CN213409275U - 一种具有通用功能的晶圆片涂布机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及涂布机的领域，尤其是涉及一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其包括容纳架，容纳架上设置有第一放置支架和第二放置支架，第一放置支架和第二放置支架之间形成用于放置晶圆片的放置空间；第一放置支架和第二放置支架均水平滑动设置在容纳架上，第一放置支架和第二放置支架的滑动方向相反。本申请具有提高晶圆片涂布机的适用范围的效果。

Description

一种具有通用功能的晶圆片涂布机

技术领域

本申请涉及涂布机的领域，尤其是涉及一种具有通用功能的晶圆片涂布机。

背景技术

晶圆是指制作半导体电路所用的硅晶片，广泛应用在集成电路生产制造中。晶圆片为了后续的蒸镀以及显影等制程，晶圆片会先进行溶剂(如光阻)的涂布。

常规的涂布机在进行涂布过程中设置有用于放置晶圆片的放置支架，但是放置支架一般为固定尺寸，对于固定尺寸的放置支架无法适用于不同尺寸的晶圆片的放置，导致在进行涂布作业时一台涂布机只能适用于一种的晶圆片。

针对上述中的相关技术，发明人认为常规的涂布机在进行涂布作业时，由于放置支架为固定尺寸，因此一台涂布机只能适用于一种晶圆片进行涂布，其适用范围有限。

实用新型内容

为了提高晶圆片涂布机的适用范围，本申请提供一种具有通用功能的晶圆片涂布机。

本申请提供的一种具有通用功能的晶圆片涂布机采用如下的技术方案：

一种具有通用功能的晶圆片涂布机，包括容纳架，所述容纳架上设置有第一放置支架和第二放置支架，所述第一放置支架和第二放置支架之间形成用于放置晶圆片的放置空间；所述第一放置支架和第二放置支架均水平滑动设置在容纳架上，所述第一放置支架和第二放置支架的滑动方向相反。

通过采用上述技术方案，第一放置支架和第二放置支架均可滑动，即可以调节第一放置支架和第二放置支架之间的距离，使得第一放置支架和第二放置支架可以通过调节距离进行不同尺寸的晶圆片的放置，提高了晶圆片涂布机的适用范围。

可选的，所述容纳架上设置有第一输送辊和第二输送辊，所述第一输送辊和第二输送辊的中心轴均沿竖直方向设置，所述第一输送辊的中心处连接有输送电机；所述第一输送辊和第二输送辊之间设置有输送皮带；所述第一放置支架和第二放置支架分别与输送皮带相对设置的两侧连接。

通过采用上述技术方案，通过输送电机的电机轴的转动，可以带动输送皮带移动，进而使得第一放置支架和第二放置支架相向运动或相背运动，进而调节第一放置支架和第二放置支架之间的距离，提高了晶圆片涂布机的适用范围。

可选的，所述第一放置支架由第一水平部和第一竖直部组成，所述第一水平部与第一竖直部相互垂直设置，所述第一竖直部位于第一水平部远离第二放置支架的一侧；所述第二放置支架由第二水平部和第二竖直部组成，所述第二水平部与第二竖直部相互垂直设置，所述第二竖直部位于第二水平部远离第一放置支架的一侧。

通过采用上述技术方案，第一水平部和第一竖直部相互垂直，第二水平部和第二竖直部相互垂直，即第一竖直部和第二竖直部能够起到一定的限位作用，防止晶圆片由第一放置支架和第二放置支架上滑落。

可选的，所述容纳架的一侧设置有放置架，所述放置架上设置有放置平台；所述放置平台上可拆卸连接有放置盒，所述放置平台上设置有若干卡块，若干所述卡块与放置盒卡接。

通过采用上述技术方案，放置盒可拆卸设置在放置平台上，能够进行不同规格的放置盒的更换，进而能够提高晶圆片涂布机的适用范围。

可选的，所述第一水平部靠近放置架的一端由低到高倾斜设置，所述第二水平部靠近放置架的一端由低到高倾斜设置。

通过采用上述技术方案，第一水平部和第二水平部的倾斜设置，能够起到导向作用，使得晶圆片更方便的放置在第一放置支架和第二放置支架之间。

可选的，所述放置架的一侧设置有电动夹爪，所述电动夹爪用于将放置盒内的晶圆片夹持到第一放置支架和第二放置支架之间。

通过采用上述技术方案，电动夹爪设置后，能够方便晶圆片的夹取工作，实现将晶圆片由放置盒内夹取到第一放置支架和第二放置支架之间。

可选的，所述放置平台的底端沿竖直方向设置有电缸，所述电缸的滑台与放置平台连接；所述放置架的一侧设置有红外传感器，所述放置架的一侧设置有PLC控制器，所述PLC控制器与电缸、电动夹爪和红外传感器连接。

