JPH08118218A - 被処理物の研磨装置 - Google Patents

被処理物の研磨装置

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JPH08118218A
JPH08118218A JP25700194A JP25700194A JPH08118218A JP H08118218 A JPH08118218 A JP H08118218A JP 25700194 A JP25700194 A JP 25700194A JP 25700194 A JP25700194 A JP 25700194A JP H08118218 A JPH08118218 A JP H08118218A
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JP
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polishing
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brush
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JP25700194A
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English (en)
Inventor
Toshio Hara
俊夫 原
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 被処理物の両主平面のバリの除去および被処
理物の周面エッジの面取りを、シンプルな構成により低
コストで、かつ確実に行うことのできる被処理物の研磨
装置を提供する。 【構成】 略円板状の被処理物の周面と当接しつつ被処
理物を搬送する搬送手段と、搬送手段の近傍に被処理物
の進行方向と略平行に設けられるとともに、被処理物の
対向平面を回転可能に支持するガイドと、ガイドを介し
て搬送手段と相対峙するように設けられるとともに、被
処理物の進行方向に対して略垂直方向に回転駆動する研
磨手段とを有することを特徴とする。研磨手段は時計回
りまたは反時計回りに回転するローラー状の回転ブラシ
の少なくとも一対が直列または並列に設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被処理物の研磨装置、
詳しくは被処理物である略円板状のワークの研磨装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、例えば、セラミックコンデン
サ等の電子部品の一部を構成するセラミック素子(以
下、ワークとする)は、一般的に粉末成形により製造さ
れているが、この粉末成形時においてワークにバリが発
生すると、割れ欠け等の品質不良の原因となるため、成
形後にこのバリを除去する工程が必要とされていた。こ
のバリを除去するバリ取り装置としては、例えば、カッ
プブラシ装置や螺旋ブラシ装置が知られている。
【0003】カップブラシ装置は、ベルトコンベアが被
処理物である略円板状のワークの一方の主平面に接触し
た状態で駆動することによりワークを搬送する。ベルト
コンベアの上方に設けられた箒状のカップブラシが上下
方向に移動してワークの他方の主平面と接触する。そし
て、ワークに直接接触するカップブラシのブラシ部がワ
ークの主平面に対して略水平方向に移動するように回転
することによりワークのバリを除去する。
【0004】また、螺旋ブラシ装置は、上記カップブラ
シ装置と同様にベルトコンベアがワークの一方の主平面
に接触した状態で駆動することによりワークを搬送す
る。ベルトコンベアの上方に、ベルトコンベアの進行方
向に対して略平行な支持軸を有する螺旋状のローラーブ
ラシが設けられており、支持軸を中心に回転する。従っ
て、ワークに直接接触するローラーブラシのブラシ部が
ワークの主平面に対して略水平方向に移動するように回
転することによりワークのバリを除去する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のバリ
取り装置では、いずれも一度にワークの主平面の1面し
かバリ取りができず、したがって、ワークの対向平面両
方のバリ取りを必要とする場合には、このバリ取り装置
の他にワークの反転装置を設けるか、あるいは上下に2
つのバリ取り装置が必要となり、これらを設置する十分
