JPH03238311A - 位置検出用光ファイバセンサ - Google Patents
位置検出用光ファイバセンサInfo
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- JPH03238311A JPH03238311A JP3424490A JP3424490A JPH03238311A JP H03238311 A JPH03238311 A JP H03238311A JP 3424490 A JP3424490 A JP 3424490A JP 3424490 A JP3424490 A JP 3424490A JP H03238311 A JPH03238311 A JP H03238311A
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- Japan
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- optical fiber
- spot
- light
- optical
- light beam
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 77
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 11
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、三角測量により物体との距離を測定するのに
用いる位置検出用光ファイバセンサに関するものである
。
用いる位置検出用光ファイバセンサに関するものである
。
従来より、第６図に示すように、レーザ光源等から光ビ
ームＰを物体に照射して物体Ｙ上に光スポットを形成し
、その光スポットを受光レンズ１で集光することにより
得られる結像スポットの位置を位置検出用光ファイバセ
ンサで検出することにより、物体Ｙまでの距離を測定す
る三角測量が知られている０位置検出用光ファイバセン
サは、複数本の光ファイバ２の一端面を結像スポットの
移動方向に列設し、各光ファイバ２の他端面にそれぞれ
光結合された受光素子３の出力に基づいて、検出処理部
４で結像スポットの位置を求め、物体Ｙまでの距離を測
定するのである。ここに、光ファイバ２は等間隔で配列
されている。 上述したような三角測量を行う場合に、結像スポットが
形成される像面Ｉ上で結像スポットのピントが合うよう
にするには、いわゆるシャインプルーク（Ｓｃｈｅｉ論
ｐｆｌｕｇ）条件を満たす必要がある。 すなわち、第７図に示すように、光ビームＰの照射方向
と、受光レンズ１の光軸に直交して受光レンズ１の中心
点を含む面（以下、レンズ面と略称する）Ｌと、像面Ｉ
とが１点で交わるように配置しなければならない。
ームＰを物体に照射して物体Ｙ上に光スポットを形成し
、その光スポットを受光レンズ１で集光することにより
得られる結像スポットの位置を位置検出用光ファイバセ
ンサで検出することにより、物体Ｙまでの距離を測定す
る三角測量が知られている０位置検出用光ファイバセン
サは、複数本の光ファイバ２の一端面を結像スポットの
移動方向に列設し、各光ファイバ２の他端面にそれぞれ
光結合された受光素子３の出力に基づいて、検出処理部
４で結像スポットの位置を求め、物体Ｙまでの距離を測
定するのである。ここに、光ファイバ２は等間隔で配列
されている。 上述したような三角測量を行う場合に、結像スポットが
形成される像面Ｉ上で結像スポットのピントが合うよう
にするには、いわゆるシャインプルーク（Ｓｃｈｅｉ論
ｐｆｌｕｇ）条件を満たす必要がある。 すなわち、第７図に示すように、光ビームＰの照射方向
と、受光レンズ１の光軸に直交して受光レンズ１の中心
点を含む面（以下、レンズ面と略称する）Ｌと、像面Ｉ
とが１点で交わるように配置しなければならない。
上記従来構成によれば、シャインブルーフ条件を満たす
