JPH0786372A - ウエハ搬送フォークの製造方法 - Google Patents
ウエハ搬送フォークの製造方法Info
- Publication number
- JPH0786372A JPH0786372A JP25238193A JP25238193A JPH0786372A JP H0786372 A JPH0786372 A JP H0786372A JP 25238193 A JP25238193 A JP 25238193A JP 25238193 A JP25238193 A JP 25238193A JP H0786372 A JPH0786372 A JP H0786372A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer transfer
- transfer fork
- support
- wafer
- threaded hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Snaps, Bayonet Connections, Set Pins, And Snap Rings (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 ウエハ搬送フォークの上面に設けた支持突起
にウエハを載置して搬送するウエハ搬送フォークにおい
て、ウエハ搬送フォーク１に設けたねじ穴７と、このね
じ穴のねじ溝に塗布した接着剤８と、ウエハ搬送フォー
クのねじ穴の径より大きな径の支持突起とを設け、ウエ
ハ搬送フォークのねじ穴に支持突起をねじ込んで支持突
起周面にねじ溝を塑造してウエハ搬送フォークに支持突
起をねじ込み固定するようにしている。 【効果】 本発明によれば、ウエハ搬送フォークに支持
突起をねじ結合と接着結合によりウエハ搬送フォークに
支持突起を強固に植設することが出来、支持突起が外れ
たり、倒れたりすることなく、ウエハ搬送フォーク上の
ウエハがずれ落ちることはない。
にウエハを載置して搬送するウエハ搬送フォークにおい
て、ウエハ搬送フォーク１に設けたねじ穴７と、このね
じ穴のねじ溝に塗布した接着剤８と、ウエハ搬送フォー
クのねじ穴の径より大きな径の支持突起とを設け、ウエ
ハ搬送フォークのねじ穴に支持突起をねじ込んで支持突
起周面にねじ溝を塑造してウエハ搬送フォークに支持突
起をねじ込み固定するようにしている。 【効果】 本発明によれば、ウエハ搬送フォークに支持
突起をねじ結合と接着結合によりウエハ搬送フォークに
支持突起を強固に植設することが出来、支持突起が外れ
たり、倒れたりすることなく、ウエハ搬送フォーク上の
ウエハがずれ落ちることはない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハを載置してウエ
ハ収納容器と熱処理用ウエハ保持具との間でウエハを移
送するウエハ搬送フォークの製造方法に関するものであ
る。
ハ収納容器と熱処理用ウエハ保持具との間でウエハを移
送するウエハ搬送フォークの製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のウエハ搬送フォークは、分枝型ウ
エハ搬送フォークあるいは単枝型ウエハ搬送フォークが
用いられ、これらのウエハ搬送フォークはウエハ収納容
器内のウエハ間にウエハに接触することなく挿入出来る
ように薄肉形状に構成してある。ウエハの裏面がウエハ
搬送フォークの上面に直接接触するのを防ぐためウエハ
搬送フォークの上面にテフロン、セラミック等の粉塵が
出にくい支持突起を接着して固定していた（特開平５ー
４７８９９９）。
エハ搬送フォークあるいは単枝型ウエハ搬送フォークが
用いられ、これらのウエハ搬送フォークはウエハ収納容
器内のウエハ間にウエハに接触することなく挿入出来る
ように薄肉形状に構成してある。ウエハの裏面がウエハ
搬送フォークの上面に直接接触するのを防ぐためウエハ
搬送フォークの上面にテフロン、セラミック等の粉塵が
出にくい支持突起を接着して固定していた（特開平５ー
４７８９９９）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来もの
は、ウエハ搬送フォークに接着した支持突起上に高温の
ウエハを載置するため、支持突起をウエハ搬送フォーク
に接着する接着剤の接着力が低下して、支持突起が外れ
てウエハの位置がずれて落下する危険があった。このた
めウエハ搬送フォークに穴を設け、この穴に支持突起を
押し込んで固着する方法もあるが、ウエハ搬送フォーク
の板厚が薄いので支持突起が倒れる欠点があった。そこ
で本発明は、ウエハ搬送フォークに支持突起が抜けない
ように強固に固着することを目的とする。
は、ウエハ搬送フォークに接着した支持突起上に高温の
ウエハを載置するため、支持突起をウエハ搬送フォーク
