JPH0810722B2

JPH0810722B2 - 移載装置

Info

Publication number: JPH0810722B2
Application number: JP3296886A
Authority: JP
Inventors: 清秀小泉; 秀樹大川内; 命生田畑; 茂三郎小松; 滋夫富山; 俊一山本; 公夫村松
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1986-02-19
Filing date: 1986-02-19
Publication date: 1996-01-31
Anticipated expiration: 2011-01-31
Also published as: JPS62193140A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は移載装置、特に物品の収容姿勢が相互に異な
る治具間における物品の移換技術であって、たとえば、
運搬用のカセットと、プラズマCVD（Chemical Vapor
Deposition）装置における治具との間でウエハの移し換
えを自動的に行う移載装置に関する。

〔従来の技術〕

ウエハ移換技術については、工業調査会発行「自動化
技術」1985年４月号、昭和60年４月１日発行、P80〜P86
に記載されている。その概要は、半導体デバイスがLSI
から超LSIに進むにつれて、ウエハプロセス作業環境の
清浄度化は人手の介在を許さぬほど厳しくなってきてい
ることから、拡散炉における石英ボートへウエハを移載
する作業を、汎用マイコンを利用したウエハ移載ロボッ
トで、一枚ずつキャリア・カセットから石英ボートへ移
すものである。

一方、プラズマCVD装置については、たとえば、工業
調査会発行「電子材料」1984年別冊号、昭和59年11月20
日発行、P45〜P51に記載されている。この文献には、以
下のようなことが記載されている。

すなわち、プラズマCVD装置の一つの構造として、hot
−wall横形プラズマCVD装置（以下、横形プラズマCVD装
置とも称する。）が知られている。この横形プラズマCV
D装置は、横形拡散炉を用いたもので、対向する複数の
カーボン製サセプタの各側面にそれぞれウエハを取り付
けて処理する構造となっている。この横形プラズマCVD
装置は、サセプタへのウエハのロード・アンロードが非
常に困難で自動化の大きな障害となっており、形状変更
を含め自動化への対応が今後必要である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記文献でも指摘されているように、サセプタへのウ
エハのローディング・アンローディングの自動化は極め
て困難である。これは、ウエハがサセプタの下端部分に
突出した突子で支えられてサセプタの側面に張り着く状
態で保持されることと、対面するサセプタの間隔が有効
なプラズマ状態を発生するためにも、たとえば、1cm程
度と狭いことによる。このため、サセプタに対するウエ
ハのローディング・アンローディングは、金属ピンセッ
トあるいは真空ピンセットでウエハを保持してマニュア
ルで行っているのが一般的である。しかし、この方法は
狭い空間域にピンセットを臨ませてウエハを取り扱うこ
とから作業性向上が臨み難い。また、この方法は作業が
し難いことから操作ミスを起し易く、ウエハを落とす率
も高くなり、歩留り低下を招き易い。また、この方法は
ウエハの挿脱時、ウエハとサセプタとが相互に擦られ微
粉末が発生し易くなり、微粉末付着によるウエハ汚染が
起き易くなる。