なスペースも必要となり、かつコストも増大する。
【0006】また、バリ取りはワークの周面から主平面
の方向にブラシが掛かった方が、ブラシが直接バリに作
用するので最も効果的であるが、従来のものでは部分的
にしかそのような状態にならず、従って十分なバリ取り
ができない。
【0007】さらに、バリを取っただけのフラットエッ
ジのワークは欠けやすいため、ワークの強度を上げるた
めには周面エッジの面取りが必要となるが、従来のバリ
取り装置では周面エッジに部分的にしか接触することが
できず、したがってこれに対応するには、バリ取り装
置、バリ取り工程の他に、面取り装置、面取り工程が別
途必要となりコスト増大の原因となった。
【0008】本発明の目的は、被処理物の両主平面のバ
リの除去および被処理物の周面エッジの面取りを、シン
プルな構成により低コストで、かつ確実に行うことので
きる被処理物の研磨装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
問題点を解決するためになされたもので、略円板状の被
処理物の周面と当接しつつ被処理物を回転させながら搬
送する搬送手段と、前記搬送手段の近傍に前記被処理物
の進行方向と略平行に設けられるとともに、前記被処理
物の対向平面を回転可能に支持するガイドと、前記ガイ
ドを介して前記搬送手段と相対峙するように設けられる
とともに、前記被処理物の進行方向に対して略平行に軸
心を有し、前記軸心を中心として回転駆動する研磨手段
とを有することを特徴とするものである。
【0010】また、本発明は、前記研磨手段は、一方向
に回転する第一の研磨手段と、前記一方向の回転と反対
の他方向に回転する第二の研磨手段とからなることを特
徴とするものである。
【0011】また、本発明は、前記研磨手段は、少なく
とも一対が被処理物の進行方向に沿って設置されている
ことを特徴とするものである。
【0012】また、本発明は、前記研磨手段は、少なく
とも一対が被処理物の進行方向に対して左右に並列に設
置されていることを特徴とするものである。
【0013】また、本発明は、前記研磨手段は、ローラ
ー状の回転ブラシであることを特徴とするものである。
【0014】さらに、本発明は、前記研磨手段は、螺旋
状の回転ブラシであることを特徴とするものである。
【0015】
【作用】本発明の被処理物の研磨装置では、搬送手段が
略円板状の被処理物の周面に当接するとともに、ガイド
が被処理物の対向平面を回転可能に支持するので、搬送
手段を駆動させることにより、被処理物はその周面が搬
送手段に当接した状態で回転しつつ搬送手段上を搬送さ
れる。
【0016】このとき、この搬送手段と相対峙する位置
に配置された研磨手段の被処理物との接触部が被処理物
の進行方向に対して略垂直方向に移動するように回転駆
動していることになる。
【0017】従って、研磨手段は、略円板状の被処理物
の全周面にわたって被処理物の略径方向外側より被処理
物に確実に接触するとともに、その接触部が被処理物に
対して被処理物の両対向平面を結ぶ略厚み方向に移動す
るように回転することとなる。
【0018】また、研磨手段が時計回りに回転する第一
の研磨手段と、反時計回りに回転する第二の研磨手段と
からなる場合には、研磨手段の回転方向が異なるために
被処理物の両側に形成されたバリに対し、両側から同様
の作用のある研磨を行うことができる。
【0019】また、研磨手段が少なくとも一対が被処理
物の進行方向に対して前後に直列に設置されている場合
には、少なくとも一対の研磨手段により被処理物を連続
的に研磨することができる。
【0020】また、研磨手段が少なくとも一対が被処理
物の進行方向に対して左右に並列に設置されている場合
には、少なくとも一対の研磨手段により被処理物を同時
に研磨することができる。
【0021】また、研磨手段がローラー状の回転ブラシ
である場合には、回転ブラシが被処理物に対して連続的
に接触できる。
【0022】また、研磨手段が螺旋状の回転ブラシであ
る場合には、回転ブラシが被処理物に対して連続的に接
触できるとともに、被処理物の進行方向への応力を得る
ことができて推進力を向上させることができる。
【0023】
【実施例】
(実施例1)以下、図1および図2を参照して本発明の
第一の実施例である被処理物(以下、ワークとする。)
の研磨装置について説明する。図1はワークの研磨装置
を側面から見た概略説明図であり、図2は図1をワーク
の進行方向の後方から見た概略説明図である。このワー
クの研磨装置は、図1に示すように、搬送手段であるベ
