JPH0780369A - 超音波式吸入器用メッシュ部材及びその製造方法 - Google Patents
超音波式吸入器用メッシュ部材及びその製造方法Info
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- JPH0780369A JPH0780369A JP22976893A JP22976893A JPH0780369A JP H0780369 A JPH0780369 A JP H0780369A JP 22976893 A JP22976893 A JP 22976893A JP 22976893 A JP22976893 A JP 22976893A JP H0780369 A JPH0780369 A JP H0780369A
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- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
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- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
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- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ダブルホーン振動子の超音波振動に対する耐
久性及び薬液等に対する耐腐食性が良好であると共に、
メンテナンスの頻度が少ない超音波式吸入器用メッシュ
部材、並びにその製造方法を提供することである。 【構成】 当接面側Ａから霧化面側Ｂに向かって先細な
断面テーパ状の多数の微細孔２を有するメッシュ部材１
は、アルミナやジルコニア等のセラミックからなる。 【作用】 耐久性及び耐腐食性が向上し、目詰まりが起
こり難い。
久性及び薬液等に対する耐腐食性が良好であると共に、
メンテナンスの頻度が少ない超音波式吸入器用メッシュ
部材、並びにその製造方法を提供することである。 【構成】 当接面側Ａから霧化面側Ｂに向かって先細な
断面テーパ状の多数の微細孔２を有するメッシュ部材１
は、アルミナやジルコニア等のセラミックからなる。 【作用】 耐久性及び耐腐食性が向上し、目詰まりが起
こり難い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波式吸入器に使用
される多数の微細孔を持つメッシュ部材、並びにその製
造方法に関する。
される多数の微細孔を持つメッシュ部材、並びにその製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】多数の微細孔を持つメッシュ部材は、一
般に図８に示すような超音波式吸入器に使用される。こ
こに示す吸入器は、液体（薬液）Ｌを入れるボトル７０
と、このボトル７０内に位置する下端７１及びボトル７
０外に位置する上端７２に開口する液体吸い上げ用貫通
孔（吸水孔）７３を軸方向に有するパイプ（軸体）７４
に、２個の環状振動子７５，７６を取付けた超音波ポン
プ（ダブルホーン振動子）７７とを備える。メッシュ部
材８０は、コイルバネ等の弾性部材（図示せず）によっ
てパイプ上端７２に当接される。
般に図８に示すような超音波式吸入器に使用される。こ
こに示す吸入器は、液体（薬液）Ｌを入れるボトル７０
と、このボトル７０内に位置する下端７１及びボトル７
０外に位置する上端７２に開口する液体吸い上げ用貫通
孔（吸水孔）７３を軸方向に有するパイプ（軸体）７４
に、２個の環状振動子７５，７６を取付けた超音波ポン
プ（ダブルホーン振動子）７７とを備える。メッシュ部
材８０は、コイルバネ等の弾性部材（図示せず）によっ
てパイプ上端７２に当接される。
【０００３】このような吸入器では、発振器７８で発生
させた高周波電圧を振動子７５，７６に印加すると、振
動子７５，７６の超音波振動によってパイプ７４が上下
に振動する。これに伴い、ボトル７０内の薬液Ｌがパイ
プ７４の下端７１から吸水孔７３を通じて吸い上げら
れ、上端７２の開口から出る。そして、上端７２に当接
するメッシュ部材８０によって、薬液Ｌが霧状になって
放散する。
させた高周波電圧を振動子７５，７６に印加すると、振
動子７５，７６の超音波振動によってパイプ７４が上下
に振動する。これに伴い、ボトル７０内の薬液Ｌがパイ
プ７４の下端７１から吸水孔７３を通じて吸い上げら
