JPH0781880B2 - 磁気式アブソリュートエンコーダ装置 - Google Patents
磁気式アブソリュートエンコーダ装置Info
- Publication number
- JPH0781880B2 JPH0781880B2 JP63066599A JP6659988A JPH0781880B2 JP H0781880 B2 JPH0781880 B2 JP H0781880B2 JP 63066599 A JP63066599 A JP 63066599A JP 6659988 A JP6659988 A JP 6659988A JP H0781880 B2 JPH0781880 B2 JP H0781880B2
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- JP
- Japan
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- magnetic
- recording medium
- absolute encoder
- magnetized
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、位置検出装置に係り、特に磁気センサを用い
た絶対位置検出に好適なアブソリュートエンコーダ装置
に関するものである。
た絶対位置検出に好適なアブソリュートエンコーダ装置
に関するものである。
従来の技術 最近のロボット、NCマシンなどの自動組立装置の普及は
目ざましく、これに伴い回転制御、定位置停止用の位置
検出などに用いられるロータリーエンコーダ装置の需要
が急増している。現在ロータリーエンコーダ装置は光学
式がほとんど占めているが、ゴミや結露に対する信頼性
向上、応答速度の向上、分解能の向上、低価格化のため
に磁気式ロータリーエンコーダ装置が増加しつつある。
目ざましく、これに伴い回転制御、定位置停止用の位置
検出などに用いられるロータリーエンコーダ装置の需要
が急増している。現在ロータリーエンコーダ装置は光学
式がほとんど占めているが、ゴミや結露に対する信頼性
向上、応答速度の向上、分解能の向上、低価格化のため
に磁気式ロータリーエンコーダ装置が増加しつつある。
特に被検出体が停止している際、被検出体の絶対的な位
置を複数ビットのアドレスとして直接検出できる、いわ
ゆるアブソリュートタイプのエンコーダ装置として、第
６図に示すようなロータリーエンコーダ装置が提案され
ている。
置を複数ビットのアドレスとして直接検出できる、いわ
ゆるアブソリュートタイプのエンコーダ装置として、第
６図に示すようなロータリーエンコーダ装置が提案され
ている。
第６図において回転制御をうけるモータ１の軸には磁性
体で形成された磁気ドラム２が直結されている。磁気ド
ラム２に設けられた複数の磁気トラック３は磁化領域と
未着磁領域により所定のグレーコードのパターンを成し
ており、このパターンを磁気ドラム２に沿って配置され
た磁気センサ４により検出し、これにより得た電気信号
によってモータ１の回転情報を検出する。
体で形成された磁気ドラム２が直結されている。磁気ド
ラム２に設けられた複数の磁気トラック３は磁化領域と
未着磁領域により所定のグレーコードのパターンを成し
ており、このパターンを磁気ドラム２に沿って配置され
た磁気センサ４により検出し、これにより得た電気信号
によってモータ１の回転情報を検出する。
第７図（Ａ）は第６図の磁気ドラム２に記録する４ビッ
トのグレーコードの一例を示しており、このグレーコー
ドを磁気ドラム２に記録すると、磁気ドラム２の表面の
展開図は第７図（Ｂ）のようになる。第７図（Ｂ）にお
ける斜線部分は或る周波数で繰返し反転磁化されたパタ
ーンが記録されている領域で、白地部分は未着磁状態の
領域である。
トのグレーコードの一例を示しており、このグレーコー
ドを磁気ドラム２に記録すると、磁気ドラム２の表面の
展開図は第７図（Ｂ）のようになる。第７図（Ｂ）にお
ける斜線部分は或る周波数で繰返し反転磁化されたパタ
ーンが記録されている領域で、白地部分は未着磁状態の
領域である。
一方、磁気センサ４の基板に設けられる磁気抵抗効果素
子５（以下MR素子という）は、磁気抵抗パターンを第８
図に示すように折り返しピッチａで、MR素子５の幅Ａま
で折り返して構成する。第８図のようなMR素子５を第６
図の磁気トラック３にそれぞれ約0.1mmの空隙を介して
