JPS59224516A - 光学式エンコ−ダ - Google Patents
光学式エンコ−ダInfo
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- JPS59224516A JPS59224516A JP9896383A JP9896383A JPS59224516A JP S59224516 A JPS59224516 A JP S59224516A JP 9896383 A JP9896383 A JP 9896383A JP 9896383 A JP9896383 A JP 9896383A JP S59224516 A JPS59224516 A JP S59224516A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、半導体レーザを使用した回転又は移動変位
量を検出する光学式エンコーダに関するものである。
量を検出する光学式エンコーダに関するものである。
従来この種の光学式エンコーダとしては、第１図に示す
ものがあった。第１図は従来の半導体レーザを使用して
回転変位量を検出する光学式ロータリエンコーダの概略
構成を示す斜視図である。
ものがあった。第１図は従来の半導体レーザを使用して
回転変位量を検出する光学式ロータリエンコーダの概略
構成を示す斜視図である。
図において、ｌはボールベアリング、２はボールベアリ
ング１に支持された回転軸、３は回転軸２に取付けられ
たパルススケールとしてのパルス円盤、４は光源として
の半導体レーザ、５は半導体レーザ４から放射状に発生
するレーザ光、６はレーザ光５を平行にするためのコリ
メータレンズ、７はレーザ光５を集光する集光レンズ、
８はパルス円盤３に刻まれている明暗格子縞である。パ
ルス円盤３は、通常、ガラス円盤が用いられ、このパル
ス円盤３には、明暗格子縞８であるクロム蒸着膜が被着
され、不透明部分と透明部分とが同一間隔になる様に形
成される。９は受光素子で、この受光素子９はパルス円
盤３を透過した光量の変化を検知するものであシ、例え
ばフォトダイオ−ド、フォトトランジスタ等が用いられ
ている。
ング１に支持された回転軸、３は回転軸２に取付けられ
たパルススケールとしてのパルス円盤、４は光源として
の半導体レーザ、５は半導体レーザ４から放射状に発生
するレーザ光、６はレーザ光５を平行にするためのコリ
メータレンズ、７はレーザ光５を集光する集光レンズ、
８はパルス円盤３に刻まれている明暗格子縞である。パ
ルス円盤３は、通常、ガラス円盤が用いられ、このパル
ス円盤３には、明暗格子縞８であるクロム蒸着膜が被着
され、不透明部分と透明部分とが同一間隔になる様に形
成される。９は受光素子で、この受光素子９はパルス円
盤３を透過した光量の変化を検知するものであシ、例え
ばフォトダイオ−ド、フォトトランジスタ等が用いられ
ている。
次に、上記第１図の動作について説明する。外部から回
転ｌｌｌ１＋ ２に回転が伝えられると、明暗格子縞８
が刻まれているパルス円盤３が回転され、集光レンズ７
で集光されて、パルス円盤３を透過したレーザ光５の光
景が、パルス円盤３の回転に伴って変化する。第２図（
ａ）に示す様に、小さな円形のスポット光１０に集光さ
れたレーザ光５が、明暗格子縞８ｆ：横切ると、第２図
（ｂ）に示す様な波形の出力信号が発生し、この信号を
波形整形した後に、計数することによル回転変位量を知
ることができる。
転ｌｌｌ１＋ ２に回転が伝えられると、明暗格子縞８
が刻まれているパルス円盤３が回転され、集光レンズ７
で集光されて、パルス円盤３を透過したレーザ光５の光
景が、パルス円盤３の回転に伴って変化する。第２図（
ａ）に示す様に、小さな円形のスポット光１０に集光さ
れたレーザ光５が、明暗格子縞８ｆ：横切ると、第２図
（ｂ）に示す様な波形の出力信号が発生し、この信号を
波形整形した後に、計数することによル回転変位量を知
ることができる。
一般ニ、上記した光学式ロータリエンコーダからの出力
は、単一の出力で用いらり、ることは少なく、９０°位
相の異なる２相のメイン信号と、パルス円盤３が１回転
に１パルスだけ出力する様な不透明部分（図示しない）