通过采用上述技术方案，红外传感器在感应到晶圆片后会控制电缸停止，并控制电动夹爪夹持晶圆片，实现自动控制整个夹取的过程。

可选的，所述容纳架上设置有第一传送辊和第二传送辊，所述第一传送辊和第二传送辊之间设置有传送皮带；所述第一传送辊或第二传送辊的中心处连接有转动电机，所述传送皮带与电动夹爪固定连接，所述PLC控制器与转动电机连接。

通过采用上述技术方案，通过转动电机的转动，能够带动电动夹爪移动，进行晶圆片的输送工作。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过容纳架、第一放置支架和第二放置支架的设置，能够进行不同尺寸的晶圆片的放置，提高了晶圆片涂布机的适用范围；

2.通过放置盒和卡块的设置，能够实现放置盒拆卸和替换，提高了晶圆片涂布机的适用范围。

附图说明

图1是本实施例示出的一种具有通用功能的晶圆片涂布机的整体结构示意图；

图2是本实施例示出的放置架上放置有第一放置槽时的局部结构示意图；

图3是本实施例示出的放置架上放置有第二放置槽时的局部结构示意图；

图4是本实施例示出的容纳架上各个部分之间位置关系的局部结构示意图；

图5是本实施例示出的容纳架上各个部分之间位置关系的另一局部结构示意图。

附图标记说明：1、放置架；11、涂布装置；12、放置平台；13、第一放置槽；131、第一支板；132、第一连板；133、第二支板；14、第二放置槽；141、第一夹板；142、第一连接板；143、第二夹板；15、防尘罩；16、第一凹槽；161、第一卡槽；162、第二卡槽；17、第二凹槽；171、第一卡嵌槽；172、第二卡嵌槽；18、卡块；19、电缸；2、容纳架；21、红外传感器；22、电动夹爪；23、第一传送辊；24、第二传送辊；241、转动电机；242、传送皮带；243、固定块；25、滑轨；26、第一放置支架；261、第一固定板；262、第一水平部；263、第一竖直部；27、第二放置支架；271、第二固定板；272、第二水平部；273、第二竖直部；28、第一输送辊；281、输送电机；29、第二输送辊；291、输送皮带；3、导向杆；4、PLC控制器；5、保护罩。

具体实施方式

以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种具有通用功能的晶圆片涂布机。参照图1，一种具有通用功能的晶圆片涂布机，包括放置架1，放置架1的一侧设置有用于涂布的涂布装置11，放置架1上设置有放置平台12，放置平台12上铰接有防尘罩15。

参照图2和图3，放置平台12上可拆卸连接有放置盒，放置盒包括第一放置槽13和第二放置槽14，第一放置槽13和第二放置槽14均与放置平台12可拆卸连接。

参照图2，第一放置槽13用于放置12英寸的晶圆片，第二放置槽14用于放置8英寸的晶圆片。第一放置槽13呈N型且包括第一支板131、第一连板132和第二支板133，第一连板132沿水平方向设置，第一连板132相对设置的两端分别与沿竖直方向设置的第一支板131和第二支板133固定连接。第一放置槽13内设置有若干第一凹槽16，若干第一凹槽16沿竖直方向等间隔分布。每一第一凹槽16均包括第一卡槽161和第二卡槽162，第一卡槽161位于第一支板131靠近第二支板133的端面上，第二卡槽162位于第二支板133靠近第一支板131的端面上。第一卡槽161和第二卡槽162之间放置12英寸的晶圆片。