れ、上端７２の開口から出る。そして、上端７２に当接
するメッシュ部材８０によって、薬液Ｌが霧状になって
放散する。
【０００４】ところで、メッシュ部材を用いて薬液を霧
化する方式の吸入器では、薬液をメッシュ部材の微細孔
に集め、圧力を加えて微細孔より霧状に噴出させるた
め、図９及び図１０に示すように、メッシュ部材８０の
微細孔８１，８２は、ダブルホーン振動子に当接する面
側Ａを広く、霧化面側Ｂを狭くした断面テーパ状に形成
されたものが知られている。
化する方式の吸入器では、薬液をメッシュ部材の微細孔
に集め、圧力を加えて微細孔より霧状に噴出させるた
め、図９及び図１０に示すように、メッシュ部材８０の
微細孔８１，８２は、ダブルホーン振動子に当接する面
側Ａを広く、霧化面側Ｂを狭くした断面テーパ状に形成
されたものが知られている。
【０００５】又、吸入器としての性格上、メッシュ部材
の微細孔の径は数ミクロン単位で精度良く形成されなけ
ればならず、現在のところ主にＮｉ（ニッケル）のエレ
クトロフォーミングやエキシマレーザによる加工により
メッシュ部材が製造されている。
の微細孔の径は数ミクロン単位で精度良く形成されなけ
ればならず、現在のところ主にＮｉ（ニッケル）のエレ
クトロフォーミングやエキシマレーザによる加工により
メッシュ部材が製造されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般に
ステンレス等の硬質な金属からなるダブルホーン振動子
の上端にメッシュ部材が当接されるため、ダブルホーン
振動子の超音波振動エネルギーがメッシュ部材に直接加
わり、特にメッシュ部材が樹脂等の柔軟な材質である場
合、図１２においてメッシュ部材８０の当接面側が振動
子の衝撃により削られ、その削れ屑９０がメッシュ部材
８０の微細孔８１に詰まり易く、霧化能力が劣化する等
の問題が起こる。又、メッシュ部材がニッケルからなる
場合、使用する薬液によってはメッシュ部材が腐食する
問題もある。
ステンレス等の硬質な金属からなるダブルホーン振動子
の上端にメッシュ部材が当接されるため、ダブルホーン
振動子の超音波振動エネルギーがメッシュ部材に直接加
わり、特にメッシュ部材が樹脂等の柔軟な材質である場
合、図１２においてメッシュ部材８０の当接面側が振動
子の衝撃により削られ、その削れ屑９０がメッシュ部材
８０の微細孔８１に詰まり易く、霧化能力が劣化する等
の問題が起こる。又、メッシュ部材がニッケルからなる
場合、使用する薬液によってはメッシュ部材が腐食する
問題もある。
【０００７】このような問題点を解決するために、例え
ば図１１に示すように、金属又は樹脂製のメッシュ部材
８０’の全表面にＡｕ、Ｐｔ、Ｔｉ等の金属をメッキ又
はスパッタリングしたり、或いは樹脂製のメッシュ部材
８０’の全表面に上記金属をイオン注入したりするなど
して、被覆層８３を形成し、表面強度及び耐腐食性を高
めたものもある。
ば図１１に示すように、金属又は樹脂製のメッシュ部材
８０’の全表面にＡｕ、Ｐｔ、Ｔｉ等の金属をメッキ又
はスパッタリングしたり、或いは樹脂製のメッシュ部材
８０’の全表面に上記金属をイオン注入したりするなど
して、被覆層８３を形成し、表面強度及び耐腐食性を高
めたものもある。
【０００８】しかし、被覆層８３を設けたメッシュ部材
は、その被覆材故にコストが高く、特に微細孔の被覆層
が超音波振動により削り取られ易い。しかも、被覆層の
形成に際してはピンホールが生じ易く、このピンホール
を防止するのは技術的に大変難しい。更には、上記メッ
シュ部材自身の削れ屑による目詰まり以外にも、薬液中
に比較的大きなゴミが存在すると、ゴミで微細孔が詰ま
ったり、或いは微細孔に薬液が付着したまま放置する
と、薬液が乾燥結晶化し、この結晶で微細孔が詰まった
りすることがある。微細孔が目詰まりを起こした場合に
は、メッシュ部材を充分に洗浄する必要があり、目詰ま
りが頻繁に起こるとメンテナンスが煩雑になる問題もあ
る。特に、樹脂等の柔軟な材質からなるメッシュ部材で
は、充分な剛性を確保するためにＮｉ等の金属製のメッ
シュ部材に比べて数倍の厚みを要するが、これだとゴミ
や結晶が余計に微細孔に詰まり易くなる。
は、その被覆材故にコストが高く、特に微細孔の被覆層
が超音波振動により削り取られ易い。しかも、被覆層の
形成に際してはピンホールが生じ易く、このピンホール
を防止するのは技術的に大変難しい。更には、上記メッ
シュ部材自身の削れ屑による目詰まり以外にも、薬液中
に比較的大きなゴミが存在すると、ゴミで微細孔が詰ま
ったり、或いは微細孔に薬液が付着したまま放置する
と、薬液が乾燥結晶化し、この結晶で微細孔が詰まった