ために、第７図に示すように、像面Ｉがレンズ面しに対
して所定のあおり角度αをもつことになる。したがって
、物体Ｙが光ビームＰの照射方向に対して単位距離だけ
移動したときに、像面上の各位置に応じて結像スポット
の移動距離が変化する。すなわち、第７図において、Ｚ
、＝ ２２＝２．＝２．＝２．とすると、Ｘ ＋ ＜
Ｘ ２ ＜ Ｘ ３ ＜ Ｘ ４＜ Ｘ ｓとなるの
である。このように、物体Ｙが光ビームＰの照射方向に
単位距離だけ移動するにもかかわらず、結像スポットの
位置に応じて結像スポットの移動距離が変化するのであ
って、測定距離に応じて分解能が変化するという問題が
生じる。 本発明は上記問題点の解決を目的とするものであり、物
体までの距離が変化しても分解能が変化しないようにし
た位置検出用光ファイバセンサを提供しようとするもの
である。
ために、第７図に示すように、像面Ｉがレンズ面しに対
して所定のあおり角度αをもつことになる。したがって
、物体Ｙが光ビームＰの照射方向に対して単位距離だけ
移動したときに、像面上の各位置に応じて結像スポット
の移動距離が変化する。すなわち、第７図において、Ｚ
、＝ ２２＝２．＝２．＝２．とすると、Ｘ ＋ ＜
Ｘ ２ ＜ Ｘ ３ ＜ Ｘ ４＜ Ｘ ｓとなるの
である。このように、物体Ｙが光ビームＰの照射方向に
単位距離だけ移動するにもかかわらず、結像スポットの
位置に応じて結像スポットの移動距離が変化するのであ
って、測定距離に応じて分解能が変化するという問題が
生じる。 本発明は上記問題点の解決を目的とするものであり、物
体までの距離が変化しても分解能が変化しないようにし
た位置検出用光ファイバセンサを提供しようとするもの
である。
請求項１の構成では、上記目的を達成するために、各光
ファイバを、一端面がシャインプルーク条件を満たす位
１に配設するとともに、光ビームの照射方向に光スポッ
トが単位距離だけ移動したときに各光ファイバの上記一
端面で結像スポットが移動する距離にほぼ等しい直径に
設定しているのである。 請求項２の構成では、各光ファイバを、一端面がシャイ
ンプルーク条件を満たす位置に配設するとともに、光ビ
ームの照射方向に光スポットが単位距離だけ移動したと
きに各光ファイバの上記−端面で結像スポットが移動す
る距離にほぼ等しい間隔で配列しているのである。 請求項３の構成では、各光ファイバを、上記−端面がほ
ぼ等間隔となるように配列するとともに、光ビームの照
射方向に光スポットが単位距離だけ移動したときに各光
ファイバの上記一端面で結像スポットが形成されるよう
に光ファイバの上記−端面を曲面上に配列しているので
ある。
ファイバを、一端面がシャインプルーク条件を満たす位
１に配設するとともに、光ビームの照射方向に光スポッ
トが単位距離だけ移動したときに各光ファイバの上記一
端面で結像スポットが移動する距離にほぼ等しい直径に
設定しているのである。 請求項２の構成では、各光ファイバを、一端面がシャイ
ンプルーク条件を満たす位置に配設するとともに、光ビ
ームの照射方向に光スポットが単位距離だけ移動したと
きに各光ファイバの上記−端面で結像スポットが移動す
る距離にほぼ等しい間隔で配列しているのである。 請求項３の構成では、各光ファイバを、上記−端面がほ
ぼ等間隔となるように配列するとともに、光ビームの照
射方向に光スポットが単位距離だけ移動したときに各光
ファイバの上記一端面で結像スポットが形成されるよう
に光ファイバの上記−端面を曲面上に配列しているので
ある。
上記構成によれば、請求項１ないし請求項３のいずれの
構成についても、光ビームの照射方向において光スポッ
トが単位距離だけ移動したときに、結像スポットが移動
する位置に対応して光ファイバの位置を設定しているの
で、物体までの距離が変化しても分解能が変化しないの
である。
構成についても、光ビームの照射方向において光スポッ
トが単位距離だけ移動したときに、結像スポットが移動
する位置に対応して光ファイバの位置を設定しているの