を設けて、パルス円盤３の１回転中の基準位置となるゼ
ロ信号がそれぞれ出力される様になっている。この様に
構成すると、２相のメイン信号相互の位相関係全検出す
ることによシ、回転方向の判別が可能となり、さらに、
２相のメイン信号を波形整形した後に、その立上シと立
下シ部分を計数することにょシ、検出分解能を４倍丑で
茜めることができる。
は、単一の出力で用いらり、ることは少なく、９０°位
相の異なる２相のメイン信号と、パルス円盤３が１回転
に１パルスだけ出力する様な不透明部分（図示しない）
を設けて、パルス円盤３の１回転中の基準位置となるゼ
ロ信号がそれぞれ出力される様になっている。この様に
構成すると、２相のメイン信号相互の位相関係全検出す
ることによシ、回転方向の判別が可能となり、さらに、
２相のメイン信号を波形整形した後に、その立上シと立
下シ部分を計数することにょシ、検出分解能を４倍丑で
茜めることができる。
まノヒ、従来の光学式ロータリエンコーダトシて、パル
ス円盤３からのレーザ光５の反射を検知する方式があり
、第３図にその構成例を示す。図に示す様に、半導体レ
ーザ４から放射されたレーザ光５は、コリメータレンズ
６、偏光ビ〜ムスプリソタ１１．４分の１波長板１２を
通過し、集光レノズ７によシ集光されてパルス円盤３上
に二照射される。パルス円盤３上に照射さｆしたレーザ
光５は反射され、パルス円盤３に刻まれた明暗格子縞８
の有無によって反射光の強度が変化する。この反射光は
、再び４分の１波長板１２を一通過す２）ことによシ、
偏光方向においてス射光と反射光に＠文し、偏光ビーム
スプリッタ１１にょシ分離され、集光用の凸レンズ１３
で反射光は集光され、受光素子９により検知される。
ス円盤３からのレーザ光５の反射を検知する方式があり
、第３図にその構成例を示す。図に示す様に、半導体レ
ーザ４から放射されたレーザ光５は、コリメータレンズ
６、偏光ビ〜ムスプリソタ１１．４分の１波長板１２を
通過し、集光レノズ７によシ集光されてパルス円盤３上
に二照射される。パルス円盤３上に照射さｆしたレーザ
光５は反射され、パルス円盤３に刻まれた明暗格子縞８
の有無によって反射光の強度が変化する。この反射光は
、再び４分の１波長板１２を一通過す２）ことによシ、
偏光方向においてス射光と反射光に＠文し、偏光ビーム
スプリッタ１１にょシ分離され、集光用の凸レンズ１３
で反射光は集光され、受光素子９により検知される。
従来の光学式ロータリエンコーダは以上の様に構成され
ているので、第１図に示す前者では、半導体レーザ４と
受光素子９とはパルス円盤３をはさんで配置する必要が
ちシ、また、第３図に示す後者では、偏光ビームスプリ
ッタ１１，４分の１波長板１２及び凸レンズ１３などを
使用しなければならず、このこめ、組立調整に時間がか
かシ、また、装置の小形化が難しくなるなどの欠点があ
った。
ているので、第１図に示す前者では、半導体レーザ４と
受光素子９とはパルス円盤３をはさんで配置する必要が
ちシ、また、第３図に示す後者では、偏光ビームスプリ
ッタ１１，４分の１波長板１２及び凸レンズ１３などを
使用しなければならず、このこめ、組立調整に時間がか
かシ、また、装置の小形化が難しくなるなどの欠点があ
った。
この発明は上記の様な従来のものの欠点全除去するため
になされたもので、回転又は移動変位量全検出する光学
式エンコーダにおいて、パルススケールと、光源として
の半導体レーザ、及びこの半導体レーザの一方向の反射
光出力を検知する受光素子を一体に構成した光検出部と
、前記半導体レーザから放射されるレーザ光を小さなス
ポット光に集光し、前記パルススケールの面に照射する
光学系とを備えて成る構成を有し、簡単に組立調整がで
き、部品点数の少ない、小形の光学式エンコーダを提供
することを目的としている。
になされたもので、回転又は移動変位量全検出する光学
式エンコーダにおいて、パルススケールと、光源として
の半導体レーザ、及びこの半導体レーザの一方向の反射
光出力を検知する受光素子を一体に構成した光検出部と
、前記半導体レーザから放射されるレーザ光を小さなス
ポット光に集光し、前記パルススケールの面に照射する
光学系とを備えて成る構成を有し、簡単に組立調整がで
