JPH0812234B2 - 磁性薄膜の磁化特性検出方法 - Google Patents
磁性薄膜の磁化特性検出方法Info
- Publication number
- JPH0812234B2 JPH0812234B2 JP62047176A JP4717687A JPH0812234B2 JP H0812234 B2 JPH0812234 B2 JP H0812234B2 JP 62047176 A JP62047176 A JP 62047176A JP 4717687 A JP4717687 A JP 4717687A JP H0812234 B2 JPH0812234 B2 JP H0812234B2
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- thin film
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- magnetic thin
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- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） この発明は、磁気テープや磁気カードの磁気ストライ
プ等の磁性薄膜の磁化特性を検出するための方法に関す
る。
プ等の磁性薄膜の磁化特性を検出するための方法に関す
る。
（技術的背景と解決すべき問題点） 情報化社会の進展に伴ない、磁気カードあるいはデー
タ記録媒体としての磁気テープ，磁気ディスク等は既に
大きな市場になっているが、今後もさらに大きく発展す
ることは容易に予測できる。これらの媒体が大量，安
定，低価格に生産されるためには、更に研究開発の進
展，品質レベルの向上などが求められており、これらの
ことを支援するための手段の一つとして、媒体の磁化特
性を計測する装置が使用されている。
タ記録媒体としての磁気テープ，磁気ディスク等は既に
大きな市場になっているが、今後もさらに大きく発展す
ることは容易に予測できる。これらの媒体が大量，安
定，低価格に生産されるためには、更に研究開発の進
展，品質レベルの向上などが求められており、これらの
ことを支援するための手段の一つとして、媒体の磁化特
性を計測する装置が使用されている。
ここにおいて検出方法の一例として、先ず環状試料に
おける磁化特性の一般的な検出方法を説明すると、測定
しようとする磁性体に磁界Ｈを印加すると、この大きさ
によって磁性体に発生する磁束量Φが変化する。そし
て、磁界Ｈを横軸に、磁束Φを縦軸にして、この様子を
グラフにしたものを磁化曲線（ヒステリシスループ）と
いうが、この磁化曲線は一般的に第９図に示す構成で得
られる。すなわち、円環状の磁性体100の１次側に磁化
コイル101が巻回されると共に（巻数N1）、２次側に検
出コイル102が巻回されている（巻数N2）。そして、磁
化コイル101に低周波発振器103から低周波の三角波が印
加されると共に、抵抗R1が直列に介挿されている。
おける磁化特性の一般的な検出方法を説明すると、測定
しようとする磁性体に磁界Ｈを印加すると、この大きさ
によって磁性体に発生する磁束量Φが変化する。そし
て、磁界Ｈを横軸に、磁束Φを縦軸にして、この様子を
グラフにしたものを磁化曲線（ヒステリシスループ）と
いうが、この磁化曲線は一般的に第９図に示す構成で得
られる。すなわち、円環状の磁性体100の１次側に磁化
コイル101が巻回されると共に（巻数N1）、２次側に検
出コイル102が巻回されている（巻数N2）。そして、磁
化コイル101に低周波発振器103から低周波の三角波が印
加されると共に、抵抗R1が直列に介挿されている。
ここで、磁性体100内の磁界Ｈは磁化コイル101に流れ
る電流I1に比例するとになせるので、磁性体100の磁路
長をｌとすると となる。一方、発生する磁束Φは検出コイル102の出力
電圧V2を積分することによって得られる。つまり、出力
電圧VCは であるから となる。このように電圧V1,VCを測定することによって
磁化曲線（Φ−Ｈ曲線）が得られる。また、電圧V2を縦
軸にとると、透磁率に比例した出力が得られる。
る電流I1に比例するとになせるので、磁性体100の磁路
長をｌとすると となる。一方、発生する磁束Φは検出コイル102の出力
電圧V2を積分することによって得られる。つまり、出力
