JPH0829134A - 三次元形状計測装置 - Google Patents
三次元形状計測装置Info
- Publication number
- JPH0829134A JPH0829134A JP15977494A JP15977494A JPH0829134A JP H0829134 A JPH0829134 A JP H0829134A JP 15977494 A JP15977494 A JP 15977494A JP 15977494 A JP15977494 A JP 15977494A JP H0829134 A JPH0829134 A JP H0829134A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- measuring
- measurement
- light receiving
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 受光部による散乱光線束の検出位置に対して
何ら補正演算や校正操作を行わなくとも正確な形状計測
が可能となる防塵用のフィルタを備えた三次元形状計測
装置を提供する。 【構成】 光源３からの測定光線束をＸ−Ｙ平面１上の
測定対象物２に向けて走査する測定用光学系１２と、測
定対象物２表面から反射した散乱光線束を受光部６に導
く受光用光学系１３とをケーシング１４に収容し、測定
光線束又は散乱光線束が通過する窓部１４ａをケーシン
グ１４に形成して、その窓部１４ａに、測定用光学系１
２における測定光線束の仮想走査中心点Ｐを中心とし、
仮想走査中心点Ｐから窓部１４ｂまでの距離を半径とす
る湾曲面、又は、受光用光学系１３への散乱光線束の仮
想収束点Ｑを中心とし、仮想収束点Ｑから窓部１４ｂま
での距離を半径とする湾曲面に形成した防塵用のフィル
タ１４ｂを設ける。
何ら補正演算や校正操作を行わなくとも正確な形状計測
が可能となる防塵用のフィルタを備えた三次元形状計測
装置を提供する。 【構成】 光源３からの測定光線束をＸ−Ｙ平面１上の
測定対象物２に向けて走査する測定用光学系１２と、測
定対象物２表面から反射した散乱光線束を受光部６に導
く受光用光学系１３とをケーシング１４に収容し、測定
光線束又は散乱光線束が通過する窓部１４ａをケーシン
グ１４に形成して、その窓部１４ａに、測定用光学系１
２における測定光線束の仮想走査中心点Ｐを中心とし、
仮想走査中心点Ｐから窓部１４ｂまでの距離を半径とす
る湾曲面、又は、受光用光学系１３への散乱光線束の仮
想収束点Ｑを中心とし、仮想収束点Ｑから窓部１４ｂま
での距離を半径とする湾曲面に形成した防塵用のフィル
タ１４ｂを設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、成形用型やデ
ザインされた各種製品の模型から外観形状を入力して最
終設計図面に仕上げるＣＡＤ用データの入力装置や、教
育用や販売用に用いられる三次元映像資料の入力装置、
医療用診断装置、或いはロボットの視覚センサとして用
いられる三次形状計測装置に関し、詳述すると、光源か
らの測定光線束をＸ−Ｙ平面上の測定対象物に向けて走
査する測定用光学系と、前記測定光線束のうち前記測定
対象物表面から反射した散乱光線束を受光部に導く受光
用光学系とをケーシングに収容し、前記ケーシングに、
前記測定用光学系からの測定光線束又は前記受光用光学
系への散乱光線束が通過する窓部を形成して、その窓部
に防塵用のフィルタを設けてある三次元形状計測装置に
関する。
ザインされた各種製品の模型から外観形状を入力して最
終設計図面に仕上げるＣＡＤ用データの入力装置や、教
育用や販売用に用いられる三次元映像資料の入力装置、
医療用診断装置、或いはロボットの視覚センサとして用
いられる三次形状計測装置に関し、詳述すると、光源か
らの測定光線束をＸ−Ｙ平面上の測定対象物に向けて走
査する測定用光学系と、前記測定光線束のうち前記測定
対象物表面から反射した散乱光線束を受光部に導く受光
用光学系とをケーシングに収容し、前記ケーシングに、
前記測定用光学系からの測定光線束又は前記受光用光学
系への散乱光線束が通過する窓部を形成して、その窓部
