JPH0783758A - 光電センサ - Google Patents

光電センサ

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Publication number
JPH0783758A
JPH0783758A JP5180797A JP18079793A JPH0783758A JP H0783758 A JPH0783758 A JP H0783758A JP 5180797 A JP5180797 A JP 5180797A JP 18079793 A JP18079793 A JP 18079793A JP H0783758 A JPH0783758 A JP H0783758A
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JP
Japan
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light
light receiving
reflected
optical fiber
lens
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Application number
JP5180797A
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English (en)
Inventor
Arata Nakamura
新 中村
Norisada Horie
教禎 堀江
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Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Publication date
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 物体の反射率の影響を受けることなく投受光
軸を一致させて物体までの距離を検出できるようにする
こと。 【構成】 投光素子13よりレンズ14を介して光を物
体検知領域に集束して投光する。そしてこの投光ビーム
と同軸の反射光をハーフミラー15,16によって反射
する。そして物体27が集束位置にある状態での反射光
のレンズ14で集束される焦点位置に第1の受光素子1
7を配置する。又この焦点位置よりわずかに後方に第2
の受光素子18を配置する。こうすれば第1,第2の受
光素子17,18より得られる受光量の比は、所定範囲
では物体までの距離に対応して変化する。従ってこの比
に基づいて物体までの距離が判別できることとなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は検出物体の反射率の影響
を受けずに検出物体までの距離を検出するようにした光
電センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来物体までの距離を検出するようにし
た光電スイッチとして、特開昭61−150522号に示すもの
が提案されている。これは検出物体の表面の反射率の影
響を受けないようにするため、図10に示すように投光
用光ファイバ1より投光レンズ2を介して光を物体に向
けて照射し、その反射光を受光レンズ3及び一対の光フ
ァイバ4,5で受光し、光ファイバ4,5で得られる受
光レベルの比に基づいて三角測量法の原理により物体ま
での距離を測定するものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかるにこのような従
来の光ファイバを用いた光電スイッチでは、検出物体の
光を照射した位置に反射率が異なる色の模様等がある場
合には、光ファイバ4,5により受光する反射光のレベ
ルも影響を受けるため、検出距離に誤差を生じるという
欠点があった。又図示のように投光用光ファイバ1の光
軸から所定距離隔てた位置で投光ビームより所定角度傾
けた反射光を受光する必要があるため、投受光用ファイ
バ1,4,5の端部やレンズ2,3が含まれるセンサヘ
ッド部分をあまり小さくすることができないという欠点
があった。又本図に破線で示すように開口を有する平板
6の内部に物体が存在する場合には、反射光が受光用フ
ァイバ側に得られず、物体までの距離を測定することが
できなくなるという欠点があった。
【0004】本発明はこのような従来の問題点に鑑みて
なされたものであって、投光軸と反射光の受光軸とを同
軸とすることによって物体の色の模様等の影響がなく、
又センサヘッド自体を小型化し微小な開口を通過する光
によって物体を検出できるようにすることを技術的課題
とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本願の請求項1の発明
は、光を物体検知領域に投光する投光部と、投光部の光