電圧VCは であるから となる。このように電圧V1,VCを測定することによって
磁化曲線（Φ−Ｈ曲線）が得られる。また、電圧V2を縦
軸にとると、透磁率に比例した出力が得られる。
このような原理に基ずく磁性体測定装置は、1973年発
行の“横河技報 Vol.17 No.2"の49頁〜72頁に述べら
れている。しかしながら、この測定装置は高透磁率材
料，永久磁石などの板、ブロック材、磁性粉、磁性薄膜
などを測定対象にして汎用性をもたせているが、機能，
操作性，価格などに難点がある。特に磁気テープの測定
には、ある装置の構成上ある大きさに揃えて、第10図に
示す如く10枚程度の厚さにした試料110を用いなければ
ならず、非常に面倒であった。また、磁気カード等の磁
気ストライプの測定を、磁気カードに層設した状態のま
まで行なうことは不可能であった。
行の“横河技報 Vol.17 No.2"の49頁〜72頁に述べら
れている。しかしながら、この測定装置は高透磁率材
料，永久磁石などの板、ブロック材、磁性粉、磁性薄膜
などを測定対象にして汎用性をもたせているが、機能，
操作性，価格などに難点がある。特に磁気テープの測定
には、ある装置の構成上ある大きさに揃えて、第10図に
示す如く10枚程度の厚さにした試料110を用いなければ
ならず、非常に面倒であった。また、磁気カード等の磁
気ストライプの測定を、磁気カードに層設した状態のま
まで行なうことは不可能であった。
（発明の目的） この発明は上記問題点に鑑みなされたもので、この発
明の目的は、磁気テープ，磁気ストライプ等の磁性薄膜
の磁化特性曲線を非常に簡便に、かつ試料を物理的に破
壊したり変形することなく検出できるようにした磁化特
性検出方法を提供することにある。
明の目的は、磁気テープ，磁気ストライプ等の磁性薄膜
の磁化特性曲線を非常に簡便に、かつ試料を物理的に破
壊したり変形することなく検出できるようにした磁化特
性検出方法を提供することにある。
（問題点を解決するための手段） この発明は磁性薄膜の磁化特性検出方法に関するもの
で、上記この発明の目的は、差動型磁気ヘッドの１次コ
イルに低周波信号を印加し、前記差動型磁気ヘッドのギ
ャップ部を測定すべき磁性薄膜から遠ざけた状態で前記
低周波信号により印加磁界を変化させ、このときの前記
差動型磁気ヘッドの２次コイルの差動出力電圧をサンプ
リングして記憶し、前記差動型磁気ヘッドのギャップ部
を測定すべき磁性薄膜に接触または近接した状態で前記
低周波信号により印加磁界を変化させ、このときの前記
差動型磁気ヘッドの２次コイルの差動出力電圧をサンプ
リングして記憶し、印加磁界で同期をとって各サンプリ
ング毎に記憶された両者の差動出力電圧の差を各々求
め、これを積分することにより前記磁性薄膜の磁化特性
曲線を求めることによって達成される。
で、上記この発明の目的は、差動型磁気ヘッドの１次コ
イルに低周波信号を印加し、前記差動型磁気ヘッドのギ
ャップ部を測定すべき磁性薄膜から遠ざけた状態で前記
低周波信号により印加磁界を変化させ、このときの前記
差動型磁気ヘッドの２次コイルの差動出力電圧をサンプ
リングして記憶し、前記差動型磁気ヘッドのギャップ部
を測定すべき磁性薄膜に接触または近接した状態で前記
低周波信号により印加磁界を変化させ、このときの前記
差動型磁気ヘッドの２次コイルの差動出力電圧をサンプ
リングして記憶し、印加磁界で同期をとって各サンプリ
ング毎に記憶された両者の差動出力電圧の差を各々求
め、これを積分することにより前記磁性薄膜の磁化特性
曲線を求めることによって達成される。
（発明の作用） この発明では差動型磁気ヘッドに１次コイル及び２次
コイルを巻回し、前記１次コイルに低周波信号を印加す
ると共に、前記差動型磁気ヘッドの検出側ヘッドに被検
出体が有る時と無い時の差動出力電圧の差に基づいて、
磁速Φ−磁界Ｈの磁化特性曲線を求めている。なお、磁
界Φが求まれば、測定断面積をＳとしたとき、磁束密度
ＢはΦ/Sとなるので、一般的なＢ−Ｈ曲線も求めること
ができる。
コイルを巻回し、前記１次コイルに低周波信号を印加す
ると共に、前記差動型磁気ヘッドの検出側ヘッドに被検
出体が有る時と無い時の差動出力電圧の差に基づいて、
磁速Φ−磁界Ｈの磁化特性曲線を求めている。なお、磁
界Φが求まれば、測定断面積をＳとしたとき、磁束密度
ＢはΦ/Sとなるので、一般的なＢ−Ｈ曲線も求めること
ができる。
