JPH0792386B2 - 位置検出用光ファイバセンサ - Google Patents
位置検出用光ファイバセンサInfo
- Publication number
- JPH0792386B2 JPH0792386B2 JP2034244A JP3424490A JPH0792386B2 JP H0792386 B2 JPH0792386 B2 JP H0792386B2 JP 2034244 A JP2034244 A JP 2034244A JP 3424490 A JP3424490 A JP 3424490A JP H0792386 B2 JPH0792386 B2 JP H0792386B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- spot
- light
- light beam
- face
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- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
本発明は、三角測量により物体との距離を測定するのに
用いる位置検出用光ファイバセンサに関するものであ
る。
用いる位置検出用光ファイバセンサに関するものであ
る。
従来より、第６図に示すように、レーザ光源等から光ビ
ームＰを物体に照射して物体Ｙ上に光スポットを形成
し、その光スポットを受光レンズ１で集光することによ
り得られる結像スポットの位置を位置検出用光ファイバ
センサで検出することにより、物体Ｙまでの距離を測定
する三角測量が知られている。位置検出用光ファイバセ
ンサは、複数本の光ファイバ２の一端面を結像スポット
の移動方向に列説し、各光ファイバ２の他端面にそれぞ
れ光結合された受光素子３の出力に基づいて、検出処理
部４で結像スポットの位置を求め、物体Ｙまでの距離を
測定するのである。ここに、光ファイバ２は等間隔で配
列されている。 上述したような三角測量を行う場合に、結像スポットが
形成される像面Ｉ上で結像スポットのピントが合うよう
にするには、いわゆるシャインプルーク（Scheimpflu
g）条件を満たす必要がある。すなわち、第７図に示す
ように、光ビームＰの照射方向と、受光レンズ１の光軸
に直交して受光レンズ１の中心点を含む面（以下、レン
ズ面と略称する）Ｌと、像面Ｉとが１点で交わるように
配置しなければならない。
ームＰを物体に照射して物体Ｙ上に光スポットを形成
し、その光スポットを受光レンズ１で集光することによ
り得られる結像スポットの位置を位置検出用光ファイバ
センサで検出することにより、物体Ｙまでの距離を測定
する三角測量が知られている。位置検出用光ファイバセ
ンサは、複数本の光ファイバ２の一端面を結像スポット
の移動方向に列説し、各光ファイバ２の他端面にそれぞ
れ光結合された受光素子３の出力に基づいて、検出処理
部４で結像スポットの位置を求め、物体Ｙまでの距離を
測定するのである。ここに、光ファイバ２は等間隔で配
列されている。 上述したような三角測量を行う場合に、結像スポットが
形成される像面Ｉ上で結像スポットのピントが合うよう
にするには、いわゆるシャインプルーク（Scheimpflu
g）条件を満たす必要がある。すなわち、第７図に示す
ように、光ビームＰの照射方向と、受光レンズ１の光軸
に直交して受光レンズ１の中心点を含む面（以下、レン
ズ面と略称する）Ｌと、像面Ｉとが１点で交わるように
配置しなければならない。
上記従来構成によれば、シャインプルーク条件を満たす
ために、第７図に示すように、像面Ｉがレンズ面Ｌに対
して所定のあおり角度αをもつことになる。したがっ
て、物体Ｙが光ビームＰの照射方向に対して単位距離だ
け移動したときに、像面上の各位置に応じて結像スポッ
トの移動距離が変化する。すなわち、第７図において、
Z1＝Z2＝Z3＝Z4＝Z5とすると、P1＜P2＜P3＜P4＜P5とな
るのである。このように、物体Ｙが光ビームＰの照射方
向に単位距離だけ移動するにもかかわらず、結像スポッ
トの位置に応じて結像スポットの移動距離が変化するの
であって、測定距離に応じて分解能が変化するという問
題が生じる。 本発明は上記問題点の解決を目的とするものであり、物
体までの距離が変化しても分解能が変化しないようにし