参照图3，同样的，第二放置槽14呈N型且包括第一夹板141、第一连接板142和第二夹板143，第一连接板142沿水平方向设置，第一连接板142相对设置的两端分别与沿竖直方向设置的第一夹板141和第二夹板143固定连接。第二放置槽14内设置有若干第二凹槽17，若干第二凹槽17沿竖直方向等间隔分布。每一第二凹槽17均包括第一卡嵌槽171和第二卡嵌槽172，第一卡嵌槽171位于第一夹板141靠近第二夹板143的端面上，第二卡嵌槽172位于第二夹板143靠近第一夹板141的端面上。第一卡嵌槽171和第二卡嵌槽172之间放置8英寸的晶圆片。

参照图2和图3，放置平台12上设置有若干卡块18，若干卡块18与第一放置槽13或第二放置槽14卡接，第一支板131、第二支板133、第一夹板141或第二夹板143的底端被夹持在任意两块卡块18之间。

参照图2，放置平台12的底端沿竖直方向设置有电缸19，电缸19的滑台沿竖直方向滑动且与放置平台12固定连接。

参照图1和图4，放置架1的一侧设置有容纳架2，容纳架2上设置有保护罩5。容纳架2上设置有红外传感器21、电动夹爪22、第一传送辊23和第二传送辊24，第一传送辊23和第二传送辊24的中心轴均沿竖直方向设置，第一传送辊23和第二传送辊24之间设置有传送皮带242。第二传送辊24的中心处固定连接有转动电机241，传送皮带242与电动夹爪22之间通过固定块243固定连接。放置架1的一侧设置有PLC控制器4。

参照图2和图4，PLC控制器4与电缸19、电动夹爪22、红外传感器21和转动电机241连接。容纳架2上固定连接有滑轨25，滑轨25沿传第一传送辊23和第二传送辊24的分布方向设置，电动夹爪22滑动设置在滑轨25上。

参照图2和图4，当电缸19启动后，带动放置平台12沿竖直方向移动，此时第一放置槽13或第二放置槽14位于放置平台12上，在放置平台12沿竖直方向移动的过程中，红外传感器21感应到位于第一凹槽16或第二凹槽17内的晶圆片。此时PLC控制器4控制电缸19停止，电动夹爪22启动对晶圆片进行夹取，电动夹爪22夹取完毕后PLC控制器4控制转动电机241转动，即通过电动夹爪22的移动来取出位于第一凹槽16或第二凹槽17内的晶圆片。

参照图4，容纳架2上设置有第一放置支架26和第二放置支架27，第一放置支架26和第二放置支架27分别位于传送皮带242输送方向的两侧，电动夹爪22用于将放置盒内的晶圆片夹持到第一放置支架26和第二放置支架27之间。

参照图4，第一放置支架26由第一水平部262和第一竖直部263组成，第一水平部262与第一竖直部263相互垂直设置，第一竖直部263位于第一水平部262远离第二放置支架27的一侧。第二放置支架27由第二水平部272和第二竖直部273组成，第二水平部272与第二竖直部273相互垂直设置，第二竖直部273位于第二水平部272远离第一放置支架26的一侧。第一水平部262靠近放置架1的一端由低到高倾斜设置，第二水平部272靠近放置架1的一端由低到高倾斜设置，倾斜设置起到一定的导向作用。

参照图4和图5，容纳架2上设置有第一输送辊28和第二输送辊29，第一输送辊28和第二输送辊29的中心轴均沿竖直方向设置，第一输送辊28和第二输送辊29之间设置有输送皮带291，第一输送辊28的中心处固定连接有输送电机281。第一放置支架26通过第一固定板261与输送皮带291固定连接，第二放置支架27通过第二固定板271与输送皮带291固定连接，第一放置支架26和第二放置支架27分别与输送皮带291相对设置的两侧固定连接。

参照图5，输送皮带291在输送电机281的带动下进行转动时，第一放置支架26和第二放置支架27相向或相背运动。在输送电机281正转时，第一放置支架26和第二放置支架27相向运动，由能够放置12英寸的晶圆片调整至放置8英寸的晶圆片，在输送电机281反转时，第一放置支架26和第二放置支架27相背运动，由能够放置8英寸的晶圆片调整至放置12英寸的晶圆片。