（発明の実施例） 第１図はこの発明方法の原理構成を示しており、上下
及び左右に対称のＨ字状の磁気コア１には、巻き線N1の
直列に接続された１次コイル２及び３が巻回されると共
に、巻数N2の２次コイル４及び５がそれぞれ分離して巻
回されており、１次コイル２及び３は１〜10Hz程度の低
周波三角波を出力する発振器６に接続されている。磁気
コア１の下部には検出側のギャップ部1Aが、上部には非
検出側のギャップ部1Bがそれぞれ設けられている。ま
た、発振器６及び１次コイル２の間には電気抵抗ｒが介
挿され、この抵抗ｒによる降下電圧Viは増幅器７を介し
て得られる。２次コイル４の出力電圧VSは増幅器10を介
して得られ、２次コイル５の出力電圧VSCは増幅器11を
介して得られ、出力電圧VS及びVSCは差動増幅器12へ入
力されている。増幅器10,増幅器11,差動増幅器12のゲイ
ンは便宜上１と設定する。そして、コイル部の磁気コア
１の断面積をS,ギャップ部1Aの磁気コア断面積をSg,コ
ア磁路長をl,ギャップ長をlg,磁気コア１の透磁率を
μ，空気の透磁率をμ０とする。
及び左右に対称のＨ字状の磁気コア１には、巻き線N1の
直列に接続された１次コイル２及び３が巻回されると共
に、巻数N2の２次コイル４及び５がそれぞれ分離して巻
回されており、１次コイル２及び３は１〜10Hz程度の低
周波三角波を出力する発振器６に接続されている。磁気
コア１の下部には検出側のギャップ部1Aが、上部には非
検出側のギャップ部1Bがそれぞれ設けられている。ま
た、発振器６及び１次コイル２の間には電気抵抗ｒが介
挿され、この抵抗ｒによる降下電圧Viは増幅器７を介し
て得られる。２次コイル４の出力電圧VSは増幅器10を介
して得られ、２次コイル５の出力電圧VSCは増幅器11を
介して得られ、出力電圧VS及びVSCは差動増幅器12へ入
力されている。増幅器10,増幅器11,差動増幅器12のゲイ
ンは便宜上１と設定する。そして、コイル部の磁気コア
１の断面積をS,ギャップ部1Aの磁気コア断面積をSg,コ
ア磁路長をl,ギャップ長をlg,磁気コア１の透磁率を
μ，空気の透磁率をμ０とする。
先ず、検出側のギャップ部1Aの発生磁界について述べ
る。
る。
ギャップ部1Aに何も媒体を接触させない状態の磁束Φ
は、磁気コア１の磁気抵抗をＲ（＝l/μＳ）、ギャップ
部1Aの磁気抵抗をRg（＝lg/μ0Sg）とすると、 であり、ギャップ部1Aの磁界Hgは である。ここで、 とすると、 であり、更にVi＝Ｉ・ｒであることから、磁界Hgと電圧
Viとの関係は となる。
は、磁気コア１の磁気抵抗をＲ（＝l/μＳ）、ギャップ
部1Aの磁気抵抗をRg（＝lg/μ0Sg）とすると、 であり、ギャップ部1Aの磁界Hgは である。ここで、 とすると、 であり、更にVi＝Ｉ・ｒであることから、磁界Hgと電圧
Viとの関係は となる。
次に、磁気抵抗Ｒ＜＜Rgの関係により第２図に示すよ
うにギャップ部1Aにおいては磁束Φは広がりを有し、磁
性薄膜20の内部にも一部の磁束が見かけ上ギャップ長lg
の方向に平行に近い状態になる。いま磁気薄膜20をギャ
ップ部1Aに接触させた時の磁束をΦ１とすると、２次コ
イル４の起電圧VSは であり、非検出側の２次コイル５の起電圧VSCは磁束を
ΦＣとすると、 となる。従って、差動増幅器12による差動後の出力VDは
（８）〜（10）式より、磁性薄膜20が無いときは であり、磁性薄膜20が有るときは となる。ここで磁束Φは、発振器６より低周波の三角波
が１次コイル２及び３に印加されていることから単調増
加又は減少する。このような差動増幅器12の出力VD,VD1
をコンピュータ内に取込むと共に、印加磁界Ｈで同期を
とり、（11）及び（12）式の差をとることによって、磁
性薄膜20を設定したことによる磁束Φの増分に基づく電
圧VD′を算出することができる。尚、磁性薄膜20がない
ときの差動増幅器12の出力VDはほぼ零に近いので大まか
な検出でよい場合、または磁気コア１の製造精度を高め
て出力VDが零となっている場合（キャンセル側と検出側
の特性を完全に一致させれば、VS＝VSCとなる）には、
差動出力VDをコンピュータ内に取込む必要はなく、VD1
をVD′とすることができる。
うにギャップ部1Aにおいては磁束Φは広がりを有し、磁
性薄膜20の内部にも一部の磁束が見かけ上ギャップ長lg
の方向に平行に近い状態になる。いま磁気薄膜20をギャ