き、部品点数の少ない、小形の光学式エンコーダを提供
することを目的としている。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第４図はこの発明の一実施例である光学式ロータリエン
コーダの概略構成を示す斜視図で、第１図と同一部分は
同一符号を用いて表示してあシ、その詳細な説明は省略
する。図において、１４は、半導体レーザ４、及びこの
半導体レーザ４の一方向の反射光出力を検知する受光素
子９を・一体に構成した光検出部である。上記した構成
の光学式ロータリエンコーダにおいて、外部から回転軸
２に回転が伝えられると、明暗格子縞８が刻まれている
パルス円盤３が回転される。光検出部１４の半導体レー
ザ４から放射されるレーザ光５は、コリメータレンズ６
、集光レンズ７を介してパルス円盤３上に照射され、と
れよシ反射されるレーザ光ちは、明暗格子縞８の有無に
よって反射光の強度が変化する。反射されたレーザ光５
０反射光は、入射時と同じ光路を通シ光検出部１４の半
導体レーザ４にもどってくる。しかして、半導体レーザ
４には、自己の放射したレーザ５の出力光が、再び反射
光としてもどってきた時、発振特性が変化する自己結合
効果がある。これは、第５図に示す様に、半導体レーザ
４の注入電流−光出力特性において、反射光なしの場合
と反射光あシの場合とではその特性が異なり、つまシー
注入電流が一定である時、反射光がある時は、反射光か
ない時の光出力よシ大ぎな値になる。したがって、自己
結合効果全利用して、反射光の強朋によシ変化するレー
ザ光５の反射光出力を、光検出部１４の半導体レーザ４
の後方に位置され、これと一体に構成された受光素子９
で検知することによシ、回転変位量を知ることができる
。以上説明した桶に、半導体レーザ４と受光素子９とを
一つの素子に一体に構成した光検出部工４を使用し、自
己結合効果を利用することによシ、簡単に組立調整がで
き、部品点数の少ない、小形の光学式ロータリエンコー
ダ全作製することができる。゛まだ、上記した半導体レ
ーザ４と受光素子９全一体に構成【７た光検出部１４を
使用した信号検出系を、互いに９０°位相の異なる位１
す、に２つ置ぎ、ぞの各出力信号を波形整形した後に、
その立上りと立下シラ計数して。
コーダの概略構成を示す斜視図で、第１図と同一部分は
同一符号を用いて表示してあシ、その詳細な説明は省略
する。図において、１４は、半導体レーザ４、及びこの
半導体レーザ４の一方向の反射光出力を検知する受光素
子９を・一体に構成した光検出部である。上記した構成
の光学式ロータリエンコーダにおいて、外部から回転軸
２に回転が伝えられると、明暗格子縞８が刻まれている
パルス円盤３が回転される。光検出部１４の半導体レー
ザ４から放射されるレーザ光５は、コリメータレンズ６
、集光レンズ７を介してパルス円盤３上に照射され、と
れよシ反射されるレーザ光ちは、明暗格子縞８の有無に
よって反射光の強度が変化する。反射されたレーザ光５
０反射光は、入射時と同じ光路を通シ光検出部１４の半
導体レーザ４にもどってくる。しかして、半導体レーザ
４には、自己の放射したレーザ５の出力光が、再び反射
光としてもどってきた時、発振特性が変化する自己結合
効果がある。これは、第５図に示す様に、半導体レーザ
４の注入電流−光出力特性において、反射光なしの場合
と反射光あシの場合とではその特性が異なり、つまシー
注入電流が一定である時、反射光がある時は、反射光か
ない時の光出力よシ大ぎな値になる。したがって、自己
結合効果全利用して、反射光の強朋によシ変化するレー
ザ光５の反射光出力を、光検出部１４の半導体レーザ４
の後方に位置され、これと一体に構成された受光素子９
で検知することによシ、回転変位量を知ることができる
。以上説明した桶に、半導体レーザ４と受光素子９とを
一つの素子に一体に構成した光検出部工４を使用し、自
己結合効果を利用することによシ、簡単に組立調整がで
き、部品点数の少ない、小形の光学式ロータリエンコー
ダ全作製することができる。゛まだ、上記した半導体レ
ーザ４と受光素子９全一体に構成【７た光検出部１４を
使用した信号検出系を、互いに９０°位相の異なる位１
す、に２つ置ぎ、ぞの各出力信号を波形整形した後に、
