：照明ラ
ンプ１の光強度等他のパラメータは一切ともに同一であ
る。
果の対比＞図４に示した第２実施例の装置Ｂ（ハーフミ
ラー７の回転機構３０付き）と、図８に示した従来の落
射照明装置Ｄとを下記（１）〜（４）の条件下で使用し
て試料１０表面の凹凸を観察し、顕微鏡写真をとった
所、図９（ａ），（ｂ）に模式的に示すような効果の差
異があった。図９（ａ）は従来装置Ｄの場合であり、ハ
ーフミラー７の角度は落射照明光に対し標準の４５°固
定である。図９（ｂ）は第２実施例装置Ｂの場合であ
り、ハーフミラー７の角度は落射照明光に対し４５°±
５°の範囲で回転させ最適と思われる角度に設定した。
なお、条件（１）：対物レンズ８の倍率はともに×８０
である。条件（２）：開口絞り３はともにmax （絞り孔
最小、閉口）である。条件（３）：視野絞り５はともに
min （絞り孔最大、開口）である。条件（４）：照明ラ
ンプ１の光強度等他のパラメータは一切ともに同一であ
る。
【００２８】図９より、従来装置Ｄでは平面的に見え試
料の凹部１０Ａと凸部１０Ｂがどちらか判然としないが
（図９（ａ））、実施例装置Ｂでは斜め照明のため凹凸
が強調されて凹凸境界の壁面に暗部１０Ｃと明部１０Ｄ
が生じ、どちらが凹部１０Ａで、どちらが凸部１０Ｂで
あるかが一目で判る（図９（ｂ））。
料の凹部１０Ａと凸部１０Ｂがどちらか判然としないが
（図９（ａ））、実施例装置Ｂでは斜め照明のため凹凸
が強調されて凹凸境界の壁面に暗部１０Ｃと明部１０Ｄ
が生じ、どちらが凹部１０Ａで、どちらが凸部１０Ｂで
あるかが一目で判る（図９（ｂ））。
【００２９】
【発明の効果】本発明の顕微鏡用落射照明装置によれ
ば、従来の微分干渉法に用いられていた偏光子や複屈折
結晶板などの高価な部品を必要とせず、従来の落射照明
装置に開口絞り機構の移動機構あるいは／及びハーフミ
ラーの回転機構と言った簡単な機構を組み込むことで、
開口絞り機構による規制像を対物レンズ中心より僅かに
ずらして、試料面に斜め照明効果を得る。これによって
試料面の微細な凹凸を強調して観察することができる。
また、本発明の顕微鏡用落射照明装置を用いる場合は、
観察の原理から明らかなように、試料色調そのままでの
観察が可能となる。
ば、従来の微分干渉法に用いられていた偏光子や複屈折
結晶板などの高価な部品を必要とせず、従来の落射照明
装置に開口絞り機構の移動機構あるいは／及びハーフミ
ラーの回転機構と言った簡単な機構を組み込むことで、
開口絞り機構による規制像を対物レンズ中心より僅かに
ずらして、試料面に斜め照明効果を得る。これによって
試料面の微細な凹凸を強調して観察することができる。
また、本発明の顕微鏡用落射照明装置を用いる場合は、
観察の原理から明らかなように、試料色調そのままでの
観察が可能となる。
【図１】本発明の第１実施例に係る顕微鏡用落射照明装
置の構成図。
置の構成図。
【図２】開口絞り機構の移動機構を示す断面図。
【図３】図２のIII −III 線断面図。
【図４】本発明の第２実施例に係る顕微鏡用落射照明装
置の構成図。
置の構成図。
【図５】ハーフミラーの回転機構を示す図。
【図６】図５のVI−VI線断面図。
【図７】本発明の第３実施例に係る顕微鏡用落射照明装
置の構成図。
置の構成図。
【図８】従来の顕微鏡用落射照明装置を示す図。
【図９】顕微鏡写真をとった場合の本発明の効果を従来
と対比して模式的に示す図。
と対比して模式的に示す図。
Ａ，Ｂ，Ｃ 第１〜第３各実施例の落射照明装置 １ 照明ランプ ２ コレクタレンズ ３ 開口絞り ３Ａ 絞り中心 ４ リレーレンズ ５ 視野絞り ６ フィールドレンズ ７ ハーフミラー ８ 対物レンズ ９ 落射照明筒 １０ 試料 １１ 顕微鏡筒 ２０ 移動機構 ２１ 移動方向 ２２ 貫通孔 ２３ 挿入方向 ３０ 回転機構 ３１ 回転方向 ３２ 回転軸 ３３ ダイヤル
Claims (3)
- 【請求項１】 顕微鏡用落射照明装置において、開口絞
り機構を光軸に対し垂直な面内で移動可能とする機構を
具備することを特徴とする顕微鏡用落射照明装置。 - 【請求項２】 顕微鏡用落射照明装置において、ハーフ
ミラーを光軸面内で回転可能とする機構を具備すること
を特徴とする顕微鏡用落射照明装置。 - 【請求項３】 顕微鏡用落射照明装置において、開口絞
り機構を光軸に対し垂直な面内で移動可能とする機構
と、ハーフミラーを光軸面内で回転可能とする機構とを
具備することを特徴とする顕微鏡用落射照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26345894A JPH08122649A (ja) | 1994-10-27 | 1994-10-27 | 顕微鏡用落射照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26345894A JPH08122649A (ja) | 1994-10-27 | 1994-10-27 | 顕微鏡用落射照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08122649A true JPH08122649A (ja) | 1996-05-17 |
Family
ID=17389793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26345894A Withdrawn JPH08122649A (ja) | 1994-10-27 | 1994-10-27 | 顕微鏡用落射照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08122649A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1293818A2 (de) | 2001-09-07 | 2003-03-19 | Leica Microsystems (Schweiz) AG | Mikroskop mit einer Beleuchtungseinspiegelung |
| JP2005180939A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Lasertec Corp | 光学装置、検査装置及び検査方法 |
| JP2012083755A (ja) * | 2010-10-12 | 2012-04-26 | Leica Microsystems Cms Gmbh | 顕微鏡照明システム、顕微鏡および傾斜入射照明方法 |
-
1994
- 1994-10-27 JP JP26345894A patent/JPH08122649A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1293818A2 (de) | 2001-09-07 | 2003-03-19 | Leica Microsystems (Schweiz) AG | Mikroskop mit einer Beleuchtungseinspiegelung |
| JP2003149559A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-05-21 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | 照明差込入射部を有する顕微鏡 |
| US7102818B2 (en) * | 2001-09-07 | 2006-09-05 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Microscope having a system for reflecting in illumination |
| JP2005180939A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Lasertec Corp | 光学装置、検査装置及び検査方法 |
| JP2012083755A (ja) * | 2010-10-12 | 2012-04-26 | Leica Microsystems Cms Gmbh | 顕微鏡照明システム、顕微鏡および傾斜入射照明方法 |
| CN102445750A (zh) * | 2010-10-12 | 2012-05-09 | 徕卡显微系统复合显微镜有限公司 | 显微镜照明系统、显微镜和倾斜入射照明方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020115 |