た位置検出用光ファイバセンサを提供しようとするもの
である。
ために、第７図に示すように、像面Ｉがレンズ面Ｌに対
して所定のあおり角度αをもつことになる。したがっ
て、物体Ｙが光ビームＰの照射方向に対して単位距離だ
け移動したときに、像面上の各位置に応じて結像スポッ
トの移動距離が変化する。すなわち、第７図において、
Z1＝Z2＝Z3＝Z4＝Z5とすると、P1＜P2＜P3＜P4＜P5とな
るのである。このように、物体Ｙが光ビームＰの照射方
向に単位距離だけ移動するにもかかわらず、結像スポッ
トの位置に応じて結像スポットの移動距離が変化するの
であって、測定距離に応じて分解能が変化するという問
題が生じる。 本発明は上記問題点の解決を目的とするものであり、物
体までの距離が変化しても分解能が変化しないようにし
た位置検出用光ファイバセンサを提供しようとするもの
である。
請求項１の構成では、上記目的を達成するために、各光
ファイバを、一端面がシャインプルーク条件を満たす位
置に配設するとともに、光ビームの照射方向に光スポッ
トが単位距離だけ移動したときに各光ファイバの上記一
端面で結像スポットが移動する距離にほぼ等しい直径に
設定しているのである。 請求項２の構成では、各光ファイバを、一端面がシャイ
ンプルーク条件を満たす位置に配設するとともに、光ビ
ームの照射方向に光スポットが単位距離だけ移動したと
きに各光ファイバの上記一端面で結像スポットが移動す
る距離にほぼ等しい間隔で配列しているのである。 請求項３の構成では、各光ファイバを、上記一端面がほ
ぼ等間隔となるように配列するとともに、光ビームの照
射方向に光スポットが単位距離だけ移動したときに各光
ファイバの上記一端面で結像スポットが形成されるよう
に光ファイバの上記一端面を曲面上に配列しているので
ある。
ファイバを、一端面がシャインプルーク条件を満たす位
置に配設するとともに、光ビームの照射方向に光スポッ
トが単位距離だけ移動したときに各光ファイバの上記一
端面で結像スポットが移動する距離にほぼ等しい直径に
設定しているのである。 請求項２の構成では、各光ファイバを、一端面がシャイ
ンプルーク条件を満たす位置に配設するとともに、光ビ
ームの照射方向に光スポットが単位距離だけ移動したと
きに各光ファイバの上記一端面で結像スポットが移動す
る距離にほぼ等しい間隔で配列しているのである。 請求項３の構成では、各光ファイバを、上記一端面がほ
ぼ等間隔となるように配列するとともに、光ビームの照
射方向に光スポットが単位距離だけ移動したときに各光
ファイバの上記一端面で結像スポットが形成されるよう
に光ファイバの上記一端面を曲面上に配列しているので
ある。
上記構成によれば、請求項１ないし請求項３のいずれの
構成についても、光ビームの照射方向において光スポッ
トが単位距離だけ移動したときに、結像スポットが移動
する位置だけに対応して光ファイバの位置を設定してい
るので、物体までの距離が変化しても分解能が変化しな
いのである。
構成についても、光ビームの照射方向において光スポッ
トが単位距離だけ移動したときに、結像スポットが移動
する位置だけに対応して光ファイバの位置を設定してい
るので、物体までの距離が変化しても分解能が変化しな
いのである。
【実施例１】 基本的な構成は、第６図に示した従来構成と同様である
から、以下の説明では、従来構成と異なる点についての
み説明する。 第１図に示すように、本実施例では、光ファイバ２の直
径を像面上の位置に応じて変化させるものであって、受
光レンズ１の光軸Ａに対して光ビームＰから離れるほど
光ファイバ２の直径を大きくしているのである。また、
光ファイバ２は中心軸が互いに平行になるように配置さ
れる。各光ファイバ２の直径は、以下の条件で設定され
る。光ビームＰと受光レンズ１の光軸Ａとのなす角度を
θ、光ビームＰと光軸Ａとの交点M0までのレンズ面Ｌか
らの距離をL1、像面Ｉと光軸Ａとの交点N0までのレンズ
面Ｌからの距離をL2とし、受光レンズ１の中心と各光ス
ポットとを結ぶ直線が光軸Ａに対してなす角度をβnと
すれば、 が成立する。ただし、Z1＝Z2＝……＝Ｚとしている。ま
た、像面Ｉと光軸Ａとの交点N0から結像スポットまでの
距離をXnとすれば、 である。ただし、αはシャインプルーク条件を満たすた
めの、レンズ面Ｌと像面Ｉとの角度である。したがっ