その立上りと立下シラ計数して。
回転方向の判別と、４倍のパルス信号を発生させること
かできる。
かできる。
上記第４図に示す実施例では、光検出部１４の半導体レ
ーザ４の前に、レーザ光５をイ行ビームｔ′（するコリ
メータレンズ６を用いているが、第６図に示す様に、半
導体レーザ４かも放射される放出光をそのまま集光Ｌ・
ンズ７で集光する様にしても良い。
ーザ４の前に、レーザ光５をイ行ビームｔ′（するコリ
メータレンズ６を用いているが、第６図に示す様に、半
導体レーザ４かも放射される放出光をそのまま集光Ｌ・
ンズ７で集光する様にしても良い。
笠だ、上記各実施例では、回転方向全判別ｒるために、
９０°位相の異なる２相のメイン信号の検出と、ｌ ［
ｉＪ！転中の基準位置となるゼロ細分の検出のため、３
つの信号検出系が必要となるが、第７図に示す杆１・こ
、光検出部１５として、それぞれ３つの半導体Ｌ／−ザ
と受光素子を一体にＭｉ成したものを用いても同様の効
果が得られ、この１ｗ合にけ、組立時ＯＣ１おいて、装
置を一段とｔ）１単な構成にすることができる。
９０°位相の異なる２相のメイン信号の検出と、ｌ ［
ｉＪ！転中の基準位置となるゼロ細分の検出のため、３
つの信号検出系が必要となるが、第７図に示す杆１・こ
、光検出部１５として、それぞれ３つの半導体Ｌ／−ザ
と受光素子を一体にＭｉ成したものを用いても同様の効
果が得られ、この１ｗ合にけ、組立時ＯＣ１おいて、装
置を一段とｔ）１単な構成にすることができる。
すた、上記各実施例では、レーザ光５を集光した円形の
スポット光１０全使用しているが、パルス円盤３の明暗
格子縞８にキズがある場合、再生される出力信号に与え
る影響を小さくす２．１こめに、明暗格子縞８の長手方
向を長径とする様なだ円形のスポット光を用いても良い
。
スポット光１０全使用しているが、パルス円盤３の明暗
格子縞８にキズがある場合、再生される出力信号に与え
る影響を小さくす２．１こめに、明暗格子縞８の長手方
向を長径とする様なだ円形のスポット光を用いても良い
。
また、上記各実砲例では、パルス円盤３により回転変位
量・と検出する光学式ロータリエノコーダについて述べ
１２：が、直線υ動変位ｔ゛１°孕検出するつを学式リ
ニアエンコーダにも同様ｌ／／：適用が可能であシ、第
８図はその実施例を示す。囚に示１様に、１６は明暗格
子縞８′が刻まれているリニアパルススケールで６Ｂ、
その信号検出系灯、第４図に示すものと同一である。信
号検出の原理は、上記した光学式ロータリエンコーダで
説明したものと同様である。また、上記した光学式ロー
タリエンコーダとして示した各実施例は、パルス円盤３
をリニアパルススケール１６に置き換えるのみで、光学
式リニアエノコーダとして使用が可能である。
量・と検出する光学式ロータリエノコーダについて述べ
１２：が、直線υ動変位ｔ゛１°孕検出するつを学式リ
ニアエンコーダにも同様ｌ／／：適用が可能であシ、第
８図はその実施例を示す。囚に示１様に、１６は明暗格
子縞８′が刻まれているリニアパルススケールで６Ｂ、
その信号検出系灯、第４図に示すものと同一である。信
号検出の原理は、上記した光学式ロータリエンコーダで
説明したものと同様である。また、上記した光学式ロー
タリエンコーダとして示した各実施例は、パルス円盤３
をリニアパルススケール１６に置き換えるのみで、光学
式リニアエノコーダとして使用が可能である。
さらに、光学式リニアエンコーダでは、信号検出系全固
定してリニアパルススケール１６を移動物に取付ける場
合と、リニアパルススケール１６を固定して信号検出系
を移動物に取付ける場合の２つがある。
定してリニアパルススケール１６を移動物に取付ける場
合と、リニアパルススケール１６を固定して信号検出系
を移動物に取付ける場合の２つがある。
以上の様に、この発明の光学式エンコーダによれば、光
源としての半導体レーザ、及びこの半導体レーザの一方
向の反射光出力を検知する受光素子を一体に構成した光
検出部を用いて成る構成としたので、極めて簡単に組立
調整ができ、また、部品点数が少ない、非常に小形の光
学式エンコーダを得ることができるという優れた効果を
奏するものである。
源としての半導体レーザ、及びこの半導体レーザの一方