りすることがある。微細孔が目詰まりを起こした場合に
は、メッシュ部材を充分に洗浄する必要があり、目詰ま
りが頻繁に起こるとメンテナンスが煩雑になる問題もあ
る。特に、樹脂等の柔軟な材質からなるメッシュ部材で
は、充分な剛性を確保するためにＮｉ等の金属製のメッ
シュ部材に比べて数倍の厚みを要するが、これだとゴミ
や結晶が余計に微細孔に詰まり易くなる。
【０００９】従って、本発明は、上記種々の問題点に着
目してなされたもので、ダブルホーン振動子の超音波振
動に対する耐久性及び薬液等に対する耐腐食性が良好で
あると共に、メンテナンスの頻度が少ない超音波式吸入
器用メッシュ部材、並びにその製造方法を提供すること
を目的とする。
目してなされたもので、ダブルホーン振動子の超音波振
動に対する耐久性及び薬液等に対する耐腐食性が良好で
あると共に、メンテナンスの頻度が少ない超音波式吸入
器用メッシュ部材、並びにその製造方法を提供すること
を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１記載の超音波式吸入器用メッシュ部材は、
アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）やジルコニア（ＺｒＯ2 ）等の
セラミックからなることを特徴とする。請求項２記載の
製造方法は、セラミック製メッシュ部材の製造方法であ
って、セラミックからなる平板状部材に、照射径を徐々
に小さくしながらエキシマレーザを照射し、多数の断面
テーパ状の微細孔を形成することを特徴とする。
に、請求項１記載の超音波式吸入器用メッシュ部材は、
アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）やジルコニア（ＺｒＯ2 ）等の
セラミックからなることを特徴とする。請求項２記載の
製造方法は、セラミック製メッシュ部材の製造方法であ
って、セラミックからなる平板状部材に、照射径を徐々
に小さくしながらエキシマレーザを照射し、多数の断面
テーパ状の微細孔を形成することを特徴とする。
【００１１】又、請求項４記載のメッシュ部材は、その
微細孔がメッシュ部材の両面側からそれぞれ厚みの中心
部に向かって先細な断面テーパ状であることを特徴とす
る。
微細孔がメッシュ部材の両面側からそれぞれ厚みの中心
部に向かって先細な断面テーパ状であることを特徴とす
る。
【００１２】
【作用】請求項１記載のメッシュ部材では、メッシュ部
材の材質にセラミックを用いており、セラミックは一般
に高硬度であるため、硬い材質のダブルホーン振動子の
超音波振動衝撃を直接受けても、メッシュ部材の当接表
面が削れたりするような形状的破壊は極めて起こり難
く、削れ屑が原因の微細孔の目詰まりによる霧化能力の
劣化は殆ど起こらない。その上、セラミックは化学的に
安定しているため、様々な薬液に対して耐腐食性が高
い。従って、機械的且つ化学的耐久性能の極めて高いメ
ッシュ部材を提供できる。
材の材質にセラミックを用いており、セラミックは一般
に高硬度であるため、硬い材質のダブルホーン振動子の
超音波振動衝撃を直接受けても、メッシュ部材の当接表
面が削れたりするような形状的破壊は極めて起こり難
く、削れ屑が原因の微細孔の目詰まりによる霧化能力の
劣化は殆ど起こらない。その上、セラミックは化学的に
安定しているため、様々な薬液に対して耐腐食性が高
い。従って、機械的且つ化学的耐久性能の極めて高いメ
ッシュ部材を提供できる。
【００１３】更には、微細孔の目詰まりは、メッシュ部
材の厚みが厚いほど、つまり微細孔が長いほど起こり易
いが、メッシュ部材をセラミック製とすることで、セラ
ミック自体の剛性が高いので硬質な金属製メッシュ部材
並の厚みでそれと同等の霧化能力を得ることができ、ゴ
ミや結晶等の異物による目詰まりが発生し難くなる。こ
の結果、メッシュ部材の洗浄等のメンテナンスの頻度が
大幅に減る。
材の厚みが厚いほど、つまり微細孔が長いほど起こり易
いが、メッシュ部材をセラミック製とすることで、セラ
ミック自体の剛性が高いので硬質な金属製メッシュ部材
並の厚みでそれと同等の霧化能力を得ることができ、ゴ
ミや結晶等の異物による目詰まりが発生し難くなる。こ
の結果、メッシュ部材の洗浄等のメンテナンスの頻度が
大幅に減る。
【００１４】請求項２記載の製造方法によると、セラミ
ックからなる平板状部材にテーパ状の微細孔を数ミクロ
ン単位で高精度に形成することができ、上記特長を有す
るセラミック製メッシュ部材を容易に製造できる。請求
項４記載のメッシュ部材では、微細孔がメッシュ部材の