で、物体までの距離が変化しても分解能が変化しないの
である。
【実施例１】
基本的な構成は、第４図に示した従来構成と同様である
から、以下の説明では、従来構成と異なる点についての
み説明する。 第１図に示すように、本実施例では、光ファイバ２の直
径を像面上の位置に応じて変化させるものであって、受
光レンズ１の光軸Ａに対して光ビームＰから離れるほど
光ファイバ２の直径を大きくしているのである。また、
光ファイバ２は中心軸が互いに平行になるように配置さ
れる。各光ファイバ２の直径は、以下の条件で設定され
る。 光ビームＰと受光レンズ１の光軸Ａとのなす角度をθ、
光ビームＰと光軸Ａとの交点Ｍ０までのレンズ面りから
の距離をり、、像面■と光軸Ａとの交点Ｎ、までのレン
ズ面りからの距離をＬ２とし、受光レンズ１の中心と各
光スポットとを結ぶ直線が光軸Ａに対してなす角度をβ
。とすれば、が成立する。ただし、Ｚ ＋ ＝ Ｚ ２
＝・・・・・・＝Ｚとしている。また、像面Ｉと光軸
Ａとの交点Ｎ０から結像スポットまでの距離をｘ、、と
すれば、ｃｏｓ（α十β。） である、ただし、αはシャインプルーク条件を満たすた
めの、レンズ面りと像面Ｉとの角度である。 したがって、単位距離Ｚに対して光ファイバ２の直径Φ
、を設定するには、光ファイバ２の中心軸と像面上との
なす角度をεとして、 Φｈ＝（Ｘ１１−Ｘｎ−＋）・５ｉｎｅ：とすればよい
、このような条件で、各光ファイバ２の直径Φ、を決定
すれば、分解能を一定にすることができるのである。こ
こにおいて、各光ファイバ２の端面は、像面■に沿うよ
うに、中心軸に対して斜めにカットされている。
から、以下の説明では、従来構成と異なる点についての
み説明する。 第１図に示すように、本実施例では、光ファイバ２の直
径を像面上の位置に応じて変化させるものであって、受
光レンズ１の光軸Ａに対して光ビームＰから離れるほど
光ファイバ２の直径を大きくしているのである。また、
光ファイバ２は中心軸が互いに平行になるように配置さ
れる。各光ファイバ２の直径は、以下の条件で設定され
る。 光ビームＰと受光レンズ１の光軸Ａとのなす角度をθ、
光ビームＰと光軸Ａとの交点Ｍ０までのレンズ面りから
の距離をり、、像面■と光軸Ａとの交点Ｎ、までのレン
ズ面りからの距離をＬ２とし、受光レンズ１の中心と各
光スポットとを結ぶ直線が光軸Ａに対してなす角度をβ
。とすれば、が成立する。ただし、Ｚ ＋ ＝ Ｚ ２
＝・・・・・・＝Ｚとしている。また、像面Ｉと光軸
Ａとの交点Ｎ０から結像スポットまでの距離をｘ、、と
すれば、ｃｏｓ（α十β。） である、ただし、αはシャインプルーク条件を満たすた
めの、レンズ面りと像面Ｉとの角度である。 したがって、単位距離Ｚに対して光ファイバ２の直径Φ
、を設定するには、光ファイバ２の中心軸と像面上との
なす角度をεとして、 Φｈ＝（Ｘ１１−Ｘｎ−＋）・５ｉｎｅ：とすればよい
、このような条件で、各光ファイバ２の直径Φ、を決定
すれば、分解能を一定にすることができるのである。こ
こにおいて、各光ファイバ２の端面は、像面■に沿うよ
うに、中心軸に対して斜めにカットされている。
【実施例２】
本実施例では、第２図に示すように、各光ファイバ２の
直径は等しいものとし、光ビームＰの照射方向において
物体が単位距離だけ移動したときに像面Ｉにおいて結像
スポットが移動する距離に対応して光ファイバ２の中心
軸間の距離Ｐ７を設定しているのである。すなわち、距
離Ｐ７は、ＰａｃｃＸＩｌ−Ｘ＋＋− となるのである、要するに、実施例１の各光ファイバ２
の境界にそれぞれ同じ直径を有する光ファイバ２を配列
したことに相当する。他の構成は実施例１と同じである
。
直径は等しいものとし、光ビームＰの照射方向において
物体が単位距離だけ移動したときに像面Ｉにおいて結像
スポットが移動する距離に対応して光ファイバ２の中心
軸間の距離Ｐ７を設定しているのである。すなわち、距
離Ｐ７は、ＰａｃｃＸＩｌ−Ｘ＋＋− となるのである、要するに、実施例１の各光ファイバ２
