JPH078745A - レーザによる有害ガス連続分解装置 - Google Patents
レーザによる有害ガス連続分解装置Info
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- JPH078745A JPH078745A JP18543893A JP18543893A JPH078745A JP H078745 A JPH078745 A JP H078745A JP 18543893 A JP18543893 A JP 18543893A JP 18543893 A JP18543893 A JP 18543893A JP H078745 A JPH078745 A JP H078745A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ光による有害ガスの分解に際し、光子
ロスを最小限にしつつ反応生成物によるエネルギ効率の
低下を抑制する。 【構成】 ガス体へレーザを照射することにより含有さ
れた有害物質を除去する装置であって、中央の平面鏡と
その周囲の凹面鏡からなる多重反射鏡を備えたレーザ反
応容器をガス流路に直列状態で多段に配置するととも
に、各レーザ反応容器間を分解生成物吸収材を充填した
通路部によって接続し、各レーザ反応容器内で光化学反
応により生成した分解生成物を前記通路部で除去しつつ
下流側のレーザ反応容器にガスを導入することを連続し
て繰り返すことにより有害物を連続除去可能とした。
ロスを最小限にしつつ反応生成物によるエネルギ効率の
低下を抑制する。 【構成】 ガス体へレーザを照射することにより含有さ
れた有害物質を除去する装置であって、中央の平面鏡と
その周囲の凹面鏡からなる多重反射鏡を備えたレーザ反
応容器をガス流路に直列状態で多段に配置するととも
に、各レーザ反応容器間を分解生成物吸収材を充填した
通路部によって接続し、各レーザ反応容器内で光化学反
応により生成した分解生成物を前記通路部で除去しつつ
下流側のレーザ反応容器にガスを導入することを連続し
て繰り返すことにより有害物を連続除去可能とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザによる有害ガス連
続分解装置に係り、特にフロンやその他の有害物質をレ
ーザ光の照射によって分解し無害化する処理を連続して
行うようにしたレーザによる有害ガス連続分解装置に関
する。
続分解装置に係り、特にフロンやその他の有害物質をレ
ーザ光の照射によって分解し無害化する処理を連続して
行うようにしたレーザによる有害ガス連続分解装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、有害ガスに対してレーザ光を照射
して光化学反応により分解する方法が知られている。こ
の方法は円筒状に形成されたレーザ反応容器を有し、こ
の容器の両端部分にレーザ光の反射鏡を設置しておき、
一方の反射鏡側の中心部からレーザ光を導入し、容器内
部で反射を繰り返すようにしておく。そして、容器の一
端側からガスを導入するとともに他端側から排出できる
ようにしておき、ガス体に光反応が進行しなくなるまで
レーザ光を照射して反応させるようにしている。反応容
器内の一対の反射鏡間で反復するレーザ光のエネルギに
より、内部ガスに光化学反応を起こして分解処理するの
である。
して光化学反応により分解する方法が知られている。こ
の方法は円筒状に形成されたレーザ反応容器を有し、こ
の容器の両端部分にレーザ光の反射鏡を設置しておき、
一方の反射鏡側の中心部からレーザ光を導入し、容器内
部で反射を繰り返すようにしておく。そして、容器の一
端側からガスを導入するとともに他端側から排出できる
ようにしておき、ガス体に光反応が進行しなくなるまで
レーザ光を照射して反応させるようにしている。反応容
器内の一対の反射鏡間で反復するレーザ光のエネルギに
より、内部ガスに光化学反応を起こして分解処理するの
である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のレー
ザ反応容器ではレーザを反射させる反射鏡が一対の対面
する平面鏡によって構成され、平面鏡へのレーザ光入射
角度を小さくしても反射を数回繰り返すとレーザ光は系