に防塵用のフィルタを設けてある三次元形状計測装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の三次元形状計測装置は、図２に
示すように、測定用光学系１２を介して走査された測定
光線束のうち測定対象物２表面から反射した散乱光線束
を受光用光学系１３を介して受光部６に導き、その受光
部６における受光位置データから測定対象物２の外観形
状を演算導出するもので、詳述すると、例えば、受光部
６を構成する一次元イメージセンサＣＣＤの画素配列方
向の一方向の画素間距離X0X1が、ΔX0に比例すること、
及び、参照平面１からの測定対象物２の表面位置Z0が、
Z0・θ＝ΔX0なる関係を有することからZ0を求めるもの
で、一回の走査で同一のＸ座標に対して、集光レンズ１
１による散乱光線束の結像幅内に存在する画素配列数だ
けの副走査線方向、即ちＹ軸方向のデータZ0が得られる
ものである。ここに、参照面１からの散乱光線束は、常
に、ポイントX0に集光する。
示すように、測定用光学系１２を介して走査された測定
光線束のうち測定対象物２表面から反射した散乱光線束
を受光用光学系１３を介して受光部６に導き、その受光
部６における受光位置データから測定対象物２の外観形
状を演算導出するもので、詳述すると、例えば、受光部
６を構成する一次元イメージセンサＣＣＤの画素配列方
向の一方向の画素間距離X0X1が、ΔX0に比例すること、
及び、参照平面１からの測定対象物２の表面位置Z0が、
Z0・θ＝ΔX0なる関係を有することからZ0を求めるもの
で、一回の走査で同一のＸ座標に対して、集光レンズ１
１による散乱光線束の結像幅内に存在する画素配列数だ
けの副走査線方向、即ちＹ軸方向のデータZ0が得られる
ものである。ここに、参照面１からの散乱光線束は、常
に、ポイントX0に集光する。
【０００３】そして、従来、上述したケーシングの窓部
には、一定厚さの平面状の防塵フィルタである透明なガ
ラス板を設けて構成していた。
には、一定厚さの平面状の防塵フィルタである透明なガ
ラス板を設けて構成していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
技術によれば、図４に示すように、前記測定用光学系１
２からの測定光線束又は前記受光用光学系１３への散乱
光線束が窓部の防塵用のフィルタ１４ｂを通過するとき
に、光線束の入射角が零度でない限りは光の屈折が生
じ、フィルタ１４ｂが無い場合と比べてそのときの入射
角度に応じた値だけ光路が変化するので、受光部による
散乱光線束の検出位置に対して変化した光路に相当する
値の補正をかけなければ正確な値が得られない。しか
も、測定光線束又は散乱光線束の防塵フィルタ１４ｂへ
の入射角に応じて異なる値の複雑な補正演算を行う必要
があり、機器のばらつきを考慮して、初期にその補正値
を校正するといった煩雑な操作が必要になるという欠点
があった。本発明の目的は上述した従来欠点を解消する
点にある。
技術によれば、図４に示すように、前記測定用光学系１
２からの測定光線束又は前記受光用光学系１３への散乱
光線束が窓部の防塵用のフィルタ１４ｂを通過するとき
に、光線束の入射角が零度でない限りは光の屈折が生
じ、フィルタ１４ｂが無い場合と比べてそのときの入射
角度に応じた値だけ光路が変化するので、受光部による
散乱光線束の検出位置に対して変化した光路に相当する
値の補正をかけなければ正確な値が得られない。しか
も、測定光線束又は散乱光線束の防塵フィルタ１４ｂへ
の入射角に応じて異なる値の複雑な補正演算を行う必要
があり、機器のばらつきを考慮して、初期にその補正値
を校正するといった煩雑な操作が必要になるという欠点
があった。本発明の目的は上述した従来欠点を解消する
点にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明による三次元形状計測装置の特徴構成は、防
塵用のフィルタを、前記測定用光学系における測定光線
束の仮想走査中心点を中心とし、前記仮想走査中心点か
ら前記窓部までの距離を半径とする湾曲面、又は、前記
受光用光学系への散乱光線束の仮想収束点を中心とし、
