JPH0811414B2 - 金型結線装置 - Google Patents

金型結線装置

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JPH0811414B2
JPH0811414B2 JP60176346A JP17634685A JPH0811414B2 JP H0811414 B2 JPH0811414 B2 JP H0811414B2 JP 60176346 A JP60176346 A JP 60176346A JP 17634685 A JP17634685 A JP 17634685A JP H0811414 B2 JPH0811414 B2 JP H0811414B2
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JP
Japan
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terminal
temperature
mold
temperature sensor
control unit
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JP60176346A
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龍彦 秋山
利彰 篠原
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/0083Electrical or fluid connection systems therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Control Of Temperature (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体装置を樹脂封止する金型に内蔵され
ているヒータ及び温度センサーと、金型外部の温度制御
装置との電気的結合を行なう装置に関するものである。
〔従来の技術〕
従来のこの種の金型結線装置を第2図に示す。図にお
いて、1は樹脂封止用金型本体、2は上記金型1を加熱
するヒータ、3は金型1の温度制御に用いられる温度セ
ンサー、4は温度センサー3により検知した金型温度に
応じて金型温度を一定にするために必要とされる電流を
ヒータ2へ供給する温度制御部、5はヒータ2に接続さ
れた端子、6は温度センサー3に接続された端子、7は
温度制御部4側のヒータ2と結線すべき端子、8は温度
制御部4側の温度センサー3と結線すべき端子、9は端
子5,端子6を取付けた金型側端子台、10は端子7,端子8
を取付けた温度制御部側端子台、11は配線のためのケー
ブル、例えば銅線であり、12a,12bは温度センサー3と
端子6とを接続する第1の熱電対温度補償ケーブル、12
c,12dは温度制御部4と端子8とを接続する第2の熱電
対温度補償ケーブルである。そして例えば、12a,12cは
銅、12b,12dは銅−コンスタンタンであり、上記端子5,
6,7,8はすべて同一金属、例えば銅−タングステン合金
で構成されている。
次に動作について説明する。半導体装置を樹脂封止す
るための樹脂封止金型1において、この金型1を加熱す
るためには、該金型1に内蔵しているヒータ2及び温度
センサー3と金型の温度制御のための温度制御部4とを
接続する必要がある。その方法としてヒータ2の配線末
端の端子5及び温度センサー3の配線末端の端子6を取
付けた金型側端子台9と、温度制御部4側の配線末端の
端子7,8を取付けた温度制御部側端子台10とを結合さ
せ、複数の電気的結線を同時に行なうようにしている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
一般に樹脂封止金型は通常180℃以上に加熱されるの
で、従来の装置の端子では容易にその接合面が酸化し、
電気抵抗が増大して次第に電流が流れにくくなる。また
端子を同一金属で構成する場合、温度センサーとして、
異種金属の熱起電力差を利用する熱電対を用いると、同
一金属からなる端子の両端の温度差分の熱起電力降下を
生ずるという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、高温下においても温度制御部から金型内ヒ
ータに常に安定した電流を供給でき、また温度センサー
として熱電対を用いた場合にもその温度センサーとして
の機能を損なうことのないよう安定した温度補償を行な
うことのできる端子を持つ、金型結線装置を得ることを
目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る金型結線装置は、半導体装置を樹脂封
止する金型に内蔵されたヒータおよび温度センサーと、
該温度センサーによる検知温度に応じて上記ヒータへの
加熱電力量を制御する温度制御部との間の結線を行なう
金型結線装置において、上記ヒータおよび温度センサー
に接続された,金メッキされた第1の端子を有する金型
側端子台と、上記温度制御部に接続された,金メッキさ
れた第2の端子を有し、該各端子が上記第1の各端子と
接合される温度制御部側端子台と、上記温度センサー
と,上記第1の端子の上記第2の端子と接続される側の
端部との間に配設された第1の熱電対温度補償線と、上
記温度制御部の温度センサーに対応する端子と,上記第
2の端子の上記第1の端子と対向する側の端部との間に
配設された第2の熱電対温度補償線とを備えるようにし
たものである。
〔作用〕
この発明においては、端子の表面を金メッキ処理する
ことにより高温下での酸化による電流低下を防止するこ
とができる。また、温度センサーとして熱電対を用いた
場合に、温度センサーと、上記第1の端子の上記第2の
端子と接続される側の端部との間に第1の熱電対温度補
償線を配線するとともに、温度制御部の温度センサーに
対応する各端子と、上記第2の端子の上記第1の端子と
対向する側の端部との間に配設された第2の熱電対温度
補償線を配設することにより、上記各熱電対温度補償線
を上記第1の端子と第2の端子との接合面の直前にまで
配設したので、正確な熱起電力を温度制御部に伝達で
き、精度の高い温度制御が可能となる。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第
