JPH0779038A - Ｌｄ励起固体レーザ装置 - Google Patents
Ｌｄ励起固体レーザ装置Info
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- JPH0779038A JPH0779038A JP22101993A JP22101993A JPH0779038A JP H0779038 A JPH0779038 A JP H0779038A JP 22101993 A JP22101993 A JP 22101993A JP 22101993 A JP22101993 A JP 22101993A JP H0779038 A JPH0779038 A JP H0779038A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 構成が簡単で安価なＬＤ励起固体レーザ装置
を提供する。 【構成】 イットリウム・アルミニウム・酸化物単結晶
の結晶軸に対して直角な面Ａと、上記結晶軸に対して所
定の角度をなす面Ｂとを有するマイクロスラブ型ＹＡＧ
レーザ発振素子の面Ａの上半分の部分に、膜厚が１７０
ｎｍから１９５ｎｍのＳｉＯ2 膜と、膜厚が１１０ｎｍ
から１３０ｎｍのＴｉＯ2 膜とを交互に１９層蒸着し、
面Ａの下半分の部分に、膜厚が３００ｎｍから５００ｎ
ｍのＭｇＦ2 膜を蒸着してなる。
を提供する。 【構成】 イットリウム・アルミニウム・酸化物単結晶
の結晶軸に対して直角な面Ａと、上記結晶軸に対して所
定の角度をなす面Ｂとを有するマイクロスラブ型ＹＡＧ
レーザ発振素子の面Ａの上半分の部分に、膜厚が１７０
ｎｍから１９５ｎｍのＳｉＯ2 膜と、膜厚が１１０ｎｍ
から１３０ｎｍのＴｉＯ2 膜とを交互に１９層蒸着し、
面Ａの下半分の部分に、膜厚が３００ｎｍから５００ｎ
ｍのＭｇＦ2 膜を蒸着してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＤレーザ光で励起し
てレーザ発振するＬＤ励起固体レーザ装置に関する。
てレーザ発振するＬＤ励起固体レーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、低電力、高効率、超小型、長寿
命であるＬＤ励起固体（ＹＡＧ）レーザ装置は、電子微
細加工、測距、レーザレーダー等に用いられている。従
来、このＬＤ励起固体レーザ装置は、図６に示すよう
に、ＬＤ１、固体（ＹＡＧ）レーザ発振素子１３、集光
レンズ２１および出射ミラー４から構成されていた。固
体レーザ発振素子１３の片面には、励起光に対して無反
射で発振レーザ光に対して反射率１００％を示すような
ダイクロイックコート１６がなされ、他の面には、発振
レーザ光の波長に対して無反射な無反射コート１８が施
されている。なお、図６において、符号１７はＬＤレー
ザ光の光路を示し、符号１９は共振器内のレーザ光の光
路を示し、符号２０は励起光の光路を示している。
命であるＬＤ励起固体（ＹＡＧ）レーザ装置は、電子微
細加工、測距、レーザレーダー等に用いられている。従
来、このＬＤ励起固体レーザ装置は、図６に示すよう
に、ＬＤ１、固体（ＹＡＧ）レーザ発振素子１３、集光
レンズ２１および出射ミラー４から構成されていた。固
体レーザ発振素子１３の片面には、励起光に対して無反
射で発振レーザ光に対して反射率１００％を示すような
ダイクロイックコート１６がなされ、他の面には、発振
レーザ光の波長に対して無反射な無反射コート１８が施
されている。なお、図６において、符号１７はＬＤレー