ップ部1Aに接触させた時の磁束をΦ１とすると、２次コ
イル４の起電圧VSは であり、非検出側の２次コイル５の起電圧VSCは磁束を
ΦＣとすると、 となる。従って、差動増幅器12による差動後の出力VDは
（８）〜（10）式より、磁性薄膜20が無いときは であり、磁性薄膜20が有るときは となる。ここで磁束Φは、発振器６より低周波の三角波
が１次コイル２及び３に印加されていることから単調増
加又は減少する。このような差動増幅器12の出力VD,VD1
をコンピュータ内に取込むと共に、印加磁界Ｈで同期を
とり、（11）及び（12）式の差をとることによって、磁
性薄膜20を設定したことによる磁束Φの増分に基づく電
圧VD′を算出することができる。尚、磁性薄膜20がない
ときの差動増幅器12の出力VDはほぼ零に近いので大まか
な検出でよい場合、または磁気コア１の製造精度を高め
て出力VDが零となっている場合（キャンセル側と検出側
の特性を完全に一致させれば、VS＝VSCとなる）には、
差動出力VDをコンピュータ内に取込む必要はなく、VD1
をVD′とすることができる。
そして、磁性薄膜20の断面積をS1（＝厚さｔ×幅Ｗ）
とすると、この部分の磁束密度B1は、 Φ１−Φ＝Φ′＝B1・S1 ……（14） とおくことができ、（13）式より である。
とすると、この部分の磁束密度B1は、 Φ１−Φ＝Φ′＝B1・S1 ……（14） とおくことができ、（13）式より である。
磁性薄膜20の透磁率μ１は（正確には磁化率χとな
り、μ１＝χ＝μ１′−1,μ１′は真の透磁率）は となる。（13）式において各磁界強度におけるデータを
加算することによって、ソフトウェア積分を行なう。す
なわち、 であるから となる。ここに、Δｔはサンプリング周期であり、加算
は印加磁界Ｈの１周期分とする。
り、μ１＝χ＝μ１′−1,μ１′は真の透磁率）は となる。（13）式において各磁界強度におけるデータを
加算することによって、ソフトウェア積分を行なう。す
なわち、 であるから となる。ここに、Δｔはサンプリング周期であり、加算
は印加磁界Ｈの１周期分とする。
ここで、上記ソフトウエア積分を説明すると、第３図
の特性Ｉは磁界Ｈに対する前記（13）式による電圧VD′
の変化ｖ（Ｈ）を示すものであり、この特性Ｉにおいて
任意の点をviとする。次に、この初期値viからデータサ
ンプリング周期ΔＨを使って以下のような積分値ψを得
る。
の特性Ｉは磁界Ｈに対する前記（13）式による電圧VD′
の変化ｖ（Ｈ）を示すものであり、この特性Ｉにおいて
任意の点をviとする。次に、この初期値viからデータサ
ンプリング周期ΔＨを使って以下のような積分値ψを得
る。
磁束Φi+nは以下のような補正を施せば求めることが
できる。
できる。
ここでψｉとψi+aは磁化曲線の重心に対して対称な
値とする。尚、ψｉは必ずしも積分初期値を選ぶ必要は
なく重心対称値であればよい。従って、磁束Φi+nが横
軸Ｈ（磁界）に対しての積分値となる。この特性は第３
図においてIIで示される。つまり、第３図の特性Ｉをvi
から積分して行くと、特性IIの曲線が得られるのであ
る。ここに、ｎは初期値ｉからサンプリング周期ΔＨご
とに数えられた整数を表わす。そして、（20）式と前記
（18）式を対応づけると となる。
値とする。尚、ψｉは必ずしも積分初期値を選ぶ必要は
なく重心対称値であればよい。従って、磁束Φi+nが横
軸Ｈ（磁界）に対しての積分値となる。この特性は第３
図においてIIで示される。つまり、第３図の特性Ｉをvi
から積分して行くと、特性IIの曲線が得られるのであ
る。ここに、ｎは初期値ｉからサンプリング周期ΔＨご
とに数えられた整数を表わす。そして、（20）式と前記
（18）式を対応づけると となる。
以上のようにして得られた磁界Ｈと磁束Φ′で磁化曲
線を描くと、第４図のように、特性IIを縦軸方向にシフ
トした曲線となる。
線を描くと、第４図のように、特性IIを縦軸方向にシフ
トした曲線となる。
ところで、この発明に用いる磁気コア及び１次コイ
ル、２次コイルの巻回は第１図のものに限定されるもの
ではなく、第１図の磁気コア１を縦軸中央部又は横軸中
央部で折曲した構造でも良く、第５図に示すように磁気
コア１の接続アーム1Cに１次コイル30を巻回しても良
い。また、第６図に示すように磁気コア１の各アームに
１次コイル31〜34を直列に巻回すると共に、たとえば１
次コイル31及び34に重ねて２次コイルを巻回しても良