ルトコンベア1と、ワークガイド3と、研磨手段である
ローラー状の回転ブラシ5と、ローラー状の回転ブラシ
5に設けられた回転駆動手段7とを備えている。
【0024】ベルトコンベア1は、略水平に設置されて
おり、図示しない駆動モータによって回転駆動する。
【0025】ワークガイド3は、ベルトコンベア1の上
部に図示しない支持手段によってワーク9の進行方向と
略平行に一対が対向するように設置されている。また、
一対のワークガイド3は、略円板状のワーク9が、その
周面がベルトコンベア1に当接した状態、すなわち倒立
した状態で回転しながらその間を進行できる程度の間隔
を有しており、ワーク9の対向平面間の厚さに応じて調
整が可能である。
【0026】回転ブラシ5は、略円柱状であって、略円
形の上下面の中心を結ぶ軸心6が、ワークの進行方向と
平行となるように設置されるとともに、図2に示すよう
に、ワークガイド3を介してベルトコンベア1と相対峙
するように設置される。従って、回転ブラシ5は、ワー
ク9のほぼ真上に回転ブラシ5の中心がくるように設置
されている。また、回転ブラシ5は、ワーク9との接触
部がワーク9の進行方向に対して略垂直方向に移動する
ように、軸心6を中心に時計回りに回転駆動する第一の
回転ブラシ5aと、ワーク9との接触部がワーク9の進
行方向に対して略垂直方向に移動するように、軸心6を
中心に反時計回りに回転駆動する第二の回転ブラシ5b
とからなっている。
【0027】また、第一の回転ブラシ5aと第二の回転
ブラシ5bとはワーク9の進行方向に対して前後に直列
に設置されており、それぞれが回転駆動手段7と係合し
ている。
【0028】回転駆動手段7は、第一の回転ブラシ5a
および第二の回転ブラシ5bを回転駆動させるだけでな
く、図2の二点鎖線で示すように、第一の回転ブラシ5
aおよび第二の回転ブラシ5bの上下左右の位置を調整
することができる。これによって、ワーク9の径に応じ
て上下の高さを調整し、また、ワーク9の厚さに応じて
左右の位置を調整することができる。
【0029】次に、図1、図2、および図3を参照し
て、ワークの研磨方法について説明する。図3は本発明
のワークの研磨装置によって研磨処理されたワークの側
面図である。 (1)まず、前工程からベルトコンベア1の上部に投入
されたワーク9は、2つのワークガイド3にその対向平
面9a、9bを回転可能に支持された状態で搬送され
る。
【0030】(2)ワーク9はその周面9cがベルトコ
ンベア1に接触し回転しながら搬送方向に向かって移動
する。
【0031】(3)ワーク9がワークガイド3の上部に
ある第一の回転ブラシ5aの下方を通過すると、第一の
回転ブラシ5aはワーク9のワークガイド3からはみ出
した突出部11を研磨する。第一の回転ブラシ5aは、
ワーク9の進行方向に向かって軸心6を中心に時計回り
に回転するため、突出部11の周面9cをワーク9の進
行方向に向かって右側から左側へ、詳しくは右側の対向
平面9aから上部の周面9cに向けて略左斜め上方向に
研磨する。ワーク9のバリ13はワーク9の対向平面9
a、9bに対して略垂直に、周面9cに対して略平行に
発生している場合が多く、回転ブラシ5aは対向平面9
a側のバリ13aを除去することができ、さらに図3に
示すように周面9cの対向平面9a側の端部9c1を形
成することができる。
【0032】(4)ワーク9がベルトコンベア1上をさ
らに進行しワークガイド3の上部にある第二の回転ブラ
シ5bの下方を通過すると、第一の回転ブラシ5aと同
様に、回転ブラシ5bはワーク9のワークガイド3から
はみ出した突出部11を研磨する。第二の回転ブラシ5
bは、ワークの進行方向に向かって軸心6を中心に反時
計回りに回転するため、突出部11の周面9cをワーク
9の進行方向に向かって左側から右側へ、詳しくは左側
の対向平面9bから上部の周面9cに向けて略右斜め上
方向に研磨する。第二の回転ブラシ5bは対向平面9b
側のバリ13bを除去することができ、さらに図3に示
すように周面9cの対向平面9b側の端部9c2を形成
することができる。
【0033】(5)バリ13a、13bの除去および端
部9c1、9c2を形成されたワーク9は、図示しない搬
出手段により次工程へ搬送される。
【0034】ところで、本発明は、上記実施例であるワ
ークの研磨装置に限定されるものではなく、本発明の要
旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが
可能である。
【0035】例えば、上記実施例では、回転ブラシをワ
