JPH078816U - レーザマーキング装置及びオプティカル・スキャナにおけるミラー取付構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ［目的］オプティカル・スキャナにミラーを正確に芯合
わせして正しい姿勢で安定に取付する。 ［構成］ミラー１４は、ミラー支持部材１６を介してオ
プティカル・スキャナ１０のミラー回転駆動軸１２に取
付される。ミラー支持部材１６は、ミラー回転駆動軸１
２に挿着する基端部１６ａと、この基端部１６ａから軸
方向に延在し軸方向に平行な平坦面１６ｂを有するミラ
ー取付部１６ｃと、ミラー取付部１６ｃの中心線上で平
坦面１６ｂに臨むようにミラー支持部材１６ｃに形成さ
れた２つの開口または穴１６ｄとを有している。この穴
１６ｄを通してミラー取付部１６ｃとミラー１４の裏面
１４ｂとの間に適量の接着剤を供給して、穴１６ｄ内の
接着剤Ｂでミラー１４をミラー取付部１６ｃに接着固定
する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、スキャニング方式のレーザマーキング装置に係り、特にオプティカ ル・スキャナにおけるミラー取付構造に関する。

【０００２】 レーザマーキングは、被加工物（対称物）に高い密度に集光されたレーザ光を 照射し、レーザエネルギによって被加工物表面の微小部分を瞬間的に蒸発または 変色させて、文字、図形等の任意のパターンを刻印するマーキング方法である。 レーザマーキングの方式には、文字、記号等のパターンを型抜きしてあるマスク にレーザ光をあて、透過した光像を被加工物表面に集束するマスク方式と、被加 工物上でレーザ光を走査して被加工物表面に文字、記号等のパターンを描画する スキャニング方式とがある。

【０００３】 スキャニング方式のレーザマーキング装置は、レーザ光を発振出力するレーザ 発振部と、レーザ光を走査しながら被加工物に向けて集光照射するレーザ出射部 とを有する。レーザ出射部は、Ｘ軸回転ミラー、Ｙ軸回転ミラー、Ｘ軸オプティ カル・スキャナ、Ｙ軸オプティカル・スキャナおよびｆθレンズから主に構成さ れる。

【０００４】 レーザ発振部から来たレーザ光は、先ず一方のミラーたとえばＸ軸回転ミラー に入射して、そこで全反射してから他方のミラー（Ｙ軸回転ミラー）に入射し、 このミラーで全反射してのちｆθレンズを通って被加工物のマーキング面に集光 照射する。マーキング面上のレーザビームスポットの位置は、Ｘ方向ではＸ軸回 転ミラーの角度によってきまり、Ｙ方向ではＹ軸回転ミラーの角度によってきま る。Ｘ軸回転ミラーはＸ軸オプティカル・スキャナによって回転駆動され、Ｙ軸 回転ミラーはＹ軸オプティカル・スキャナによって回転駆動される。両スキャナ には、制御部より両ミラーを振る角度を指示するスキャニング制御信号が与えら れる。

【０００５】 したがって、レーザ発振部からのレーザ光が所定のタイミングで入ってくる度 に、それと同期して両スキャナがＸ軸回転ミラー、Ｙ軸回転ミラーをそれぞれ所 定の角度で振ることにより、被加工物のマーキング面にレーザ光のビームスポッ トが集光照射される。そうすると、レーザ光の照射位置付近では被加工物の表面 がレーザエネルギによって局所的に加熱されて蒸発する。この蒸発部分が所要の パターンを描くようにレーザビームスポットを走査すると、被加工物のマーキン グ面に該描画パターン（文字、記号、図形等）がマーキング（刻印）される。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

スキャニング方式のレーザマーキング装置では、Ｘ軸回転ミラーおよびＹ軸回 転ミラーの回転中心軸の片方でもレーザ光の光軸からずれていたり傾いていたり すると、たとえ両スキャナが制御部からのスキャニング制御信号にしたがって正 確に動作しても（正確なタイミングかつ正確な振幅でそれぞれのミラーを振って も）、被加工物表面上でレーザビームスポットが位置ずれしたり歪んでしまい、 所望のパターンが描画されない。

