JPH0812141B2 - ガス判別方法 - Google Patents
ガス判別方法Info
- Publication number
- JPH0812141B2 JPH0812141B2 JP33202491A JP33202491A JPH0812141B2 JP H0812141 B2 JPH0812141 B2 JP H0812141B2 JP 33202491 A JP33202491 A JP 33202491A JP 33202491 A JP33202491 A JP 33202491A JP H0812141 B2 JPH0812141 B2 JP H0812141B2
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- JP
- Japan
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- gas
- detected
- adsorption
- crystal oscillator
- resonance frequency
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス状の試料中の被検
知ガスの種類を判別するガス判別方法に関し、特に、表
面に吸着膜を設けた水晶発振子を用い、被検知ガスの前
記吸着膜への吸着による前記水晶発振子の共振周波数の
変化を求めることにより、被検知ガスの種類を同定する
ガス判別方法に関する。
知ガスの種類を判別するガス判別方法に関し、特に、表
面に吸着膜を設けた水晶発振子を用い、被検知ガスの前
記吸着膜への吸着による前記水晶発振子の共振周波数の
変化を求めることにより、被検知ガスの種類を同定する
ガス判別方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】火災報知器やにおいセンサなどでは、微
量の被検知ガスを感度良く検知し、判別する必要があ
る。従来よりこのような用途におけるガス判別方法とし
て、表面に吸着膜を設けた水晶発振子を用いる方法があ
る。この方法は、被検知ガス分子がこの吸着膜に吸着し
たとき、水晶発振子の共振周波数が吸着膜の質量変化
（吸着量）に比例して変化することを利用するものであ
り、共振周波数の最大変化量（すなわち飽和吸着量）か
ら被検知ガスの種類、濃度を同定するものである。この
場合、吸着膜に選択性を持たせることにより、特定の被
検知ガスのみを検出することが可能となる。候補となる
複数の被検知ガスの中から被検知ガスの特定を行なう場
合には、それぞれ異なる吸着膜を設けた複数の水晶発振
子を用い、それぞれの飽和吸着量の値からパタン認識な
どの方法によって同定を行なえばよいようになってい
る。
量の被検知ガスを感度良く検知し、判別する必要があ
る。従来よりこのような用途におけるガス判別方法とし
て、表面に吸着膜を設けた水晶発振子を用いる方法があ
る。この方法は、被検知ガス分子がこの吸着膜に吸着し
たとき、水晶発振子の共振周波数が吸着膜の質量変化
（吸着量）に比例して変化することを利用するものであ
り、共振周波数の最大変化量（すなわち飽和吸着量）か
ら被検知ガスの種類、濃度を同定するものである。この
場合、吸着膜に選択性を持たせることにより、特定の被
検知ガスのみを検出することが可能となる。候補となる
複数の被検知ガスの中から被検知ガスの特定を行なう場
合には、それぞれ異なる吸着膜を設けた複数の水晶発振
子を用い、それぞれの飽和吸着量の値からパタン認識な
どの方法によって同定を行なえばよいようになってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のガス判
別方法では、以下のような欠点があった。すなわち、吸
着膜の種類が相互に異なって相関のないｎ個の水晶発振
子を配列して用いたとしても、得られる情報（パラメ
タ）はたかだかｎ個の飽和吸着量である。このｎ個のパ
ラメタを用いてパタン認識の手法で被検知ガスの同定を
行なうには、ｎの数はある程度大きくなければならな