く、第７図に示す如く磁気コア40,41に分離してシール
ド材42で磁気シールドすると共に、磁気コア40に１次コ
イル43及び２次コイル44を巻回し、磁気コア41に１次コ
イル45及び２次コイル46を巻回しても良い。さらに、第
８図に示す如く磁気コア50及び51を完全分離し、各磁気
コア50及び51にそれぞれ１次コイル及び２次コイルを巻
回するようにしても良い。さらに又、上述では低周波の
三角波を１次コイルに印加するようにしているが、正弦
波等であっても良い。また、ソフトウエアによる積分方
式を採用せずに、CRの積分回路によって差動出力電圧V
D1を積分してもよい。なお、この場合磁性薄膜20がない
ときの差動出力電圧VDを無視することができないときに
は、磁性薄膜20があるときの差動出力電圧VDLの積分値
と、ないときの差動出力電圧VDの積分値とをコンピュー
タ内に取込み、印加磁界で同期をとり、差をとることに
よって精度を高めることも可能である。
ル、２次コイルの巻回は第１図のものに限定されるもの
ではなく、第１図の磁気コア１を縦軸中央部又は横軸中
央部で折曲した構造でも良く、第５図に示すように磁気
コア１の接続アーム1Cに１次コイル30を巻回しても良
い。また、第６図に示すように磁気コア１の各アームに
１次コイル31〜34を直列に巻回すると共に、たとえば１
次コイル31及び34に重ねて２次コイルを巻回しても良
く、第７図に示す如く磁気コア40,41に分離してシール
ド材42で磁気シールドすると共に、磁気コア40に１次コ
イル43及び２次コイル44を巻回し、磁気コア41に１次コ
イル45及び２次コイル46を巻回しても良い。さらに、第
８図に示す如く磁気コア50及び51を完全分離し、各磁気
コア50及び51にそれぞれ１次コイル及び２次コイルを巻
回するようにしても良い。さらに又、上述では低周波の
三角波を１次コイルに印加するようにしているが、正弦
波等であっても良い。また、ソフトウエアによる積分方
式を採用せずに、CRの積分回路によって差動出力電圧V
D1を積分してもよい。なお、この場合磁性薄膜20がない
ときの差動出力電圧VDを無視することができないときに
は、磁性薄膜20があるときの差動出力電圧VDLの積分値
と、ないときの差動出力電圧VDの積分値とをコンピュー
タ内に取込み、印加磁界で同期をとり、差をとることに
よって精度を高めることも可能である。
さらに、磁気コアの形状及び１次コイル、２次コイル
の巻回方法は、第11図に示すようにしても良い。すなわ
ち板状の磁気コア60に１次コイル61を巻回すると共に、
磁気コア60の両端部に結合されたコの字状の磁気コア62
及び63に、それぞれ２次コイル64及び65を巻回してい
る。
の巻回方法は、第11図に示すようにしても良い。すなわ
ち板状の磁気コア60に１次コイル61を巻回すると共に、
磁気コア60の両端部に結合されたコの字状の磁気コア62
及び63に、それぞれ２次コイル64及び65を巻回してい
る。
（発明の効果） 以上のようにこの発明方法は、操作としては差動型磁
気ヘッドのギャップ部を磁性薄膜に接触または近接させ
るだけで良いので、非常に簡便となる。また、Φ−Ｈ曲
線はソフトウエアによる積分方式を採用すればドリフト
等の影響による誤差がなくなり、精度の良い結果が得ら
れる。さらに、磁性薄膜を予め定型サイズに加工する必
要もない。
気ヘッドのギャップ部を磁性薄膜に接触または近接させ
るだけで良いので、非常に簡便となる。また、Φ−Ｈ曲
線はソフトウエアによる積分方式を採用すればドリフト
等の影響による誤差がなくなり、精度の良い結果が得ら
れる。さらに、磁性薄膜を予め定型サイズに加工する必
要もない。
第１図はこの発明の原理を説明するための図、第２図〜
第４図はこの発明の動作を説明するための図、第５図〜
第８図及び第11図はそれぞれ磁気コア及びコイルの他の
巻回の様子を示す図、第９図は磁性特性の一般的な検出
を説明するための図、第10図は従来の磁性薄膜の検出を
説明するための図である。 １……磁気コア、2,3……１次コイル、4,5……２次コイ
ル、６……低周波発振器、10,11……増幅器、12……差
動増幅器。
第４図はこの発明の動作を説明するための図、第５図〜
第８図及び第11図はそれぞれ磁気コア及びコイルの他の
巻回の様子を示す図、第９図は磁性特性の一般的な検出
を説明するための図、第10図は従来の磁性薄膜の検出を