本発明の目的は、相互に収容姿勢の異なる治具間での
物品の自動移換が行える移載装置を提供することにあ
る。

本発明の他の目的は横形プラズマCVD装置における処
理治具と運搬治具間でのウエハの自動移換を行うことの
できる移載装置を提供することにある。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴
は、本明細書の記述および添付図面からあきらかになる
であろう。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明の移載装置は、ウェハの一方の治具
であって、ウェハを横状態（水平状態）で収容する運搬
用のカセットにウエハの処理面の裏側を支えてウエハを
搬出入する搬出入装置と、この搬出入装置との間でウエ
ハの裏面を真空吸着保持してウエハの授受を行うととも
にウエハを縦状態（垂直状態）で回転修正できる姿勢修
正装置と、前記姿勢修正装置との間で縦方向に延在する
ウエハをウエハの周縁をクランプして保持しながらウエ
ハの授受を行いかつ横形プラズマCVD装置に装填される
ウエハ治具の下方に移動する移載用ロボットと、を有し
ているとともに、前記移載用ロボットは保持機構をウェ
ハの他方の治具を構成するサセプタ間に上昇させ、所定
のサセプタの側面に突子で支えられるウエハ収容部との
間でウエハの授受を行うようになっている。そして、ウ
エハ治具にウエハをローディングする場合は、ウエハを
水平状態で収容するカセットから搬出入装置でウエハを
ウエハ搬出入ステーションに運びだすとともに、このウ
エハ搬出入ステーションのウエハを姿勢修正装置のウエ
ハピックアップアームの先端保持部で真空吸着保持し、
その後前記ウエハピックアップアームを90度上方に回転
させてウエハを垂直状態とし、その後垂直状態のウエハ
を移載用ロボットの保持機構で保持するとともに移動
し、ウエハを前記ウエハ治具の所定のサセプタに対面さ
せ、サセプタに接近した後、ウエハを解放してウエハを
サセプタに取り付ける。また、ウエハのアンローディン
グは、前記手順とは逆となり、垂直状態でサセプタに取
り付けられていたウエハを水平状態にしてカセットに回
収する。

〔作用〕

上記した手段によれば、ウエハの収容姿勢が水平状態
となるカセットとウエハの収容姿勢が垂直状態となるウ
エハ治具との間におけるウエハの授受は、ウエハをウエ
ハ治具にローディングする際は、カセットからウエハを
搬出入装置で運び出した後、姿勢修正装置でウエハの姿
勢をウエハ治具における収容姿勢に修正して行い、ウエ
ハをウエハ治具からカセットに収容するアンローディン
グの際は、移載用ロボットでウエハ治具から運び出した
ウエハを姿勢修正装置でカセットの収容姿勢に修正する
ため、自動的にウエハのローディング・アンローディン
グが行え、省力効果が得られるとともに、作業者介在に
よる物品の汚染・破損を低減できることになる。

〔実施例〕

以下図面を参照して本発明の一実施例について説明す
る。

第１図は本発明の一実施例による移載装置の要部を示
す斜視図、第２図は同じくウエハを収容するウエハ治具
を示す斜視図、第３図は同じくウエハ治具の断面構造を
示す模式図、第４図は同じくウエハ治具におけるウエハ
の支持状態を示す平面図、第５図は姿勢修正装置と移載
用ロボット間におけるウエハの移し換え状態を示す断面
図、第６図は同じくウエハ治具と移載用ロボット間でウ
エハを移し換える状態を示す断面図、第７図は同じく移
載用ロボットにおけるウエハの保持機構を示す模式図で
ある。

この実施例では、ウエハの搬送用カセットと、横形プ
ラズマCVD装置に装填されるウエハ治具との間でウエハ
の授受を自動的に行う移載装置について説明する。

移載装置は大別すると、第１図に示されるように、他
方の治具であるウエハ治具１をある程度の高さで支持す
る載置台２と、この載置台２の下方域をも移動域とする
移載用ロボット３と、この移載用ロボット３の一方の移
動端の近傍に配設されたカセット台４と、このカセット
台４のカセット５からウエハ（半導体薄板）６を搬出あ
るいは搬入する搬出入装置７と、この搬出入装置７およ
び前記移載用ロボット３との間でウエハ６の授受を行う
姿勢修正装置８と、からなっている。