前記仮想収束点から前記窓部までの距離を半径とする湾
曲面に形成してある点にある。
め、本発明による三次元形状計測装置の特徴構成は、防
塵用のフィルタを、前記測定用光学系における測定光線
束の仮想走査中心点を中心とし、前記仮想走査中心点か
ら前記窓部までの距離を半径とする湾曲面、又は、前記
受光用光学系への散乱光線束の仮想収束点を中心とし、
前記仮想収束点から前記窓部までの距離を半径とする湾
曲面に形成してある点にある。
【０００６】
【作用】防塵用のフィルタを、前記測定用光学系におけ
る測定光線束の仮想走査中心点を中心とし、前記仮想走
査中心点から前記窓部までの距離を半径とする湾曲面に
形成することにより、前記測定用光学系からの測定光線
束の防塵用のフィルタへの入射角が常に零度、即ち垂直
入射することになるので、屈折による光路の変化は生じ
ない。さらに、防塵用のフィルタを、前記受光用光学系
への散乱光線束の仮想収束点を中心とし、前記仮想収束
点から前記窓部までの距離を半径とする湾曲面に形成す
ることにより、前記受光用光学系への散乱光線束の防塵
用のフィルタへの入射角が常に零度、即ち垂直入射する
ことになるので、屈折による光路の変化は生じないの
で、複雑な演算式による補正が不要となるのである。
る測定光線束の仮想走査中心点を中心とし、前記仮想走
査中心点から前記窓部までの距離を半径とする湾曲面に
形成することにより、前記測定用光学系からの測定光線
束の防塵用のフィルタへの入射角が常に零度、即ち垂直
入射することになるので、屈折による光路の変化は生じ
ない。さらに、防塵用のフィルタを、前記受光用光学系
への散乱光線束の仮想収束点を中心とし、前記仮想収束
点から前記窓部までの距離を半径とする湾曲面に形成す
ることにより、前記受光用光学系への散乱光線束の防塵
用のフィルタへの入射角が常に零度、即ち垂直入射する
ことになるので、屈折による光路の変化は生じないの
で、複雑な演算式による補正が不要となるのである。
【０００７】
【発明の効果】従って、本発明によれば、受光部による
散乱光線束の検出位置に対して何ら補正演算や校正操作
を行わなくとも正確な形状計測が可能となる防塵用のフ
ィルタを備えた三次元形状計測装置を提供できるように
なった。
散乱光線束の検出位置に対して何ら補正演算や校正操作
を行わなくとも正確な形状計測が可能となる防塵用のフ
ィルタを備えた三次元形状計測装置を提供できるように
なった。
【０００８】
【実施例】以下実施例を説明する。三次元形状計測装置
は、図１に示すように、Ｘ−Ｙ参照平面１上に載置され
た測定対象物２へ測定光線束を照射してその測定対象物
２表面からの散乱光線束を検出する計測部３と、前記計
測部３の計測動作を制御する計測制御部４と、前記計測
部３による計測データに基づき参照平面１から前記測定
対象物２表面までのＺ方向の距離を演算導出して、測定
対象物の表面形状を表す三次元座標データを求める信号
処理部５とを備えて構成してある。
は、図１に示すように、Ｘ−Ｙ参照平面１上に載置され
た測定対象物２へ測定光線束を照射してその測定対象物
２表面からの散乱光線束を検出する計測部３と、前記計
測部３の計測動作を制御する計測制御部４と、前記計測
部３による計測データに基づき参照平面１から前記測定
対象物２表面までのＺ方向の距離を演算導出して、測定
対象物の表面形状を表す三次元座標データを求める信号
処理部５とを備えて構成してある。
【０００９】前記計測部３は、レーザを備えた光源８と
Ｘ軸方向に沿って配置した一次元イメージセンサＣＣＤ
でなる受光素子９とを走査用ミラー７を挟んで対向配置
して、前記光源８からの測定光線束を前記走査用ミラー
７及び固定ミラー１０を介して測定対象物２に照射する
とともに、測定対象物２の表面で反射した散乱光線束を
固定ミラー１０’及び前記走査用ミラー７を介して前記
受光素子９に導く光学ヘッドと、その光学ヘッドをモー
タ駆動によりＹ軸方向へ移動させてＹ軸方向への走査を
行う走査機構（図示せず）とで構成してある。
Ｘ軸方向に沿って配置した一次元イメージセンサＣＣＤ
でなる受光素子９とを走査用ミラー７を挟んで対向配置
して、前記光源８からの測定光線束を前記走査用ミラー
７及び固定ミラー１０を介して測定対象物２に照射する