1図は本発明の一実施例による金型結線装置を示し、図
において、1は樹脂封止用金型本体、2は金型1を加熱
するヒータ、3は金型1の温度を検出する温度センサ
ー、例えば熱電対、4は上記温度センサー3により検知
した金型温度に応じて金型温度を一定にするために必要
とされる電流をヒータ2へ供給する温度制御部、5はヒ
ータ2に接続された表面を金メッキ処理した端子、6は
温度センサー3に接続された表面を金メッキ処理した端
子、7は温度制御部4側のヒータ2と結線されるべき表
面を金メッキ処理した端子、8は温度制御部4側の温度
センサー3と結線されるべき表面を金メッキ処理した端
子、9は端子5,端子6を取付けた金型側端子台、10は端
子7,端子8を取付けた温度制御部側端子台、11はヒータ
2と温度制御部4との配線のためのケーブル、例えば銅
線であり、12a,12bは温度センサー3と端子6とを接続
する第1の熱電対温度補償ケーブル、12c,12dは温度制
御部4と端子8とを接続する第2の熱電対温度補償ケー
ブルである。そして例えば、12a,12cは銅、12b,12dは銅
−コンスタンタンであり、端子5,6,7,8はすべて同一金
属、例えば銅−タングステンで構成され、すべて表面は
金メッキ処理している。端子台9は金型に固定される。
端子台10は金型1が動作する位置において自動的に端子
5と7,端子6と8が接合する固定台13上の位置に固定さ
れる。
次に動作について説明する。樹脂封止金型1を加熱す
るため金型1に内蔵しているヒータ2の配線末端の端子
5と、温度センサー3の配線末端の端子6を有し、金型
1に固定された金型側端子台9と、温度制御部4の配線
末端の端子7,8を有し、金型1の動作位置において自動
的に端子5と端子7,端子6と端子8が同時に接触するよ
うに固定された温度制御部側端子台10とを、金型1を位
置決めすることにより結合させ、複数の電気的結線をワ
ンタッチで行なう。温度センサー3と端子6は第1の熱
電対温度補償ケーブル12a,12bで配線される。端子6と
第1の熱電対温度補償ケーブル12a,12bの結合は端子6
の接合面の近傍で行なわれる。温度制御部4と端子8と
の接続も、第2の熱電対温度補償ケーブル12c,12dによ
り、上記同様に配線されるので、温度制御部4から温度
センサー3まではほぼ全て熱電対温度補償線で配線され
ることになる。従って熱電対4で発生した熱起電力を正
確に温度制御部4に伝達できる。また金型温度が高温に
なった場合も端子5,6,7,8は金メッキ処理されているの
で酸化することはない。従ってヒータ2へ流れる電流の
損失もない。
なお、上記実施例では樹脂封止金型と温度制御部との
電気的結合を行なう金型結線装置に限定して説明した
が、本発明は温度センサーを利用して温度制御し高温で
動作する電気機器のための結線装置にも応用でき、上記
実施例と同様の効果を期待できる。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明に係る金型結線装置によれ
ば、半導体装置を樹脂封止する金型に内蔵されたヒータ
および温度センサーと、該温度センサーによる検知温度
に応じて上記ヒータへの加熱電力量を制御する温度制御
部との間の結線を行なう金型結線装置において、上記ヒ
ータおよび温度センサーに接続された,金メッキされた
第1の端子を有する金型側端子台と、上記温度制御部に
接続された,金メッキされた第2の端子を有し、該各端
子が上記第1の各端子と接合される温度制御部側端子台
と、上記温度センサーと,上記第1の端子の上記第2の
端子と接続される側の端部との間に配設された第1の熱
電対温度補償線と、上記温度制御部の温度センサーに対
応する端子と,上記第2の端子の上記第1の端子と対向
する側の端部との間に配設された第2の熱電対温度補償
線とを備えるようにしたので、端子が熱により酸化され
るのを防止でき、長期に渡って電流損失が少なく安定し
た温度制御が可能となり、また、第1,及び第2の温度補
償線を端子接合面の直前にまで配線したので、精度の高
い温度制御が可能となる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例による金型結線装置を示す
斜視図、第2図は従来の金型結線装置を示す斜視図であ
る。 1……金型、2……ヒータ、3……温度センサー、4…
…温度制御部、5,6,7,8……金メッキ端子、9……金型
側端子台、10……温度制御部端子台、12a,12b……第1
の熱電対温度補償ケーブル、12c,12d……第2の熱電対
温度補償ケーブル なお図中同一符号は同一又は相当部分を示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半導体装置を樹脂封止する金型に内蔵され
    たヒータおよび温度センサーと、該温度センサーによる
    検知温度に応じて上記ヒータへの加熱電力量を制御する
    温度制御部との間の結線を行なう金型結線装置におい
    て、 上記ヒータおよび温度センサーに接続された,金メッキ
    された第1の端子を有する金型側端子台と、 上記温度制御部に接続された,金メッキされた第2の端
    子を有し、該各端子が上記第1の各端子と接合される温
    度制御部側端子台と、 上記温度センサーと,上記第1の端子の上記第2の端子
    と接続される側の端部との間に配設された第1の熱電対
    温度補償線と、 上記温度制御部の温度センサーに対応する端子と,上記
    第2の端子の上記第1の端子と対向する側の端部との間
    に配設された第2の熱電対温度補償線とを備えたことを
    特徴とする金型結線装置。
  2. 【請求項2】上記温度センサーが熱電対からなり、上記
    金型側および温度制御部側端子台の端子がすべて同一金
    属からなることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    の金型結線装置。
JP60176346A 1985-08-09 1985-08-09 金型結線装置 Expired - Lifetime JPH0811414B2 (ja)

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