CN218641927U - 一种晶圆机器人用夹持结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆机器人用夹持结构，涉及到半导体加工技术领域，包括基座，所述基座通过驱动机构固定连接有夹持盘，所述夹持盘的上表面均匀开设有多个滑槽，多个所述滑槽的内壁均滑动连接有滑块，多个所述滑块的上表面均固定连接有卡紧块，多个所述滑块的内侧均固定连接有固定块，多个所述固定块的上表面均转动连接有连接杆，所述夹持盘上表面中心处转动连接有转轴，所述转轴的杆壁固定连接有转盘。本实用新型能够在晶圆机器人对晶圆进行搬运时，使转轴带动转盘转动，从而使得滑块在滑槽内向转盘处运动，带动卡紧块完成对晶圆的卡紧固定，防止在取放过程中滑落。

Description

一种晶圆机器人用夹持结构

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种晶圆机器人用夹持结构。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆。

晶圆在集成电路的工艺过程中，通常都会经过诸如刻蚀、清洗等工艺，而在半导体处理的工艺过程中，需要通过晶圆机器人来对晶圆进行搬运，现有的晶圆机器人所采用的夹持结构往往是通过前后端的夹块对晶圆进行卡紧，由于晶圆本身为圆盘形，采用夹块对其进行卡紧，容易出现夹持不牢固的情况，导致晶圆在取放过程中滑落。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆机器人用夹持结构，以解决上述背景技术中提出的现有的晶圆机器人所采用的夹持结构往往是通过前后端的夹块对晶圆进行卡紧，由于晶圆本身为圆盘形，采用夹块对其进行卡紧，容易出现夹持不牢固的情况，导致晶圆在取放过程中滑落的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆机器人用夹持结构，包括基座，所述基座通过驱动机构固定连接有夹持盘，所述夹持盘的上表面均匀开设有多个滑槽，多个所述滑槽的内壁均滑动连接有滑块，多个所述滑块的上表面均固定连接有卡紧块，多个所述滑块的内侧均固定连接有固定块，多个所述固定块的上表面均转动连接有连接杆，所述夹持盘上表面中心处转动连接有转轴，所述转轴的杆壁固定连接有转盘，多个所述连接杆的内侧分别与转盘的上表面四周转动连接。

优选的，所述驱动机构包括升降杆，所述升降杆的轴壁与基座内壁的四周滑动连接，所述升降杆的上表面转动连接有大臂，所述大臂另一端的上表面转动连接有小臂，所述小臂的另一端的上表面转动连接有末端执行器，所述末端执行器的上表面与夹持盘下表面的中心处固定连接。

优选的，所述夹持盘下表面的中心处固定连接有马达，所述马达的输出端与转轴的下端固定连接。

优选的，所述夹持盘的上表面均匀固定连接有支撑柱，所述支撑柱的上表面涂抹有防滑涂层。

优选的，所述基座前表面的下方开设有放置槽，所述放置槽的内壁固定连接有接线口。

优选的，多个所述卡紧块的相对一侧表面均固定连接有防滑垫。

优选的，所述大臂、小臂和末端执行器均为热处理后的铝合金材质。

本实用新型的技术效果和优点：

1、通过设置基座、夹持盘、滑槽、滑块、卡紧块、固定块、连接杆、转轴、转盘，能够在晶圆机器人对晶圆进行搬运时，使转轴带动转盘转动，从而使得滑块在滑槽内向转盘处运动，带动卡紧块完成对晶圆的卡紧固定，防止在取放过程中滑落。

2、通过设置升降杆、大臂、小臂、末端执行器、马达，能够使晶圆机器人在对晶圆搬运时，可以根据设备放置位置来自由调节高度、方向从而完成对晶圆的搬运，节省了人工劳动量，提高了生产加工效率。

3、通过设置防滑垫，能够增加卡紧块和晶圆之间的摩擦力，减少卡紧块对晶圆表面造成损伤，通过设置马达，可以使转轴带动卡紧盘转动，从而完成对晶圆的搬运，提高了设备操作的便捷性。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的夹持盘正面结构示意图。

图3为本实用新型的夹持盘立体结构示意图。

图4为本实用新型的夹持盘俯视结构示意图。

图中：1、基座；2、夹持盘；3、滑槽；4、滑块；5、卡紧块；6、固定块；7、连接杆；8、转轴；9、转盘；10、升降杆；11、大臂；12、小臂；13、末端执行器；14、马达；15、支撑柱；16、放置槽；17、接线口；18、防滑垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-4所示的一种晶圆机器人用夹持结构，包括基座1，基座1通过驱动机构固定连接有夹持盘2，夹持盘2为不锈钢材质，夹持盘2的上表面均匀开设有多个滑槽3，三个滑槽3之间均间隔120度，滑槽3为机器切割而成，滑槽3内壁经过砂纸打磨处理，多个滑槽3的内壁均滑动连接有滑块4，多个滑块4的上表面均固定连接有卡紧块5，卡紧块5为热处理后的铝合金材质，多个滑块4的内侧均固定连接有固定块6，多个固定块6的上表面均转动连接有连接杆7，夹持盘2上表面中心处转动连接有转轴8，转轴8为不锈钢材质，转轴8的杆壁固定连接有转盘9，多个连接杆7的内侧分别与转盘9的上表面四周转动连接，能够在晶圆机器人对晶圆进行搬运时，使转轴8带动转盘9转动，从而使得滑块4在滑槽3内向转盘9处运动，带动卡紧块5完成对晶圆的卡紧固定，防止在取放过程中滑落。