とともに、測定対象物２の表面で反射した散乱光線束を
固定ミラー１０’及び前記走査用ミラー７を介して前記
受光素子９に導く光学ヘッドと、その光学ヘッドをモー
タ駆動によりＹ軸方向へ移動させてＹ軸方向への走査を
行う走査機構（図示せず）とで構成してある。
【００１０】前記計測制御部４は、前記走査用ミラー７
をＹ軸に平行な軸芯周りに回動させて、前記光源８から
の測定光線束を前記測定対象物２が含まれる前記参照平
面１に対してＸ軸方向に走査して照射するとともに、そ
の散乱光線束を前記固定ミラー１０’、前記走査用ミラ
ー７及び集光レンズ１１を介して前記受光素子９に導き
ながら、前記走査機構が前記光学ヘッドをＹ軸方向に走
査する。即ち、前記受光素子９と集光レンズ１１とで受
光部６となり、前記走査用ミラー７，前記固定ミラー１
０を含む系が、光源８からの測定光線束をＸ−Ｙ平面１
上の測定対象物２に向けて走査する測定用光学系１２と
なり、前記走査用ミラー７，前記固定ミラー１０’を含
む系が、前記測定光線束のうち測定対象物２の表面から
反射した散乱光線束を受光部６に導く受光用光学系１３
となる。
をＹ軸に平行な軸芯周りに回動させて、前記光源８から
の測定光線束を前記測定対象物２が含まれる前記参照平
面１に対してＸ軸方向に走査して照射するとともに、そ
の散乱光線束を前記固定ミラー１０’、前記走査用ミラ
ー７及び集光レンズ１１を介して前記受光素子９に導き
ながら、前記走査機構が前記光学ヘッドをＹ軸方向に走
査する。即ち、前記受光素子９と集光レンズ１１とで受
光部６となり、前記走査用ミラー７，前記固定ミラー１
０を含む系が、光源８からの測定光線束をＸ−Ｙ平面１
上の測定対象物２に向けて走査する測定用光学系１２と
なり、前記走査用ミラー７，前記固定ミラー１０’を含
む系が、前記測定光線束のうち測定対象物２の表面から
反射した散乱光線束を受光部６に導く受光用光学系１３
となる。
【００１１】前記信号処理部５は、前記受光素子９を構
成するＣＣＤが前記参照平面１からの散乱光線束に対し
て検出する位置と現在の散乱光線束に対して検出する位
置との偏差及び前記走査用ミラー７の回動角度とから、
前記参照平面１からの測定対象物２の表面までの距離を
演算導出する。即ち、図２に示すように、ＣＣＤで検出
される距離X0X1が、ΔX0に比例すること、及び、参照平
面１からの測定対象物２の表面位置Z0が、Z0×θ＝ΔX0
なる関係を有することからZ0を求め、Ｘ方向への走査及
びＹ方向への走査により得られた各測定ポイント（走査
密度で決定される）に対するＺ方向の値で特定されるＸ
ＹＺ座標データを測定対象物２の三次元形状データとし
て特定する。
成するＣＣＤが前記参照平面１からの散乱光線束に対し
て検出する位置と現在の散乱光線束に対して検出する位
置との偏差及び前記走査用ミラー７の回動角度とから、
前記参照平面１からの測定対象物２の表面までの距離を
演算導出する。即ち、図２に示すように、ＣＣＤで検出
される距離X0X1が、ΔX0に比例すること、及び、参照平
面１からの測定対象物２の表面位置Z0が、Z0×θ＝ΔX0
なる関係を有することからZ0を求め、Ｘ方向への走査及
びＹ方向への走査により得られた各測定ポイント（走査
密度で決定される）に対するＺ方向の値で特定されるＸ
ＹＺ座標データを測定対象物２の三次元形状データとし
て特定する。
【００１２】図３に示すように、前記光学ヘッド及び固
定ミラー１０，１０’、即ち、光源８、測定用光学系１
２、受光用光学系１３、受光部６等は、有害光を除去す
るためにケーシング１４に収容され、そのケーシング１
４に、前記測定用光学系１２からの測定光線束又は前記
受光用光学系１３への散乱光線束が通過する窓部１４ａ
を形成して、その窓部１４ａに透明ガラスでなるフィル
タ１４ｂを設けることにより防塵処理してある。
定ミラー１０，１０’、即ち、光源８、測定用光学系１
２、受光用光学系１３、受光部６等は、有害光を除去す
るためにケーシング１４に収容され、そのケーシング１
４に、前記測定用光学系１２からの測定光線束又は前記
受光用光学系１３への散乱光線束が通過する窓部１４ａ
を形成して、その窓部１４ａに透明ガラスでなるフィル
タ１４ｂを設けることにより防塵処理してある。