外に出てしまい、光子ロスが大きいとという欠点があっ
た。
ザ反応容器ではレーザを反射させる反射鏡が一対の対面
する平面鏡によって構成され、平面鏡へのレーザ光入射
角度を小さくしても反射を数回繰り返すとレーザ光は系
外に出てしまい、光子ロスが大きいとという欠点があっ
た。
【０００４】このような光子ロスを小さくするため、レ
ーザ光の反射経路に工夫を懲らしたものや、集光を多段
に行ってレーザ出力の有効利用を図ろうとするものなど
が提案されている（実開昭６３−１４１６３１号公報、
特開平２−２５８０２７号公報）。しかし、反射を繰り
返してレーザ光路を長くすると反射ロスに起因して反射
回数の限界があり、十分な有効光路長を確保することが
できない問題もあった。また、レーザ光の伝播距離が長
すぎると、ビーム径が拡大しすぎて分解容器壁で遮蔽さ
れてしまう等の問題をきたしてしまう。更に、反射ミラ
ーを用いることにより反射を繰り返してレーザ光路を長
くした場合、反射ロスに起因して反射回数の限界があ
り、十分な有効光路長を確保することができない問題も
あった。
ーザ光の反射経路に工夫を懲らしたものや、集光を多段
に行ってレーザ出力の有効利用を図ろうとするものなど
が提案されている（実開昭６３−１４１６３１号公報、
特開平２−２５８０２７号公報）。しかし、反射を繰り
返してレーザ光路を長くすると反射ロスに起因して反射
回数の限界があり、十分な有効光路長を確保することが
できない問題もあった。また、レーザ光の伝播距離が長
すぎると、ビーム径が拡大しすぎて分解容器壁で遮蔽さ
れてしまう等の問題をきたしてしまう。更に、反射ミラ
ーを用いることにより反射を繰り返してレーザ光路を長
くした場合、反射ロスに起因して反射回数の限界があ
り、十分な有効光路長を確保することができない問題も
あった。
【０００５】また、レーザ反応容器内で分解が進行する
と、レーザ光の照射時間が長くなると分解するガスの濃
度が減少するものの、一定以上は反応が進行しないため
平衡状態となる。これは光反応によって生じた反応生成
物が未反応のガスと混在し、レーザ光のエネルギが未反
応のガスに作用すると同時に反応生成物にも作用し、エ
ネルギ利用効率が低下し、あるいは逆反応によって平衡
状態となり、反応が進行しなくなると考えられる。
と、レーザ光の照射時間が長くなると分解するガスの濃
度が減少するものの、一定以上は反応が進行しないため
平衡状態となる。これは光反応によって生じた反応生成
物が未反応のガスと混在し、レーザ光のエネルギが未反
応のガスに作用すると同時に反応生成物にも作用し、エ
ネルギ利用効率が低下し、あるいは逆反応によって平衡
状態となり、反応が進行しなくなると考えられる。
【０００６】本発明は、上記従来の問題点に着目し、レ
ーザ光が反応容器外に出て効率を低下させるような光子
ロスを最小限に抑制するとともに、光化学反応によって
生成した物質によるエネルギ効率の低下を同時に抑制
し、もって高い効率で有害ガスを分解することができる
ようにしたレーザによる有害ガス連続分解装置を提供す
ることを目的とする。
ーザ光が反応容器外に出て効率を低下させるような光子
ロスを最小限に抑制するとともに、光化学反応によって
生成した物質によるエネルギ効率の低下を同時に抑制
し、もって高い効率で有害ガスを分解することができる
ようにしたレーザによる有害ガス連続分解装置を提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るレーザによる有害ガス連続分解装置
は、ガス体へレーザを照射することにより含有された有
害物質を除去する装置であって、中央の平面鏡とその周
囲の凹面鏡からなる多重反射鏡を備えたレーザ反応容器
をガス流路に直列状態で多段に配置するとともに、各レ
ーザ反応容器間を分解生成物吸収材を充填した通路部に
よって接続し、各レーザ反応容器内で光化学反応により
生成した分解生成物を前記通路部で除去しつつ下流側の
レーザ反応容器にガスを導入することを連続して繰り返
すことにより有害物を連続除去可能としたものである。
この場合において、前記レーザ反応容器はレーザ光を内
部ガス流れ方向と逆方向に照射することが望ましい。
に、本発明に係るレーザによる有害ガス連続分解装置
は、ガス体へレーザを照射することにより含有された有