を集束し物体検知領域に照射するレンズと、物体検知領
域の物体が投光ビームの焦点を結ぶ位置にあるときに該
物体から反射され、投光ビームと同一の光軸を有する反
射光のうちレンズで集光された光をその焦点位置で受光
する第1の受光部と、物体検知領域の物体が投光ビーム
の焦点を結ぶ位置にあるときに該物体から反射され、投
光ビームと同一の光軸を有する反射光のうちレンズで集
光された光をその焦点位置より光軸方向にずらせた位置
で受光する第2の受光部と、第1,第2の受光部に得ら
れる受光量に基づいて物体の位置を検出する位置検出手
段と、を有することを特徴とするものである。
【0006】本願の請求項7の発明では、位置検出手段
は、第1,第2の受光部の受光量の比に基づいて物体の
位置を検出することを特徴とするものである。
【0007】本願の請求項8の発明では、位置検出手段
は、第1,第2の受光部の受光量の差に基づいて物体の
位置を検出することを特徴とするものである。
【0008】
【作用】このような特徴を有する本発明によれば、投光
部よりレンズを介して光を物体検知領域に集束して照射
し、その光ビームと同軸の反射光をレンズで集光してい
る。そして物体が投光ビームの焦点を結ぶ位置にあると
きにこの物体より反射された反射光のうちレンズの焦点
位置に第1の受光部を設け、その焦点位置よりずらせて
第2の受光部を設けている。このため物体がこれより遠
い位置から接近した場合には、この位置で第1の受光部
の受光レベルはほぼ一定となり、第2の受光部で受光さ
れるレベルはこれと異なった位置で一定となる。例えば
第2の受光部を焦点位置の背後に設ければ、第1の受光
部の受光レベルが一定となる位置から更に近い位置く物
体からの反射光により第2の受光部に焦点を結ぶ位置で
一定となる。このように受光レベルが一定となる位置が
異なるため、この受光レベルに基づいて物体のレベルが
検知できることとなる。
【0009】又請求項7の発明では、第1,第2の受光
部を割算回路によって割算し、その比に基づいて物体ま
での距離を検出している。こうすれば所定の範囲では物
体の距離に応じて比が連続して変化するため、物体の距
離が検出できることとなる。又請求項8の発明では、第
1,第2の受光部の差に基づいて同様にして物体までの
距離を検出している。
【0010】
【実施例】図1は本発明の一実施例による光電センサの
構成を示すブロック図である。本図において発振回路1
1は周期的な投光クロック信号を発生するものであり、
その出力は駆動回路12に与えられる。駆動回路12は
投光素子13を投光クロック信号に基づいて駆動し、断
続的に光を発生するものであって、投光素子13と共に
投光部を構成している。投光素子13と光を集束するレ
ンズ14との間には、ハーフミラー15及び16が配置
される。レンズ14は投光素子13の光を物体検知領域
に集束するものである。さて図示のようにレンズ14の
焦点位置に物体がある場合には、光は投光路と同一経路
を通って反射される。そして反射光はハーフミラー15
及び16によってその一部が反射される。ハーフミラー
15,16の反射光は夫々図示のように第1,第2の受
光素子17,18、例えばフォトダイオードによって受
光される。各受光素子17,18にはその前面にピンホ
ールを有するスリット17a,18aが夫々設けられ
る。さてレンズ14の焦点位置に物体が位置する場合に
は、第1の受光素子17は反射光のうちハーフミラー1
5で反射される光がその位置で焦点を結ぶように配置さ
れる。又このときハーフミラー16で反射される光が焦
点を結ぶ位置よりわずかにずらせて、例えば焦点位置の
後方に、第2の受光素子18が配置される。この場合に
はハーフミラー16で反射された反射光の一部は、スリ
ット18aのピンホールによって遮られるように構成し
ておく。
【0011】さて第1,第2の受光素子17,18の出
力は夫々増幅器19,20により入力される。増幅器1
9,20は同一の増幅率を有して電流レベルの信号を電
圧に変換するものであって、その出力は割算回路21に
与えられる。割算回路21は増幅器19の出力をVA
増幅器20の出力をVB とすると、VA /VB の演算を
行うものであり、その出力はコンパレータ22及び演算
処理回路23に与えられる。コンパレータ22は所定の
閾値で入力信号を弁別するものであって、その出力は積
分回路24に与えられる。積分回路24はコンパレータ
22からの出力が数クロック間連続する場合に物体の有
無を判別するものであり、その出力は積分回路25を介
して外部に出力される。又演算処理回路23は割算回路
21の出力が距離に対応して変化する範囲内かどうかを
判別し、この範囲外であれば出力回路26を介して距離
検出不能を判別し、この範囲内であれば物体までの距離
をアナログ信号として出力回路26より出力するもので
ある。ここで第1,第2の受光素子17,18と増幅器
19,20とは夫々第1,第2の受光部を構成してお
り、割算回路21以降の各ブロックは第1,第2の受光