い。しかしながら、特定のガスのみを選択的に吸着しか
つ相互に相関のない吸着膜を多種類作成することは困難
であり、ガスの同定に必要な数のパラメタを得ることが
できず、正確な判別を行なうことができないのが現状で
ある。
別方法では、以下のような欠点があった。すなわち、吸
着膜の種類が相互に異なって相関のないｎ個の水晶発振
子を配列して用いたとしても、得られる情報（パラメ
タ）はたかだかｎ個の飽和吸着量である。このｎ個のパ
ラメタを用いてパタン認識の手法で被検知ガスの同定を
行なうには、ｎの数はある程度大きくなければならな
い。しかしながら、特定のガスのみを選択的に吸着しか
つ相互に相関のない吸着膜を多種類作成することは困難
であり、ガスの同定に必要な数のパラメタを得ることが
できず、正確な判別を行なうことができないのが現状で
ある。
【０００４】本発明の目的は、被検知ガスの種類を確実
に同定できるガス判別方法を提供することにある。
に同定できるガス判別方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のガス判別方法
は、それぞれ異なる種類の吸着膜を表面に設けた複数の
水晶発振子を用い、前記各水晶発振子をガス状の試料に
曝し、前記各水晶発振子ごとに、共振周波数の変化の時
定数と共振周波数の最大変化量とを求め、前記各時定数
と前記各最大変化量とから被検知ガスの同定を行なう。
は、それぞれ異なる種類の吸着膜を表面に設けた複数の
水晶発振子を用い、前記各水晶発振子をガス状の試料に
曝し、前記各水晶発振子ごとに、共振周波数の変化の時
定数と共振周波数の最大変化量とを求め、前記各時定数
と前記各最大変化量とから被検知ガスの同定を行なう。
【０００６】
【作用】本発明は、吸着膜への被検知ガス分子の吸着の
過程を詳細に検討した結果なされたものである。ここ
で、本発明者らが得た知見を説明することにより、本発
明の作用を説明する。
過程を詳細に検討した結果なされたものである。ここ
で、本発明者らが得た知見を説明することにより、本発
明の作用を説明する。
【０００７】ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴ
ＦＥ）の高周波スパッタによって水晶発振子上に吸着膜
を形成し、この吸着膜への被検知ガス分子の吸着による
水晶発振子の共振周波数の変化を調べた。上述のように
水晶発振子の共振周波数は、吸着膜の質量の変化すなわ
ち吸着した被検知ガスの質量（吸着量）に比例すること
が知られている。その結果、被検知ガスが通常の有機化
合物、例えば各種のアルコールやケトン、芳香族化合物
である場合、被検知ガスを全く吸着していない状態のこ
の吸着膜を一定濃度の被検知ガスを含むガス試料に曝し
たところ、共振周波数のシフトすなわち吸着量の時間変
化（過渡応答）は、図４に示したもののようになった。
すなわち、飽和吸着量をＡsatとすると、被検知ガスに
曝し始めたときから時間ｔ経過後の吸着量Ａ(ｔ)は、 Ａ(ｔ) ＝ Ａsat・｛１−ｅｘｐ(−ｔ／Ｔ)｝ と表わされるようになる。さらに、上式での値Ｔが、吸
着膜と被検知ガスの種類に深く関わっていることがわか
った。ここで、値Ｔを時定数と呼ぶことにする。なお、
上式においてｔ＝Ｔとおくことから明らかになるよう
に、時定数Ｔは吸着量が飽和吸着量Ａsatの約６３％に
なるまでの時間として表わされる。
ＦＥ）の高周波スパッタによって水晶発振子上に吸着膜
を形成し、この吸着膜への被検知ガス分子の吸着による
水晶発振子の共振周波数の変化を調べた。上述のように
水晶発振子の共振周波数は、吸着膜の質量の変化すなわ
ち吸着した被検知ガスの質量（吸着量）に比例すること
が知られている。その結果、被検知ガスが通常の有機化
合物、例えば各種のアルコールやケトン、芳香族化合物
である場合、被検知ガスを全く吸着していない状態のこ
の吸着膜を一定濃度の被検知ガスを含むガス試料に曝し
たところ、共振周波数のシフトすなわち吸着量の時間変
化（過渡応答）は、図４に示したもののようになった。
すなわち、飽和吸着量をＡsatとすると、被検知ガスに