害物質を除去する装置であって、中央の平面鏡とその周
囲の凹面鏡からなる多重反射鏡を備えたレーザ反応容器
をガス流路に直列状態で多段に配置するとともに、各レ
ーザ反応容器間を分解生成物吸収材を充填した通路部に
よって接続し、各レーザ反応容器内で光化学反応により
生成した分解生成物を前記通路部で除去しつつ下流側の
レーザ反応容器にガスを導入することを連続して繰り返
すことにより有害物を連続除去可能としたものである。
この場合において、前記レーザ反応容器はレーザ光を内
部ガス流れ方向と逆方向に照射することが望ましい。
【０００８】
【作用】上記構成によれば、レーザ反応容器に多重反射
鏡を取り付けることにより、１パスで吸収されないレー
ザ光は多重反射鏡で何回も反射するうちに最終的に物質
に吸収される。その結果、短い長さの反応容器で光を有
効に用いて有害ガスを分解することができる。これが多
段に設置され、連続的に処理させるため、大量のフロン
等の有害ガスを効率よく分解処理することができる。ま
た、各反応容器の接続部には反応生成物吸収材が設けら
れ、したがって、前段の反応容器にて反応した結果生成
された物質は次の反応容器に移動する間に吸収される。
これによってレーザ光のエネルギは分解すべきガスに有
効かつ効率よく吸収され、分解を促進させることができ
るのである。
鏡を取り付けることにより、１パスで吸収されないレー
ザ光は多重反射鏡で何回も反射するうちに最終的に物質
に吸収される。その結果、短い長さの反応容器で光を有
効に用いて有害ガスを分解することができる。これが多
段に設置され、連続的に処理させるため、大量のフロン
等の有害ガスを効率よく分解処理することができる。ま
た、各反応容器の接続部には反応生成物吸収材が設けら
れ、したがって、前段の反応容器にて反応した結果生成
された物質は次の反応容器に移動する間に吸収される。
これによってレーザ光のエネルギは分解すべきガスに有
効かつ効率よく吸収され、分解を促進させることができ
るのである。
【０００９】なお、反応容器内部のガスの流れに対して
レーザ光を向流状態で照射するように設定すると、容器
出口部での内部ガスに対して優先的にレーザ光が照射さ
れ、出口での有害ガス濃度を低下させ、同時に拡散によ
る未分解ガスの混入を防止することができるので、分解
能力を高めることができる。
レーザ光を向流状態で照射するように設定すると、容器
出口部での内部ガスに対して優先的にレーザ光が照射さ
れ、出口での有害ガス濃度を低下させ、同時に拡散によ
る未分解ガスの混入を防止することができるので、分解
能力を高めることができる。
【００１０】
【実施例】以下に、本発明に係るレーザによる有害ガス
連続分解装置の具体的実施例を図面を参照して詳細に説
明する。
連続分解装置の具体的実施例を図面を参照して詳細に説
明する。
【００１１】図１は実施例に係る有害ガス連続分解装置
の構成図を示している。図示のように、この装置は複数
のレーザ反応容器１０（１０Ａ〜１０Ｄ）を具備してお
り、各反応容器１０にフロン等の分解対象ガスを順次連
続して通流させるように直列に配列している。
の構成図を示している。図示のように、この装置は複数
のレーザ反応容器１０（１０Ａ〜１０Ｄ）を具備してお
り、各反応容器１０にフロン等の分解対象ガスを順次連
続して通流させるように直列に配列している。
【００１２】実施例に係る装置に用いられる各レーザ反
応容器１０は筒状に形成されており、図２に詳細を示す
ように、一端面にレーザ発光装置１２（１２Ａ〜１２
Ｄ）を取付けてレーザ光１４を反応容器１０の軸線方法
に沿って内部に照射するように構成している。このレー
ザ光１４の入射端面には中央部に平面鏡１６とその周囲
に凹面鏡１８からなる入射側多重反射鏡１９を設け、他
端の反射面側には同様に中央部に平面鏡２０が設けられ
るとともにとその周囲に配設した凹面鏡２２からなる反
射側多重反射鏡２３を備えた構成とされている。反射面
側平面鏡２０は反射光を入射端面側の平面鏡１６の外径
まで拡大するように設定されている。反射面側の凹面鏡
２２の焦点距離は、平面鏡１６からの反射光を反応容器
１０の軸線と平行となるように反射して、入射面側の凹
面鏡１８に向けて再反射するように設定されている。更
に入射面側の凹面鏡１８は反射面側の平面鏡２０に収束
反射させるようにその焦点距離が設定されている。反射