て、単位距離Ｚに対して光ファイバ２の直径Φnを設定
するには、光ファイバ２の中心軸と像面Ｉとのなす角度
をεとして、 とすればよい。このような条件で、各光ファイバ２の直
径Φnを決定すれば、分解能を一定にすることができる
のである。ここにおいて、各光ファイバ２の端面は、像
面Ｉに沿うように、中心軸に対して斜めにカットされて
いる。
から、以下の説明では、従来構成と異なる点についての
み説明する。 第１図に示すように、本実施例では、光ファイバ２の直
径を像面上の位置に応じて変化させるものであって、受
光レンズ１の光軸Ａに対して光ビームＰから離れるほど
光ファイバ２の直径を大きくしているのである。また、
光ファイバ２は中心軸が互いに平行になるように配置さ
れる。各光ファイバ２の直径は、以下の条件で設定され
る。光ビームＰと受光レンズ１の光軸Ａとのなす角度を
θ、光ビームＰと光軸Ａとの交点M0までのレンズ面Ｌか
らの距離をL1、像面Ｉと光軸Ａとの交点N0までのレンズ
面Ｌからの距離をL2とし、受光レンズ１の中心と各光ス
ポットとを結ぶ直線が光軸Ａに対してなす角度をβnと
すれば、 が成立する。ただし、Z1＝Z2＝……＝Ｚとしている。ま
た、像面Ｉと光軸Ａとの交点N0から結像スポットまでの
距離をXnとすれば、 である。ただし、αはシャインプルーク条件を満たすた
めの、レンズ面Ｌと像面Ｉとの角度である。したがっ
て、単位距離Ｚに対して光ファイバ２の直径Φnを設定
するには、光ファイバ２の中心軸と像面Ｉとのなす角度
をεとして、 とすればよい。このような条件で、各光ファイバ２の直
径Φnを決定すれば、分解能を一定にすることができる
のである。ここにおいて、各光ファイバ２の端面は、像
面Ｉに沿うように、中心軸に対して斜めにカットされて
いる。
【実施例２】 本実施例では、第２図に示すように、各光ファイバ２の
直径は等しいものとし、光ビームＰの照射方向において
物体が単位距離だけ移動したときに像面Ｉにおいて結像
スポットが移動する距離に対応して光ファイバ２の中心
軸間の距離Pnを設定しているのである。すなわち、距離
Pnは、 となるのである。要するに、実施例１の各光ファイバ２
の境界にそれぞれ同じ直径を有する光ファイバ２を配列
したことに相当する。他の構成は実施例１と同じであ
る。
直径は等しいものとし、光ビームＰの照射方向において
物体が単位距離だけ移動したときに像面Ｉにおいて結像
スポットが移動する距離に対応して光ファイバ２の中心
軸間の距離Pnを設定しているのである。すなわち、距離
Pnは、 となるのである。要するに、実施例１の各光ファイバ２
の境界にそれぞれ同じ直径を有する光ファイバ２を配列
したことに相当する。他の構成は実施例１と同じであ
る。
【実施例３】 本実施例では、第３図に示すように、像面を平面とせず
に曲面としている。ただし、光ファイバ２の端面を清ら
かな曲面とするのは困難であるから、平面状の複数の像
面I0〜Inを連接して曲面に近似してある。したがって、
各光ファイバ２の端面を各像面I0〜In上に配置するよう
にすれば、光ファイバ２の端面を平面にすることができ
る。 各像面I0〜Inは光ビームＰの照射方向に対する傾斜角度
ε1〜ε(n+1)と、受光レンズ１の中心から各像面I0〜In
までの距離とによって規定される。各像面I0〜Inの幅は
等しいものとする。また、像面I0の一端と光軸Ａとの交
点をN0とし、各位置の像面Iiは点N1と点Ni+1との間に形
成されるものとする。ここに、各像面I0〜Inのうちのい
ずれか１つはシャインプルーク条件を満たすように設定
されるのであって、実施例では像面I0がシャインプルー
ク条件を満たすように配置されている。 以上の前提条件のもとで、光ビームＰの照射方向に対す
る各像面I0〜Inの傾斜角度をε0〜εn、受光レンズ１の
中心Ｏから各像面I0〜Inの端点N0〜Nnまでの距離をL20
〜L2n、受光レンズ１の中心Ｏと各像面I1〜Inとを結ぶ
直線が像面I0〜Inとなす角度をγ1〜γn-1、各像面I0〜
Inの幅をＸとし、他のパラメータは実施例１と同じに設
定されているものとすると、以下の関係式が成立する
（第３図および第４図参照）。ただし、β0＝０とす
る。 ε(i+1)＝γ(i+1)＋（θ＋β(i+1)） …… L21・sin（β(i+1)−β1）＝Ｘ・sinγ(i+1) …… L2(i+1)＝L2i・cos（β(i+1)−β1）＋Ｘ・cosγ(i+1)
