JPH0810331B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

感光性樹脂組成物

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JPH0810331B2
JPH0810331B2 JP881687A JP881687A JPH0810331B2 JP H0810331 B2 JPH0810331 B2 JP H0810331B2 JP 881687 A JP881687 A JP 881687A JP 881687 A JP881687 A JP 881687A JP H0810331 B2 JPH0810331 B2 JP H0810331B2
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JP
Japan
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photosensitive resin
resin composition
polymerizable monomer
group
formula
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千敏 川口
俊孝 川浪
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は感光性樹脂組成物に関する。
(従来技術およびその問題点) 印刷版、レリーフ版またはレジストパターンを形成す
るための水またはアルコールで現像可能な感光性樹脂組
成物は公知である。一般にこれらの感光性樹脂組成物は
水またはアルコール分散性の部分ケン化ビニルアルコー
ル、重合性モノマーおよび光重合開始剤の混合物から得
られる。
この組成物は光の照射により、重合して潜像イメージ
を形成し、光のあたらなかった部分を水またはアルコー
ル等により洗い流して現像レリーフを形成し、使用され
る。
この感光性樹脂組成物において、ポリビニルアルコー
ルのケン化度が高いものを使用した場合には、現像され
たレリーフが硬く、割れる等の欠点を有するので、硬度
を低くする必要がある。低硬度の付与はポリビニルアル
コールのケン化度を下げればよいが、ケン化度を下げる
と水溶性が劣り現像が困難となる。
一方、印刷の見地からは低硬度は優れた印刷性能のた
めに必要な性能の一つであり、これもおろそかにできな
い。また、レリーフの弾性も優れた印刷性能のために必
要な性能の一つでもある。
従って、低硬度とゴム弾性と水溶性の3者を備えるこ
とを必要とする。
(発明の目的) 本発明は硬化時に適度な硬度とゴム弾性を有する感光
性樹脂組成物を提供する。
(発明の構成) 即ち、本発明は、(イ)ケン化度70〜99モル%、重合
度200〜2000の部分ケン化ビニルアルコール、 (ロ)式: [式(I)中、 但し、R1、R3およびR4は同一または異なって、それぞ
れ水素原子またはメチル基、R2は水酸基を有する炭素数
1〜5のアルキレン基、R5は水酸基を有する炭素数1〜
5のアルキル基、nは4〜23の整数、mは0または1、
およびpは1〜5の整数を示す。] を有し、かつ少なくとも2個の遊離水酸基を有する重合
性モノマー、および (ハ)光重合開始剤 を含有する感光性樹脂組成物。
成分(イ) 本発明の部分ケン化ポリビニルアルコールは酢酸ビニ
ルの重合体をケン化することにより得られる。ポリビニ
ルアルコールは酢酸ビニルと他の重合性単量体との共重
合体であってもよい。他の重合性単量体の例としては、
アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸等ま
た適宜ポリエチレンオキシドやポリプロピレンオキシド
で変性されても良い。部分ケン化ポリビニルアルコール
の重合度は、平均重合度が2000以下、好ましくは700以
下、さらに好ましくは500以下で200以上であることが望
ましい。平均重合度が2000を超えるものは水現像性が低
下するために不適当であり、一方、200未満のものは重
合性モノマーの保持力に乏しく使用しにくい。また、ケ
ン化度が100あるいは70未満の場合は、水現像性が低下
する傾向にあり不適当である。
成分(ロ) 本発明に用いる重合性モノマー(ロ)は、式(I)に
示される化合物であり、かつ水酸基を少なくとも2個々
有するものである。従って、式(I)は満足しても、水
酸基の数の不足するものは好ましくない。この化合物の
例としては以下のものが挙げられる: また、上記化合物の末端水酸基をアクリル酸またはメ