ークの進行方向に対して一対が前後に直列に設置されて
いるが、ワークの進行方向に対して一対を左右に並列に
設置してもよい。また、回転ブラシは一対ではなく、複
数対を設置してもよい。逆にまた、回転ブラシは一対で
なく、1つであってもその位置や形状、材質を最適な条
件で選択することで、本発明の目的を十分に達成するこ
とが可能である。
【0036】例えば、上記実施例では、研磨手段として
ローラー状の回転ブラシを用いたが、図4に示すよう
に、螺旋状の回転ブラシを用いてもよい。この場合、ワ
ークの進行方向への推進力をさらに向上させることが可
能である。
【0037】また、例えば、上記実施例では、回転ブラ
シは搬送されるワークのほぼ真上に回転ブラシの中心が
くるように設置されているが、図5に示すように、ワー
クの厚さに応じて予め中心位置をずらしてもよい。この
場合、バリ取り、端部形成を施したいワークの対向平面
と回転ブラシの中心を合わせることで、より一層端部に
回転ブラシが作用しやすくなるので、より一層バリ取
り、端部形成の効率が向上する。このように、回転ブラ
シの位置を調整することで、ワークの寸法や形状に対応
した効果的な研磨処理が可能となる。
【0038】また、例えば、上記実施例では、ベルトコ
ンベアは略水平に設置されているが、ワークの進行方向
に対して下降するように傾斜させてもよい。この場合、
ワークの前工程からの搬送、回転ブラシ間の搬送、およ
び次工程への搬送がより一層スムーズに行うことができ
る。
【0039】また、例えば、上記実施例では、ワークガ
イドはワークの進行方向と略平行に一対が対向するよう
に設置されているが、一対とは限らず複数対がワークの
進行方向に並ぶように設置してもよい。
【0040】さらに、例えば、上記実施例では、回転ブ
ラシの材質、硬度、および回転数は特に限定していない
が、対象とするワークの特性や端部の面積に応じてそれ
ぞれ最適な仕様を選択することが可能である。
【0041】(実施例2)以下、図6および図7を参照
して本発明の第二の実施例であるワークの研磨装置につ
いて説明する。図6はワークの研磨装置を側面から見た
概略説明図であり、図7は図6をワークの進行方向の後
方から見た概略説明図である。このワークの研磨装置
は、図6に示すように、搬送手段であるベルトコンベア
1と、ワークガイド3と、研磨手段であるローラー状の
回転ブラシ5と、ローラー状の回転ブラシ5に設けられ
た回転駆動手段7とを備えている。
【0042】ベルトコンベア1は、略水平に設置されて
おり、図示しない駆動モータによって回転駆動する。
【0043】ワークガイド3は、ベルトコンベア1の下
部に図示しない支持手段によってワーク9の進行方向と
略平行に一対が対向するように設置されている。また、
一対のワークガイド3は、ワーク9がその周面がベルト
コンベア1に当接した状態、すなわち倒立した状態でそ
の間を搬送できる程度の間隔を有しており、ワーク9の
厚さに応じて調整が可能である。
【0044】回転ブラシ5は、略円柱状であって、略円
形の上下面の中心を結ぶ軸心6が、ワーク9の進行方向
と平行になるように設置されるとともに、図7に示すよ
うに、ワークガイド3を介してベルトコンベア1と略平
行に相対峙するように設置されている。従って、回転ブ
ラシ5は、ワーク9の下部に設置されている。また、回
転ブラシ5は、ワーク9との接触部がワーク9の進行方
向に対して略垂直方向に移動するように、軸心6を中心
に時計回りに回転駆動する第一の回転ブラシ5aと、ワ
ークの進行方向に対して略垂直方向に移動するように、
軸心6を中心に反時計回りに回転駆動する第二の回転ブ
ラシ5bとからなっている。
【0045】また、第一の回転ブラシ5aと第二の回転
ブラシ5bとはワーク9の進行方向に対して左右に並列
に設置されており、それぞれが回転駆動手段7と係合し
ている。第一の回転ブラシ5aと第二の回転ブラシ5b
とは、ワーク9が落下しないように、ワーク9の厚みに
応じてその間隔が調整されている。また、第一の回転ブ
ラシ5aはワーク9の進行方向に対してワーク9の略右
斜め下方向に位置し、第二の回転ブラシ5bはワーク9
の進行方向に対してワーク9の略左斜め下に位置してい
る。
【0046】次に、図6、図7、および図3を参照し
て、ワークの研磨方法について説明する。 (1)まず、前工程からワークガイド3に投入されたワ
ーク9は、2つのワークガイド3に対向平面9a、9b
を回転可能に支持された状態で搬送される。
【0047】(2)ワーク9はその周面9cがベルトコ