の境界にそれぞれ同じ直径を有する光ファイバ２を配列
したことに相当する。他の構成は実施例１と同じである
。
【実施例３】
本実施例では、第３ｒ：ｉ！ｉに示すように、像面を平
面とせずに曲面としている。ただし、光ファイバ２の端
面を滑らかな曲面とするのは困難であるから、平面状の
複数の像面Ｉ６〜１．を連接して曲面に近似しである。 したがって、各光ファイバ２の端面を各像面Ｉ０〜工、
上に配置するようにすれば、光ファイバ２の端面を平面
にすることができる。 各光ファイバ２は、中心軸が光ビームＰの照射方向と平
行になるように配置しているものとする。 各像面Ｉ０〜１．は、光ビームＰの照射方向に対する傾
斜角度ε１〜ε。、１．と、受光レンズ１の中心から各
像面上。〜Ｉ０までの距離とによって規定される。各像
面■。〜Ｉ０の幅は等しいものとする。 また、像面Ｉ０の一端と光軸Ａとの交点をＮｏとし、各
位置の像面１１は点Ｎ、と点Ｎ８．１との間に形成され
るものとする。ここに、各像面１．〜１．のうちのいず
れか１つはシャインプルーク条件を満たすように設定さ
れるのであって、実施例では像面Ｉ０がシャインプルー
ク条件を満たすように配置されている。 以上の前提条件のもとで、光ビームＰの照射方向に対す
る各像面Ｉ０〜エイの傾斜角度をε。〜ε７、受光レン
ズ１の中心０から各像面■。〜１．の端点Ｎ０〜Ｎ、ま
での距離をＬ２゜〜Ｌ ２ｆｉ、受光レンズ１の中心０
と各像面Ｉ、〜■、の端点Ｎ、〜Ｎ、とを結ぶ直線が像
面■。〜Ｉ、となす角度をγ１〜γ１−１、各像面Ｉｏ
〜■。の幅をＸとし、他のパラメータは実施例１と同じ
に設定されているものとすると、以下の関係式が成立す
る（第３図および第４図参照）、ただし、β。〜０とす
る。 ε Ｃ１争１１８γ口争目＋（θ＋βＬ１争＋ １ ）
”’■Ｌｚｌ’５ｉｎ（βｆｌ＋ｌ
＋−β１）＝Ｘ−ｓｉｎγｆｌ＋１１ ＋＋＋■Ｌ２
［１１１＝ Ｌｚｔ・ｃｏｓ（β＋１ｌｌ−β、）＋
Ｘ °ｃｏｓγ口１） ・・・０８口・ローβ、＝Ｂ
目・目とし、■式よりγｆｌ＋ｌ＋を求めて０式に代入
すると、 ＋θ＋β、、やｌ ＋ ”’■また、０式
に０式を適用して、γｆｌｌ−１１を消去し、さらに、
その結果に０式を代入してε、１３．を消去すれば、 Ｌ ２ ＋ Ｉ◆口＝ Ｌ ２監°Ｃ０５Ｂ（Ｉ争Ｉ）
一方、受光レンズ１の中心０と各点Ｎ０〜Ｎ、との延長
線と光ビームＰとの交点をそれぞれＭ０〜Ｍゎとし、受
光レンズ１の中心０と各点Ｍ０〜Ｍ、との距離をり、。 〜Ｌ ｌ ｎとすると、第５図より明らかなように、 （Ｌ 、 、 −Ｚ−ｃｏｓ（θ＋β＋））４ａｎＢ
＋＋＋＋＋＝ Ｚ−ｓｉｎ（θ＋βｌ） ・・・■
が成立する。０式よりＢ、、や１．を求めると、となる
、しかるに、■式によって分解能Ｚに対するＢＬｌや１
．の値を求めれば、０式に代入して光ビームＰに対する
像面Ｉ０〜１．の傾斜角度ε。〜ε、を決定し、また０
式を用いて受光レンズ１の中心０から像面Ｉ０〜１．ま
での距離Ｌ ２ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋を決定することが
できる。この条件で光ファイバ２を配置すれば、物体と
の距離にかかわらず分解能が一定になるのである。また
、本実施例では、シャインプルーク条件が満たされない
ことになるが、光ファイバ２の端面から反射光による像
がはみ出さない範囲であれば、結像スポットのぼやけは
無視できる。
面とせずに曲面としている。ただし、光ファイバ２の端
面を滑らかな曲面とするのは困難であるから、平面状の
複数の像面Ｉ６〜１．を連接して曲面に近似しである。 したがって、各光ファイバ２の端面を各像面Ｉ０〜工、
上に配置するようにすれば、光ファイバ２の端面を平面
にすることができる。 各光ファイバ２は、中心軸が光ビームＰの照射方向と平
行になるように配置しているものとする。 各像面Ｉ０〜１．は、光ビームＰの照射方向に対する傾