面側ミラーは反射光の焦点位置を多少ずらせるように、
微調整機構がついている。これにより入射したレーザ光
１４は反応容器１０の内部で半永久反射を繰り返すこと
ができるようになっている。なお、レーザ発光装置１２
としてはエキシマレーザ装置が使用されている。これは
フロンガスの元素分解に必要な波長のレーザ光を発生さ
せることができればこれに限定されない。
応容器１０は筒状に形成されており、図２に詳細を示す
ように、一端面にレーザ発光装置１２（１２Ａ〜１２
Ｄ）を取付けてレーザ光１４を反応容器１０の軸線方法
に沿って内部に照射するように構成している。このレー
ザ光１４の入射端面には中央部に平面鏡１６とその周囲
に凹面鏡１８からなる入射側多重反射鏡１９を設け、他
端の反射面側には同様に中央部に平面鏡２０が設けられ
るとともにとその周囲に配設した凹面鏡２２からなる反
射側多重反射鏡２３を備えた構成とされている。反射面
側平面鏡２０は反射光を入射端面側の平面鏡１６の外径
まで拡大するように設定されている。反射面側の凹面鏡
２２の焦点距離は、平面鏡１６からの反射光を反応容器
１０の軸線と平行となるように反射して、入射面側の凹
面鏡１８に向けて再反射するように設定されている。更
に入射面側の凹面鏡１８は反射面側の平面鏡２０に収束
反射させるようにその焦点距離が設定されている。反射
面側ミラーは反射光の焦点位置を多少ずらせるように、
微調整機構がついている。これにより入射したレーザ光
１４は反応容器１０の内部で半永久反射を繰り返すこと
ができるようになっている。なお、レーザ発光装置１２
としてはエキシマレーザ装置が使用されている。これは
フロンガスの元素分解に必要な波長のレーザ光を発生さ
せることができればこれに限定されない。
【００１３】このような構成のレーザ反応容器１０に分
解対象ガスを導入するが、このため各レーザ反応容器１
０の両端部寄りの側壁にガス導入口２４とガス出口２６
を形成している。ガスは反応容器１０の一端側から内部
に供給され、内部を筒軸線方向に沿って移動し、他端側
の出口２６から排出されるようにしている。このような
レーザ反応容器１０を複数段ガス流路に沿って直列に配
置し、ガスが連続して複数の反応容器１０Ａ〜１０Ｄを
流通するようにしている。図示の場合には第１段の反応
容器１０Ａのガス出口２６の直下に第２段反応容器１０
Ｂのガス導入口２４が配置するように容器を互いに平行
に配置することを繰り返し、第３段反応容器１０Ｃは第
１段反応容器１０Ａと同方向に、また第４段反応容器１
０Ｄは第２段反応容器１０Ｂと同方向となるように配置
することにより、全体のガス流路が見掛け上、往復蛇行
流となるように配置設定している。そして、各レーザ反
応容器１０Ａ〜１０Ｄ間を接続管路２８によって連結し
ているが、この接続管路２８にはガス分解生成物を吸収
除去するための吸収材３０を充填し、前段の反応容器１
０での光化学反応によって生成された有害ガスの分解生
成物をここでトラップするものとしている。ここで、有
害ガスとしてフロンガスを対象としている場合には、レ
ーザ光の照射による光化学反応は、
解対象ガスを導入するが、このため各レーザ反応容器１
０の両端部寄りの側壁にガス導入口２４とガス出口２６
を形成している。ガスは反応容器１０の一端側から内部
に供給され、内部を筒軸線方向に沿って移動し、他端側
の出口２６から排出されるようにしている。このような
レーザ反応容器１０を複数段ガス流路に沿って直列に配
置し、ガスが連続して複数の反応容器１０Ａ〜１０Ｄを
流通するようにしている。図示の場合には第１段の反応
容器１０Ａのガス出口２６の直下に第２段反応容器１０
Ｂのガス導入口２４が配置するように容器を互いに平行
に配置することを繰り返し、第３段反応容器１０Ｃは第
１段反応容器１０Ａと同方向に、また第４段反応容器１
０Ｄは第２段反応容器１０Ｂと同方向となるように配置
することにより、全体のガス流路が見掛け上、往復蛇行
流となるように配置設定している。そして、各レーザ反
応容器１０Ａ〜１０Ｄ間を接続管路２８によって連結し
ているが、この接続管路２８にはガス分解生成物を吸収
除去するための吸収材３０を充填し、前段の反応容器１
０での光化学反応によって生成された有害ガスの分解生
成物をここでトラップするものとしている。ここで、有