ンベア1に接触し回転しながら搬送方向に向かって移動
する。
【0048】(3)ワーク9が第一の回転ブラシ5aお
よび第二の回転ブラシ5bの上方を通過すると、第一の
回転ブラシ5a、第二の回転ブラシ5bはワーク9のワ
ークガイド3からはみ出した突出部11を研磨する。第
一の回転ブラシ5aは、ワーク9の進行方向に向かって
軸心6を中心に時計回りに回転するため、突出部11の
周面9cをワーク9の進行方向に向かって左側から右側
へ、詳しくは突出部11の下部の周面9cから側部の対
向平面9aに向けて右斜め上方向に研磨する。
【0049】また、第二の回転ブラシ5bは、ワーク9
の進行方向に向かって軸心6を中心に反時計回りに回転
するため、突出部11の周面9cをワーク9の進行方向
に向かって右側から左側へ、詳しくは突出部11の下部
の周面9cから側部の対向平面9bに向けて左斜め上方
向に研磨する。ワーク9のバリ13はワーク9の対向平
面9a、9bに対して略垂直に、周面9cに対して略平
行に発生している場合が多く、回転ブラシ5aは対向平
面9a側のバリ13aを除去することができ、さらに図
3に示すように周面9cの対向平面9a側の端部9c1
を形成することができる。また、回転ブラシ5bは対向
平面9b側のバリ13bを除去することができ、さらに
図3に示すように周面9cの対向平面9b側の端部9c
2を形成することができる。
【0050】(4)バリ13a、13bの除去および端
部9c1、9c2を形成されたワーク9は、図示しない排
出手段により次工程へ搬送される。
【0051】ところで、本発明は、上記実施例であるワ
ークの研磨装置に限定されるものではなく、本発明の要
旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが
可能である。
【0052】例えば、上記実施例では、回転ブラシはワ
ークの進行方向に対して一対が左右に並列に設置されて
いるが、必要に応じて複数対がワークの進行方向に並ぶ
ように回転ブラシの数量を増やしてもよい。
【0053】例えば、上記実施例では、研磨手段として
ローラー状の回転ブラシを用いたが、図4に示すよう
に、螺旋状の回転ブラシを用いてもよい。この場合、ワ
ークの進行方向への推進力をさらに向上させることが可
能である。
【0054】また、例えば、上記実施例では、ベルトコ
ンベアは略水平に設置されているが、ワークの進行方向
に対して下降するように傾斜させてもよい。この場合、
ワークの前工程からの搬送、および次工程への搬送がよ
り一層スムーズに行うことができる。
【0055】また、例えば、上記実施例では、ワークガ
イドはワークの進行方向と略平行に一対が対向するよう
に設置されているが、一対とは限らず複数対がワークの
進行方向に並ぶように設置してもよい。
【0056】さらに、例えば、上記実施例では、回転ブ
ラシの材質、硬度、および回転数は特に限定していない
が、対象とするワークの特性や端部の面積に応じてそれ
ぞれ最適な仕様を選択することが可能である。
【0057】ここでまた、上記実施例では、ベルトコン
ベア、ワークガイド、および回転ブラシは図6に示すよ
うな位置関係にあるが、図8に示すように、図6のワー
ク研磨装置をワークの進行方向を軸として90度回転さ
せたものでもよい。この場合、ワークガイドはワークを
上下から回転可能に支持することができるので、ワーク
に対するワークガイドの圧力を低減することができてよ
り一層スムーズに搬送することができる。さらに、図8
に示すワーク研磨装置は上記実施例と同様に本発明の範
囲内において、種々の変形、応用が可能である。
【0058】
【発明の効果】本発明の被処理物の研磨装置では、研磨
手段が略円板状の被処理物の全周面にわたって、被処理
物の略径方向外側より被処理物に確実に接触するととも
に、その接触部が被処理物に対して被処理物の両対向平
面を結ぶ略厚み方向に移動するように接触するので、一
台の研磨装置で一度に被処理物の両対向平面のバリを確
実に除去できるとともに、被処理物の周面エッジの面取
りを行うことが可能である。
【0059】また、これにより、従来必要とされていた
被処理物の反転装置や被処理物の面取り装置が不要とな
り、シンプルな構成により低コストで被処理物を研磨す
ることが可能である。
【0060】また、研磨手段が一方向に回転する第一の
研磨手段と、一方向の回転と反対の他方向に回転する第
二の研磨手段とからなる場合には、研磨手段の回転方向
が異なるために被処理物の両側に形成されたバリに対