斜角度ε１〜ε。、１．と、受光レンズ１の中心から各
像面上。〜Ｉ０までの距離とによって規定される。各像
面■。〜Ｉ０の幅は等しいものとする。 また、像面Ｉ０の一端と光軸Ａとの交点をＮｏとし、各
位置の像面１１は点Ｎ、と点Ｎ８．１との間に形成され
るものとする。ここに、各像面１．〜１．のうちのいず
れか１つはシャインプルーク条件を満たすように設定さ
れるのであって、実施例では像面Ｉ０がシャインプルー
ク条件を満たすように配置されている。 以上の前提条件のもとで、光ビームＰの照射方向に対す
る各像面Ｉ０〜エイの傾斜角度をε。〜ε７、受光レン
ズ１の中心０から各像面■。〜１．の端点Ｎ０〜Ｎ、ま
での距離をＬ２゜〜Ｌ ２ｆｉ、受光レンズ１の中心０
と各像面Ｉ、〜■、の端点Ｎ、〜Ｎ、とを結ぶ直線が像
面■。〜Ｉ、となす角度をγ１〜γ１−１、各像面Ｉｏ
〜■。の幅をＸとし、他のパラメータは実施例１と同じ
に設定されているものとすると、以下の関係式が成立す
る（第３図および第４図参照）、ただし、β。〜０とす
る。 ε Ｃ１争１１８γ口争目＋（θ＋βＬ１争＋ １ ）
”’■Ｌｚｌ’５ｉｎ（βｆｌ＋ｌ
＋−β１）＝Ｘ−ｓｉｎγｆｌ＋１１ ＋＋＋■Ｌ２
［１１１＝ Ｌｚｔ・ｃｏｓ（β＋１ｌｌ−β、）＋
Ｘ °ｃｏｓγ口１） ・・・０８口・ローβ、＝Ｂ
目・目とし、■式よりγｆｌ＋ｌ＋を求めて０式に代入
すると、 ＋θ＋β、、やｌ ＋ ”’■また、０式
に０式を適用して、γｆｌｌ−１１を消去し、さらに、
その結果に０式を代入してε、１３．を消去すれば、 Ｌ ２ ＋ Ｉ◆口＝ Ｌ ２監°Ｃ０５Ｂ（Ｉ争Ｉ）
一方、受光レンズ１の中心０と各点Ｎ０〜Ｎ、との延長
線と光ビームＰとの交点をそれぞれＭ０〜Ｍゎとし、受
光レンズ１の中心０と各点Ｍ０〜Ｍ、との距離をり、。 〜Ｌ ｌ ｎとすると、第５図より明らかなように、 （Ｌ 、 、 −Ｚ−ｃｏｓ（θ＋β＋））４ａｎＢ
＋＋＋＋＋＝ Ｚ−ｓｉｎ（θ＋βｌ） ・・・■
が成立する。０式よりＢ、、や１．を求めると、となる
、しかるに、■式によって分解能Ｚに対するＢＬｌや１
．の値を求めれば、０式に代入して光ビームＰに対する
像面Ｉ０〜１．の傾斜角度ε。〜ε、を決定し、また０
式を用いて受光レンズ１の中心０から像面Ｉ０〜１．ま
での距離Ｌ ２ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋を決定することが
できる。この条件で光ファイバ２を配置すれば、物体と
の距離にかかわらず分解能が一定になるのである。また
、本実施例では、シャインプルーク条件が満たされない
ことになるが、光ファイバ２の端面から反射光による像
がはみ出さない範囲であれば、結像スポットのぼやけは
無視できる。
上述のように、請求項１の構成では、各光ファイバを、
一端面がシャインプルーク条件を満たす位置に配設する
とともに、光ビームの照射方向に光スポットが単位距離
だけ移動したときに各光ファイバの上記一端面で結像ス
ポットが移動する距離にほぼ等しい直径に設定し、請求
項２の構成では、各光ファイバを、一端面がシャインブ
ルーフ条件を満たす位置に配設するとともに、光ビーム
の照射方向に光スポットが単位距離だけ移動したときに
各光ファイバの上記一端面で結像スポットが移動する距
離にほぼ等しい間隔で配列し、請求項３の構成では、各
光ファイバを、上記一端面がほぼ等間隔となるように配
列するとともに、光ビームの照射方向に光スポットが単
位距離だけ移動したときに各光ファイバの上記一端面で
結像スポットが形成されるように光ファイバの上記一端
面を曲面上に配列しているものであり、いずれの構成に
おいても、光ビームの照射方向において光スポットが単
位距離だけ移動したときに、結像スポットが移動する位
置に対応して光ファイバの位置を設定しているので、物
体までの距離が変化しても分解能が変化しないという利
点がある。
一端面がシャインプルーク条件を満たす位置に配設する
とともに、光ビームの照射方向に光スポットが単位距離