前記載置台２はウエハ治具１の両端下部を支持ブロッ
ク９で支持するようになっている。ウエハ治具１は、第
２図に示されるように、細長の６枚のカーボン板からな
るサセプタ10を平行に対峙させかつこれらの各サセプタ
10を連結ピン11,連結片12で一体にした構造となってい
る。これら６枚のサセプタ10は、第３図に示されるよう
に、一枚置きに同極となり、相互に対面するサセプタ10
は一対の電極を構成し、高周波電源（RF）13の印加によ
って対面するサセプタ10間にプラズマを発生させるよう
になっている。また、両端の連結片12にはそれぞれ別々
の電極となるコンタクト電極板14,15が取り付けられて
いる。また、両側のサセプタ10の外面下部にはローラ16
が取り付けられている。このウエハ治具１は、横形プラ
ズマCVD装置の炉芯管（反応管とも称する。）内に装填
される際、前記ローラ16で炉芯管内で回動することによ
って炉芯管内を移動するようになっている。また、ウエ
ハ治具１は炉芯管内に装填された際、両端のコンタクト
電極板14,15が、炉芯管内の電極部に電気的に接続され
るようになっている。また、前記サセプタ10の側面、す
なわち、主面にはウエハ６が張り着く姿勢で取り付けら
れる。この際、ウエハ６は、第４図に示されるように、
サセプタ10の下方には設けられた突子17によって支持さ
れる。なお、サセプタ10の上部は部分的に窪み部18が設
けられている。この窪み部18は後述する保持機構の爪の
移動域に対応し、前記爪がサセプタ10に近接してウエハ
６のローディング・アンローディングを行う際、爪が接
触してサセプタ10を擦ることのないようになっている。
さらに、特に限定はされないが、この実施例のウエハ治
具１には、運搬用の４台のカセット５に収容されている
100枚のウエハ６総てが収容されるようになっている。
なお、前記支持ブロック９上に載置されたウエハ治具１
はその両側をガイド19でガイドされて所定の位置に位置
決めされる。

前記載置台２の延在方向延長上には、カセット台４が
配設されている。このカセット台４は回転テーブルとな
っているとともに、その中心軸を中心として90度間隔で
回転可能となっている。また、このカセット台４には90
度間隔にそれぞれカセット20が着脱自在に取り付けられ
ている。このカセット20は、一対の側壁内面に図示しな
い収容溝を設けた構造となっていて、一対の収容溝に、
ウエハ６の相互に反対側となる縁を収容することによっ
てウエハを水平状態（横状態）で収容する。また、前記
カセット20は、カセット台４のＵ字状に切り欠かれた各
切欠部分に昇降自在に配設されている。

また、前記カセット台４の一側下方には搬出入装置７
が配設され、搬出入位置に至ったカセット20に対するウ
エハ６の搬出入（ローディング・アンローディング）を
行うようになっている。この搬出入装置７は、たとえ
ば、２条のロープ状ベルト21をプーリ22で案内しかつベ
ルト21を正逆回動させる構造となっていて、前記切欠部
に臨むカセット20に収容されているウエハ６を２条のベ
ルト21の上に載せてカセット20からウエハ搬出入ステー
ション23に運び出したり、あるいはウエハ搬出入ステー
ション23からカセット20内に搬入したりするようになっ
ている。この際、カセット20に収容されているウエハ６
はその処理面が上となり、下面は被処理面となっている
ことから、この被処理面がベルト21上に載る。なお、前
記ウエハ搬出入ステーション23は一対のベルト21が対面
する領域に対応する部分は一段低くなり、逃げ溝24を構
成している。この逃げ溝24には、後述する姿勢修正装置
８のウエハピックアップアーム25の先端のウエハ保持部
26がウエハ搬出入ステーション23に接触することなく入
るようになっている。この場合、ウエハ保持部26が前記
逃げ溝24内に入った状態では、ベルト21によって搬送さ
れてきたウエハ６はウエハ保持部26上を移動するように
なっている。

姿勢修正装置８は、前述のように先端のウエハ保持部
26にウエハ６を真空吸着するウエハピックアップアーム
25を有している。このウエハピックアップアーム25は固
定ブロック27に対して回動自在に取り付けられている。
また、前記ウエハピックアップアーム25は固定ブロック
27に固定された反転モータ29によって90度正逆回転制御
されるようになっている。この結果、前述のようにウエ
ハ保持部26は、ウエハ搬出入ステーション23の逃げ溝24
に沈んだ状態でウエハ６の到着を待ち、ウエハ６がウエ
ハ搬出入ステーション23に運ばれかつ静止した後正転し
て上昇する。この際、ウエハ保持部26は、ウエハ保持部
26の吸着面に対面したウエハ６の処理面とならない裏面
を真空吸着保持する。前記ウエハピックアップアーム25
は90度回動後静止するため、ウエハピックアップアーム
25に保持されたウエハ６は垂直状態となり、前述のウエ
ハ治具１におけるウエハ収容姿勢となる。なお、垂直状
態にあるウエハピックアップアーム25がウエハ６を保持
した状態で90度逆回動して逃げ溝24に沈む動作によっ
て、ウエハピックアップアーム25に保持されていたウエ
ハ６は一対のベルト21上に載る。この際、前記ウエハ６
はウエハピックアップアーム25から機械的に引き剥がさ
れてベルト21上に移るが、ウエハ６が脆弱な物質である
ことを考慮すれば、ウエハピックアップアーム25におけ
るウエハ保持部26の真空吸着動作をウエハ６の解放動作
と同期して解除してやることが望ましい。