向の反射光出力を検知する受光素子を一体に構成した光
検出部を用いて成る構成としたので、極めて簡単に組立
調整ができ、また、部品点数が少ない、非常に小形の光
学式エンコーダを得ることができるという優れた効果を
奏するものである。
第１図は従来の半導体レーザを使用して回転変位量を検
出する光学式ロータリエンコーダの概略構成を示す斜視
図、第２図（ａ）及び（ｂ）は、第１図のパルス円盤の
動作態様を示す各説明図、第３図は、第１図とは異なる
形式の従来の光学式ロータリエンコーダの信号検出系を
示す構成図、第４図はこの発明の一実施例である光学式
ロータリエノコーダの概略構成を示す斜視図、第５図は
第４図の光学式ロータリエンコーダに適用される半導体
レーザの注入電流−光出力特性図、第６図はこの発明の
他の実施例である光学式ロータリエンコ−ダの信号検出
系を示す構成図、第７図はこの発明の他の実施例である
光学式ロータリエンコーダの概略構成を示す斜視図、第
８図はこの発明の他の実施例である光学式リニアエンコ
ーダの概略構成を示す斜視図である。 図においで、■・・・ボールベアリング、２・・・回転
軸、３・・・パルス円盤、４・・・半導体レーザ、５・
・・レーザ光、６・・・コリメータレンズ、７・・・集
光レンズ、８・・・明暗格子縞、９・・・受光素子、１
ｏ・・−スポット光、１１・・・偏光ビームスプリッタ
、１２・・・４分の１波長板、１３・・・凸レンズ、１
４．１５・・・光検出部、１Ｇ・・・リニアパルススケ
ールである。 なお、図中、同−符号社同一、又は相当部分を示す。 代理人 大君増雄 第１図 第２図 第３図 第４図
出する光学式ロータリエンコーダの概略構成を示す斜視
図、第２図（ａ）及び（ｂ）は、第１図のパルス円盤の
動作態様を示す各説明図、第３図は、第１図とは異なる
形式の従来の光学式ロータリエンコーダの信号検出系を
示す構成図、第４図はこの発明の一実施例である光学式
ロータリエノコーダの概略構成を示す斜視図、第５図は
第４図の光学式ロータリエンコーダに適用される半導体
レーザの注入電流−光出力特性図、第６図はこの発明の
他の実施例である光学式ロータリエンコ−ダの信号検出
系を示す構成図、第７図はこの発明の他の実施例である
光学式ロータリエンコーダの概略構成を示す斜視図、第
８図はこの発明の他の実施例である光学式リニアエンコ
ーダの概略構成を示す斜視図である。 図においで、■・・・ボールベアリング、２・・・回転
軸、３・・・パルス円盤、４・・・半導体レーザ、５・
・・レーザ光、６・・・コリメータレンズ、７・・・集
光レンズ、８・・・明暗格子縞、９・・・受光素子、１
ｏ・・−スポット光、１１・・・偏光ビームスプリッタ
、１２・・・４分の１波長板、１３・・・凸レンズ、１
４．１５・・・光検出部、１Ｇ・・・リニアパルススケ
ールである。 なお、図中、同−符号社同一、又は相当部分を示す。 代理人 大君増雄 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (2)
- （１） 回転又は移動変位量を検出する光学式１ンコ
ーダにおいて、パルススケールと、光源としての半導体
レーザ、及び該半導体レーザの一方向の反射光出力を検
知する受光素子ｋ 一体に構成した光検出部と、前記半
導体レーザから放射されるレーザ光を小さなスポット光
に集光し、前記パルススケールの面に照射する光学系と
を備えて成ることを特徴とする光学式エンコーダ。 - （２）前記半導体レーザμ、回転又は移動方向の判別用
と、前記パルススケールの基準位置となるゼロ信号検出
用の３つの半導体レーザから構成されること全特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の光学式エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9896383A JPS59224516A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 光学式エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9896383A JPS59224516A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 光学式エンコ−ダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59224516A true JPS59224516A (ja) | 1984-12-17 |