両面側から厚み中心部に向かって先細な断面テーパ状に
なっているため、メッシュ部材の両面のいずれの面も当
接面又は霧化面として使用可能であり、異物が微細孔に
詰まっても、メッシュ部材を逆様にして使用すれば、異
物が噴霧によりテーパ状孔から吹き飛ばされるので、メ
ッシュ部材の目詰まりを容易に解消でき、メンテナンス
フリーに近くなる。加えて、メッシュ部材の表裏が存在
しなくなるため、吸入器の組立やメッシュ部材の管理が
簡単になる。
ックからなる平板状部材にテーパ状の微細孔を数ミクロ
ン単位で高精度に形成することができ、上記特長を有す
るセラミック製メッシュ部材を容易に製造できる。請求
項４記載のメッシュ部材では、微細孔がメッシュ部材の
両面側から厚み中心部に向かって先細な断面テーパ状に
なっているため、メッシュ部材の両面のいずれの面も当
接面又は霧化面として使用可能であり、異物が微細孔に
詰まっても、メッシュ部材を逆様にして使用すれば、異
物が噴霧によりテーパ状孔から吹き飛ばされるので、メ
ッシュ部材の目詰まりを容易に解消でき、メンテナンス
フリーに近くなる。加えて、メッシュ部材の表裏が存在
しなくなるため、吸入器の組立やメッシュ部材の管理が
簡単になる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明のメッシュ部材及び製造方法を
実施例に基づいて説明する。図１に一実施例に係るメッ
シュ部材１の部分拡大断面図を示す。このメッシュ部材
１は、アルミナやジルコニア等のセラミックからなり、
ダブルホーン振動子の当接面側はＡ側で、霧化面側はＢ
側である。又、メッシュ部材１は、従来の樹脂製や金属
製のものと同様に、当接面側から霧化面側に向かって先
細な断面テーパ状の多数の微細孔２を有し、微細孔２は
全体形状として円錐状である。図１から分かるように、
このメッシュ部材１は形状的には従来のものと何ら変わ
りはない。
実施例に基づいて説明する。図１に一実施例に係るメッ
シュ部材１の部分拡大断面図を示す。このメッシュ部材
１は、アルミナやジルコニア等のセラミックからなり、
ダブルホーン振動子の当接面側はＡ側で、霧化面側はＢ
側である。又、メッシュ部材１は、従来の樹脂製や金属
製のものと同様に、当接面側から霧化面側に向かって先
細な断面テーパ状の多数の微細孔２を有し、微細孔２は
全体形状として円錐状である。図１から分かるように、
このメッシュ部材１は形状的には従来のものと何ら変わ
りはない。
【００１６】次に、このようなメッシュ部材１の製造方
法について述べる。これには、図２に示すように、微細
孔のテーパ径を数段階（ここでは５段階）に分けた径を
持つ円形の窓ａ1 ，・・・，ａ5 を有する加工マスク５
０を用いる。但し、説明し易くするために、ここでは１
枚のマスク５０に５つの窓を示してあるが、実際には各
窓がそれぞれ別個に設けられた５枚のマスクを用意し、
マスクを順次取り替えて製造する。
法について述べる。これには、図２に示すように、微細
孔のテーパ径を数段階（ここでは５段階）に分けた径を
持つ円形の窓ａ1 ，・・・，ａ5 を有する加工マスク５
０を用いる。但し、説明し易くするために、ここでは１
枚のマスク５０に５つの窓を示してあるが、実際には各
窓がそれぞれ別個に設けられた５枚のマスクを用意し、
マスクを順次取り替えて製造する。
【００１７】窓ａ1 ，・・・，ａ5 のうち、窓ａ1 は微
細孔の当接面側Ａに、窓ａ5 は霧化面側Ｂに、窓ａ2 ，
ａ3 ，ａ4 は途中の部分に対応する。まず、所定の厚み
及び大きさのセラミック製の平板状部材４０に、最初に
加工マスク５０の窓ａ1 を利用してエキシマレーザを照
射する。レーザは窓ａ1 により照射径が絞られているた
め、部材４０には窓ａ1 と同径の穴ｂ1 が形成される。
レーザ照射は、穴ｂ1が所定の深さになるまで続けられ
る。
細孔の当接面側Ａに、窓ａ5 は霧化面側Ｂに、窓ａ2 ，
ａ3 ，ａ4 は途中の部分に対応する。まず、所定の厚み
及び大きさのセラミック製の平板状部材４０に、最初に
加工マスク５０の窓ａ1 を利用してエキシマレーザを照
射する。レーザは窓ａ1 により照射径が絞られているた
め、部材４０には窓ａ1 と同径の穴ｂ1 が形成される。
レーザ照射は、穴ｂ1が所定の深さになるまで続けられ
る。
【００１８】その後、今度は窓ａ2 からエキシマレーザ
を照射し、穴ｂ1 よりも深い穴ｂ2を形成する。同様
に、窓ａ3 ，ａ4 を利用してエキシマレーザを照射し、
それぞれ穴ｂ3 ，ｂ4 を開ける。そして、窓ａ5 からエ
キシマレーザを照射して穴ｂ5を形成し、部材４０の当