部の受光量の比に基づいて物体の位置を検出する位置検
出手段を構成している。
【0012】次に本実施例による光電センサの動作につ
いて図2及び図3を参照しつつ説明する。図2(a)は
図1と同様に投光素子13から照射された光が物体27
の表面で集束している状況を示している。このときの物
体27までの距離をL0 とする。この状態では物体27
の表面で反射した光はハーフミラー16によってその一
部が反射され、受光素子18に入射する。この場合ピン
ホールを有するスリット18aでその一部が遮断される
ため、ハーフミラー16で反射した光の一部のみが受光
されることになる。一方ハーフミラー15で反射した光
はスリット17aのピンホールを介して全て第1の受光
素子17で受光されるため、より高いレベルの受光出力
が得られることとなる。さて図2(b)に示すように物
体27が接近し、物体27までの距離がL1 となれば第
1の受光素子17に得られる光はその一部がスリット1
7aで遮られることとなる。しかし反射光のレベル自体
は物体の近接に伴って大きくなるため、図3の曲線Aに
示すように距離L0 より近ければほぼ一定の受光量が第
1の受光素子17より得られる。このスリット17aを
用いていない場合も、図2(a)に示す焦点位置より近
づけば受光面上でのスポットサイズはどんどん大きくな
るが、受光面の大きさは一定であるため大部分の光は受
光できず、焦点位置よりも近づけば受光量はほぼ一定と
なる。
【0013】一方物体27の近接に伴ってスリット18
aを通過する反射光量は増加するため、第2の受光素子
18で受光されるレベルは図3の曲線Bに示すように徐
々に増加する。そして図2(b)に示すようにスリット
18aの位置で集束する位置にまで物体が近接したとき
(このときを距離L1 とする)には、受光素子18の受
光レベルはピークに達する。そしてこれより更に物体が
接近した場合には、反射光の一部はスリット18aによ
ってその一部が遮られるが、反射光自体が増加するため
反射光量は第1の受光素子17と同様にほぼ一定とな
る。このスリット18aを用いていない場合も、図2
(a)に示す焦点位置より近づけば受光面上でのスポッ
トサイズはどんどん大きくなるが、受光面の大きさは一
定であるため大部分の光は受光できず、焦点位置よりも
近づけば受光量はほぼ一定となる。そして図3(a)に
示すように受光レベルがほぼ一定となる位置は第1の受
光素子より近い位置となる。
【0014】一方距離L0 より更に物体27が遠ざかっ
た場合には、第1の受光素子17で受光される受光レベ
ルは徐々に低下する。同様にして第2の受光素子18で
得られる受光レベルも徐々に低下する。そして物体がよ
り遠ざかれば受光レベルはいずれも小さくなるが、第2
の受光素子18の方が距離に対して受光量の低下程度が
速くなる。そして距離が更に遠ざかればその比はほぼ一
定となる。このため割算回路21の出力VA /VB は距
離Lに対して図3(b)に示すように変化することとな
る。このように距離が特定の範囲の間では割算出力が距
離に対応して単調に増加するため、この増加している間
のレベルに閾値を設定しておくことによって、物体まで
の距離が設定できる。従ってコンパレータ22により物
体が設定した距離より近くにあるかどうかを判別するこ
とができる。図3(b)において閾値Vthはコンパレー
タ22に設定された閾値を示している。
【0015】又コンパレータ22は図3(c)に示すよ
うに2つの閾値を有するウインドウコンパレータとして
もよい。又図3(c)に示すオン領域は演算処理回路2
3によって距離に対するアナログ出力が得られる範囲と
し、この範囲内で距離に対応したアナログ信号を出力す
るものとしてもよい。
【0016】本実施例では第1,第2の受光素子は同一
の反射光を受光しているため同軸上に配置されているこ
とと等価となる。従って物体27に色模様があってこの
位置に投光ビームが照射されたとしても、同じだけ色模
様の変化を受けることになる。図3(a)に破線で示す
曲線A′,B′は反射率の低い模様の位置に投光ビーム
が入射した場合の距離に対する受光量の変化を示してい
る。このように第1,第2の受光素子は色模様の影響を
同じだけ受けることになるため、割算出力はその影響を
受けることはない。又投受光軸は同軸であるため、検出
ヘッドが小型化できる。更に投受光軸は同軸であるた
め、小さい孔の内部にある物体までの距離を検出するこ
とも可能となる。
【0017】図4(a)の曲線A,Bは夫々距離L0
8mmとした実施例の第1,第2の受光素子17,18の
出力の測定値を示すものである。この場合にはL0 が8
mmのときに焦点となる位置に受光素子17を配置し、距
離L1 が6mmのとき第2の受光素子18が焦点位置とな
るよう第1の受光素子17より0.3mm後方の位置に受
光素子を位置して、その出力の変化を示している。この
場合には図4(b)に示すように、距離Lが10mm以上