配置する。
子５（以下MR素子という）は、磁気抵抗パターンを第８
図に示すように折り返しピッチａで、MR素子５の幅Ａま
で折り返して構成する。第８図のようなMR素子５を第６
図の磁気トラック３にそれぞれ約0.1mmの空隙を介して
配置する。
第８図のMR素子５はFe−Ni,Ni−Coなどの強磁性材料に
よりなる磁気抵抗効果を有する合金で、0.05μｍ〜0.1
μｍの厚みに真空蒸着などによる薄膜形成方法によりガ
ラス等の基板上に堆積させ、しかるのちにエッチングを
行なったものである。このパターンの長手方向の長さｌ
は一般に0.5mm〜3mm程度とし、幅ｂを２μｍ〜30μｍと
することにより、長手方向に磁区が向くことになり、電
流方向と直交し、膜と平行する磁界に対して−２％〜−
４％の抵抗変化があり、電流方向と平行する磁界に対し
ては抵抗変化のない一軸異方性を有するようになる。
よりなる磁気抵抗効果を有する合金で、0.05μｍ〜0.1
μｍの厚みに真空蒸着などによる薄膜形成方法によりガ
ラス等の基板上に堆積させ、しかるのちにエッチングを
行なったものである。このパターンの長手方向の長さｌ
は一般に0.5mm〜3mm程度とし、幅ｂを２μｍ〜30μｍと
することにより、長手方向に磁区が向くことになり、電
流方向と直交し、膜と平行する磁界に対して−２％〜−
４％の抵抗変化があり、電流方向と平行する磁界に対し
ては抵抗変化のない一軸異方性を有するようになる。
以上のように構成された磁気センサにより磁気ドラム２
の各トラツクの磁界を検出すると、第９図に示すような
検出波形が得られる。第９図において符号91〜94は第８
図のMR素子５の各条のそれぞれが出力する波形でこれら
の合成出力は磁化領域において符号96のようになる。
の各トラツクの磁界を検出すると、第９図に示すような
検出波形が得られる。第９図において符号91〜94は第８
図のMR素子５の各条のそれぞれが出力する波形でこれら
の合成出力は磁化領域において符号96のようになる。
この出力信号をコンパレータなどを用いた波形処理回路
を通して整形すれば、トラック３の磁化領域のどの部分
においてもONの出力、未着磁領域においてはOFFの出力
を得ることができ、それぞれのトラックの検出信号のO
N,OFFの組合せにより、グレーコードに対応した絶対番
地の検出が可能になる。なお磁化領域における磁化ピッ
チ、またMR素子の膜厚、膜幅、パターンの本数はモータ
１の回転数、必要とされる分解能、磁化ドラムとMRセン
サの距離などにより最適な値を定めることができる。
を通して整形すれば、トラック３の磁化領域のどの部分
においてもONの出力、未着磁領域においてはOFFの出力
を得ることができ、それぞれのトラックの検出信号のO
N,OFFの組合せにより、グレーコードに対応した絶対番
地の検出が可能になる。なお磁化領域における磁化ピッ
チ、またMR素子の膜厚、膜幅、パターンの本数はモータ
１の回転数、必要とされる分解能、磁化ドラムとMRセン
サの距離などにより最適な値を定めることができる。
発明が解決しようとする課題 ところが、上述の従来例においては、第10図（Ａ）に示
すように磁化領域６と未着磁領域７が設けられている。
従ってこれらの領域の境界８において、磁化領域端部の
磁束の分布が符号10で示すように連続して磁化された部
分の磁束の分布９よりも大きく広がっている。従って第
10図（Ａ）のトラック図の左から右に走査した場合、検
出波形は第10図（Ｂ）のようになる。この波形をコンパ
レータなどを用いて所定のしきい値とそのMvとを比較す
ることにより波形整形を行なうと、第10図（Ｃ）に示す
ような検出出力が得られる。すなわち第10図に示すよう
に実際に磁気センサの前を境界８が通過する時点に対し
て検出信号にΔＴの検出誤差が生じている。この誤差は
磁気ドラム２の回転方向が逆でも同様に生じる。従って
従来構成では良好な検出精度を得るのが困難である。
すように磁化領域６と未着磁領域７が設けられている。
従ってこれらの領域の境界８において、磁化領域端部の
磁束の分布が符号10で示すように連続して磁化された部
分の磁束の分布９よりも大きく広がっている。従って第
10図（Ａ）のトラック図の左から右に走査した場合、検
出波形は第10図（Ｂ）のようになる。この波形をコンパ
レータなどを用いて所定のしきい値とそのMvとを比較す
ることにより波形整形を行なうと、第10図（Ｃ）に示す