接面側から霧化面側に貫通する孔を開ける。これによ
り、穴ｂ1 から穴ｂ5 に従って段階的に径の小さいテー
パ状の微細孔が形成される。
を照射し、穴ｂ1 よりも深い穴ｂ2を形成する。同様
に、窓ａ3 ，ａ4 を利用してエキシマレーザを照射し、
それぞれ穴ｂ3 ，ｂ4 を開ける。そして、窓ａ5 からエ
キシマレーザを照射して穴ｂ5を形成し、部材４０の当
接面側から霧化面側に貫通する孔を開ける。これによ
り、穴ｂ1 から穴ｂ5 に従って段階的に径の小さいテー
パ状の微細孔が形成される。
【００１９】ここで、加工の寸法例を示すと、平板状部
材４０の厚みは５０μｍ、穴ｂ1 の径は７０〜９０μ
ｍ、穴ｂ5 の径は５μｍである。このような製造方法に
より、精度の良い微細孔を持つセラミック製のメッシュ
部材を容易に提供できる。なお、この製造方法では、微
細孔を５段階に分割形成しているが、段階数はこれより
も多くても少なくても構わず、適宜選定すればよい。
又、加工マスクの窓の径、窓の数により様々な断面テー
パ状の微細孔を形成することができる。
材４０の厚みは５０μｍ、穴ｂ1 の径は７０〜９０μ
ｍ、穴ｂ5 の径は５μｍである。このような製造方法に
より、精度の良い微細孔を持つセラミック製のメッシュ
部材を容易に提供できる。なお、この製造方法では、微
細孔を５段階に分割形成しているが、段階数はこれより
も多くても少なくても構わず、適宜選定すればよい。
又、加工マスクの窓の径、窓の数により様々な断面テー
パ状の微細孔を形成することができる。
【００２０】このようにして製造したセラミック製のメ
ッシュ部材は、セラミックの性質上、ダブルホーン振動
子の超音波振動衝撃に対する耐久性、薬液に対する耐腐
食性が高い。又、金属製のメッシュ部材並の厚さでそれ
と同等の霧化性能が得られるので、ゴミや結晶等の異物
による目詰まりを起こし難く、メンテナンスを余り行わ
なくてもよい。
ッシュ部材は、セラミックの性質上、ダブルホーン振動
子の超音波振動衝撃に対する耐久性、薬液に対する耐腐
食性が高い。又、金属製のメッシュ部材並の厚さでそれ
と同等の霧化性能が得られるので、ゴミや結晶等の異物
による目詰まりを起こし難く、メンテナンスを余り行わ
なくてもよい。
【００２１】断面テーパ状の微細孔の変更例として、図
３に示すような断面形状の微細孔３でも構わない。この
微細孔３は、霧化面側のみが断面テーパ状であり、その
他の部分は断面長方形状になっている。この形状の微細
孔３では、霧化作用により異物が霧化面側から吹き飛ば
され易くなり、異物による目詰まりが一層発生し難くな
る。しかも、目詰まりを起こした場合でも、洗浄する際
に洗浄液が微細孔に進入し易くなり、充分な洗浄を簡単
に行うことができる。
３に示すような断面形状の微細孔３でも構わない。この
微細孔３は、霧化面側のみが断面テーパ状であり、その
他の部分は断面長方形状になっている。この形状の微細
孔３では、霧化作用により異物が霧化面側から吹き飛ば
され易くなり、異物による目詰まりが一層発生し難くな
る。しかも、目詰まりを起こした場合でも、洗浄する際
に洗浄液が微細孔に進入し易くなり、充分な洗浄を簡単
に行うことができる。
【００２２】次に、微細孔が当接面側及び霧化面側から
それぞれ厚みの中心部に向かって先細な断面テーパ状に
なっているメッシュ部材の例を図４及び図５に示す。こ
れらのメッシュ部材５，７はいずれも従来と同様に金属
製又は樹脂製でも、或いはセラミック製でもよい。図４
のメッシュ部材５では、部材５の両面側から厚みの中心
部に向かって延びるテーパ状孔６ａ，６ｂにより微細孔
が形成され、断面テーパ形状が直線的である。一方、図
５のメッシュ部材７では、曲線的なテーパ状孔８ａ，８
ｂによって微細孔が形成されている。
それぞれ厚みの中心部に向かって先細な断面テーパ状に
なっているメッシュ部材の例を図４及び図５に示す。こ
れらのメッシュ部材５，７はいずれも従来と同様に金属
製又は樹脂製でも、或いはセラミック製でもよい。図４
のメッシュ部材５では、部材５の両面側から厚みの中心
部に向かって延びるテーパ状孔６ａ，６ｂにより微細孔
が形成され、断面テーパ形状が直線的である。一方、図
５のメッシュ部材７では、曲線的なテーパ状孔８ａ，８
ｂによって微細孔が形成されている。
【００２３】このようなメッシュ部材の作用を図４のメ
ッシュ部材５で説明すると、まず図６においてテーパ状
孔６ａを当接面側にして使用し、孔６ａにゴミや結晶等
の異物１０が進入すると、孔６ａ，６ｂ間の狭路が異物
１０で塞がれる。しかし、図７のように、メッシュ部材
５の表裏を逆向きにすると、即ちテーパ状孔６ｂを当接