タクリル酸でエステル化した(メタ)アクリル酸エステ
ル誘導体であってよい。
上記特殊なモノマーに他の一般的なモノマー種を加え
てもよい。
分子内に重合性二重結合を有する他のモノマーの具体
例としてはメチルアクリレート、エチルアクリレート、
n−プロピルアクリレート、β−ヒドロキシエチルアク
リレート、β−ヒドロキシプロピルアクリレート、ポリ
エチレングリコールモノアクリレート、ポリプロピレン
グリコールモノアクリレート、ポリエチレングリコール
ジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレ
ート、メトキシポリエチレングリコールモノアクリレー
ト、エトキシポリエチレングリコールモノアクリレー
ト、グリセロールジアクリレート、ペンタエリスリトー
ルジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、
メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n−プ
ロピルメタクリレート、β−ヒドロキシエチルメタクリ
レート、β−ヒドロキシピロピルメタクリレート、ポリ
エチレングリコールモノメタクリレート、ポリプロピレ
ングリコールモノメタクリレート、ポリエチレングリコ
ールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメ
タクリレート、メトキシポリエチレングリコールモノメ
タクリレート、エトキシポリエチレングリコールモノメ
タクリレート、グリセロールジメタクリレート、ペンタ
エリスリトールジメタクリレート、トリメチロールプロ
パントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテト
ラメタクリレート、アクリルアミド、N−メチロールア
クリルアミド、n−ブトキシメチルアクリルアミド、イ
ソブトキシアクリルアミド、n−t−ブチルアクリルア
ミド、メチレンビス(アクリルアミド)、エチレンビス
(アクリルアミド)、プロピレンビス(アクリルアミ
ド)、メタクリルアミド、N−メチロールメタクリルア
ミド、n−ブトキシメチルメタクリルアミド、イソブト
キシメタクリルアミド、n−t−ブチルメタクリルアミ
ド、メチレンビス(メタクリルアミド)、エチレンビス
(メタクリルアミド)、プロピレンビス(メタクリルア
ミド)またはこれらの混合物などを挙げることができ
る。
具体的な重合性モノマーの選択は、使用するポリマー
の種類に応じて相溶性を考慮してこれを行えばよい。必
要に応じ、両者間の相溶性を補助するため、適宜の溶
剤、たとえば高沸点アルコール(たとえばエチレングリ
コール、ジエチレングリコール、プロピレングリコー
ル、トリエチレングリコール、ブタンジオール、トリメ
チロールプロパン、テトラメチロールエタン、グリセロ
ール、ジグリセロールやε−カプロラクタム等)が配合
されてもよい。
成分(ハ) 光重合開始剤(ハ)について格別の制限はないが、通
常は芳香族ケトンが使用される。芳香族ケトンとしては
分子中に芳香環およびカルボニル基を有する化合物が使
用され、その具体例としては、ベンゾイン、ベンゾイン
メチルエーテル、ベンゾインフチルエーテル、ベンゾイ
ンイソプロピルエーテル、α−メチルベンゾイン、2−
メチルアントラキノン、9−フルオレノン、ベンジル、
ベンジルメチルケタール、アセトフェノン、2,2−ジメ
トキシ−2−フェニルアセトフェノン、ベンゾフェノ
ン、フェニル−2−チエニルケトン、p−ジメチルアミ
ノベンゾフェノン、p,p,′−テトラメチルジアミノベン
ゾフェノンなどが挙げられる。これらの化合物には任意
にシアノ基、ニトロ基、メトキシ基、スルホン酸基、フ
ォスフィン酸またはその塩もしくはエステルなどの置換
基が存在していてもよい。そのようなものの例としては
2,6−ジメトキシベンゾイル−ジフェニルフォスフィン
オキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニ
ルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾ
イル−フェニルフォスフィン酸のエチルエステル、2,4,
6−トリメチルベンゾイル−フェニルフォスフィン酸の
ナトリウム塩等が挙げられる。
その他 上記必須成分(イ)、(ロ)および(ハ)の配合割合
は通常、重合性モノマー(ロ)100重量部に対して光重
開始剤(ハ)0.01〜10重量部、ポリマー(イ)50〜300