【００１３】前記防塵用のフィルタ１４ｂは、前記測定
用光学系１２における測定光線束の仮想走査中心点Ｐを
中心とし、前記仮想走査中心点Ｐから前記窓部１４ａま
での距離を半径とする湾曲面、又は、前記受光用光学系
１３への散乱光線束の仮想収束点Ｑを中心とし、前記仮
想収束点Ｑから前記窓部１４ａまでの距離を半径とする
湾曲面に形成してある。
用光学系１２における測定光線束の仮想走査中心点Ｐを
中心とし、前記仮想走査中心点Ｐから前記窓部１４ａま
での距離を半径とする湾曲面、又は、前記受光用光学系
１３への散乱光線束の仮想収束点Ｑを中心とし、前記仮
想収束点Ｑから前記窓部１４ａまでの距離を半径とする
湾曲面に形成してある。
【００１４】ここに、前記仮想走査中心点Ｐとは、前記
固定ミラー１０から測定対象物２へ照射される測定光線
束の経路の前記固定ミラー１０の裏面方向への延長経路
の交点をいい、前記仮想収束点Ｑとは、測定対象物２か
ら前記固定ミラー１０’への散乱光線束の経路の前記固
定ミラー１０’の裏面方向への延長経路の交点をいい、
そのような点Ｐから照射された測定光線束、或いは、そ
のような点Ｑに向けて進む散乱光線束は、常に前記フィ
ルタ１４ｂへ垂直入射するので、屈折による光路の変動
は生じないのである。
固定ミラー１０から測定対象物２へ照射される測定光線
束の経路の前記固定ミラー１０の裏面方向への延長経路
の交点をいい、前記仮想収束点Ｑとは、測定対象物２か
ら前記固定ミラー１０’への散乱光線束の経路の前記固
定ミラー１０’の裏面方向への延長経路の交点をいい、
そのような点Ｐから照射された測定光線束、或いは、そ
のような点Ｑに向けて進む散乱光線束は、常に前記フィ
ルタ１４ｂへ垂直入射するので、屈折による光路の変動
は生じないのである。
【００１５】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にする為に符号を記すが、該記入により本発明は添
付図面の構成に限定されるものではない。
便利にする為に符号を記すが、該記入により本発明は添
付図面の構成に限定されるものではない。
【図１】三次元形状計測装置の全体構成図
【図２】要部の原理を示す説明図
【図３】要部の説明図
【図４】従来例を示す要部の説明図
２ 測定対象物 ３ 光源 ６ 受光部 １２ 測定用光学系 １３ 受光用光学系 １４ ケーシング １４ａ 窓部 １４ｂ フィルタ Ｐ 仮想走査中心点 Ｑ 仮想収束点
Claims (1)
- 【請求項１】 光源（８）からの測定光線束をＸ−Ｙ平
面（１）上の測定対象物（２）に向けて走査する測定用
光学系（１２）と、前記測定光線束のうち前記測定対象
物（２）表面から反射した散乱光線束を受光部（６）に
導く受光用光学系（１３）とをケーシング（１４）に収
容し、前記ケーシング（１４）に、前記測定用光学系
（１２）からの測定光線束又は前記受光用光学系（１
３）への散乱光線束が通過する窓部（１４ａ）を形成し
て、その窓部（１４ａ）に防塵用のフィルタ（１４ｂ）
を設けてある三次元形状計測装置であって、 前記防塵用のフィルタ（１４ｂ）を、前記測定用光学系
（１２）における測定光線束の仮想走査中心点（Ｐ）を
中心とし、前記仮想走査中心点（Ｐ）から前記窓部（１
４ｂ）までの距離を半径とする湾曲面、又は、前記受光
用光学系（１３）への散乱光線束の仮想収束点（Ｑ）を
中心とし、前記仮想収束点（Ｑ）から前記窓部（１４
ｂ）までの距離を半径とする湾曲面に形成してある三次
元形状計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15977494A JPH0829134A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 三次元形状計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15977494A JPH0829134A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 三次元形状計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0829134A