…… β(i+1)−β1＝β(i+1)とし、式よりγ(i+1)を求めて
式に代入すると、 また、式に式を適用して、γ(i+1)を消去し、さら
に、その結果に式を代入してε(i+1)を消去すれば、 一方、受光レンズ１の中心Ｏと各点N0〜Nnとの延長線と
光ビームＰとの交点をそれぞれM0〜Mnとし、受光レンズ
１の中心Ｏと各点M0〜Mnとの距離をL10〜L1nとすると、
第５図より明らかなように、 ｛L1i−Ｚ・cos（θ＋β1）｝・tanB(i+1)＝Ｚ・sin
（θ＋β1） …… が成立する。式よりB(i+1)を求めると、 となる。しかるに、式によって分解能Ｚに対するB
(i+1)の値を求めれば、式に代入して光ビームＰに対
する像面I0〜Inの傾斜角度ε0〜εnを決定し、また式
を用いて受光レンズ１の中心Ｏから像面I0〜Inまでの距
離L2(i+1)を決定することができる。この条件で光ファ
イバ２を配置すれば、物体との距離にかかわらず分解能
が一定になるのである。また、本実施例では、シャイン
プルーク条件が満たされないことになるが、光ファイバ
２の端面から反射光による結像スポットの像がはみ出さ
ない範囲であれば、結像スポットのぼやけは無視でき
る。
に曲面としている。ただし、光ファイバ２の端面を清ら
かな曲面とするのは困難であるから、平面状の複数の像
面I0〜Inを連接して曲面に近似してある。したがって、
各光ファイバ２の端面を各像面I0〜In上に配置するよう
にすれば、光ファイバ２の端面を平面にすることができ
る。 各像面I0〜Inは光ビームＰの照射方向に対する傾斜角度
ε1〜ε(n+1)と、受光レンズ１の中心から各像面I0〜In
までの距離とによって規定される。各像面I0〜Inの幅は
等しいものとする。また、像面I0の一端と光軸Ａとの交
点をN0とし、各位置の像面Iiは点N1と点Ni+1との間に形
成されるものとする。ここに、各像面I0〜Inのうちのい
ずれか１つはシャインプルーク条件を満たすように設定
されるのであって、実施例では像面I0がシャインプルー
ク条件を満たすように配置されている。 以上の前提条件のもとで、光ビームＰの照射方向に対す
る各像面I0〜Inの傾斜角度をε0〜εn、受光レンズ１の
中心Ｏから各像面I0〜Inの端点N0〜Nnまでの距離をL20
〜L2n、受光レンズ１の中心Ｏと各像面I1〜Inとを結ぶ
直線が像面I0〜Inとなす角度をγ1〜γn-1、各像面I0〜
Inの幅をＸとし、他のパラメータは実施例１と同じに設
定されているものとすると、以下の関係式が成立する
（第３図および第４図参照）。ただし、β0＝０とす
る。 ε(i+1)＝γ(i+1)＋（θ＋β(i+1)） …… L21・sin（β(i+1)−β1）＝Ｘ・sinγ(i+1) …… L2(i+1)＝L2i・cos（β(i+1)−β1）＋Ｘ・cosγ(i+1)
…… β(i+1)−β1＝β(i+1)とし、式よりγ(i+1)を求めて
式に代入すると、 また、式に式を適用して、γ(i+1)を消去し、さら
に、その結果に式を代入してε(i+1)を消去すれば、 一方、受光レンズ１の中心Ｏと各点N0〜Nnとの延長線と
光ビームＰとの交点をそれぞれM0〜Mnとし、受光レンズ
１の中心Ｏと各点M0〜Mnとの距離をL10〜L1nとすると、
第５図より明らかなように、 ｛L1i−Ｚ・cos（θ＋β1）｝・tanB(i+1)＝Ｚ・sin
（θ＋β1） …… が成立する。式よりB(i+1)を求めると、 となる。しかるに、式によって分解能Ｚに対するB
(i+1)の値を求めれば、式に代入して光ビームＰに対
する像面I0〜Inの傾斜角度ε0〜εnを決定し、また式
を用いて受光レンズ１の中心Ｏから像面I0〜Inまでの距
離L2(i+1)を決定することができる。この条件で光ファ
イバ２を配置すれば、物体との距離にかかわらず分解能
が一定になるのである。また、本実施例では、シャイン
プルーク条件が満たされないことになるが、光ファイバ
２の端面から反射光による結像スポットの像がはみ出さ
ない範囲であれば、結像スポットのぼやけは無視でき
る。
上述のように、請求項１の構成では、各光ファイバを、
一端面がシャインプルーク条件を満たす位置に配設する
とともに、光ビームの照射方向に光スポットが単位距離