であれば割算出力はほぼ一定となるが、距離Lが6〜9
mmの間は割算出力が変化し、物体までの距離が測定でき
る領域となっている。割算出力が変化する領域を広くと
るためには、受光素子18を焦点から大きくずらせるこ
とによって対応できる。
【0018】尚本実施例では受光素子17,18の前面
にピンホールを有するスリット17a,18aを設けて
いるが、このスリットは迷光等を除去するものであるた
め必ずしも用いる必要はない。又本実施例では第2の受
光素子を焦点位置よりわずかに後方に配置しているが、
これより前方に配置すれば、距離に対する受光量の一定
となる位置が曲線Aより遠方側に変化することとなる。
この場合にも同様にしてその受光量の比に基づいて物体
までの距離を検出することができる。
【0019】図5は本発明の第2実施例による光学系の
構成を示す図である。図5(a)において投光素子13
には光ファイバ31が接続される。光ファイバ31は投
光素子13の光を物体検知領域に近接した位置まで導く
ものであり、その中間部が図示のように切断されてハー
フミラー32が取付けられる。ハーフミラー32は光フ
ァイバ31に入射された反射光の一部を他の光ファイバ
33側に入射するものである。又光ファイバ31の光の
出射端には第1実施例と同様にハーフミラー34が固定
され、更に出射光を物体に集束するためのレンズ35が
配置される。そして前述した距離L0 に物体が位置した
ときにハーフミラー34で反射される反射光が焦点を結
ぶ位置よりわずかに後方に、第3の光ファイバ36の端
部を配置する。光ファイバ33,36の他端には夫々前
述した第1,第2の受光素子17,18を接続してお
く。位置検出手段の構成は第1実施例と同様であるので
詳細な説明を省略する。
【0020】図5(b)は光ファイバ31の端部とハー
フミラー34及び光ファイバ36の端部とを拡大して示
す図である。この場合にも第1実施例と同様に、距離L
0 では実線で示すように反射光のうちハーフミラー34
を透過した光は全て光ファイバ31に入射することとな
り、この光は第1の受光素子17で受光される。又反射
光のうちハーフミラー34によって更に反射された光の
一部は受光素子18に入射する。この場合には受光素子
17に得られる出力が最大となる。そして物体27がこ
の位置L0 より近づけば、図5(b)に破線で示すよう
に、ハーフミラー34を透過した反射光のうちの一部の
みが光ファイバ31に入射することとなり、一方反射光
のレベル自体は上昇するため第1実施例と同様に受光レ
ベルはほぼ一定となる。図5(b)で破線で示す光線は
図2(b)に対応するものであり、この位置L1 にまで
物体が接近したときには第3の光ファイバ36に焦点が
あって受光素子18の受光出力がピークとなる。その他
の動作については第1実施例と同様である。
【0021】図6は本発明の第3の実施例による光学系
の構成を示す図である。本実施例では投光素子13が接
続される投光用光ファイバ31よりレンズ14を介して
物体検知領域に光を照射し、光ファイバ31とレンズ1
4との間にハーフミラー37を設けている。そして前述
した距離L0 の位置に物体27が位置したときに、ハー
フミラー37で反射される反射光の焦点位置に第2の光
ファイバ33を配置する。そして本実施例では図6
(b)に出射面からのファイバ端面を示すように、投光
用光ファイバ31の周囲をとり囲むように多数のファイ
バ38を一様に配列している。又光ファイバ33の他端
には第1の受光素子17,光ファイバ38の他端には第
2の受光素子18を配置する。位置検出手段の構成につ
いては第1実施例と同様である。こうすれば物体が距離
0 の位置にあるときには物体27及びハーフミラー3
7で反射された反射光はほぼ受光素子17に入射するこ
ととなり、これより近接した場合には受光量はほぼ一定
となる。又焦点位置がずれるため受光素子18に入射す
る受光レベルは距離L0 より近づくにつれて高くなり、
更に接近すれば一定となる。このように光ファイバ31
の周囲に受光用の光ファイバ38を配置しているため、
受光素子18は反射光の光軸に等しく、その焦点距離よ
りわずかにずらせて受光位置が配置されるものと等価と
なる。このように受光レベルが一定となる距離が異なる
ため、前述した第1実施例と同様にその比に基づいて物
体までの距離が算出でき、前述した各実施例と同様の効
果が得られる。
【0022】図7(a),(b)は第4,第5実施例に
よる光ファイバを用いた光学系の構成を示す概略図であ
る。図7(a)において投光素子13には光ファイバ4
1が接続される。光ファイバ41は図示のように一端で
反射光の一部を分岐する分岐部41Aが設けられ、この
分岐部41Aの一端に受光素子17が配置される。又光
ファイバ41の出射端にはハーフミラー42を介してレ
ンズ14が配置されている。そして前述した距離L0
物体27が位置する場合に、ハーフミラー42によって