曝し始めたときから時間ｔ経過後の吸着量Ａ(ｔ)は、 Ａ(ｔ) ＝ Ａsat・｛１−ｅｘｐ(−ｔ／Ｔ)｝ と表わされるようになる。さらに、上式での値Ｔが、吸
着膜と被検知ガスの種類に深く関わっていることがわか
った。ここで、値Ｔを時定数と呼ぶことにする。なお、
上式においてｔ＝Ｔとおくことから明らかになるよう
に、時定数Ｔは吸着量が飽和吸着量Ａsatの約６３％に
なるまでの時間として表わされる。
【０００８】また、共役結合を持っていたり、極性の大
きい化合物が被検知ガスである場合、必ずしも上式で表
わされる指数曲線で吸着量が変化したわけではないが、
この場合であっても、飽和吸着量Ａsatの例えば約６３
％になるまでの時間を時定数Ｔとすることにより、この
時定数Ｔが、吸着膜と被検知ガスの種類に深く関わって
いることがわかった。
きい化合物が被検知ガスである場合、必ずしも上式で表
わされる指数曲線で吸着量が変化したわけではないが、
この場合であっても、飽和吸着量Ａsatの例えば約６３
％になるまでの時間を時定数Ｔとすることにより、この
時定数Ｔが、吸着膜と被検知ガスの種類に深く関わって
いることがわかった。
【０００９】この知見から、従来の飽和吸着量について
の情報のみから被検知ガスの同定を行なう場合に比べ、
共振周波数の変化の時定数すなわち吸着量の変化の時定
数をも考慮して同定を行なうことにより、被検知ガスの
同定の精度が格段に上昇することが明らかになり、本発
明の方法によってガス判別の精度が向上することが分か
る。
の情報のみから被検知ガスの同定を行なう場合に比べ、
共振周波数の変化の時定数すなわち吸着量の変化の時定
数をも考慮して同定を行なうことにより、被検知ガスの
同定の精度が格段に上昇することが明らかになり、本発
明の方法によってガス判別の精度が向上することが分か
る。
【００１０】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は、本発明のガス判別方法の実施に用
いられるガス判別装置の一例の構成を示すブロック図で
ある。
て説明する。図１は、本発明のガス判別方法の実施に用
いられるガス判別装置の一例の構成を示すブロック図で
ある。
【００１１】ガス試料がガス発生器８から流れるセンサ
セル１には、複数個の水晶発振子３が配置され、各水晶
発振子３の表面には、それぞれ異なるガス吸着膜２が設
けられている。また、各水晶発振子３ごとに発振回路４
が設けられ、この発振回路４は対応する水晶発振子３の
共振周波数で発振するようになっている。各発振回路４
の出力は、共通に設けられたアナログスイッチ５の入力
にそれぞれ接続されている。このアナログスイッチ５
は、後述するコンピュータ７からの信号によって各発振
回路４のうちの１つを選択するためのものであり、その
出力は周波数カウンタ６の入力に接続されている。そし
て、周波数カウンタ６の出力はコンピュータ７に接続さ
れている。コンピュータ７は、一定時間間隔でアナログ
スイッチ５を切り替え、周波数カウンタ６で計測された
各発振回路４の発振周波数（すなわち水晶発振子３の共
振周波数）の変化を追跡し、各水晶発振子３の共振周波
数の変化の時定数Ｔと共振周波数の最大変化量とを求
め、センサセル１内の被検知ガスの種類の同定を行なう
ものである。コンピュータ７には表示装置９が接続され
ている。ガス吸着膜２は、例えば、グラファイト、ポリ
クロロトリフルオロエチレンなどをターゲットとしてス
パッタリングを行ない、水晶発振子３の表面に被覆を行
なうことによって形成することができる。
セル１には、複数個の水晶発振子３が配置され、各水晶
発振子３の表面には、それぞれ異なるガス吸着膜２が設
けられている。また、各水晶発振子３ごとに発振回路４
が設けられ、この発振回路４は対応する水晶発振子３の
共振周波数で発振するようになっている。各発振回路４
の出力は、共通に設けられたアナログスイッチ５の入力
にそれぞれ接続されている。このアナログスイッチ５
は、後述するコンピュータ７からの信号によって各発振
回路４のうちの１つを選択するためのものであり、その