だけ移動したときに各光ファイバの上記一端面で結像ス
ポットが移動する距離にほぼ等しい直径に設定し、請求
項２の構成では、各光ファイバを、一端面がシャインプ
ルーク条件を満たす位置に配設するとともに、光ビーム
の照射方向に光スポットが単位距離だけ移動したときに
各光ファイバの上記一端面で結像スポットが移動する距
離にほぼ等しい間隔で配列し、請求項３の構成では、各
光ファイバを、上記一端面がほぼ等間隔となるように配
列するとともに、光ビームの照射方向に光スポットが単
位距離だけ移動したときに各光ファイバの上記一端面で
結像スポットが形成されるように光ファイバの上記一端
面を曲面上に配列しているものであり、いずれの構成に
おいても、光ビームの照射方向において光スポットが単
位距離だけ移動したときに、結像スポットが移動する位
置に対応して光ファイバの位置を設定しているので、物
体までの距離が変化しても分解能が変化しないという利
点がある。
一端面がシャインプルーク条件を満たす位置に配設する
とともに、光ビームの照射方向に光スポットが単位距離
だけ移動したときに各光ファイバの上記一端面で結像ス
ポットが移動する距離にほぼ等しい直径に設定し、請求
項２の構成では、各光ファイバを、一端面がシャインプ
ルーク条件を満たす位置に配設するとともに、光ビーム
の照射方向に光スポットが単位距離だけ移動したときに
各光ファイバの上記一端面で結像スポットが移動する距
離にほぼ等しい間隔で配列し、請求項３の構成では、各
光ファイバを、上記一端面がほぼ等間隔となるように配
列するとともに、光ビームの照射方向に光スポットが単
位距離だけ移動したときに各光ファイバの上記一端面で
結像スポットが形成されるように光ファイバの上記一端
面を曲面上に配列しているものであり、いずれの構成に
おいても、光ビームの照射方向において光スポットが単
位距離だけ移動したときに、結像スポットが移動する位
置に対応して光ファイバの位置を設定しているので、物
体までの距離が変化しても分解能が変化しないという利
点がある。
第１図は本発明の実施例１を示す概略構成図、第２図は
本発明の実施例２を示す概略構成図、第３図は本発明の
実施例３を示す概略構成図、第４図および第５図は同上
の要部拡大図、第６図は本発明に係る位置検出用光ファ
イバセンサを示す概略構成図、第７図は従来例の問題点
を示す動作説明図である。 １……受光レンズ、２……光ファイバ、３……受光素
子、４……検出処理部。
本発明の実施例２を示す概略構成図、第３図は本発明の
実施例３を示す概略構成図、第４図および第５図は同上
の要部拡大図、第６図は本発明に係る位置検出用光ファ
イバセンサを示す概略構成図、第７図は従来例の問題点
を示す動作説明図である。 １……受光レンズ、２……光ファイバ、３……受光素
子、４……検出処理部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−235808（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−55813（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−176710（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】物体に光ビームを照射して物体上に形成さ
れる光スポットを受光レンズで集光することにより得ら
れる結像スポットの移動方向に複数個の光ファイバの一
端部を列設し、各光ファイバの他端部にそれぞれ配設さ
れた受光素子の出力に基づいて結像スポットの位置を検
出する位置検出用光ファイバセンサにおいて、各光ファ
イバは、上記一端部の端面が中心軸に対して所定角度で
傾斜するように形成されていてシャインプルーク条件を
満たす位置に配設されるとともに、光ビームの照射方向
に光スポットが単位距離だけ移動したときに各光ファイ
バの上記端面で結像スポットが移動する距離にほぼ等し
い直径を有して成ることを特徴とする位置検出用光ファ
イバセンサ。 - 【請求項２】物体に光ビームを照射して物体上に形成さ
れる光スポットを受光レンズで集光することにより得ら
れる結像スポットの移動方向に複数個の光ファイバの一
端部を列設し、各光ファイバの他端部にそれぞれ配設さ
れた受光素子の出力に基づいて結像スポットの位置を検