【０００７】 したがって、Ｘ軸オプティカル・スキャナおよびＹ軸オプティカル・スキャナ がそれぞれ正しい位置および向きで配置される必要があるだけでなく、それらの スキャナの回転駆動軸にそれぞれＸ軸回転ミラーおよびＹ軸回転ミラーが正確に 芯合わせされて取付される必要がある。

【０００８】 従来は、オプティカル・スキャナの回転駆動軸にキャップ状のミラー支持部材 を挿着固定し、ミラー支持部材の軸方向に延在する平坦面に接着材を塗ってミラ ーの裏面を接着固定していた。しかし、かかるミラー取付構造によれば、ミラー がミラー支持部材の平坦面から傾いた非平行な姿勢で接着材が固まったり、ある いはミラーとミラー支持部材の平坦面との合わせ面から外へあふれた接着剤が凝 固収縮してミラーに応力を与え、ミラーが湾曲したり反ったりするおそれがあっ た。このため、レーザマーキング装置においては、Ｘ軸オプティカル・スキャナ およびＹ軸オプティカル・スキャナにそれぞれＸ軸回転ミラーおよびＹ軸回転ミ ラーを正確に芯合わせして取付するのが難しかった。

【０００９】 また、従来のミラー取付構造では、ミラーに入射するレーザ光線の位置がずれ るため、レーザ光の熱がミラーの裏面側へ及んで接着材が溶け、ミラーの湾曲ま たは反りの姿勢が時間的にまたは温度に応じて変化することがあり、それによっ てレーザ光のビームスポットが変動し、レーザマーキング装置の場合にはマーキ ング加工の品質・再現性が低下するという不具合があった。

【００１０】 本考案は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、オプティカル・スキャナに ミラーを正確に芯合わせして正しい姿勢で安定に取付し、所望のパターンを正確 にマーキングできるようにした信頼性の高いレーザマーキング装置を提供するこ とを目的とする。

【００１１】 また、本考案の別の目的は、オプティカル・スキャナにミラーを正確に芯合わ せして正しい姿勢で安定に取付し、レーザ光のスキャニングを正確に行えるよう にした信頼性の高いオプティカル・スキャナにおけるミラー取付構造を提供する ことを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】

上記の目的を達成するために、本考案のレーザマーキング装置は、オプティカ ル・スキャナのミラー回転駆動軸に固着される基端部と、前記基端部から軸方向 に延在し軸方向に平行な平坦面を有するミラー支持部と、前記ミラー支持部に形 成された１つまたは複数の開口とを有し、前記平坦面に前記ミラーの裏面を合わ せ、前記開口を通して前記ミラー支持部と前記ミラーの裏面との間に接着剤を供 給し、前記接着材によって前記ミラー支持部に前記ミラーを固着せしめる構成と した。

【００１３】 また、上記の目的を達成するために、本考案のオプティカル・スキャナにおけ るミラー取付構造は、オプティカル・スキャナのミラー回転駆動軸にミラーを取 付するミラー取付構造において、前記ミラー回転駆動軸に固着される基端部と、 前記基端部から軸方向に延在し軸方向に平行な平坦面を有するミラー支持部と、 前記ミラー支持部に形成された１つまたは複数の開口とを有し、前記平坦面に前 記ミラーの裏面を合わせ、前記開口を通して前記ミラー支持部と前記ミラーの裏 面との間に接着剤を供給し、前記接着材によって前記ミラー支持部に前記ミラー を固着せしめる構成とした。

【００１４】

【作用】

本考案では、ミラー取付部の平坦面にミラーの裏面を合わせた状態で、開口を 通してミラー取付部とミラー裏面との間に接着剤を供給し、開口内の接着剤でミ ラーをミラー取付部に接着固定するので、ミラーはミラー取付部の平坦面に密着 した状態で固定され、浮いた姿勢または傾いた姿勢で取付されることはない。ま た、接着剤が凝固収縮したときの応力は開口の付近で作用するため、ミラーは曲 げモーメントを受けず、湾曲したり反ったりすることはない。また、経時的にも 正しい姿勢を安定に保つ。

【００１５】

【実施例】

以下、添付図を参照して本考案の実施例を説明する。

【００１６】 図１は本考案の一実施例によるオプティカル・スキャナにおけるミラー取付構 造を示す分解斜視図である。図２および図３は、この実施例のミラー支持部材に ミラーが取付されている状態を示す側面図および横断面図である。