ザ光の光路を示し、符号１９は共振器内のレーザ光の光
路を示し、符号２０は励起光の光路を示している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のＬＤ励起固
体レーザ装置では、その構成部品数が多く高価な装置と
なる。また、従来のＬＤ励起固体レーザ装置では、２種
類以上の物質を、数ｎｍの膜厚誤差で交互に十数層蒸着
する高度な蒸着技術が必要となる。しかも、従来のＬＤ
励起固体レーザ装置では、励起光に対して反射ロスを５
％以下に押えることが不可能であり、また、その励起光
と固体レーザ発振光とを完全に一致させることも困難で
あったために、効率が非常に悪かった。
体レーザ装置では、その構成部品数が多く高価な装置と
なる。また、従来のＬＤ励起固体レーザ装置では、２種
類以上の物質を、数ｎｍの膜厚誤差で交互に十数層蒸着
する高度な蒸着技術が必要となる。しかも、従来のＬＤ
励起固体レーザ装置では、励起光に対して反射ロスを５
％以下に押えることが不可能であり、また、その励起光
と固体レーザ発振光とを完全に一致させることも困難で
あったために、効率が非常に悪かった。
【０００４】本発明の課題は、構成が簡単で安価なＬＤ
励起固体レーザ装置を提供することにある。
励起固体レーザ装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、イット
リウム・アルミニウム・酸化物単結晶の結晶軸に対して
直角な面Ａと、上記結晶軸に対して所定の角度をなす面
Ｂとを有するマイクロスラブ型ＹＡＧレーザ発振素子に
おいて、上記面Ａに、膜厚が１７０ｎｍから１９５ｎｍ
のＳｉＯ2 膜と、膜厚が１１０ｎｍから１３０ｎｍのＴ
ｉＯ2 膜とを交互に１９層蒸着し、上記面Ａに、膜厚が
３００ｎｍから５００ｎｍのＭｇＦ2 膜を蒸着したこと
を特徴とするＬＤ励起固体レーザ装置が得られる。
リウム・アルミニウム・酸化物単結晶の結晶軸に対して
直角な面Ａと、上記結晶軸に対して所定の角度をなす面
Ｂとを有するマイクロスラブ型ＹＡＧレーザ発振素子に
おいて、上記面Ａに、膜厚が１７０ｎｍから１９５ｎｍ
のＳｉＯ2 膜と、膜厚が１１０ｎｍから１３０ｎｍのＴ
ｉＯ2 膜とを交互に１９層蒸着し、上記面Ａに、膜厚が
３００ｎｍから５００ｎｍのＭｇＦ2 膜を蒸着したこと
を特徴とするＬＤ励起固体レーザ装置が得られる。
【０００６】また、本発明によれば、結晶軸に対して直
角な面Ａに、励起レーザ光の波長に対して無反射コート
を蒸着した励起光入射面と、上記結晶軸に対して所定の
角度をなす面Ｂに、発振レーザ光の波長に対して反射コ
ートを蒸着した出射面とを有するマイクロスラブ型固体
レーザ発振素子において、上記出射面の上半分の部分
に、発振レーザ光の波長に対して９９．８％以上の反射
コートをつけ、上記出射面の下半分の部分に、発振レー
ザ光の波長に対して５０％以上の反射コートをつけたこ
とを特徴とするＬＤ励起固体レーザ装置が得られる。
角な面Ａに、励起レーザ光の波長に対して無反射コート
を蒸着した励起光入射面と、上記結晶軸に対して所定の
角度をなす面Ｂに、発振レーザ光の波長に対して反射コ
ートを蒸着した出射面とを有するマイクロスラブ型固体
レーザ発振素子において、上記出射面の上半分の部分
に、発振レーザ光の波長に対して９９．８％以上の反射
コートをつけ、上記出射面の下半分の部分に、発振レー
ザ光の波長に対して５０％以上の反射コートをつけたこ
とを特徴とするＬＤ励起固体レーザ装置が得られる。
【０００７】更に、本発明によれば、上記励起光入射面