ような検出出力が得られる。すなわち第10図に示すよう
に実際に磁気センサの前を境界８が通過する時点に対し
て検出信号にΔＴの検出誤差が生じている。この誤差は
磁気ドラム２の回転方向が逆でも同様に生じる。従って
従来構成では良好な検出精度を得るのが困難である。
また第８図に示すようにMR素子５は折り返しを多くして
いるので、ある瞬間を見ると全ての条に磁界が加えられ
ることがなく、MR素子５の最高の能力の1/5〜1/3ぐらい
しか利用できず、出力が小さい欠点があった。
いるので、ある瞬間を見ると全ての条に磁界が加えられ
ることがなく、MR素子５の最高の能力の1/5〜1/3ぐらい
しか利用できず、出力が小さい欠点があった。
また未着磁領域は出力にはなんら寄与していなかった。
本発明はこのような問題を解決し、検出精度を向上させ
ることを目的とする。
ることを目的とする。
課題を解決するための手段 以上の問題点を解決する本発明の技術的な手段は、磁気
トラックの従来の磁化領域を第１磁化領域とすると、こ
れと連続する従来の未着磁領域には第１磁化領域と直交
する第２磁化領域を設けたものである。なお、さらにこ
の二つの磁化領域にそれぞれ感じるMR素子２個を一体と
して配置し、第１のMR素子は第１磁化領域にのみ感じ、
第２のMR素子は第２の磁化領域にのみ感じるように配置
するものでもある。
トラックの従来の磁化領域を第１磁化領域とすると、こ
れと連続する従来の未着磁領域には第１磁化領域と直交
する第２磁化領域を設けたものである。なお、さらにこ
の二つの磁化領域にそれぞれ感じるMR素子２個を一体と
して配置し、第１のMR素子は第１磁化領域にのみ感じ、
第２のMR素子は第２の磁化領域にのみ感じるように配置
するものでもある。
この第１、第２のMR素子は直列に接続し、両端より電流
を供給し、直列の接続点より出力を得るように構成す
る。
を供給し、直列の接続点より出力を得るように構成す
る。
作用 本発明は上記した構成により、第１の磁化領域の境界部
の磁束の広がりも少なくなるとともに、さらに、上記の
ようなMR素子を対にして用いたものにあっては第１の磁
化領域では第１のMR素子の抵抗変化があり、第２のMR素
子の抵抗変化はおこらない。次に第２の磁化領域では逆
に第２のMR素子の抵抗変化があり、第１のMR素子の抵抗
変化はおこらない。したがって第１の第２のMR素子の関
係は“シーソー”のような関係であり、出力電圧が大き
くなり、境界部の磁束の広がりが小さくなることと合せ
て、立上り（下がり）の鋭い検出信号を得ることがで
き、検出精度をさらに向上させることができるものであ
る。
の磁束の広がりも少なくなるとともに、さらに、上記の
ようなMR素子を対にして用いたものにあっては第１の磁
化領域では第１のMR素子の抵抗変化があり、第２のMR素
子の抵抗変化はおこらない。次に第２の磁化領域では逆
に第２のMR素子の抵抗変化があり、第１のMR素子の抵抗
変化はおこらない。したがって第１の第２のMR素子の関
係は“シーソー”のような関係であり、出力電圧が大き
くなり、境界部の磁束の広がりが小さくなることと合せ
て、立上り（下がり）の鋭い検出信号を得ることがで
き、検出精度をさらに向上させることができるものであ
る。
実施例 以下、本発明の一実施例を添付図面を用いて説明する。
本発明の一実施例によるエンコーダ装置は、第２図のよ
うな構成であり、第２図において、１は回転制御をうけ
るモータで、このモータ軸には円周面が磁性体で形成さ
れた磁気ドラム２が直結されている。磁気ドラム２に設
けられた複数の磁気トラック13は第１磁化領域13aと、
これと連続する第２の磁化領域13bにより所定のグレー
コードのパターンを成しており、このパターンを磁気ド
ラム２に沿って配置された磁気センサ14のMR素子11によ
り検出し、これにより得た電気信号によってモータ１の
回転状態を検出する。
うな構成であり、第２図において、１は回転制御をうけ
るモータで、このモータ軸には円周面が磁性体で形成さ
れた磁気ドラム２が直結されている。磁気ドラム２に設
けられた複数の磁気トラック13は第１磁化領域13aと、
これと連続する第２の磁化領域13bにより所定のグレー
コードのパターンを成しており、このパターンを磁気ド
ラム２に沿って配置された磁気センサ14のMR素子11によ
り検出し、これにより得た電気信号によってモータ１の
回転状態を検出する。
第１磁化領域13aと第２磁化領域13bは第１図（Ａ）に示