【００１７】 図１において、本実施例によるオプティカル・スキャナにおけるミラー取付構 造は、オプティカル・スキャナ１０のミラー回転駆動軸１２とミラー１４との間 に介在するミラー支持部材１６の構造に特徴を有する。

【００１８】 ミラー支持部材１６は、ミラー回転駆動軸１２に挿着する基端部１６ａと、こ の基端部１６ａから軸方向に延在し軸方向に平行な平坦面１６ｂを有するミラー 取付部１６ｃと、ミラー取付部１６ｃの中心線上で平坦面１６ｂに臨むようにミ ラー支持部材１６ｃに形成された２つの開口または穴１６ｄとを有している。

【００１９】 基端部１６ａには、ミラー回転駆動軸１２を挿入しやすくするために軸方向に スリット１６ｅが形成されるとともに、挿入されたミラー回転駆動軸１２を基端 部１６ａに挟着固定するためにボルト１８と螺合する螺子穴１６ｆが形成されて いる。穴１６ｄは、平坦面１６ｂに臨む縁部１６ｇにてすり鉢状に面取りされて いる。

【００２０】 図２に示すように、ミラー支持部材１６の基端部１６ａの中心軸に沿って形成 された穴１６ｈにミラー回転駆動軸１２が挿着され、ミラー支持部材１６の平坦 面１６ｂにミラー１４の裏面１４ｂが合わせられると、ミラー１４の表面１４ａ がミラー回転駆動軸１２の中心軸（回転中心軸）と同一線上に位置するように構 成されている。

【００２１】 図３に示すように、ミラー１４をミラー支持部材１６に取付するには、ミラー 取付部１６ｃの平坦面１６ｂにミラー１４の裏面１４ｂを密着させ、穴１６ｄを 通してたとえば接着剤注入器２０によりミラー取付部１６ｃとミラー１４との間 に接着剤Ｂを供給する。その際、穴１６ｄの面取り部１６ｇとミラー１４の裏面 １４ｂとの隙間に万遍なく接着剤Ｂを入り込ませる。図３では、穴１６ｄがミラ ー１４の下側に位置しているが、穴１６ｄがミラー１４の上になる姿勢で接着剤 Ｂを供給してよい。供給された接着剤Ｂが乾いて固まると、ミラー１４がミラー 取付部１６ｃに接着固定される。

【００２２】 このように、本実施例では、ミラー取付部１６ｃの平坦面１６ｂにミラー１４ の裏面１４ｂを密着させた状態で、中心線上の穴１６ｄを通してミラー取付部１ ６ｃとミラー１４の裏面１４ｂとの間に適量の接着剤Ｂを供給し、穴１６ｄ内の 接着剤Ｂでミラー１４をミラー取付部１６ｃに接着固定するようにしたので、ミ ラー１４は平坦面１６ｄに密着したままであり、浮いた姿勢または傾いた姿勢で 取付されることはない。また、接着剤Ｂが凝固収縮したときの応力は穴１６ｄの 付近つまりミラー取付部１６ｃの中心線上付近で作用するため、ミラー１４は曲 げモーメントを受けず、湾曲したり反ったりすることはない。したがって、ミラ ー１４は、ミラー支持部材１６に正しい姿勢で安定に固定され、ミラー回転駆動 軸１２に正確に芯合わせされて取付される。

【００２３】 また、レーザ光線が常にミラー１４の中心位置に入射し、ミラー１４にレーザ 光のエネルギが蓄積し難くいため、接着材Ｂは溶け難く、ミラー１４は正しい姿 勢を安定に保つ。このため、ミラー１４で反射されるレーザ光のビームスポット が経時的または温度変化でぼけたり歪むようなことはない。

【００２４】 本実施例では、ミラー取付部１６ｃの平坦面１６ｂに臨む穴１６ｄの縁部に面 取り部１６ｇを設けたので、ミラー取付部１６ｃおよびミラー１４間の有効接着 面積を増やしている。しかし、強力な接着剤Ｂを用いる場合には、たとえば図４ に示すように、そのような面取り部１６ｇを設けずに、穴１６ｄに接着剤Ｂを供 給するようにしてもよい。また、穴１６ｇの個数、位置、構造、形状、サイズ等 も任意に選択することができる。特に、構造に関しては、たとえばミラー取付部 １６ｃの側面から平坦面１６ｂまで延在するようなものでも可能である。