害ガスとしてフロンガスを対象としている場合には、レ
ーザ光の照射による光化学反応は、
【００１４】
【化１】ＣＣｌ2Ｆ2 → Ｃｌ2 ＋ ＣＦ2 で示される。
【００１５】このような光化学反応によって生成した特
にＣｌ2は光反応速度を低下させる原因となる生成物で
あるため、実施例では、前記接続管路２８に充填される
分解生成物吸収材３０としてソーダ石灰を用いるように
している。したがって、第１段のレーザ反応容器１０Ａ
で分解されたガスが第２段反応容器１０Ｂに流れる際
に、分解生成物吸収材３０を通流し、ここで分解生成物
Ｃｌ2を除いた未反応ガスＣＣｌ2Ｆ2および分解生成物
ガスＣＦ2の混合ガスが下流側の第２段反応容器１０Ｂ
に流れるのである。この過程を以後繰り返し、最終的に
第４段反応容器１０Ｄから排出されるガスは無害化ガス
となるのである。
にＣｌ2は光反応速度を低下させる原因となる生成物で
あるため、実施例では、前記接続管路２８に充填される
分解生成物吸収材３０としてソーダ石灰を用いるように
している。したがって、第１段のレーザ反応容器１０Ａ
で分解されたガスが第２段反応容器１０Ｂに流れる際
に、分解生成物吸収材３０を通流し、ここで分解生成物
Ｃｌ2を除いた未反応ガスＣＣｌ2Ｆ2および分解生成物
ガスＣＦ2の混合ガスが下流側の第２段反応容器１０Ｂ
に流れるのである。この過程を以後繰り返し、最終的に
第４段反応容器１０Ｄから排出されるガスは無害化ガス
となるのである。
【００１６】ところで、前記レーザ反応容器１０内では
ガス導入口２４からガス出口２６に向かって筒軸方向に
沿ったガス流を生じ、これに対してレーザ発光装置１２
から発射されたレーザ光１４が照射されるが、このレー
ザ照射方向がガス出口２６からガス導入口２４に至る方
向となるように照射方向を設定している。すなわち、反
応容器１０内のガス流に対してレーザ光１４の照射方向
が向流となるように設定しているのである。このため、
往復蛇行流となるように配置されている反応容器１０Ａ
〜１０Ｄに対し、図１に示すように、レーザ発光装置１
２は対応する反応容器１０のガス出口２６側近傍の端面
を入射端面とするように配置されている。このため、図
示の例では、レーザ発光装置１２を多段の反応容器１０
Ａ〜１０Ｄに対して交互に左右に位置するよう千鳥配置
されている。
ガス導入口２４からガス出口２６に向かって筒軸方向に
沿ったガス流を生じ、これに対してレーザ発光装置１２
から発射されたレーザ光１４が照射されるが、このレー
ザ照射方向がガス出口２６からガス導入口２４に至る方
向となるように照射方向を設定している。すなわち、反
応容器１０内のガス流に対してレーザ光１４の照射方向
が向流となるように設定しているのである。このため、
往復蛇行流となるように配置されている反応容器１０Ａ
〜１０Ｄに対し、図１に示すように、レーザ発光装置１
２は対応する反応容器１０のガス出口２６側近傍の端面
を入射端面とするように配置されている。このため、図
示の例では、レーザ発光装置１２を多段の反応容器１０
Ａ〜１０Ｄに対して交互に左右に位置するよう千鳥配置
されている。
【００１７】このように構成されたレーザによる有害ガ
ス連続分解装置では、有害ガスが多段のレーザ反応容器
１０に連続して通流し、各反応容器１０内では多重反射
鏡１９、２１によってレーザ光１４は外部に洩れ出るこ
となくガスに作用し、レーザエネルギが完全にガスに吸
収されるまで反射を繰り返すため、有害ガスの分解反応
を格段に向上させることができる。特に多段に取り付
け、多重反射鏡１９、２１を有するレーザ反応容器１０
を用いているため、単体で５倍以上の光路長を得ること
ができ、コンパクトな装置で大量のフロン等の有害ガス
を分解処理することができる。また、各反応容器１０間
に反応生成物吸収材３０を設けているため、光化学反応
の抑制作用をなす生成物を除去して次の反応容器１０に
ガスを送り込むことができ、もって反応生成物に吸収さ
れるエネルギロスを大幅に減少することができる。この
吸収材３０がない場合に比較し、実施例装置では光子効
率が２〜３倍に向上した。
ス連続分解装置では、有害ガスが多段のレーザ反応容器
１０に連続して通流し、各反応容器１０内では多重反射
鏡１９、２１によってレーザ光１４は外部に洩れ出るこ
となくガスに作用し、レーザエネルギが完全にガスに吸