面側にすると、孔６ａに詰まっていた異物１０が超音波
振動により孔６ａの外部に放出され、目詰まりが簡単に
解消される。
ッシュ部材５で説明すると、まず図６においてテーパ状
孔６ａを当接面側にして使用し、孔６ａにゴミや結晶等
の異物１０が進入すると、孔６ａ，６ｂ間の狭路が異物
１０で塞がれる。しかし、図７のように、メッシュ部材
５の表裏を逆向きにすると、即ちテーパ状孔６ｂを当接
面側にすると、孔６ａに詰まっていた異物１０が超音波
振動により孔６ａの外部に放出され、目詰まりが簡単に
解消される。
【００２４】このような作用効果は、図５のメッシュ部
材７でも同等である。これに加えて、メッシュ部材の表
裏が存在しないため、どちらの面を当接面又は霧化面に
してもよく、吸入器の組立の際にメッシュ部材の表裏を
確認する必要がなく、メッシュ部材の組み込みが容易と
なるだけでなく、メッシュ部材の管理もたやすくなる。
材７でも同等である。これに加えて、メッシュ部材の表
裏が存在しないため、どちらの面を当接面又は霧化面に
してもよく、吸入器の組立の際にメッシュ部材の表裏を
確認する必要がなく、メッシュ部材の組み込みが容易と
なるだけでなく、メッシュ部材の管理もたやすくなる。
【００２５】
【発明の効果】本発明のメッシュ部材及び製造方法は、
以上説明したように構成されるため、下記の効果を有す
る。 （１）請求項１記載のメッシュ部材では、アルミナやジ
ルコニア等のセラミックからなるため、ダブルホーン振
動子の超音波振動衝撃によるメッシュ部材の削れ等の形
状的破壊が起こり難く、削れ屑による目詰まりで霧化能
力が劣化するようなことが殆どない上に、使用する液体
（薬液）によってメッシュ部材が腐食することもない。
従って、機械的且つ化学的耐久性能の極めて高いメッシ
ュ部材を提供できる。
以上説明したように構成されるため、下記の効果を有す
る。 （１）請求項１記載のメッシュ部材では、アルミナやジ
ルコニア等のセラミックからなるため、ダブルホーン振
動子の超音波振動衝撃によるメッシュ部材の削れ等の形
状的破壊が起こり難く、削れ屑による目詰まりで霧化能
力が劣化するようなことが殆どない上に、使用する液体
（薬液）によってメッシュ部材が腐食することもない。
従って、機械的且つ化学的耐久性能の極めて高いメッシ
ュ部材を提供できる。
【００２６】又、メッシュ部材の厚みを金属製メッシュ
部材並の厚さにしても、それと同等の霧化性能を得るこ
とが可能であり、薄肉化により目詰まりの発生を更に抑
えることが可能である。 （２）請求項２記載の製造方法では、微細孔を数ミクロ
ン単位で精度良く形成することができ、セラミック製の
メッシュ部材を容易に製造することができる。 （３）請求項４記載のメッシュ部材では、微細孔がメッ
シュ部材の両面側からそれぞれ厚みの中心部に向かって
先細な断面テーパ状であるから、異物による目詰まりを
起こしても部材の面を逆向きにして噴霧させれば、異物
がテーパ状の孔から簡単に吹き飛ばされるので、目詰ま
りの解消が容易であり、メンテナンスが楽になる。
部材並の厚さにしても、それと同等の霧化性能を得るこ
とが可能であり、薄肉化により目詰まりの発生を更に抑
えることが可能である。 （２）請求項２記載の製造方法では、微細孔を数ミクロ
ン単位で精度良く形成することができ、セラミック製の
メッシュ部材を容易に製造することができる。 （３）請求項４記載のメッシュ部材では、微細孔がメッ
シュ部材の両面側からそれぞれ厚みの中心部に向かって
先細な断面テーパ状であるから、異物による目詰まりを
起こしても部材の面を逆向きにして噴霧させれば、異物
がテーパ状の孔から簡単に吹き飛ばされるので、目詰ま
りの解消が容易であり、メンテナンスが楽になる。
【００２７】又、メッシュ部材の表裏が存在しないた
め、どちらの面を当接面又は霧化面としてもよく、吸入
器へのメッシュ部材の組み込みが簡便になり、メッシュ
部材の管理もし易くなる。
め、どちらの面を当接面又は霧化面としてもよく、吸入
器へのメッシュ部材の組み込みが簡便になり、メッシュ
部材の管理もし易くなる。
【図１】一実施例に係るメッシュ部材の部分拡大断面図
である。
である。
【図２】断面テーパ状の微細孔を有する本発明のセラミ
ック製メッシュ部材の製造方法を説明するための図であ
る。
ック製メッシュ部材の製造方法を説明するための図であ
る。
【図３】断面テーパ状の微細孔の変形例を示すメッシュ
部材の部分拡大断面図である。
部材の部分拡大断面図である。
【図４】両面側が断面テーパ状の微細孔を有するメッシ
ュ部材の一例を示す部分拡大断面図である。
ュ部材の一例を示す部分拡大断面図である。