参照图4，容纳架2上固定连接有导向杆3，导向杆3沿第一输送辊28和第二输送辊29的分布方向设置，第一放置支架26和第二放置支架27均滑动设置在导向杆3上。

本申请实施例一种具有通用功能的晶圆片涂布机的实施原理为：

在对12英寸的晶圆片进行拿取时，将第一放置槽13卡在若干卡块18之间，然后启动电缸19，电缸19带动放置平台12沿竖直方向移动，红外传感器21感应到位于第一凹槽16内的晶圆片。此时PLC控制器4控制电缸19停止，电动夹爪22启动对晶圆片进行夹取，电动夹爪22夹取完毕后PLC控制器4控制转动电机241转动，即通过电动夹爪22的移动来取出位于第一凹槽16内的晶圆片，将晶圆片放置在第一放置支架26和第二放置支架27之间，方便后续将位于第一放置支架26和第二放置支架27之间的晶圆片移动至涂布装置11上进行涂布。

在需要对8英寸的晶圆片进行拿取时，将第一放置槽13由卡块18之间取下，将第二放置槽14卡在若干卡块18之间，并启动输送电机281，使输送电机281正转，第一放置支架26和第二放置支架27相向运动，第一放置支架26和第二放置支架27之间可以放置8英寸的晶圆片。后续操作和对12英寸的晶圆片进行拿取时的操作步骤相同。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：包括容纳架(2)，所述容纳架(2)上设置有第一放置支架(26)和第二放置支架(27)，所述第一放置支架(26)和第二放置支架(27)之间形成用于放置晶圆片的放置空间；所述第一放置支架(26)和第二放置支架(27)均水平滑动设置在容纳架(2)上，所述第一放置支架(26)和第二放置支架(27)的滑动方向相反。

2.根据权利要求1所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述容纳架(2)上设置有第一输送辊(28)和第二输送辊(29)，所述第一输送辊(28)和第二输送辊(29)的中心轴均沿竖直方向设置，所述第一输送辊(28)的中心处连接有输送电机(281)；所述第一输送辊(28)和第二输送辊(29)之间设置有输送皮带(291)；所述第一放置支架(26)和第二放置支架(27)分别与输送皮带(291)相对设置的两侧连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述第一放置支架(26)由第一水平部(262)和第一竖直部(263)组成，所述第一水平部(262)与第一竖直部(263)相互垂直设置，所述第一竖直部(263)位于第一水平部(262)远离第二放置支架(27)的一侧；所述第二放置支架(27)由第二水平部(272)和第二竖直部(273)组成，所述第二水平部(272)与第二竖直部(273)相互垂直设置，所述第二竖直部(273)位于第二水平部(272)远离第一放置支架(26)的一侧。

4.根据权利要求3所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述容纳架(2)的一侧设置有放置架(1)，所述放置架(1)上设置有放置平台(12)；所述放置平台(12)上可拆卸连接有放置盒，所述放置平台(12)上设置有若干卡块(18)，若干所述卡块(18)与放置盒卡接。

5.根据权利要求4所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述第一水平部(262)靠近放置架(1)的一端由低到高倾斜设置，所述第二水平部(272)靠近放置架(1)的一端由低到高倾斜设置。

6.根据权利要求4所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述放置架(1)的一侧设置有电动夹爪(22)，所述电动夹爪(22)用于将放置盒内的晶圆片夹持到第一放置支架(26)和第二放置支架(27)之间。

7.根据权利要求6所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述放置平台(12)的底端沿竖直方向设置有电缸(19)，所述电缸(19)的滑台与放置平台(12)连接；所述放置架(1)的一侧设置有红外传感器(21)，所述放置架(1)的一侧设置有PLC控制器(4)，所述PLC控制器(4)与电缸(19)、电动夹爪(22)和红外传感器(21)连接。

8.根据权利要求7所述的一种具有通用功能的晶圆片涂布机，其特征在于：所述容纳架(2)上设置有第一传送辊(23)和第二传送辊(24)，所述第一传送辊(23)和第二传送辊(24)之间设置有传送皮带(242)；所述第一传送辊(23)或第二传送辊(24)的中心处连接有转动电机(241)，所述传送皮带(242)与电动夹爪(22)固定连接，所述PLC控制器(4)与转动电机(241)连接。

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