一方、前記姿勢修正装置８で垂直状態となったウエハ
６を前記載置台２上のウエハ治具１に運ぶために、これ
らの間には、レール30が配設されている。このレール30
上には移載用ロボット３の機台31が摺動自在に載る。ま
た、第５図にも示されるように、この機台31上には、前
記レール30の延在方向、たとえば、Ｘ方向に対して直交
する方向、すなわち、Ｙ方向に沿って延在する一対のレ
ール32を有するガイド33が固定されている。そして、こ
のガイド33のレール32上には、前記レール32に対して摺
動自在に往復動する台座34が載っている。また、この台
座34上には固定ブロック35が載り、この固定ブロック35
には回転ブロック36が回転自在に取り付けられている。
この回転ブラック36は90度の割り出しが行え、一動作で
90度回転するようになっている。これは、移載用ロボッ
ト３で前記サセプタ10の表裏面に対してウエハ６のロー
ディング・アンローディングをすることができるように
するためであり、かつ前記姿勢修正装置８との間でのウ
エハ６の授受を行うためである。また、前記回転ブロッ
ク36上には、コラム37が配設されている。このコラム37
の上端は側方に突出するとともに、この突出部38と、コ
ラム37の下部側方に突出形成された受け部39との間には
ガイド軸40が設けられている。また、このガイド軸40に
は図示しない昇降機構によって昇降する昇降体41が摺動
自在に取り付けられている。この昇降体41は、第６図お
よび第７図に示されるように、ウエハ６をクランプする
保持機構42の一部を構成している。前記保持機構42は、
前記昇降体41の先端両側から横方向に延在するととも
に、途中から上方に延在しかつその先端にウエハ６の縁
をガイドする支持爪43を有する支持アーム44と、前記昇
降体41を貫通しかつ上方に延在する部分の先端にウエハ
６の縁を引っ掛ける引掛爪45を有する操作アーム46と、
からなっている。前記操作アーム46は下降動作して支持
爪43と引掛爪45との間にウエハ６をクランプし、上昇動
作してウエハ６のクランプを解除するようになってい
る。前記操作アーム46および支持アーム44等のウエハク
ランプ部は、第６図に示されるように、ウエハ治具１の
各サセプタ10間にサセプタ10に接触することなく進入，
後退することができる。前記ウエハクランプ部は上昇し
てサセプタ10間に進入してサセプタ10のウエハ収容部に
対面した後、ウエハ収容部に接近してウエハ６の授受を
行い、その後、ウエハクランプ部が下降してもサセプタ
10にウエハクランプ部が接触しない位置に後退しかつ下
降する。前記保持機構42クランプ動作によってサセプタ
10の突子17に支持されていたウエハ６は保持機構42に保
持され、クランプ解除によって保持機構42に保持されて
いたウエハ６をサセプタ10の突子17上に供給することが
できるようになっている。なお、第６図では、サセプタ
10の右側の側面にウエハ６をローディング・アンローデ
ィングする状態が示されているが、右側のサセプタ10の
左の側面にウエハ６をローディング・アンローディング
する場合は、前記回転ブロック36が180度回転した状態
でウエハ６をサセプタ10にローディング・アンローディ
ングすることとなる。

他方、前記姿勢修正装置８と移載用ロボット３との間
でのウエハ６のローディング・アンローディングは、第
５図に示されるように、姿勢修正装置８のウエハピック
アップアーム25が垂直状態にある状態で行われる。この
ため、移載用ロボット３と姿勢修正装置８との間の相互
のウエハ６の授受はウエハクランプ部が上昇した状態で
行われる。また、ウエハ６をウエハ治具１に運ぶ際、あ
るいはウエハ治具１からウエハ６を運び出す際は、同図
に示されるように、ウエハクランプ部は下降した状態で
移動するようになっている。