説明するための図である。 １……磁気コア、2,3……１次コイル、4,5……２次コイ
ル、６……低周波発振器、10,11……増幅器、12……差
動増幅器。
Claims (3)
- 【請求項１】差動型磁気ヘッドの１次コイルに低周波信
号を印加し、前記差動型磁気ヘッドのギャップ部を測定
すべき磁性薄膜から遠ざけた状態で前記低周波信号によ
り印加磁界を変化させ、このときの前記差動型磁気ヘッ
ドの２次コイルの差動出力電圧をサンプリングして記憶
し、前記差動型磁気ヘッドのギャップ部を測定すべき磁
性薄膜に接触または近接した状態で前記低周波信号によ
り印加磁界を変化させ、このときの前記差動型磁気ヘッ
ドの２次コイルの差動出力電圧をサンプリングして記憶
し、印加磁界で同期をとって各サンプリング毎に記憶さ
れた両者の差動出力電圧の差を各々求め、これを積分す
ることにより前記磁性薄膜の磁化特性曲線を求めるよう
にしたことを特徴とする磁性薄膜の磁化特性検出方法。 - 【請求項２】前記低周波信号の周波数が１〜10Hz程度で
ある特許請求の範囲第１項に記載の磁性薄膜の磁化特性
検出方法。 - 【請求項３】前記低周波信号として低周波三角波を用い
た特許請求の範囲第１項に記載の磁性薄膜の磁化特性検
出方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62047176A JPH0812234B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 磁性薄膜の磁化特性検出方法 |
| DE3806612A DE3806612A1 (de) | 1987-03-02 | 1988-03-01 | Verfahren und vorrichtung zum erfassen einer magnetisierungskennlinie magnetischer duennschichten |
| US07/163,104 US4940938A (en) | 1987-03-02 | 1988-03-02 | Method and device for measuring characteristic magnetic distribution of a magnetic thin film using a magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62047176A JPH0812234B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 磁性薄膜の磁化特性検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63212883A JPS63212883A (ja) | 1988-09-05 |
| JPH0812234B2 true JPH0812234B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=12767766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62047176A Expired - Fee Related JPH0812234B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 磁性薄膜の磁化特性検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH0812234B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2003107017A1 (ja) * | 2002-06-01 | 2003-12-24 | 株式会社エルポート | 磁気ブリッジ型電流センサー及び磁気ブリッジ型電流検出方法、並びに、前記センサーと検出方法に用いる磁気ブリッジ |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1987
- 1987-03-02 JP JP62047176A patent/JPH0812234B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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