出力は周波数カウンタ６の入力に接続されている。そし
て、周波数カウンタ６の出力はコンピュータ７に接続さ
れている。コンピュータ７は、一定時間間隔でアナログ
スイッチ５を切り替え、周波数カウンタ６で計測された
各発振回路４の発振周波数（すなわち水晶発振子３の共
振周波数）の変化を追跡し、各水晶発振子３の共振周波
数の変化の時定数Ｔと共振周波数の最大変化量とを求
め、センサセル１内の被検知ガスの種類の同定を行なう
ものである。コンピュータ７には表示装置９が接続され
ている。ガス吸着膜２は、例えば、グラファイト、ポリ
クロロトリフルオロエチレンなどをターゲットとしてス
パッタリングを行ない、水晶発振子３の表面に被覆を行
なうことによって形成することができる。
【００１２】次に、このガス判別装置の動作について説
明する。
明する。
【００１３】各発振回路４を動作状態にして、コンピュ
ータ７によりアナログスイッチ５を一定の時間間隔、例
えば０.１２秒間隔で順次切り替える。水晶発振子３の
数をｎとすれば、ある特定の水晶発振子３に対しては
０.１２×ｎ秒おきにデータを取り込むことができるよ
うになる。ガス吸着膜２への吸着の時定数Ｔは一般に数
分程度であることを考えると、ｎが１０程度までであれ
ば、各水晶発振子３ごとに順次測定したとしても同時計
測であるとみなすことができる。
ータ７によりアナログスイッチ５を一定の時間間隔、例
えば０.１２秒間隔で順次切り替える。水晶発振子３の
数をｎとすれば、ある特定の水晶発振子３に対しては
０.１２×ｎ秒おきにデータを取り込むことができるよ
うになる。ガス吸着膜２への吸着の時定数Ｔは一般に数
分程度であることを考えると、ｎが１０程度までであれ
ば、各水晶発振子３ごとに順次測定したとしても同時計
測であるとみなすことができる。
【００１４】次に、ガス発生器８から被検知ガスを含む
ガス試料をセンサセル１内に送り出し、時定数Ｔに比べ
無視できる時間内に、センサセル１の内部の気体をガス
試料で置換する。ガス発生器８の代わりに、公知のガス
サンプラを用いてもよい。すると、各水晶発振子３のガ
ス吸着膜２への被検知ガス分子の吸着が開始し、吸着量
に応じてそれぞれの水晶発振子３の共振周波数がシフト
し、各発振回路４の発振周波数がシフトする。この発振
周波数のシフトは、それぞれの水晶発振子３のガス吸着
膜２に吸着した被検知ガスの質量（吸着量）に比例する
が、周波数カウンタ６で計測される周波数の変化として
検出され、各水晶発振子３ごとにコンピュータ７によっ
てサンプリングされる。そして、コンピュータ７は、各
水晶発振子３ごとに周波数のシフトの時間変化（過渡応
答）を追跡し、共振周波数の最大変化量と変化の時定数
とを決定する。周波数のシフトの変化が上記の式にした
がって起こる場合、厳密には最大変化量となるのは無限
時間後であるが、実際には数点のサンプリングで最大変
化量を推算することができ、推算した最大変化量×０.
６３となるまでの時間を計測することによって時定数Ｔ
を求めることができる。
ガス試料をセンサセル１内に送り出し、時定数Ｔに比べ
無視できる時間内に、センサセル１の内部の気体をガス
試料で置換する。ガス発生器８の代わりに、公知のガス
サンプラを用いてもよい。すると、各水晶発振子３のガ
ス吸着膜２への被検知ガス分子の吸着が開始し、吸着量
に応じてそれぞれの水晶発振子３の共振周波数がシフト
し、各発振回路４の発振周波数がシフトする。この発振
周波数のシフトは、それぞれの水晶発振子３のガス吸着
膜２に吸着した被検知ガスの質量（吸着量）に比例する
が、周波数カウンタ６で計測される周波数の変化として
検出され、各水晶発振子３ごとにコンピュータ７によっ
てサンプリングされる。そして、コンピュータ７は、各
水晶発振子３ごとに周波数のシフトの時間変化（過渡応
答）を追跡し、共振周波数の最大変化量と変化の時定数
とを決定する。周波数のシフトの変化が上記の式にした
がって起こる場合、厳密には最大変化量となるのは無限
時間後であるが、実際には数点のサンプリングで最大変
化量を推算することができ、推算した最大変化量×０.