このような移載装置にあっては、カセット20に収容さ
れているウエハ６をウエハ治具１にローディングする際
は、搬出入装置７によって順次カセット20からウエハ６
をウエハ搬出入ステーション23に運び出す。また、ウエ
ハ搬出入ステーション23に運び出されたウエハ６は、姿
勢修正装置８によってウエハ治具１に収容される姿勢に
修正される。この姿勢修正が終了したウエハ６は移載用
ロボット３によってウエハ治具１の下方に運ばれ、移載
用ロボット３のウエハクランプ部の上昇、サセプタ10へ
の接近、ウエハクランプ解除によってウエハ６をサセプ
タ10にローディングする。この動作は繰り返し行われ、
25枚のウエハ６をそれぞれ収容する４個のカセット20の
総てのウエハ６をウエハ治具１に搬入する。

また、ウエハ治具１のウエハ６をカセット20にアンロ
ーディングする際は、移載用ロボット３のウエハクラン
プ部を上昇させて所定のサセプタ10のウエハ収容部に臨
ませた後、ウエハ収容部に接近しかつクランプ動作によ
ってウエハ６を保持機構42のウエハクランプ部に保持す
る。その後、移載用ロボット３は移動してウエハ６を姿
勢修正装置８の配設されている位置に運ぶ。姿勢修正装
置８は移載用ロボット３からウエハ６を真空吸着保持動
作によって受け取った後、90度逆転してウエハ搬出入ス
テーション23にウエハ６を運ぶ。ウエハ搬出入ステーシ
ョン23では、ウエハ６は搬出入装置７のベルト21上に移
る。ベルト21上に移ったウエハ６はベルト21の回動によ
ってカセット20内に収容されアンローディングが終了す
る。

なお、この移載装置にあっては、前記移載用ロボット
３はロット管理機能を有している。このロット管理機能
は、制御装置にウエハ装着番号に対応したカセット番号
を記憶するメモリを有し、移載用ロボット３によってウ
エハ６をウエハ治具１に装着する毎に、カセット番号を
記憶する。また、ウエハ装着番号とカセット番号の記憶
メモリを参照し、同カセット番号のウエハ６を同カセッ
トに回収するようになっている。

このような実施例によれば、つぎのような効果が得ら
れる。

（１）本発明の移載装置によれば、ウエハを横状態に収
容するカセットと、横形プラズマCVD装置に装填されか
つ縦状態に収容する治具間でのウエハの授受が自動的に
行えるため、作業性の向上が達成できるという効果が得
られる。

（２）上記（１）により、本発明の移載装置によれば、
治具とカセットとの間でのウエハの授受作業における作
業人員の低減が達成できるという効果が得られる。

（３）本発明の移載装置は、各ウエハ毎に治具収容位置
がメモリされるとともに、治具から搬出されたウエハは
前記メモリの読み出しによって最初に収容されていたカ
セット所定位置に収容されるため、ウエハの混入ミスも
なくなり、精度の高い処理が行えるという効果が得られ
る。

（４）本発明の移載装置によれば、ウエハの処理面に触
れることなくウエハの授受が行えることから、ウエハ処
理面の破損や汚染が起き難いという効果が得られる。

（５）本発明の移載装置によれば、作業者不在状態下で
自動的にウエハの移し換えが行えることから、作業者が
介在するためによって起きるウエハの汚染・破損が低減
されるため、歩留り向上が達成できるという効果が得ら
れる。

（６）本発明の移載装置によれば、治具のサセプタ主面
へのウエハのローディング・アンローディング時、ウエ
ハはサセプタ主面に対して平行な状態でローディング・
アンローディングされることから、ウエハとサセプタと
の間で擦れが生じ難くなり、擦れで発生した微粉末によ
るウエハの汚染が生じ難くなるという効果が得られる。

（７）本発明の移載装置によれば、その構造からして、
大口径のウエハの移換およびローディング・アンローデ
ィング作業も自動的にかつ正確確実に行えるという効果
が得られる。