だけ移動したときに各光ファイバの上記一端面で結像ス
ポットが移動する距離にほぼ等しい直径に設定し、請求
項２の構成では、各光ファイバを、一端面がシャインブ
ルーフ条件を満たす位置に配設するとともに、光ビーム
の照射方向に光スポットが単位距離だけ移動したときに
各光ファイバの上記一端面で結像スポットが移動する距
離にほぼ等しい間隔で配列し、請求項３の構成では、各
光ファイバを、上記一端面がほぼ等間隔となるように配
列するとともに、光ビームの照射方向に光スポットが単
位距離だけ移動したときに各光ファイバの上記一端面で
結像スポットが形成されるように光ファイバの上記一端
面を曲面上に配列しているものであり、いずれの構成に
おいても、光ビームの照射方向において光スポットが単
位距離だけ移動したときに、結像スポットが移動する位
置に対応して光ファイバの位置を設定しているので、物
体までの距離が変化しても分解能が変化しないという利
点がある。
第１図は本発明の実施例１を示す概略構成図、第２図は
本発明の実施例２を示す概略構成図、第３図は本発明の
実施例３を示す概跨構成図、第４図および第５図は同上
の要部拡大図、第６図は本発明に係る位置検出用光ファ
イバセンサを示す概略構成図、第７図は従来例の問題点
を示す動作説明図である。 １・・・受光レンズ、２・・・光ファイバ、３・・・受
光素子、４・・・検出処理部。
本発明の実施例２を示す概略構成図、第３図は本発明の
実施例３を示す概跨構成図、第４図および第５図は同上
の要部拡大図、第６図は本発明に係る位置検出用光ファ
イバセンサを示す概略構成図、第７図は従来例の問題点
を示す動作説明図である。 １・・・受光レンズ、２・・・光ファイバ、３・・・受
光素子、４・・・検出処理部。
Claims (3)
- （１）物体に光ビームを照射して物体上に形成される光
スポットを受光レンズで集光することにより得られる結
像スポットの移動方向に複数個の光ファイバの一端部を
列設し、各光ファイバの他端部にそれぞれ配設された受
光素子の出力に基づいて結像スポットの位置を検出する
位置検出用光ファイバセンサにおいて、各光ファイバは
、上記一端部の端面が中心軸に対して所定角度で傾斜す
るように形成されていてシャインプルーク条件を満たす
位置に配設されるとともに、光ビームの照射方向に光ス
ポットが単位距離だけ移動したときに各光ファイバの上
記端面で結像スポットが移動する距離にほぼ等しい直径
を有して成ることを特徴とする位置検出用光ファイバセ
ンサ。 - （２）物体に光ビームを照射して物体上に形成される光
スポットを受光レンズで集光することにより得られる結
像スポットの移動方向に複数個の光ファイバの一端部を
列設し、各光ファイバの他端部にそれぞれ配設された受
光素子の出力に基づいて結像スポットの位置を検出する
位置検出用光ファイバセンサにおいて、各光ファイバは
、上記一端部の端面が中心軸に対して所定角度で傾斜す
るように形成されていてシャインプルーク条件を満たす
位置に配設されるとともに、光ビームの照射方向に光ス
ポットが単位距離だけ移動したときに各光ファイバの上
記端面で結像スポットが移動する距離にほぼ等しい間隔
で配列されて成ることを特徴とする位置検出用光ファイ
バセンサ。 - （３）物体に光ビームを照射して物体上に形成される光
スポットを受光レンズで集光することにより得られる結
像スポットの移動方向に複数個の光ファイバの一端部を
列設し、各光ファイバの他端部にそれぞれ配設された受
光素子の出力に基づいて結像スポットの位置を検出する
位置検出用光ファイバセンサにおいて、各光ファイバは
、上記一端部の端面が中心軸に対して所定角度で傾斜す
るように形成されていてほぼ等間隔で配列されるととも
に、光ビームの照射方向に光スポットが単位距離だけ移
動したときに各光ファイバの上記端面で結像スポットが
形成されるように光ファイバの上記端面を曲面上に配列
して成ることを特徴とする位置検出用光ファイバセンサ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2034244A JPH0792386B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 位置検出用光ファイバセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2034244A JPH0792386B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 位置検出用光ファイバセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03238311A true JPH03238311A (ja) | 1991-10-24 |
| JPH0792386B2 JPH0792386B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=12408752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2034244A Expired - Lifetime JPH0792386B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | 位置検出用光ファイバセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792386B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021535408A (ja) * | 2018-08-24 | 2021-12-16 | トリナミクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 少なくとも１つの物体の位置を決定するための検出器 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5855813A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-02 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 光学式距離計 |
| JPS62176710U (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-10 | ||
| JPH01235808A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-20 | Matsushita Electric Works Ltd | 位置検出用光ファイバセンサ |
-
1990
- 1990-02-15 JP JP2034244A patent/JPH0792386B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2021535408A (ja) * | 2018-08-24 | 2021-12-16 | トリナミクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 少なくとも１つの物体の位置を決定するための検出器 |
| US11940263B2 (en) | 2018-08-24 | 2024-03-26 | Trinamix Gmbh | Detector for determining a position of at least one object |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0792386B2 (ja) | 1995-10-09 |
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