反射された反射光が焦点を結ぶ位置からわずかに後方に
第2の光ファイバ43の端部が配置される。光ファイバ
43の他端には第2の受光素子18が接続される。この
場合にも距離L0 より物体が近づけば第1の受光素子1
7に得られる反射光レベルはほぼ一定となり、第2の受
光素子18に得られる受光レベルは距離L0 より近づい
た距離から一定となるため、その相違に基づいて物体ま
での距離が検出できることとなる。
【0023】又図7(b)は投受光用の光ファイバをバ
ンドルファイバによって構成したものである。この場合
にはバンドルファイバ44を構成する多数のファイバの
うち、投光素子13と受光素子17に接続するファイバ
をランダムに配列しておく。図7(c)は光の出射面か
ら見たバンドルファイバ44の端面の図であって、〇は
第1の受光素子17に接続されるファイバを示し、×は
投光素子13に接続されるファイバを示している。ハー
フミラー42,光ファイバ33及び第2の受光素子18
については、図7(a)の第4実施例と同様である。こ
うすれば一部に分岐を有する特殊な光ファイバを用いる
ことなく、同様の効果が得られることとなる。
【0024】図8は本発明の更に第6実施例による光学
系部分の構成を示す概略図である。本図において投光素
子13とレンズ14との間に回折格子51を配置する。
回折格子51は反射光を所定の方向に回折するものであ
り、その回折方向に前述したように受光素子17,18
を配置する。この場合にも物体が距離L0 の位置に配置
されたときに回折格子51で回折された反射光が焦点位
置となる位置に受光素子17、これよりわずかに後方に
受光素子18を設けておく。その他は構成は第1実施例
と同様である。この場合には回折格子51によって投光
素子からの光が物体の他の領域に照射されないように、
開口52aを有する遮光板52を設けておくことが好ま
しい。
【0025】次に位置検出手段の他の実施例について説
明する。図9は受光素子17,18に得られる信号を処
理する回路部の構成を示すブロック図である。光学系に
ついては前述した各実施例の光学系のいずれかを用いる
ものとする。さて受光素子17,18の出力は夫々増幅
器19A,20Aに入力される。増幅器19A,20A
は夫々入力信号を増幅率X,nXで増幅するものであっ
て、その出力は減算回路28に与えられる。減算回路2
8は増幅器19Aの出力VA から増幅器20Aの出力を
減算するものである。その他の構成は前述した第1実施
例と同様である。ここで図3(b)において距離Lが十
分遠く受光量の比が1.3で一定になるとすれば、nの
値は1と1.3の間、例えばnを1.1と設定する。図
3(d)は図3(a)の曲線A,Bで示す受光量に対応
した減算回路28の出力VC を曲線Cとして示してい
る。破線で示す曲線C′は受光レベルが低い場合の曲線
A′,B′に対応するものである。このように特定の距
離までは減算回路28の出力はほぼ単調増加となるた
め、コンパレータ22の閾値を0レベルと設定しておく
ことにより割算回路を用いることなく物体の有無を判別
することができる。尚本実施例では距離が遠くなれば光
量レベルは低下するが、このとき減算回路28の出力も
低下し0以下となる可能性がある。従って受光レベルが
大幅に低下したときの誤動作を防止するため、出力を禁
止することが好ましい。
【0026】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、投光部より光を物体に向けて照射し、この光と同一
の経路を通って反射する光量レベルによって物体までの
距離を判別している。従って反射点の色彩等の影響を受
けることはない。又投光ビームと受光ビームとは同一の
経路を通過するため、交差角は0となる。従ってセンサ
ヘッドの形状を小型化することができる。又投光ビーム
を細い開口等を介して物体に照射することができる場合
には、開口を有する遮蔽板等があっても孔の向こう側の
物体までの距離を検出することができるという効果が得
られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例による光電センサの全体構
成を示すブロック図である。
【図2】本実施例の光学系と物体までの位置関係及びそ
の反射光を示す図である。
【図3】本発明の実施例による物体までの距離に対する
受光量及び割算出力、減算出力の変化を示すグラフであ
る。
【図4】本発明の第1実施例による光電センサの一対の
反射光の受光レベル及び割算出力の実測量を示すグラフ
である。
【図5】本発明の第2実施例による光電センサの光学系
の構成を示す概略図である。
【図6】本発明の第3実施例による光電センサの光学系
の構成を示す概略図である。
【図7】本発明の第4及び第5実施例による光電センサ
の光学系の構成を示す概略図である。
【図8】本発明の第6実施例による光電センサの光学系
の構成を示す概略図である。
【図9】本発明の他の実施例による位置検出手段の構成