にフッ化マグネシウムを蒸着したことを特徴とする請求
項１記載のＬＤ励起固体レーザ装置が得られる。
にフッ化マグネシウムを蒸着したことを特徴とする請求
項１記載のＬＤ励起固体レーザ装置が得られる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図によって詳細に説
明する。
明する。
【０００９】固体レーザ素子を励起するためのＬＤレー
ザ光は、一方向に３０度以上、それと直交する方向に数
度の広がり角度を有する。このような光を固体レーザ発
振光がジグザグパスする方向と、このような励起光の広
がり角度の大きい方向とを一致させて入射することによ
り、固体レーザ発振光と同様に全反射を起こさせて、励
起光を固体レーザ素子内に閉じ込めることが可能とな
る。一方、固体レーザ発振光は、略４５度に近い角度で
ジグザグパスするので、スラブ結晶内の全ての領域を通
過することになり、固体レーザ素子内に閉じ込められた
励起光を有効に利用することが可能となる。
ザ光は、一方向に３０度以上、それと直交する方向に数
度の広がり角度を有する。このような光を固体レーザ発
振光がジグザグパスする方向と、このような励起光の広
がり角度の大きい方向とを一致させて入射することによ
り、固体レーザ発振光と同様に全反射を起こさせて、励
起光を固体レーザ素子内に閉じ込めることが可能とな
る。一方、固体レーザ発振光は、略４５度に近い角度で
ジグザグパスするので、スラブ結晶内の全ての領域を通
過することになり、固体レーザ素子内に閉じ込められた
励起光を有効に利用することが可能となる。
【００１０】全反射は、屈折率の大きい物質内を透過し
ている光が屈折率の小さい物質に入射する際に生じるも
ので、その入射角度はｓｉｎ-1（ｎ1 ／ｎ2 ）により求
められる。従って、図１に示すように、空気と接する面
Ｃ，Ｄでは３８度以上、ＭｇＦ２（ｎ＝１．３８）が蒸
着してある端面Ａでは４８度以上となる光路、つまり端
面Ａでは４８度で入射して面Ｃ，Ｄに４２度で入射する
光路であれば、全反射によるジグザグパスが可能とな
る。
ている光が屈折率の小さい物質に入射する際に生じるも
ので、その入射角度はｓｉｎ-1（ｎ1 ／ｎ2 ）により求
められる。従って、図１に示すように、空気と接する面
Ｃ，Ｄでは３８度以上、ＭｇＦ２（ｎ＝１．３８）が蒸
着してある端面Ａでは４８度以上となる光路、つまり端
面Ａでは４８度で入射して面Ｃ，Ｄに４２度で入射する
光路であれば、全反射によるジグザグパスが可能とな
る。
【００１１】すなわち、固体レーザ発振光が、膜厚１８
２ｎｍのＳｉＯ2 膜と、膜厚１１５ｎｍのＴｉＯ2 膜と
を交互に１９層蒸着した面Ａに、入射角度４８度で入射
した場合には、図２に示すように、Ｓ偏光成分は９７％
反射して、Ｐ偏光成分が１００％透過するので、Ｓ偏光
成分だけの直線偏光特性を有する固体レーザ発振光が得
られる。また、ＭｇＦ2 （ｎ＝１．３８）が蒸着してあ
る部分では、図３に示すように、入射角度４８度で入射
した励起光の反射損失が０．５％に抑えられる。
２ｎｍのＳｉＯ2 膜と、膜厚１１５ｎｍのＴｉＯ2 膜と
を交互に１９層蒸着した面Ａに、入射角度４８度で入射
した場合には、図２に示すように、Ｓ偏光成分は９７％
反射して、Ｐ偏光成分が１００％透過するので、Ｓ偏光
成分だけの直線偏光特性を有する固体レーザ発振光が得
られる。また、ＭｇＦ2 （ｎ＝１．３８）が蒸着してあ
る部分では、図３に示すように、入射角度４８度で入射
した励起光の反射損失が０．５％に抑えられる。
【００１２】図１は、本発明によるＬＤ励起固体レーザ