【００２５】 図５に、参考として、従来のオプティカル・スキャナにおけるミラー取付構造 を示す。従来は、図５の(A) に示すように、ミラー支持部材１００の平坦なミラ ー取付面に接着剤Ｂを塗り、その上にミラー１４の裏面１４ｂを合わせて、ミラ ー１４を接着固定していた。しかし、このように接着剤Ｂをミラー１４とミラー 取付面との間に介在させる接着方式では、接着剤Ｂの塗布量のバラツキによって ミラー１４がミラー取付面と平行にならずに傾いた姿勢で接着固定されるおそれ があった。また、ミラー取付面から外へあふれ出た接着剤Ｂが固まって収縮した ときにミラー１４の端部に応力が加わり、図５の(B) に示すようにミラー１４が 反ることもあった。

【００２６】 再び図１において、本実施例のオプティカル・スキャナ１０には、板片状のス キャナ取付部材２２が装着される。このスキャナ取付部材２２は、オプティカル ・スキャナ１０をオプティカル・スキャナ取付体に正しい位置および正しい向き で取付固定するためのものである。

【００２７】 以下、図６〜図８につき本実施例によるオプティカル・スキャナ取付方法を説 明する。

【００２８】 図６において、オプティカル・スキャナ１０の取付面１０ａの中心部より面と 垂直にミラー回転駆動軸１２が突出し、取付面１０ａの四隅にはそれぞれ螺子穴 １０ｂが形成されている。スキャナ取付部材２２の中心部には、後述するオプテ ィカル・スキャナ取付体３０のスキャナ取付用開口３０ａと対応する円形の開口 ２２ａが設けられ、この開口２２ａの周縁部でオプティカル・スキャナ１０と接 触する面と反対側の面より環状のフランジ２２ｂが突設されている。スキャナ取 付部材２２は、少なくとも長手方向においてオプティカル・スキャナ１０の取付 面１０ａよりはみ出すサイズを有しており、そのはみ出た両端部分にボルト通し 穴２２ｄが穿孔されており、また、オプティカル・スキャナ１０の螺子穴１０ｂ と対応する位置にもボルト通し穴２２ｃが穿孔されている。

【００２９】 本実施例において、後述するオプティカル・スキャナ取付体３０にオプティカ ル・スキャナ１０を取付固定するには、先ずオプティカル・スキャナ２０の取付 面にスキャナ取付部材２２を装着固定する。このスキャナ取付部材２２の装着固 定に際して治具２４を使用する。この治具２４は、任意の堅い材質たとえば樹脂 または金属からなり、ミラー回転駆動軸１２に対して挿通可能な貫通孔２４ａと スキャナ２２のフランジ部２２ｂに対して着脱自在に嵌合可能な円形の外周面２ ４ｂとを有している。

【００３０】 図７に示すように、スキャナ取付部材２２の開口２２ａにミラー回転駆動軸１ ２を通すようにしてスキャナ取付部材２２をオプティカル・スキャナ１０の取付 面１０ａに合わせ、治具２４の貫通孔２４ａにミラー回転駆動軸１２を差し込ん で治具２４の外周面２４ｂをスキャナ取付部材２２のフランジ部２２ｂに嵌入す る。この状態で、ボルト２６を取付部材２２の孔２２ｃを通してオプティカル・ スキャナ１０の取付面１０ａの螺子穴１０ａに螺合して締結固定する。全ての螺 子穴１０ａにボルト２６を締結固定してから、治具２４を抜き取る。その結果、 オプティカル・スキャナ１０とスキャナ取付部材２２との組立体が得られる。こ の組立体においては、フランジ部２２ｂの中心位置にミラー回転駆動軸１２が正 確に位置決め（芯合わせ）されている。