出する位置検出用光ファイバセンサにおいて、各光ファ
イバは、上記一端部の端面が中心軸に対して所定角度で
傾斜するように形成されていてシャインプルーク条件を
満たす位置に配設されるとともに、光ビームの照射方向
に光スポットが単位距離だけ移動したときに各光ファイ
バの上記端面で結像スポットが移動する距離にほぼ等し
い間隔で配列されて成ることを特徴とする位置検出用光
ファイバセンサ。 - 【請求項３】物体に光ビームを照射して物体上に形成さ
れる光スポットを受光レンズで集光することにより得ら
れる結像スポットの移動方向に複数個の光ファイバの一
端部を列設し、各光ファイバの他端部にそれぞれ配設さ
れた受光素子の出力に基づいて結像スポットの位置を検
出する位置検出用光ファイバセンサにおいて、各光ファ
イバは、上記一端部の端面が中心軸に対して所定角度で
傾斜するように形成されていてほぼ等間隔で配列される
とともに、光ビームの照射方向に光スポットが単位距離
だけ移動したときに各光ファイバの上記端面で結像スポ
ットが形成されるように光ファイバの上記端面を曲面上
に配列して成ることを特徴とする位置検出用光ファイバ
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2034244A JPH0792386B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 位置検出用光ファイバセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2034244A JPH0792386B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 位置検出用光ファイバセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03238311A JPH03238311A (ja) | 1991-10-24 |
| JPH0792386B2 true JPH0792386B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=12408752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2034244A Expired - Lifetime JPH0792386B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 位置検出用光ファイバセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792386B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020039086A1 (en) | 2018-08-24 | 2020-02-27 | Trinamix Gmbh | Detector for determining a position of at least one object |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5855813A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-02 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 光学式距離計 |
| JPS62176710U (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-10 | ||
| JPH0715382B2 (ja) * | 1988-03-15 | 1995-02-22 | 松下電工株式会社 | 位置検出用光ファイバセンサ |
-
1990
- 1990-02-15 JP JP2034244A patent/JPH0792386B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03238311A (ja) | 1991-10-24 |
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