すように、互に直交するようにそれぞれの磁化領域内で
は一定のピッチで磁化する。この磁気トラックの作り方
は、まず第２磁化領域13bを磁化する方法で全周に渡っ
て磁化する。その上から第１磁化領域13aを重ねて磁化
し、第１図、第２図に示すように所定のグレーコードに
対応した磁化領域を形成する。
すように、互に直交するようにそれぞれの磁化領域内で
は一定のピッチで磁化する。この磁気トラックの作り方
は、まず第２磁化領域13bを磁化する方法で全周に渡っ
て磁化する。その上から第１磁化領域13aを重ねて磁化
し、第１図、第２図に示すように所定のグレーコードに
対応した磁化領域を形成する。
第１、第２磁化領域13a、13bに対向するMR素子11は第３
図に示すように、第１のMR素子11aは第１の磁化領域13a
の磁界と電流が直交するようにパターンを形成する。
図に示すように、第１のMR素子11aは第１の磁化領域13a
の磁界と電流が直交するようにパターンを形成する。
第２のMR素子11bは第２の磁化領域13bの磁界と電流が直
交するようにパターンを形成する。MR素子11a,11bは直
列に接続し、その接続点を出力端子Ｆとし、MR端子11a,
11bの他端側から電流供給端子ＥとＧを形成し引出して
いる。
交するようにパターンを形成する。MR素子11a,11bは直
列に接続し、その接続点を出力端子Ｆとし、MR端子11a,
11bの他端側から電流供給端子ＥとＧを形成し引出して
いる。
このように構成したMR素子11は第４図に示すように、他
の基準抵抗Ｒとブリッジを構成し、端子E,G間に電源Ｈ
を接続し、MR素子11の出力端子Ｆからの出力を増幅器AM
Pで増幅し、次に可変抵抗VRで調整されたしきい値と比
較し、コンパレータＣで波形整形してデジタル化したエ
ンコーダ出力を得る。
の基準抵抗Ｒとブリッジを構成し、端子E,G間に電源Ｈ
を接続し、MR素子11の出力端子Ｆからの出力を増幅器AM
Pで増幅し、次に可変抵抗VRで調整されたしきい値と比
較し、コンパレータＣで波形整形してデジタル化したエ
ンコーダ出力を得る。
MR素子11と磁気ドラム２の空隙は約0.1mmとし、第１図
に示すように磁気トラック13とMR素子11を配置してい
る。磁気ドラム２が回転して、MR素子11が第２の磁化領
域13bから第１の磁化領域13aに走査したとき、第２の磁
化領域13bにおいては、MR素子11のMR素子11aには抵抗変
化せず、MR素子11bは負側に抵抗変化する。次に第１の
磁化領域13aにおいては、MR素子11bは抵抗変化せず、MR
素子11aは負側に抵抗変化する。
に示すように磁気トラック13とMR素子11を配置してい
る。磁気ドラム２が回転して、MR素子11が第２の磁化領
域13bから第１の磁化領域13aに走査したとき、第２の磁
化領域13bにおいては、MR素子11のMR素子11aには抵抗変
化せず、MR素子11bは負側に抵抗変化する。次に第１の
磁化領域13aにおいては、MR素子11bは抵抗変化せず、MR
素子11aは負側に抵抗変化する。
このMR素子の出力を第４図の出力端子Ｆで見ると、第５
図のようになり、出力端子Ｆの電圧は磁界のないときの
電位V0に対して第２の磁化領域13bでは負側に第１の磁
化領域13aでは正側になり大きな出力電圧となる。この
ようにMR素子11bの働きにより従来以上の出力電圧を得
ると共に、境界域での波形の立上りが急峻となる。
図のようになり、出力端子Ｆの電圧は磁界のないときの
電位V0に対して第２の磁化領域13bでは負側に第１の磁
化領域13aでは正側になり大きな出力電圧となる。この
ようにMR素子11bの働きにより従来以上の出力電圧を得
ると共に、境界域での波形の立上りが急峻となる。
また、第１図に示す第１の磁化領域13aの境界面の磁束1
2は第２の磁化領域13bの影響により従来例に比べて磁束
12の広がりが小さくなり、境界以外の第１磁化領域とほ
ぼ同様の広がりとなる。従ってMR素子11から出力される
信号は第１図（Ｂ）のようにほぼ境界の通過に対応して
立上り、コンパレータなどを用いて波形整形した出力は
第１図（Ｃ）のように境界の位置に正確に対応した立上
りとなる。従って従来のように検出誤差が生じることが
ない。
2は第２の磁化領域13bの影響により従来例に比べて磁束
12の広がりが小さくなり、境界以外の第１磁化領域とほ
ぼ同様の広がりとなる。従ってMR素子11から出力される