を示すブロック図である。
【図10】従来の光電センサの一例を示す概略図であ
る。
【符号の説明】
11 発振回路 12 駆動回路 13 投光素子 14,35 レンズ 15,16,37,42 ハーフミラー 17 第1の受光素子 18 第2の受光素子 19,19A,20,20A 増幅器 21 割算回路 22 コンパレータ 23 演算回路 24 積分回路 25,26 出力回路 27 物体 28 減算回路 31,32,33,38,41,43 光ファイバ 44 バンドルファイバ 51 回折格子 52 遮光板

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光を物体検知領域に投光する投光部と、 前記投光部の光を集束し物体検知領域に照射するレンズ
    と、 物体検知領域の物体が前記投光ビームの焦点を結ぶ位置
    にあるときに該物体から反射され、前記投光ビームと同
    一の光軸を有する反射光のうち前記レンズで集光された
    光をその焦点位置で受光する第1の受光部と、 物体検知領域の物体が前記投光ビームの焦点を結ぶ位置
    にあるときに該物体から反射され、前記投光ビームと同
    一の光軸を有する反射光のうち前記レンズで集光された
    光をその焦点位置より光軸方向にずらせた位置で受光す
    る第2の受光部と、 前記第1,第2の受光部に得られる受光量に基づいて物
    体の位置を検出する位置検出手段と、を有することを特
    徴とする光電センサ。
  2. 【請求項2】 前記投光部と前記レンズとの間に前記反
    射光の一部を分離するハーフミラーを有し、前記第1,
    第2の受光部は前記ハーフミラーで反射された反射光を
    受光するものであることを特徴とする請求項1記載の光
    電センサ。
  3. 【請求項3】 光を投光する投光部と、 一方が分岐されて第1,第2の端面を有し、該第1の端
    面に前記投光部の光を入射し、合成した他端より光を物
    体検知領域に向けて投光する分岐型光ファイバと、 前記分岐型光ファイバを介して入射される前記投光部の
    光を集束し物体検知領域に照射するレンズと、 前記分岐型光ファイバの分岐された第2の端面より得ら
    れる反射光を受光する第1の受光部と、 検知領域の物体が前記投光ビームの焦点を結ぶ位置にあ
    るときに該物体から反射され前記投光ビームと同一の光
    軸を有する反射光のうち、前記レンズで集光された光を
    その焦点位置より光軸方向にずらせた位置で受光する第
    2の受光部と、 前記第1,第2の受光部に得られる受光量に基づいて物
    体の位置を検出する位置検出手段と、を有することを特
    徴とする光電センサ。
  4. 【請求項4】 前記投光部の投光素子及び前記第1の受
    光部の受光素子と前記レンズとの間に共通のバンドル型
    光ファイバを設け、 該バンドル型光ファイバは、投光素子に接続された光フ
    ァイバ及び受光素子に接続された光ファイバを光ファイ
    バの出射端から見て分散させるように構成したものであ
    ることを特徴とする請求項1記載の光電センサ。
  5. 【請求項5】 前記投光部と前記レンズとの間に投光用
    光ファイバを設け、前記投光用光ファイバのレンズに対
    向する面の周囲に端面を向けた受光用の複数の光ファイ
    バを設け、該受光用光ファイバに入射した反射光をその
    他端に接続した前記第2の受光部によって受光すること
    を特徴とする請求項1記載の光電センサ。
  6. 【請求項6】 前記投光部と前記レンズとの間に投光ビ
    ームと同軸の反射光を回折によって分離する回折格子を
    設け、前記第1,第2の受光部は該回折格子によって回
    折された反射光を受光するものであることを特徴とする
    請求項1記載の光電センサ。
  7. 【請求項7】 前記位置検出手段は、前記第1,第2の
    受光部の受光量の比に基づいて物体の位置を検出するも
    のであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項
    に記載の光電センサ。
  8. 【請求項8】 前記位置検出手段は、前記第1,第2の
    受光部の受光量の差に基づいて物体の位置を検出するも
    のであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項
    に記載の光電センサ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013130581A (ja) * 2011-12-21 2013-07-04 Mitsutoyo Corp クロマティックポイントセンサシステム

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