【００３１】 次に、図８に示すように、取付部材２４のフランジ部２２ｂがスキャナ取付用 開口３０ａに嵌合するようにして、オプティカル・スキャナ取付体３０にオプテ ィカル・スキャナ１０およびスキャナ取付部材２２の組立体を配置する。スキャ ナ取付用開口３０ａに対して、フランジ部２２ｂが正確に位置決めされることに より、ミラー回転駆動軸１２も正確に位置決め（芯合わせ）されることになる。 スキャナ取付用開口３０ａの周囲には、スキャナ取付部材２２の穴２２ｄと対応 する位置に螺子穴３０ｂが設けられている。これらの螺子穴３０ｂに穴２２ｄを 通してボルト２８を螺着することで、オプティカル・スキャナ１０がスキャナ取 付部材２２を介してオプティカル・スキャナ取付体３０に取付固定される。ミラ ー１０は、芯合わせされたミラー回転駆動軸１２にミラー支持部材１６を介して 取付固定されるため、オプティカル・スキャナ取付体３０の所定位置に所定の向 きで配置される。

【００３２】 このように、本実施例のオプティカル・スキャナ取付方法によれば、オプティ カル・スキャナ取付体３０のスキャナ取付用開口３０ａに嵌合可能な位置決め用 のフランジ部２２ｂを有する取付部材２２をＸ軸オプティカル・スキャナ１０の 取付面１０ａに合わせ、ミラー回転駆動軸１２に対して挿通可能な穴２４ａとフ ランジ部２２ｂに対して着脱自在に嵌合可能な外周面とを有する治具２４を用い てスキャナ取付部材２２をミラー回転駆動軸１２に位置合わせ（芯合わせ）して オプティカル・スキャナ１０の取付面１０ａに取付固定し、次いでスキャナ取付 部材２２のフランジ部２２ｂをスキャナ取付用開口３０ａに嵌合させてスキャナ 取付部材２２をオプティカル・スキャナ取付体３０に取付固定する。

【００３３】 これにより、オプティカル・スキャナ１０のミラー回転駆動軸１２がオプティ カル・スキャナ取付体３０のスキャナ取付用開口３０ａに正確に位置決め（芯合 わせ）されるとともに、ミラー１４がオプティカル・スキャナ取付体１０に対し て正しい位置および正しい向きで回転可能に配置される。

【００３４】 次に、図９〜図１１につき本考案の一実施例によるレーザマーキング装置を説 明する。図９はこの実施例によるレーザマーキング装置のレーザ出射ユニットの 構成を示す断面図であり、図１０は該レーザ出射部内の要部の外観構成を示す斜 視図である。図１１は、レーザ出射ユニットにおけるレーザスキャニング機構の 要部の構成を示す斜視図である。

【００３５】 図９および図１０において、この実施例におけるレーザ出射ユニットは、筐体 ３１を有するユニットであり、円筒状の光路カバー３２を介してレーザ発振部（ 図示せず）と接続されている。筐体３１内には、たとえばアルミニウムからなる 堅牢なオプティカル・スキャナ取付体３０が収容されている。

【００３６】 オプティカル・スキャナ取付体３０の一側面（左側面）３０ｃおよび上面３０ ｄには、Ｘ軸オプティカル・スキャナ１０ＸおよびＹ軸オプティカル・スキャナ １０Ｙがスキャナ取付部材２２Ｘ，２２Ｙを介してそれぞれ壁面に垂直に取付固 定される。レーザ光ＬＢをスキャニングするためのレーザ走査部１５を構成する Ｘ軸回転ミラー１４ＸおよびＹ軸回転ミラー１４Ｙは、オプティカル・スキャナ 取付体３０の室内に配置され、室外のＸ軸オプティカル・スキャナ１０Ｘおよび Ｙ軸オプティカル・スキャナ１０Ｙの回転駆動軸にそれぞれ結合されている。

【００３７】 オプティカル・スキャナ取付体３０の正面はほぼ全面にわたって開口されてお り、この開口に密閉板３４がボルト３６によって着脱可能に取付される。この密 閉板３４は、レーザ走査部１５の組立てまたは修理を行う場合に取外しされる。

【００３８】 オプティカル・スキャナ取付体３０の他方の側面（右側面）３０ｅには、レー ザ発振部からのレーザ光ＬＢを室内のレーザ走査部１５へ通し入れるためのレー ザ光入口３３が設けられている。また、オプティカル・スキャナ取付体３０の下 面３０ｆには、レーザ走査部１５で反射したレーザ光ＬＢを後述する室外のｆθ レンズ４０側へ出すためのレーザ光出口３５が設けられている。筒状のレンズ保 持体３８は、レーザ光出口３５の開口部にスペーサ４２を介してボルト４４によ って着脱可能に取付される。