信号は第１図（Ｂ）のようにほぼ境界の通過に対応して
立上り、コンパレータなどを用いて波形整形した出力は
第１図（Ｃ）のように境界の位置に正確に対応した立上
りとなる。従って従来のように検出誤差が生じることが
ない。
なお、第１図（Ｂ）の出力信号の凹凸は磁化ピッチＰに
対してMR素子11aの幅W1が小さいと大きくなり、幅W1が
大きいと小さくなるが、出力信号レベルが低下する。し
たがってW1/Pは0.2〜１ぐらいが好ましい、 またMR素子11a,11bおよび基準抵抗Ｒはブリッジを組む
ことから、ほぼ同じ抵抗値とすることが好ましい。温度
に対する出力電力のドリフトを防止する上からMR素子11
a,11bは同一基板に同時に相似パターンで形成すること
が好ましい。
対してMR素子11aの幅W1が小さいと大きくなり、幅W1が
大きいと小さくなるが、出力信号レベルが低下する。し
たがってW1/Pは0.2〜１ぐらいが好ましい、 またMR素子11a,11bおよび基準抵抗Ｒはブリッジを組む
ことから、ほぼ同じ抵抗値とすることが好ましい。温度
に対する出力電力のドリフトを防止する上からMR素子11
a,11bは同一基板に同時に相似パターンで形成すること
が好ましい。
発明の効果 以上の説明から明らかなように本発明によれば、被検出
体である磁性体の磁気トラックに第１の磁化領域とこれ
と連続するとともに、この第１の磁化領域の磁化方向と
直交する磁化方向の第２の磁化領域を設けることによ
り、第１、第２の磁化領域の境界での磁束の広がりが小
さくなり、境界の位置に正確に対応した立上りの出力を
得ることができ、アブソリュートエンコーダとしての精
度向上が図れるとともに、さらに、磁気抵抗効果素子を
２個用いた検出手段を用いた場合にあっては、従来方法
に比べて約1.5〜２倍の出力が得られると共に、構成を
複雑にすることはなく検出精度を大幅に向上させること
ができる。また温度変化に対しては２個のMR素子は同時
に同量の抵抗変化をするので出力電圧レベルは変化しな
いので温度保償ができる優れた効果がある。
体である磁性体の磁気トラックに第１の磁化領域とこれ
と連続するとともに、この第１の磁化領域の磁化方向と
直交する磁化方向の第２の磁化領域を設けることによ
り、第１、第２の磁化領域の境界での磁束の広がりが小
さくなり、境界の位置に正確に対応した立上りの出力を
得ることができ、アブソリュートエンコーダとしての精
度向上が図れるとともに、さらに、磁気抵抗効果素子を
２個用いた検出手段を用いた場合にあっては、従来方法
に比べて約1.5〜２倍の出力が得られると共に、構成を
複雑にすることはなく検出精度を大幅に向上させること
ができる。また温度変化に対しては２個のMR素子は同時
に同量の抵抗変化をするので出力電圧レベルは変化しな
いので温度保償ができる優れた効果がある。
第１図（Ａ）は本発明による磁気式アブソリュートエン
コーダ装置を説明する磁気トラックとMR素子の関係を示
す説明図、第１図（Ｂ），（Ｃ）は本発明のMR素子の出
力波形及び波形整形後の出力信号をそれぞれ示した説明
図、第２図は本発明の一実施例による磁気式アブソリュ
ートエンコーダ装置の斜視図、第３図は本発明によるMR
素子のパターン説明図、第４図は本発明による装置の電
気回路図、第５図は本発明によるMR素子の出力を説明す
る波形図、第６図は従来のエンコーダ装置の斜視図、第
７図（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ磁気ドラムに記録するグ
レーコード及びそれに対応した磁気記録パターンの説明
図、第８図は従来のMR素子のパターン説明図、第９図は
従来のMR素子の出力を示す波形図、第10図（Ａ），
（Ｂ），（Ｃ）は従来の装置における磁束の広がり、MR
素子の出力及び波形整形後の検出出力をそれぞれ示した
説明図である。 11,11a,11b……MR素子、13……磁気トラック、13a……
第１の磁化領域、13b……第２の磁化領域、14……磁気
センサ。
コーダ装置を説明する磁気トラックとMR素子の関係を示
す説明図、第１図（Ｂ），（Ｃ）は本発明のMR素子の出
力波形及び波形整形後の出力信号をそれぞれ示した説明
図、第２図は本発明の一実施例による磁気式アブソリュ
ートエンコーダ装置の斜視図、第３図は本発明によるMR
素子のパターン説明図、第４図は本発明による装置の電
気回路図、第５図は本発明によるMR素子の出力を説明す