（８）上記（１）〜（７）により、本発明の移載装置に
よれば、ウエハの汚損・汚染低減によって品質の高い製
品を高歩留りで製造することができるとともに、自動化
による作業性の向上および作業人員低減から、安価な半
導体装置を提供することができるという相乗効果が得ら
れる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発
明をその背景となった利用分野であるプラズマCVD装置
の炉芯管に挿入されるウエハ治具とカセット間における
ウエハの移換技術に適用した場合について説明したが、
それに限定されるものではない。

本発明は物品の収容姿勢が同一となる複数の治具間に
おける物品の移し換えは勿論のこととして、収容物品の
収容姿勢が異なる治具間での物品の移換技術には適用で
きる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりで
ある。

本発明の移載装置は、ウエハの収容姿勢が相互に異な
る治具間でのウエハの移し換えが自動的に行えるため、
作業性向上，作業人員低減が達成できる。また、本発明
によれば、ウエハの移換作業時、ウエハの処理面は触れ
られることが無いことから、ウエハの汚損や汚染が生じ
難くなる。さらに、本発明によれば前記効果に加えて、
作業者介在による物品の汚染・汚損が防止できることか
ら、処理精度の安定化および歩留り向上から処理コスト
の低減が達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による移載装置の要部を示す
斜視図、第２図は同じくウエハを収容するウエハ治具を示す斜視
図、第３図は同じくウエハ治具の断面構造を示す模式図、第４図は同じくウエハ治具におけるウエハの支持状態を
示す平面図、第５図は姿勢修正装置と移載用ロボット間におけるウエ
ハの移し換え状態を示す断面図、第６図は同じくウエハ治具と移載用ロボット間でウエハ
を移し換える状態を示す断面図、第７図は同じく移載用ロボットにおけるウエハの保持機
構を示す模式図である。１……ウエハ治具（治具）、２……載置台、３……移載
用ロボット、４……カセット台、５……カセット、６…
…ウエハ（半導体薄板）、７……搬出入装置、８……姿
勢修正装置、９……支持ブロック、10……サセプタ、11
……連結ピン、12……連結片、13……高周波電源（R
F）、14,15……コンタクト電極板、16……ローラ、17…
…突子、18……窪み部、19……ガイド、20……カセッ
ト、21……ベルト、22……プーリ、23……ウエハ搬出入
ステーション、24……逃げ溝、25……ウエハピックアッ
プアーム、26……ウエハ保持部、27……固定ブロック、
29……反転モータ、30……レール、31……機台、32……
レール、33……ガイド、34……台座、35……固定ブロッ
ク、36……回転ブロック、37……コラム、38……突出
部、39……受け部、40……ガイド軸、41……昇降体、42
……保持機構、43……支持爪、44……支持アーム、45…
…引掛爪、46……操作アーム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者田畑命生東京都千代田区神田駿河台４丁目６番地株式会社日立製作所内 (72)発明者小松茂三郎東京都千代田区神田駿河台４丁目６番地株式会社日立製作所内 (72)発明者富山滋夫東京都青梅市藤橋３丁目３番地２日立東京エレクトロニクス株式会社内 (72)発明者山本俊一群馬県高崎市西横手町111番地株式会社日立製作所高崎工場内 (72)発明者村松公夫群馬県高崎市西横手町111番地株式会社日立製作所高崎工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】物品の収容姿勢が相互に異なる治具間で物
品を移し換える移載装置であって、前記一方の治具から
物品を取り出す搬出入装置と、前記搬出入装置によって
運びだされた物品を保持するとともに保持した物品の姿
勢を前記他方の治具における物品収容姿勢に修正する姿
勢修正装置と、前記姿勢修正装置と前記他方の治具との
間を移動して前記姿勢修正装置と他方の治具との間で物
品を移し換える移載用ロボットと、を有することを特徴
とする移載装置。
【請求項２】前記姿勢修正装置は物品を横状態あるいは
縦状態に姿勢修正するように構成されていることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の移載装置。
【請求項３】前記移載装置の各装置は物品の処理面には
触れない構造となっていることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の移載装置。