【図５】両面側が断面テーパ状の微細孔を有するメッシ
ュ部材の別例を示す部分拡大断面図である。
ュ部材の別例を示す部分拡大断面図である。
【図６】図４に示すメッシュ部材での目詰まり状態を示
す部分拡大断面図である。
す部分拡大断面図である。
【図７】図４に示すメッシュ部材での目詰まりを解消す
る作用を説明するための部分拡大断面図である。
る作用を説明するための部分拡大断面図である。
【図８】一般的な超音波式吸入器の概略構成図である。
【図９】従来例に係るメッシュ部材の部分拡大断面図で
ある。
ある。
【図１０】別の従来例に係るメッシュ部材の部分拡大断
面図である。
面図である。
【図１１】全面に被覆層を設けた従来例に係るメッシュ
部材の部分拡大断面図である。
部材の部分拡大断面図である。
【図１２】図９に示すメッシュ部材での目詰まり状態を
示す部分拡大断面図である。
示す部分拡大断面図である。
１，５，７ メッシュ部材 ２，３ 微細孔 ６ａ，６ｂ 微細孔 ８ａ，８ｂ 微細孔 １０ 異物 Ａ 当接面側 Ｂ 霧化面側
Claims (4)
- 【請求項１】超音波式吸入器に使用される多数の微細孔
を持つメッシュ部材において、前記メッシュ部材はセラ
ミックからなることを特徴とする超音波式吸入器用メッ
シュ部材。 - 【請求項２】セラミックからなる平板状部材に、照射径
を徐々に小さくしながらエキシマレーザを照射し、多数
の断面テーパ状の微細孔を形成することを特徴とする超
音波式吸入器用メッシュ部材の製造方法。 - 【請求項３】前記セラミックは、アルミナ（Ａｌ
2 Ｏ3 ）又はジルコニア（ＺｒＯ2 ）であることを特徴
とする請求項１記載の超音波式吸入器用メッシュ部材。 - 【請求項４】超音波式吸入器に使用される多数の微細孔
を持つメッシュ部材において、前記メッシュ部材の微細
孔は、メッシュ部材の両面側からそれぞれ厚みの中心部
に向かって先細な断面テーパ状であることを特徴とする
超音波式吸入器用メッシュ部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5229768A JP2790014B2 (ja) | 1993-09-16 | 1993-09-16 | 超音波式吸入器用メッシュ部材及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5229768A JP2790014B2 (ja) | 1993-09-16 | 1993-09-16 | 超音波式吸入器用メッシュ部材及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0780369A true JPH0780369A (ja) | 1995-03-28 |
| JP2790014B2 JP2790014B2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=16897375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5229768A Expired - Fee Related JP2790014B2 (ja) | 1993-09-16 | 1993-09-16 | 超音波式吸入器用メッシュ部材及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2790014B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999017888A1 (fr) * | 1997-10-06 | 1999-04-15 | Omron Corporation | Pulverisateur |
| WO2002028545A1 (fr) * | 2000-10-05 | 2002-04-11 | Omron Corporation | Dispositif de pulverisation de liquides |
| EP1295647A1 (en) * | 2001-09-24 | 2003-03-26 | The Technology Partnership Public Limited Company | Nozzles in perforate membranes and their manufacture |
| JP2004523261A (ja) * | 2000-11-21 | 2004-08-05 | グラクソ グループ リミテッド | 薬剤送達用スプレーヘッドの製法 |