に接着する接着剤の接着力が低下して、支持突起が外れ
てウエハの位置がずれて落下する危険があった。このた
めウエハ搬送フォークに穴を設け、この穴に支持突起を
押し込んで固着する方法もあるが、ウエハ搬送フォーク
の板厚が薄いので支持突起が倒れる欠点があった。そこ
で本発明は、ウエハ搬送フォークに支持突起が抜けない
ように強固に固着することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】ウエハ搬送フォークの上
面に設けた支持突起にウエハを載置して搬送するウエハ
搬送フォークにおいて、ウエハ搬送フォークに設けたね
じ穴と、このねじ穴のねじ溝に塗布した接着剤と、ウエ
ハ搬送フォークのねじ穴の径より大きな径の支持突起と
を設け、ウエハ搬送フォークのねじ穴のねじ溝に支持突
起をねじ込んで支持突起周面にねじ溝に塑造してウエハ
搬送フォークに支持突起をねじ込み固定するようにして
いる。
面に設けた支持突起にウエハを載置して搬送するウエハ
搬送フォークにおいて、ウエハ搬送フォークに設けたね
じ穴と、このねじ穴のねじ溝に塗布した接着剤と、ウエ
ハ搬送フォークのねじ穴の径より大きな径の支持突起と
を設け、ウエハ搬送フォークのねじ穴のねじ溝に支持突
起をねじ込んで支持突起周面にねじ溝に塑造してウエハ
搬送フォークに支持突起をねじ込み固定するようにして
いる。
【０００５】
【作用】上記手段により、ウエハ搬送フォークの上面に
支持突起が強固に固定でき、支持突起がウエハ搬送フォ
ークからはずれて落下することはない。
支持突起が強固に固定でき、支持突起がウエハ搬送フォ
ークからはずれて落下することはない。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図を用いて説明す
る。図１はウエハ搬送フォークの斜視図、図２はウエハ
搬送フォークの側面図、図３、図４、図５は要部断面図
である。１はステンレスあるいはアルミニウム等の金属
材よりなるウエハ搬送フォークで、ウエハ搬送アーム２
にフォーク押え板３を介してボルト４で締め付けて固定
してある。このウエハ搬送フォークの分枝先端部および
基端部上面にテフロン等の樹脂材よりなる支持突起５を
取り付け、支持突起上にウエハ６を載置するように構成
してある。ウエハ搬送フォーク１は、図３に示すよう
に、支持突起５の径Ｄより小さな径ｄのねじ穴７が設け
られ、このねじ穴のねじ溝に接着剤８が塗布されてい
る。このねじ穴に支持突起を他の支持突起の高さを合わ
せながらねじ込むと、ねじ穴７のねじ溝により支持突起
の周面にねじ溝が塑造され、接着剤はねじ穴のねじ溝と
支持突起のねじ溝間に充填されてウエハ搬送フォークの
ねじ穴に支持突起を強固に接着固定するとともに、圧送
された接着剤がねじ穴の端部と支持突起の端面に流出し
て図４に示すように付着しウエハ搬送フォークに支持突
起を接着固定する。この場合ウエハ搬送フォークのねじ
穴周面を図５に示すように面とりを行っておくと、接着
剤の充填が一層良好に行われる。ウエハ搬送フォークに
支持突起を植設したあと支持突起の高さを研磨等により
均一になるように調整してもよい。
る。図１はウエハ搬送フォークの斜視図、図２はウエハ
搬送フォークの側面図、図３、図４、図５は要部断面図
である。１はステンレスあるいはアルミニウム等の金属
材よりなるウエハ搬送フォークで、ウエハ搬送アーム２
にフォーク押え板３を介してボルト４で締め付けて固定
してある。このウエハ搬送フォークの分枝先端部および
基端部上面にテフロン等の樹脂材よりなる支持突起５を
取り付け、支持突起上にウエハ６を載置するように構成
してある。ウエハ搬送フォーク１は、図３に示すよう
に、支持突起５の径Ｄより小さな径ｄのねじ穴７が設け
られ、このねじ穴のねじ溝に接着剤８が塗布されてい
る。このねじ穴に支持突起を他の支持突起の高さを合わ
せながらねじ込むと、ねじ穴７のねじ溝により支持突起
の周面にねじ溝が塑造され、接着剤はねじ穴のねじ溝と
支持突起のねじ溝間に充填されてウエハ搬送フォークの
ねじ穴に支持突起を強固に接着固定するとともに、圧送
された接着剤がねじ穴の端部と支持突起の端面に流出し
て図４に示すように付着しウエハ搬送フォークに支持突
起を接着固定する。この場合ウエハ搬送フォークのねじ
穴周面を図５に示すように面とりを行っておくと、接着
剤の充填が一層良好に行われる。ウエハ搬送フォークに
支持突起を植設したあと支持突起の高さを研磨等により
均一になるように調整してもよい。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、ウエ
ハ搬送フォークに支持突起をねじによる結合と接着剤に
よる結合により固定するのでウエハ搬送フォークに支持
突起を強固に植設することが出来、支持突起が外れた
り、倒れたりすることはないのでウエハ搬送フォーク上