Family
ID=14233718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9896383A Pending JPS59224516A (ja) | 1983-06-03 | 1983-06-03 | 光学式エンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59224516A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01141359A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-02 | Agency Of Ind Science & Technol | 光学式偏位検出装置 |
| US4883955A (en) * | 1987-02-25 | 1989-11-28 | Asahi Kogaku Kogyo K.K. | Optical encoder with converging means |
| US5003239A (en) * | 1990-01-11 | 1991-03-26 | Baxter International Inc. | Peristaltic pump monitoring device |
| US5279556A (en) * | 1989-04-28 | 1994-01-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Peristaltic pump with rotary encoder |
| EP2388557B1 (fr) * | 2010-05-21 | 2021-08-18 | Codechamp | Capteur optique de position angulaire absolue utilisant la technique de la polarimétrie |
-
1983
- 1983-06-03 JP JP9896383A patent/JPS59224516A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4883955A (en) * | 1987-02-25 | 1989-11-28 | Asahi Kogaku Kogyo K.K. | Optical encoder with converging means |
| JPH01141359A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-02 | Agency Of Ind Science & Technol | 光学式偏位検出装置 |
| US5279556A (en) * | 1989-04-28 | 1994-01-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Peristaltic pump with rotary encoder |
| US5003239A (en) * | 1990-01-11 | 1991-03-26 | Baxter International Inc. | Peristaltic pump monitoring device |
| EP2388557B1 (fr) * | 2010-05-21 | 2021-08-18 | Codechamp | Capteur optique de position angulaire absolue utilisant la technique de la polarimétrie |
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