重量部である。
上記必須成分に加え、必要に応じ重合禁止剤(たとえ
ば2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ヒドロキノ
ン、p−メトキシフェノール)、染料(たとえばローズ
ベンガル、エオジン、メチレンブルー、マラカイトグリ
ーン)などが配合されてもよい。
上記必須成分および任意成分を必要に応じ水や有機溶
剤のような適宜の液体を添加して混和し、光重合性樹脂
組成物を得る。
ここに得られた光重合性樹脂組成物を適宜の支持体上
に塗布、乾燥して感光性の皮膜を形成せしめることによ
り高感度樹脂版材が得られる。支持体としては通常、金
属(たとえばアルミニウム、亜鉛、鉄)、プラスチック
(たとえばポリエチレンテレフタレート、ポリスチレ
ン、ポリメチルメタクリレート、ナイロン、セルロース
アセテート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカー
ボネート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニル)、
ガラスなどが使用される。必要に応じこれら支持体の表
面に予めエッチング、電解酸化、コロナ放電などの前処
理を施してもよく、接着剤層、ハレーション防止層など
の薄層を設けてもよい。
上記の樹脂版材を使用して画像を形成せしめるには、
自体常套の方法を採用すればよい。たとえば該樹脂版材
の表面に必要に応じ適宜のフィルムあるいは被膜層を介
して画像フィルム(ネガフィルムまたはポジフィルム)
を密着させ、露光する。露光後適宜の現像液、具体的に
は水により未露光部分を、除去することにより画像を形
成することができる。
露光に際しては、種々の活性光線源を使用することが
でき、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノ
ン灯、メタルハライドランプ、紫外線蛍光灯などが例示
される。その他タングステン灯、白色蛍光灯、可視光レ
ーザーなどが使用されてもよい。
(発明の効果) 本発明では特殊な重合性モノマー種を用い、感光性樹
脂組成物により高い水溶性を付与するとともに、露光に
より得られた硬化フィルムに高いゴム弾性を付与する。
本発明の組成物は種々の像形成材料、例えばレジスト
等に用いることができる。
(実施例) 以下に実施例を挙げて本発明にさらに詳細に説明す
る。ただし、部とあるは重量部を表わす。
参考例1 攪拌機とコンデンサーと温度調整器を備えた2lコルベ
ン中に、キシレン370gと構造式 が主成分である2官能エポキシ化合物(共栄社油脂化学
工業株式会社からエポライト400Eとして市販)526g、メ
タクリル酸86g、純水18gおよびテトラブチルアンモニウ
ムクロライド1gを仕込み、攪拌しながら温度を上げ、還
流状態を30分維持した。その後、室温まで温度を冷却し
た。
得られた光重合性ビニルモノマーの分析結果は、NM
R、IRとから式(III)で表わされる重合性モノマーであ
ることが確認された。その酸価は0.56であり、粘度は20
0cpsであった。
参考例2 キシレン410g、参考例1で挙げた2官能エポキシ化合
物526g、アクリル酸72g、純水18gおよびテトラブチルア
ンモニウムクロライド1gを仕込む以外は、参考例1と同
様の操作を行ない(II)で表わされた前記重合性モノマ
ーを得た。酸価は0.59、粘度は170cpsであった。
参考例3 キシレン330g、参考例1で挙げた2官能エポキシ化合
物526g、アクリル酸144g、テトラブチルアンモニウムク
ロライド1gを仕込む以外は参考例1と同様の操作を行な
い式(IV)で表わされた重合性モノマーを得た。
参考例4 攪拌機とコンデンサーと温度調整器を備えた2lコルベ
ン中に、構造式 が主成分であるポリエチレングリコールモノメタクリレ
ート化合物(日本油脂株式会社からブレンマーPE350と
して市販)964g、グリシドール(ダイセル化学工業株式
会社製)148gおよびジメチルベンジルアミン11gを仕込
み、空気を吹き込みながら攪拌し、120℃〜140℃まで温
度を上げ、1時間維持した。その後、室温まで温度を冷
却した。
得られた光重合性ビニルモノマーの分析結果は、NM
R、IRとから前記重合性モノマー(VII)であることが確
認された。その酸価は0.10であり、粘度は150cpsであっ
た。
参考例5 ポリエチレングリコールモノアクリレート化合物936
g、グリシドール148gおよびジメチルベンジルアミン11g
を仕込む以外は、参考例4と同様の操作を行い前記重合