収されるまで反射を繰り返すため、有害ガスの分解反応
を格段に向上させることができる。特に多段に取り付
け、多重反射鏡１９、２１を有するレーザ反応容器１０
を用いているため、単体で５倍以上の光路長を得ること
ができ、コンパクトな装置で大量のフロン等の有害ガス
を分解処理することができる。また、各反応容器１０間
に反応生成物吸収材３０を設けているため、光化学反応
の抑制作用をなす生成物を除去して次の反応容器１０に
ガスを送り込むことができ、もって反応生成物に吸収さ
れるエネルギロスを大幅に減少することができる。この
吸収材３０がない場合に比較し、実施例装置では光子効
率が２〜３倍に向上した。
【００１８】更に、レーザ反応容器１０へのレーザ光１
４を内部ガス流れに向流的に照射するようにしているた
め、反応容器１０のガス出口２６のガスに優先的にレー
ザ光１４が照射されるので、拡散による未分解のフロン
ガス混入を大幅に防ぐことができる。よって、反応容器
１０から出てきたガスのフロン濃度はガス流と同方向
（平行流）とした場合に比較し、低濃度のフロンガスを
抽出することができ、分解エネルギを有効に利用するこ
とができる。
４を内部ガス流れに向流的に照射するようにしているた
め、反応容器１０のガス出口２６のガスに優先的にレー
ザ光１４が照射されるので、拡散による未分解のフロン
ガス混入を大幅に防ぐことができる。よって、反応容器
１０から出てきたガスのフロン濃度はガス流と同方向
（平行流）とした場合に比較し、低濃度のフロンガスを
抽出することができ、分解エネルギを有効に利用するこ
とができる。
【００１９】なお、実施例ではレーザ反応容器１０を内
部ガス流れが左右交互になるように多段に配置したが、
これを同方向流れとなるように設定し、レーザ発光装置
１２を同一側に全て配置するようにしてもよい。また、
各反応容器１０に対応して各発光装置１２を設けず、大
出力の発光装置を用いて発振されたレーザ光を分光して
複数の反応容器１０に導くようにすることも可能であ
る。
部ガス流れが左右交互になるように多段に配置したが、
これを同方向流れとなるように設定し、レーザ発光装置
１２を同一側に全て配置するようにしてもよい。また、
各反応容器１０に対応して各発光装置１２を設けず、大
出力の発光装置を用いて発振されたレーザ光を分光して
複数の反応容器１０に導くようにすることも可能であ
る。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るレー
ザによる有害ガス連続分解装置は、反応容器内で多重反
射させたレーザ光を有害ガスに作用させるように、反応
容器から排出されるガス中からエネルギロスを生じる分
解生成物を吸収させて残部ガスを排出することを数段階
にわたって繰り返し、連続して有害ガスを分解させるよ
うに構成したので、レーザ光が反応容器外に出て効率を
低下させるような光子ロスを最小限に抑制するととも
に、光化学反応によって生成した物質によるエネルギ効
率の低下を同時に抑制し、もって高い効率で有害ガスを
分解することができるという優れた効果が得られる。
ザによる有害ガス連続分解装置は、反応容器内で多重反
射させたレーザ光を有害ガスに作用させるように、反応
容器から排出されるガス中からエネルギロスを生じる分
解生成物を吸収させて残部ガスを排出することを数段階
にわたって繰り返し、連続して有害ガスを分解させるよ
うに構成したので、レーザ光が反応容器外に出て効率を
低下させるような光子ロスを最小限に抑制するととも
に、光化学反応によって生成した物質によるエネルギ効
率の低下を同時に抑制し、もって高い効率で有害ガスを
分解することができるという優れた効果が得られる。
【図１】実施例に係るレーザによる有害ガス連続分解装
置の構成図である。
置の構成図である。
【図２】同装置に用いるレーザ反応容器の多重反射経路
の説明図である。
の説明図である。
１０（１０Ａ〜１０Ｄ） レーザ反応容器 １２（１２Ａ〜１０Ｄ） レーザ発光装置 １４ レーザ光 １６ 平面鏡 １８ 凹面鏡 １９ 入射側多重反射鏡 ２０ 平面鏡 ２２ 凹面鏡 ２３ 反射側多重反射鏡 ２４ ガス導入口 ２６ ガス出口 ２８ 接続管路 ３０ 分解生成物吸収材（ソー
ダ石灰）
ダ石灰）
Claims (2)
- 【請求項１】 ガス体へレーザを照射することにより含