６３となるまでの時間を計測することによって時定数Ｔ
を求めることができる。
【００１５】そののちコンピュータ７は、求めた最大変
化量および時定数Ｔから、予め標準試料について行なっ
た測定に基づく最大変化量と時定数Ｔの値を主成分分析
して得た値を参考にして、被検知ガスの種類が何である
かの判定を行なう。
化量および時定数Ｔから、予め標準試料について行なっ
た測定に基づく最大変化量と時定数Ｔの値を主成分分析
して得た値を参考にして、被検知ガスの種類が何である
かの判定を行なう。
【００１６】次に、本実施例に基づき本発明の有効性を
調べた結果について説明する。
調べた結果について説明する。
【００１７】水晶発振子３は３個とし、ガス吸着膜２と
して、グラファイト、ポリクロロトリフルオロエチ
レン、ポリエチレンとポリテトラフルオロエチレンと
の混合物の各ターゲットを用いた高周波スパッタリング
により、それぞれの水晶発振子３の表面に形成したもの
を用いた。そして、被検知ガスとして、メタノール、エ
タノール、アセトン、２−ブタノン、ベンゼン、トルエ
ンをそれぞれ用い、各被検知ガスごとに４種類の濃度の
ガス試料を作成し、測定を行なった。被検知ガスの濃度
の最大のものは、最小のものの４倍の濃度となるように
した。
して、グラファイト、ポリクロロトリフルオロエチ
レン、ポリエチレンとポリテトラフルオロエチレンと
の混合物の各ターゲットを用いた高周波スパッタリング
により、それぞれの水晶発振子３の表面に形成したもの
を用いた。そして、被検知ガスとして、メタノール、エ
タノール、アセトン、２−ブタノン、ベンゼン、トルエ
ンをそれぞれ用い、各被検知ガスごとに４種類の濃度の
ガス試料を作成し、測定を行なった。被検知ガスの濃度
の最大のものは、最小のものの４倍の濃度となるように
した。
【００１８】そして、共振周波数の最大変化量から求め
られる飽和吸着量について、各水晶発振子３ごとの飽和
吸着量を総飽和吸着量の和で規格化したものを特性値と
し、この特性値と測定した時定数Ｔとによって主成分分
析を行なった。その結果、図３に示されるような散布図
が得られた。なお、この散布図は統計的な扱いによって
得られたものであるから、その各軸は特定の物理的な意
味を有するものではないが、時定数の測定値は主として
横軸に反映している。一方、従来の方法と同様に、上記
の特性値のみで主成分分析を行なった結果を図３に示
す。図３の結果では、異なる被検知ガスであってもほぼ
同じ場所にプロットされているものがある。
られる飽和吸着量について、各水晶発振子３ごとの飽和
吸着量を総飽和吸着量の和で規格化したものを特性値と
し、この特性値と測定した時定数Ｔとによって主成分分
析を行なった。その結果、図３に示されるような散布図
が得られた。なお、この散布図は統計的な扱いによって
得られたものであるから、その各軸は特定の物理的な意
味を有するものではないが、時定数の測定値は主として
横軸に反映している。一方、従来の方法と同様に、上記
の特性値のみで主成分分析を行なった結果を図３に示
す。図３の結果では、異なる被検知ガスであってもほぼ
同じ場所にプロットされているものがある。
【００１９】以上の結果から、本発明の方法のように時
定数Ｔも主成分分析の対象としたものは、従来の飽和吸
着量のみを主成分分析の対象としたものに比べ、分析結
果の分布が被検知ガスの種類ごとにはっきりと分かれて
おり、本発明の方法によってガスの判別が良好に行なえ
ることが示された。また、図２に示した結果では、アル
コール類、ケトン類、ベンゼン類といった分類もなされ
ており、本発明の方法によると、被検知ガスの物理化学
的性質を反映した分類も可能であることが分かった。
定数Ｔも主成分分析の対象としたものは、従来の飽和吸
着量のみを主成分分析の対象としたものに比べ、分析結
果の分布が被検知ガスの種類ごとにはっきりと分かれて
おり、本発明の方法によってガスの判別が良好に行なえ
ることが示された。また、図２に示した結果では、アル
コール類、ケトン類、ベンゼン類といった分類もなされ
ており、本発明の方法によると、被検知ガスの物理化学
的性質を反映した分類も可能であることが分かった。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、それぞれ
異なる種類の吸着膜を表面に設けた複数の水晶発振子を
用いて、各水晶発振子ごとに共振周波数の変化の時定数
と共振周波数の最大変化量とを求め、各時定数と各最大
変化量から被検知ガスの同定を行なうので、少ない数の
水晶発振子を用いて正確に被検知ガスの同定が行なえる
ようになるという効果がある。
異なる種類の吸着膜を表面に設けた複数の水晶発振子を
用いて、各水晶発振子ごとに共振周波数の変化の時定数
と共振周波数の最大変化量とを求め、各時定数と各最大
変化量から被検知ガスの同定を行なうので、少ない数の
水晶発振子を用いて正確に被検知ガスの同定が行なえる
ようになるという効果がある。