し、両側から同様の作用のある研磨を行うことができる
ので、被処理物のバリの除去および被処理物の周面のエ
ッジの面取りをより一層確実に行うことが可能である。
【0061】また、研磨手段が少なくとも一対が被処理
物の進行方向に沿って設置されている場合には、少なく
とも一対の研磨手段により被処理物を連続的に研磨する
ことができるので、被処理物のバリの除去および被処理
物の周面のエッジの面取りをより一層確実にかつ高速に
行うことが可能である。
【0062】また、研磨手段が少なくとも一対が被処理
物の進行方向に対して左右に並列に設置されている場合
には、少なくとも一対の研磨手段により被処理物を同時
に研磨することができるので、バリの除去および被処理
物の周面のエッジの面取りをさらに一層確実にかつ高速
に行うことが可能である。
【0063】また、研磨手段がローラー状の回転ブラシ
である場合には、回転ブラシが被処理物に対して連続的
に接触できるので、バリの除去および被処理物の周面の
端部の形成をより確実にかつ高速に行うことが可能であ
る。
【0064】また、研磨手段が螺旋状の回転ブラシであ
る場合には、回転ブラシが被処理物に対して連続的に接
触できるとともに、被処理物の進行方向への応力を得る
ことができて推進力を向上させることができるので、バ
リの除去および被処理物の周面のエッジの面取りをより
一層確実にかつ高速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施例を側面から見た概略説明
図。
【図2】図1をワークの進行方向の後方から見た概略説
明図。
【図3】本発明のワークの研磨装置によって研磨処理さ
れたワークの側面図。
【図4】本発明のワークの研磨装置に用いられる他の回
転ブラシを例示した斜視図。
【図5】本発明の第一の実施例の変形例を例示した概略
説明図。
【図6】本発明の第二の実施例を側面から見た概略説明
図。
【図7】図6をワークの進行方向の後方から見た概略説
明図。
【図8】本発明の第二の実施例の変形例を例示した概略
説明図。
【符号の説明】
1 ベルトコンベア(搬送手段) 3 ワークガイド(ガイド) 5 回転ブラシ(研磨手段) 5a 第一の回転ブラシ(第一の研磨
手段) 5b 第二の回転ブラシ(第二の研磨
手段) 6 軸心 7 回転駆動手段 9 ワーク(被処理物) 9a、9b 対向平面 9c 周面 9c1、9c2 端部 11 突出部 13、13a、13b バリ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 略円板状の被処理物の周面と当接しつつ
    被処理物を回転させながら搬送する搬送手段と、前記搬
    送手段の近傍に前記被処理物の進行方向と略平行に設け
    られるとともに、前記被処理物の対向平面を回転可能に
    支持するガイドと、前記ガイドを介して前記搬送手段と
    相対峙するように設けられるとともに、前記被処理物の
    進行方向に対して略平行に軸心を有し、前記軸心を中心
    として回転駆動する研磨手段とを有することを特徴とす
    る被処理物の研磨装置。
  2. 【請求項2】 前記研磨手段は、一方向に回転する第一
    の研磨手段と、前記一方向の回転と反対の他方向に回転
    する第二の研磨手段とからなることを特徴とする請求項
    1記載の被処理物の研磨装置。
  3. 【請求項3】 前記研磨手段は、少なくとも一対が被処
    理物の進行方向に沿って設置されていることを特徴とす
    る請求項1または請求項2記載の被処理物の研磨装置。
  4. 【請求項4】 前記研磨手段は、少なくとも一対が被処
    理物の進行方向に対して左右に並列に設置されているこ
    とを特徴とする請求項1または請求項2記載の被処理物
    の研磨装置。
  5. 【請求項5】 前記研磨手段は、ローラー状の回転ブラ
    シであることを特徴とする請求項1から請求項4のいず
    れかに記載の被処理物の研磨装置。
  6. 【請求項6】 前記研磨手段は、螺旋状の回転ブラシで
    あることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか
    に記載の被処理物の研磨装置。
JP25700194A 1994-10-21 1994-10-21 被処理物の研磨装置 Pending JPH08118218A (ja)

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