のウエハがずれ落ちることはない。
ハ搬送フォークに支持突起をねじによる結合と接着剤に
よる結合により固定するのでウエハ搬送フォークに支持
突起を強固に植設することが出来、支持突起が外れた
り、倒れたりすることはないのでウエハ搬送フォーク上
のウエハがずれ落ちることはない。
【図１】本発明のウエハ搬送フォークの斜視図
【図２】本発明のウエハ搬送フォークの側面図
【図３】本発明の要部断面図
【図４】本発明の要部断面図
【図５】本発明の他実施例の要部断面図
１ ウエハ搬送フォーク ２ ウエハ搬送アーム ３ フォーク押さえ板 ４ ボルト ５ 支持突起 ６ ウエハ ７ ねじ穴 ８ 接着剤
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエハ搬送フォークの上面に設けた支持
突起にウエハを載置して搬送するウエハ搬送フォークに
おいて、ウエハ搬送フォークに設けたねじ穴と、このね
じ穴のねじ溝に塗布した接着剤と、ウエハ搬送フォーク
のねじ穴の径より大きな径の支持突起とを設け、ウエハ
搬送フォークのねじ穴のねじ溝に支持突起をねじ込んで
支持突起周面にねじ溝を塑造してウエハ搬送フォークに
支持突起をねじ込み固定したことを特徴とするウエハ搬
送フォークの製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25238193A JP3125908B2 (ja) | 1993-09-14 | 1993-09-14 | ウエハ搬送フォークの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25238193A JP3125908B2 (ja) | 1993-09-14 | 1993-09-14 | ウエハ搬送フォークの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0786372A true JPH0786372A (ja) | 1995-03-31 |
| JP3125908B2 JP3125908B2 (ja) | 2001-01-22 |
Family
ID=17236528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25238193A Expired - Lifetime JP3125908B2 (ja) | 1993-09-14 | 1993-09-14 | ウエハ搬送フォークの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3125908B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001035903A (ja) * | 1999-05-28 | 2001-02-09 | Applied Materials Inc | ウェーハ・ハンドリング装置用組立体 |
| JP2008227491A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Applied Materials Inc | 基板移送用高温抗垂下エンドエフェクター |
-
1993
- 1993-09-14 JP JP25238193A patent/JP3125908B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001035903A (ja) * | 1999-05-28 | 2001-02-09 | Applied Materials Inc | ウェーハ・ハンドリング装置用組立体 |
| JP4554765B2 (ja) * | 1999-05-28 | 2010-09-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 機械的ウェーハ・ハンドリング装置用ブレード及びブレード組立体 |
| JP2008227491A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Applied Materials Inc | 基板移送用高温抗垂下エンドエフェクター |
| US9443752B2 (en) | 2007-03-09 | 2016-09-13 | Applied Materials, Inc. | High temperature anti-droop end effector for substrate transfer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3125908B2 (ja) | 2001-01-22 |
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