如图1所示，驱动机构包括升降杆10，升降杆10为不锈钢材质，升降杆10的轴壁与基座1内壁的四周滑动连接，升降杆10的上表面转动连接有大臂11，大臂11另一端的上表面转动连接有小臂12，小臂12的另一端的上表面转动连接有末端执行器13，大臂11、小臂12和末端执行器13均为热处理后的铝合金材质，具有行程准确，支撑力强的特点，末端执行器13的上表面与夹持盘2下表面的中心处固定连接，基座1前表面的下方开设有放置槽16，放置槽16的内壁固定连接有接线口17，能够在对晶圆进行搬运时，可以根据加工需要自由调节搬运行程。

如图2所示，夹持盘2下表面的中心处固定连接有马达14，马达14的输出端与转轴8的下端固定连接，能够带动转盘9转动，从而完成对晶圆的夹持。

如图3和图4所示，夹持盘2的上表面均匀固定连接有支撑柱15，三个支撑柱15之间间隔120度，支撑柱15的上表面涂抹有防滑涂层，能够对晶圆进行辅助支撑的同时，防止晶圆滑动，多个卡紧块5的相对一侧表面均固定连接有防滑垫18，能够在使用晶圆机器人对晶圆进行搬运时，防止晶圆滑动掉落。

本实用新型工作原理：在使用该设备前，应先检查该设备是否存在影响使用的问题，当使用设备时，通过外接电源连接使马达14，整体设备开始运转工作；

调节升降杆10上升到需要搬运的晶圆处，通过大臂11带动小臂12运动，小臂12带动末端执行器13运动，使夹持盘2进入到晶圆存放箱中，升降杆10上升使晶圆置于滑块4表面，滑块4与支撑柱15的表面共同对晶圆支撑，启动马达14，马达14转动带动转轴8转动，转轴8转动带动转盘9转动，转盘9转动使连接杆7转动，连接杆7的相对一端转动带动另一端向转盘9方向移动，从而使滑块4向转盘9方向移动；

滑块4向转盘9方向移动，使滑块4上的卡紧块5对晶圆进行卡紧，卡紧块5对晶圆卡紧后，在大臂11、小臂12和末端执行器13的作用下从晶圆存放箱中取出，在升降杆10的配合下，使的晶圆搬运到指定位置，重复此操作，对晶圆进行搬运即可。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶圆机器人用夹持结构，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)通过驱动机构固定连接有夹持盘(2)，所述夹持盘(2)的上表面均匀开设有多个滑槽(3)，多个所述滑槽(3)的内壁均滑动连接有滑块(4)，多个所述滑块(4)的上表面均固定连接有卡紧块(5)，多个所述滑块(4)的内侧均固定连接有固定块(6)，多个所述固定块(6)的上表面均转动连接有连接杆(7)，所述夹持盘(2)上表面中心处转动连接有转轴(8)，所述转轴(8)的杆壁固定连接有转盘(9)，多个所述连接杆(7)的内侧分别与转盘(9)的上表面四周转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人用夹持结构，其特征在于：所述驱动机构包括升降杆(10)，所述升降杆(10)的轴壁与基座(1)内壁的四周滑动连接，所述升降杆(10)的上表面转动连接有大臂(11)，所述大臂(11)另一端的上表面转动连接有小臂(12)，所述小臂(12)的另一端的上表面转动连接有末端执行器(13)，所述末端执行器(13)的上表面与夹持盘(2)下表面的中心处固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人用夹持结构，其特征在于：所述夹持盘(2)下表面的中心处固定连接有马达(14)，所述马达(14)的输出端与转轴(8)的下端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人用夹持结构，其特征在于：所述夹持盘(2)的上表面均匀固定连接有支撑柱(15)，所述支撑柱(15)的上表面涂抹有防滑涂层。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆机器人用夹持结构，其特征在于：所述基座(1)前表面的下方开设有放置槽(16)，所述放置槽(16)的内壁固定连接有接线口(17)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人用夹持结构，其特征在于：多个所述卡紧块(5)的相对一侧表面均固定连接有防滑垫(18)。

7.根据权利要求2所述的一种晶圆机器人用夹持结构，其特征在于：所述大臂(11)、小臂(12)和末端执行器(13)均为热处理后的铝合金材质。

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