【００３９】 本実施例のレーザ出射ユニットにおいては、チャンバ型のオプティカル・スキ ャナ取付体３０に板片状のスキャナ取付部材２２Ｘ，２２Ｙを介してＸ軸オプテ ィカル・スキャナ１０ＸおよびＹ軸オプティカル・スキャナ１０Ｙが正しい位置 および向きで取付固定されるとともに、オプティカル・スキャナ取付体３０の室 内にＸ軸回転ミラー１０ＸおよびＹ軸回転ミラー１０Ｙが正しい位置および向き で回転可能に配置される。これにより、調整作業を必要とするアライメント機構 を設けなくて済む。また、オプティカル・スキャナ取付体３０の中に光路が設け られるので、光路カバーを設ける必要もない。このため、レーザ出射部が嵩張ら ず小型軽量であり、回転支持軸（図示せず）に接続して首振り型に構成すること も容易である。

【００４０】 図１１に示すレーザスキャニング機構において、Ｘ軸回転ミラー１４Ｘおよび Ｙ軸回転ミラー１４Ｙは、上記実施例のオプティカル・スキャナにおけるミラー 取付構造のミラー支持部材１６と同様の構成を有するミラー支持部材１６Ｘ，１ ６Ｙを介してＸ軸オプティカル・スキャナ１０ＸおよびＹ軸オプティカル・スキ ャナ１０Ｙのミラー回転駆動軸１２Ｘ，１２Ｙにそれぞれ取付される。これによ り、Ｘ軸回転ミラー１４ＸはＸ軸オプティカル・スキャナ１０Ｘによって回転駆 動され、Ｙ軸回転ミラー１４ＹはＹ軸オプティカル・スキャナ１０Ｙによって回 転駆動される。両スキャナ１０Ｘ，１０Ｙには、制御部（図示せず）よりケーブ ル（図示せず）を介して両ミラー１４Ｘ，１４Ｙを振る角度を指示するスキャニ ング制御信号が与えられる。

【００４１】 オプティカル・スキャナ取付体３０の室内に入って来たレーザ光ＬＢは、先ず Ｙ軸回転ミラー１４Ｙに入射して、そこで全反射してからＸ軸回転ミラー１４Ｘ に入射し、このミラー１４Ｘで全反射してのちｆθレンズ４０を通って被加工物 Ｗのマーキング面に集光照射する。マーキング面上のレーザビームスポットの位 置は、Ｘ方向においてはＸ軸回転ミラー１４Ｘの角度によってきまり、Ｙ方向に おいてはＹ軸回転ミラー１４Ｙの角度によってきまる。したがって、レーザ発振 部からのレーザ光が所定のタイミングで入ってくる度に、それと同期して両スキ ャナ１０Ｘ，１０ＹがＸ軸回転ミラー１４Ｘ、Ｙ軸回転ミラー１４Ｙをそれぞれ 所定の角度で振ることにより、被加工物Ｗの被刻印位置にレーザ光ＬＢのビーム スポットが集光照射される。

【００４２】 このようなレーザスキャニング機構において、被加工物Ｗに所望のパターンを 正確に描画するためには、Ｘ軸オプティカル・スキャナ１０ＸおよびＹ軸オプテ ィカル・スキャナ１０Ｙがそれぞれ正しい位置および向きで配置される必要があ るだけでなく、それらのスキャナのミラー回転駆動軸１２Ｘ，１２Ｙにそれぞれ Ｘ軸回転ミラー１４ＸおよびＹ軸回転ミラー１４Ｙが正確に芯合わせされて取付 される必要がある。

【００４３】 本実施例のレーザ出射ユニットにおいては、ミラー支持部材１６Ｘ，１６Ｙに よってＸ軸回転ミラー１４ＸおよびＹ軸回転ミラー１４Ｙがそれぞれミラー回転 駆動軸１２Ｘ，１２Ｙに正確に芯合わせされ、かつ経時的にも温度変化に対して も安定に取付されるので、レーザビームスポットがぼけたり歪むことはなく、被 加工物Ｗに所望のパターンを常に正確に描画し、マーキング加工の品質・信頼性 を保証することができる。