性モノマー(VI)を得た。酸価は0.12、粘度は130cpsで
あった。
実施例1 部分ケン化ポリ酢酸ビニル(平均重合度500、ケン化
度80.1モル%)100部および純水80部をニーダーに入れ
て温度90〜95℃で30分間混合溶解する。溶解終了後槽内
の温度を60℃に下げ、p−メトキシフェノール0.06部、
2,6−ジターシャリーブチル−p−クレゾール0.14部、
ベンゾインイソプロピルエーテル3部、エチレングリコ
ール10部および参考例1で合成したメタクリル酸エステ
ル(III)80部の混合物を40分間かけて滴下混合する。
減圧脱泡して得られた混合物をハレーション防止剤を塗
布した厚さ0.2mmの処理鉄板上に流し込み、上面に厚さ
0.5mmの硬化塩化ビニルシートをあて、予め間隙を樹脂
層の厚さが0.7mmになるように設定された2本のロール
に通してシート状に成形する。冷却後上面の硬化塩化ビ
ニルシートをはがし、60℃の乾燥炉内で40分間乾燥する
ことにより感光性樹脂版材を得る。
この感光性樹脂版材の感光層表面にテスト用ネガティ
ブフィルム(150線3%、5%、10%、20%網点、直径1
00μ、200μ独立点、幅40μ、60μ細線部あり)を真空
密着させ、3KW高圧水銀灯を70cmの距離から照射した。
照射時間は前露光3秒、主露光25秒であった。この露光
済み版材に対し、水温50℃の中性水をスプレー式現像装
置から圧力3kg/cm2で2分間吹き付けて現像を行った。
未露光部分(未硬化部分)が水中に溶出してレリーフが
得られた。3%網点、直径100μ独立点、幅40μ細線な
ど微細な部分の脱落もなく、良好な画像再現性が認めら
れた。
この版材を、バンダークック校正刷機(バンダークッ
ク社製)を用いて印刷したところ、ベタ部の濃度が1.20
(マクベス反射濃度計で測定)で、かつベタ部のツブシ
の良い紙面が得られた。
尚、この版材を作製するにあたり用いた脱泡して得ら
れた混合物をポリエチレンテレフタレートシート上に0.
7mmの厚さに成形し、60℃で40分乾燥させて、0.5mm厚の
感光性樹脂板を作製した。この板を3Kw高圧水銀灯で5
分間露光した。2cm角に切り取り、12mmの厚みになるよ
うに重ね合わせて硬度、弾性を測定したところ、硬度が
ショアーAで80°(20℃で測定)、反発弾性値が15%
(JISK−6301法、20℃で測定)を有する柔軟性のある板
であった。
実施例2〜5および比較例1〜3 表−1に示すポリビニルアルコール共重合体と重合性
モノマーの組合せにより、実施例1と同様に感光性樹脂
版材を得、同様の実験を行なった。製版条件および実験
結果を表−1に示す。
比較のために、表−1の3種の重合性モノマー80部と
ポリビニルアルコール共重合体100部との組合せで同様
の実験を行なった。結果を表−1に示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(イ)ケン化度70〜99モル%、重合度200
    〜2000の部分ケン化ビニルアルコール、 (ロ)式: [式(I)中、 但し、R1、R3およびR4は同一または異なって、それぞれ
    水素原子またはメチル基、R2は水酸基を有する炭素数1
    〜5のアルキレン基、R5は水酸基を有する炭素数1〜5
    のアルキル基、nは4〜23の整数、mは0または1、お
    よびpは1〜5の整数を示す。] を有し、かつ少なくとも2個の遊離水酸基を有する重合
    性モノマー、および (ハ)光重合開始剤 を含有する感光性樹脂組成物。
JP881687A 1987-01-17 1987-01-17 感光性樹脂組成物 Expired - Lifetime JPH0810331B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9126002B2 (en) 2003-08-04 2015-09-08 Carefusion 203, Inc. Mechanical ventilation system utilizing bias valve

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US9126002B2 (en) 2003-08-04 2015-09-08 Carefusion 203, Inc. Mechanical ventilation system utilizing bias valve

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