る波形図、第６図は従来のエンコーダ装置の斜視図、第
７図（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ磁気ドラムに記録するグ
レーコード及びそれに対応した磁気記録パターンの説明
図、第８図は従来のMR素子のパターン説明図、第９図は
従来のMR素子の出力を示す波形図、第10図（Ａ），
（Ｂ），（Ｃ）は従来の装置における磁束の広がり、MR
素子の出力及び波形整形後の検出出力をそれぞれ示した
説明図である。 11,11a,11b……MR素子、13……磁気トラック、13a……
第１の磁化領域、13b……第２の磁化領域、14……磁気
センサ。
Claims (4)
- 【請求項１】少なくとも被位置検出体に支持された磁気
記録媒体と、この磁気記録媒体の一方の面に形成された
磁気トラックと、この磁気トラックと近接対向する磁電
変換素子とで構成されるとともに、上記磁気トラックに
は上記磁気記録媒体の移動方向と平行な方向に磁界が発
生するように繰り返しのある磁気信号を記録した第１磁
化領域とこの第１磁化領域と直交する方向に磁界が発生
する第２磁化領域が連続して設けられていることを特徴
とする磁気式アブソリュートエンコーダ装置。 - 【請求項２】磁気トラックと近接対向する磁電変換素子
として、強磁性の磁気抵抗効果素子を用いたことを特徴
とする請求項１記載の磁気式アブソリュートエンコーダ
装置。 - 【請求項３】磁気抵抗効果素子において、磁気記録媒体
の移動方向と平行な方向の磁界に対して直交する磁気抵
抗パターンと平行な磁気抵抗パターンとで構成し、それ
ぞれは直列に接続し、その持続点を出力端子とし、その
反対側端子を電流供給端子としたことを特徴とする請求
項２記載の磁気式アブソリュートエンコーダ装置。 - 【請求項４】磁気記録媒体の移動方向と平行な方向の磁
界に対して直交する磁気抵抗パターンにおいて、その磁
極幅Ｐに対して折り返しのある磁気抵抗パターンの全幅
が1/5P以上である請求項３記載の磁気式アブソリュート
エンコーダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63066599A JPH0781880B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 磁気式アブソリュートエンコーダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63066599A JPH0781880B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 磁気式アブソリュートエンコーダ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01239418A JPH01239418A (ja) | 1989-09-25 |
| JPH0781880B2 true JPH0781880B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=13320549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63066599A Expired - Lifetime JPH0781880B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | 磁気式アブソリュートエンコーダ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781880B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56141514A (en) * | 1980-04-04 | 1981-11-05 | Nec Corp | Length measuring device |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP63066599A patent/JPH0781880B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01239418A (ja) | 1989-09-25 |
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