【００４４】 なお、上記した実施例はレーザマーキング装置に係るものであったが、本考案 によるオプティカル・スキャナにおけるミラー取付構造は他のレーザ装置にも適 用可能である。

【００４５】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案のレーザマーキング装置によれば、ミラー取付部 の平坦面にミラーの裏面を合わせた状態で、開口を通してミラー取付部とミラー 裏面との間に接着剤を供給し、開口内の接着剤でミラーをミラー取付部に接着固 定することにより、ミラーが傾いたり、曲がったり、反ったりすることなくミラ ー回転駆動軸に正確に芯合わせして安定に取付されるので、被加工物に所望のパ ターンを正確にマーキングすることが可能であり、マーキング加工の品質・信頼 性を保証することができる。

【００４６】 また、本考案のオプティカル・スキャナにおけるミラー取付構造によれば、ミ ラー取付部の平坦面にミラーの裏面を合わせた状態で、開口を通してミラー取付 部とミラー裏面との間に接着剤を供給し、開口内の接着剤でミラーをミラー取付 部に接着固定することにより、ミラーが傾いたり、曲がったり、反ったりするこ となくミラー回転駆動軸に正確に芯合わせして安定に取付されるので、レーザ光 のスキャニングを正確に行うことが可能であり、スキャニング動作の信頼性を保 証することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例によるオプティカル・スキャ
ナにおけるミラー取付構造を示す分解斜視図である。

【図２】実施例のミラー取付構造においてミラー支持部
材にミラーが取付されている状態を示す側面図である。

【図３】実施例のミラー取付構造においてミラー支持部
材にミラーが取付されている状態を示す横断面図であ
る。

【図４】実施例のミラー取付構造の一変形例を示す横断
面図である。

【図５】従来のオプティカル・スキャナにおけるミラー
取付構造の不具合を示す断面図である。

【図６】実施例におけるオプティカル・スキャナ取付方
法を説明するための分解斜視図である。

【図７】実施例におけるオプティカル・スキャナ取付方
法を説明するための斜視図である。

【図８】実施例におけるオプティカル・スキャナ取付方
法を説明するための部分断面図である。

【図９】本考案の一実施例によるレーザマーキング装置
のレーザ出射ユニットの構成を示す断面図である。

【図１０】実施例のレーザ出射ユニットの要部の外観構
成を示す斜視図である。

【図１１】実施例におけるレーザスキャニング機構の構
成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０ オプティカル・スキャナ １０Ｘ Ｘ軸オプティカル・スキャナ １０Ｙ Ｙ軸オプティカル・スキャナ １２，１２Ｘ，１２Ｙ レーザ回転駆動軸 １４ ミラー １４Ｘ Ｘ軸回転ミラー １４Ｙ Ｙ軸回転ミラー １６，１６Ｘ，１６Ｙ ミラー支持部材 １６ａ 基端部 １６ｂ 平坦部 １６ｃ ミラー取付部 １６ｄ 穴（開口） ３０ オプティカル・スキャナ取付体

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 オプティカル・スキャナのミラー回転駆
   動軸に固着される基端部と、前記基端部から軸方向に延
   在し軸方向に平行な平坦面を有するミラー取付部と、前
   記ミラー取付部に形成された１つまたは複数の開口とを
   有し、前記平坦面に前記ミラーの裏面を合わせ、前記開
   口を通して前記ミラー取付部と前記ミラーの裏面との間
   に接着剤を供給し、前記接着材によって前記ミラー支持
   部に前記ミラーを固着せしめるように構成したことを特
   徴とするレーザマーキング装置。
2. 【請求項２】 オプティカル・スキャナのミラー回転駆
   動軸にミラーを取付するミラー取付構造において、 前記ミラー回転駆動軸に固着される基端部と、前記基端
   部から軸方向に延在し軸方向に平行な平坦面を有するミ
   ラー取付部と、前記ミラー取付部に形成された１つまた
   は複数の開口とを有し、前記平坦面に前記ミラーの裏面
   を合わせ、前記開口を通して前記ミラー取付部と前記ミ
   ラーの裏面との間に接着剤を供給し、前記接着材によっ
   て前記ミラー取付部に前記ミラーを固着せしめるように
   構成したことを特徴とするオプティカル・スキャナにお
   けるミラー取付構造。