true JPH0829134A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15700975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15977494A Pending JPH0829134A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 三次元形状計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0829134A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103172587A (zh) * | 2011-12-20 | 2013-06-26 | 天津市国际生物医药联合研究院有限公司 | 具有Caspase-3抑制活性的苯并异噻唑-3-酮-2-酰胺类化合物 |
| JP6060472B1 (ja) * | 2015-11-26 | 2017-01-18 | パルステック工業株式会社 | ３次元形状測定装置 |
-
1994
- 1994-07-12 JP JP15977494A patent/JPH0829134A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103172587A (zh) * | 2011-12-20 | 2013-06-26 | 天津市国际生物医药联合研究院有限公司 | 具有Caspase-3抑制活性的苯并异噻唑-3-酮-2-酰胺类化合物 |
| JP6060472B1 (ja) * | 2015-11-26 | 2017-01-18 | パルステック工業株式会社 | ３次元形状測定装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4111166B2 (ja) | ３次元形状入力装置 | |
| US5671056A (en) | Three-dimensional form measuring apparatus and method | |
| JPH0374763B2 (ja) | ||
| JPH04105341A (ja) | 半導体装置のリード曲がり、浮き検出方法及び検出装置 | |
| JP6288280B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
| JPH0758172B2 (ja) | 形状測定方法およびその装置 | |
| JPH0829134A (ja) | 三次元形状計測装置 | |
| JP2987540B2 (ja) | 三次元スキャナー | |
| JPS5847209A (ja) | 表面形状測定装置 | |
| JPH06109437A (ja) | 三次元形状計測装置 | |
| JPH0612252B2 (ja) | 三次元形状の自動測定方法 | |
| JPS60117102A (ja) | 溶接線倣い検出装置 | |
| JPH0429477B2 (ja) | ||
| JPH0512414A (ja) | 三次元画像入力装置 | |
| JPH05187832A (ja) | 計測装置 | |
| JP4320796B2 (ja) | パターン位置測定装置 | |
| JP2509776B2 (ja) | 三次元形状計測装置 | |
| JPH06109436A (ja) | 三次元形状計測装置 | |
| JPH06102026A (ja) | 三次元画像入力装置 | |
| JP7337637B2 (ja) | レーザープローブ、及び光学調整方法 | |
| JPH05215528A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JPH06347227A (ja) | 表面形状測定装置および方法 | |
| JPH05187837A (ja) | 三次元形状計測装置 | |
| JPH0317282B2 (ja) | ||
| JP3040881B2 (ja) | 光ビーム径測定装置 |