| WO2007046185A1 (ja) * | 2005-10-19 | 2007-04-26 | Arai Machinery Corporation | 孔明き加工部材 |
| US7225807B2 (en) | 2001-03-15 | 2007-06-05 | Creare Incorporated | Systems and methods for aerosol delivery of agents |
| JP2009125277A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Health & Life Co Ltd | ミクロスチーム化装置 |
| US7954486B2 (en) | 2004-04-02 | 2011-06-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Department Of Health And Human Services | Aerosol delivery systems and methods |
| JP2013094890A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細貫通孔成形装置、微細貫通孔成形品の製造方法、および微細貫通孔成形品 |
| JP2013094888A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細貫通孔成形装置、微細貫通孔成形品の製造方法、および微細貫通孔成形品 |
| JP2013094886A (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細貫通孔成形品の製造方法、およびその方法により製造されたミスト形成用フィルター |
| JP2014008585A (ja) * | 2012-07-02 | 2014-01-20 | Nagamine Seisakusho:Kk | 多孔プレート製造工具、多孔プレートの製造方法および多孔プレート |
| CN110621411A (zh) * | 2017-05-31 | 2019-12-27 | 艾斯曲尔医疗公司 | 喷嘴装置及其制造方法 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2006297226A (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 噴霧器用メッシュノズルおよび噴霧器 |
| EP2644282B1 (en) | 2012-03-28 | 2015-10-21 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Mesh for nebulizer and production method thereof |
| JP5157000B1 (ja) * | 2012-03-28 | 2013-03-06 | 田中貴金属工業株式会社 | 噴霧器用メッシュ |
| KR20170137431A (ko) * | 2016-06-03 | 2017-12-13 | 광운대학교 산학협력단 | 다공성 이중막 및 그의 제조방법 |
-
1993
- 1993-09-16 JP JP5229768A patent/JP2790014B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN1292843C (zh) * | 2000-10-05 | 2007-01-03 | 欧姆龙健康医疗事业株式会社 | 液体喷雾装置 |
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| US8656908B2 (en) | 2004-04-02 | 2014-02-25 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Department Of Health And Human Services, Centers For Disease Control And Prevention | Aerosol delivery systems and methods |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2790014B2 (ja) | 1998-08-27 |
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