有された有害物質を除去する装置であって、中央の平面
鏡とその周囲の凹面鏡からなる多重反射鏡を備えたレー
ザ反応容器をガス流路に直列状態で多段に配置するとと
もに、各レーザ反応容器間を分解生成物吸収材を充填し
た通路部によって接続し、各レーザ反応容器内で光化学
反応により生成した分解生成物を前記通路部で除去しつ
つ下流側のレーザ反応容器にガスを導入することを連続
して繰り返すことにより有害物を連続除去可能としたこ
とを特徴とするレーザによる有害ガス連続分解装置。 - 【請求項２】 前記レーザ反応容器はレーザ光を内部ガ
ス流れ方向と逆方向に照射することを特徴とする請求項
１に記載のレーザによる有害ガス連続分解装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18543893A JP2926205B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | レーザによる有害ガス連続分解装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18543893A JP2926205B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | レーザによる有害ガス連続分解装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH078745A true JPH078745A (ja) | 1995-01-13 |
| JP2926205B2 JP2926205B2 (ja) | 1999-07-28 |
Family
ID=16170796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18543893A Expired - Lifetime JP2926205B2 (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | レーザによる有害ガス連続分解装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2926205B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002136867A (ja) * | 2000-05-30 | 2002-05-14 | Canon Inc | 吸着材の再生処理方法及びその装置 |
| JP2005527369A (ja) * | 2002-05-30 | 2005-09-15 | アルカテル | ガスの一体化された光化学処理 |
| WO2018038130A1 (ja) * | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 日本電気株式会社 | 化学反応装置、及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP18543893A patent/JP2926205B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002136867A (ja) * | 2000-05-30 | 2002-05-14 | Canon Inc | 吸着材の再生処理方法及びその装置 |
| JP2005527369A (ja) * | 2002-05-30 | 2005-09-15 | アルカテル | ガスの一体化された光化学処理 |
| WO2018038130A1 (ja) * | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 日本電気株式会社 | 化学反応装置、及びその製造方法 |
| JPWO2018038130A1 (ja) * | 2016-08-26 | 2019-06-24 | 日本電気株式会社 | 化学反応装置、及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2926205B2 (ja) | 1999-07-28 |
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