【図１】本発明のガス判別方法の実施に用いられるガス
判別装置の一例の構成を示すブロック図である。
判別装置の一例の構成を示すブロック図である。
【図２】飽和吸着量と時定数について主成分分析を行な
った場合の散布図である。
った場合の散布図である。
【図３】飽和吸着量のみについて主成分分析を行なった
場合の散布図である。
場合の散布図である。
【図４】吸着量の時間変化を示す特性図である。
１ センサセル ２ ガス吸着膜 ３ 水晶発振子 ４ 発振回路 ５ アナログスイッチ ６ 周波数カウンタ ７ コンピュータ ８ ガス発生器 ９ 表示装置
Claims (1)
- 【請求項１】 表面に吸着膜を設けた水晶発振子を用
い、被検知ガスの前記吸着膜への吸着による前記水晶発
振子の共振周波数の変化を求めることにより、ガス状の
試料中の被検知ガスの種類を同定するガス判別方法にお
いて、 それぞれ異なる種類の吸着膜を表面に設けた複数の水晶
発振子を用い、前記各水晶発振子をガス状の試料に曝
し、前記各水晶発振子ごとに、共振周波数の変化の時定
数と共振周波数の最大変化量とを求め、前記各時定数と
前記各最大変化量とから被検知ガスの同定を行なうこと
を特徴とするガス判別方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33202491A JPH0812141B2 (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | ガス判別方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33202491A JPH0812141B2 (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | ガス判別方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05164670A JPH05164670A (ja) | 1993-06-29 |
| JPH0812141B2 true JPH0812141B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=18250287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33202491A Expired - Lifetime JPH0812141B2 (ja) | 1991-12-16 | 1991-12-16 | ガス判別方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0812141B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8247948B2 (en) | 2009-05-01 | 2012-08-21 | Seiko Epson Corporation | Oscillator, oscillator array and an electronic apparatus |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002350313A (ja) * | 2001-05-25 | 2002-12-04 | Mitsubishi Electric Corp | 化学物質定量方法および化学物質定量装置 |
| JP3830778B2 (ja) * | 2001-06-19 | 2006-10-11 | 三菱電機株式会社 | 臭気管理装置および臭気管理方法 |
| JP3830788B2 (ja) * | 2001-08-27 | 2006-10-11 | 三菱電機株式会社 | 臭気管理装置および臭気管理方法 |
| DE10318956A1 (de) * | 2003-04-26 | 2004-11-11 | Kanesho Soil Treatment Bvba | Verfahren und Vorrichtung zum Nachweis von flüchtigen Analyten in Luftproben |
-
1991
- 1991-12-16 JP JP33202491A patent/JPH0812141B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8247948B2 (en) | 2009-05-01 | 2012-08-21 | Seiko Epson Corporation | Oscillator, oscillator array and an electronic apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05164670A (ja) | 1993-06-29 |
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