装置の概略構成の一例を示す図である。図１において、
ＬＤ励起固体レーザ装置は、ＬＤ１とＹＡＧレーザ素子
３により構成される。
装置の概略構成の一例を示す図である。図１において、
ＬＤ励起固体レーザ装置は、ＬＤ１とＹＡＧレーザ素子
３により構成される。
【００１３】本実施例では、図１に示すように、幅５０
ｍｍ，厚さ１ｍｍ、長さ４ｍｍのイットリウム・アルミ
ニウム・酸化物単結晶（ＹＡＧ単結晶）の一面（幅が５
０ｍｍで厚さが１ｍｍの面）のみ４８度傾け、他は全て
直角となるようにしたブロックの側面（幅が１ｍｍで長
さが４ｍｍの面）以外の面を、平面度６０ｎｍ、平滑度
２ｎｍで光学鏡面仕上げしてから、４８度傾けた面Ｂ
に、９９．８％以上の高反射率が得られるようにＳｉＯ
2 膜とＴｉＯ2 膜とを交互に２３層蒸着し、面Ａの上半
分に、膜厚１８２ｎｍのＳｉＯ2 膜と膜厚１１５ｎｍの
ＴｉＯ2 膜とを交互に１９層蒸着して、下半分に膜厚３
７７ｎｍのＭｇＦ2 膜を蒸着した後、切断機を用いて幅
０．５ｍｍ、厚さ１ｍｍ、長さ４ｍｍのスラブ型となる
ように切断して、６０枚のＹＡＧレーザ素子３を製作し
た。
ｍｍ，厚さ１ｍｍ、長さ４ｍｍのイットリウム・アルミ
ニウム・酸化物単結晶（ＹＡＧ単結晶）の一面（幅が５
０ｍｍで厚さが１ｍｍの面）のみ４８度傾け、他は全て
直角となるようにしたブロックの側面（幅が１ｍｍで長
さが４ｍｍの面）以外の面を、平面度６０ｎｍ、平滑度
２ｎｍで光学鏡面仕上げしてから、４８度傾けた面Ｂ
に、９９．８％以上の高反射率が得られるようにＳｉＯ
2 膜とＴｉＯ2 膜とを交互に２３層蒸着し、面Ａの上半
分に、膜厚１８２ｎｍのＳｉＯ2 膜と膜厚１１５ｎｍの
ＴｉＯ2 膜とを交互に１９層蒸着して、下半分に膜厚３
７７ｎｍのＭｇＦ2 膜を蒸着した後、切断機を用いて幅
０．５ｍｍ、厚さ１ｍｍ、長さ４ｍｍのスラブ型となる
ように切断して、６０枚のＹＡＧレーザ素子３を製作し
た。
【００１４】ＹＡＧレーザ発振光は、ＹＡＧレーザ素子
３内で全反射を起こし、端面Ａに４８度で入射して、面
Ｃ，Ｄに４２度で入射する光路で、ジグザグパスしなが
ら増幅発振する。これにより、図２に示すように、面Ａ
の上半分では、Ｓ偏光成分が９７％反射して、Ｐ偏光成
分が１００％透過するので、共振器内ではＳ偏光成分だ
けの直線偏光特性を有するＹＡＧレーザ光だけ増幅され
て、面Ａの上半分からＹＡＧレーザ光が放出される。ま
た、図３に示すように、面Ａの下半文では、全反射条件
が成り立つので、反射ミラーの働きをするので、従来の
ような反射ミラーと出力ミラーの平行度調整が不要とな
る。
３内で全反射を起こし、端面Ａに４８度で入射して、面
Ｃ，Ｄに４２度で入射する光路で、ジグザグパスしなが
ら増幅発振する。これにより、図２に示すように、面Ａ
の上半分では、Ｓ偏光成分が９７％反射して、Ｐ偏光成
分が１００％透過するので、共振器内ではＳ偏光成分だ
けの直線偏光特性を有するＹＡＧレーザ光だけ増幅され
て、面Ａの上半分からＹＡＧレーザ光が放出される。ま
た、図３に示すように、面Ａの下半文では、全反射条件
が成り立つので、反射ミラーの働きをするので、従来の
ような反射ミラーと出力ミラーの平行度調整が不要とな
る。
【００１５】従って、この装置では、平行度調整機構が
室温変化に伴ってずれることによって起きる出力の変動
を抑えることができる。また、図３に示すように、面Ａ
の下半分に励起光を入射角度４８度で入射させた場合、
この装置では、その反射損失を０，５％以下にでき、し
かも、戻り光がないので、ノイズが低減できる。
室温変化に伴ってずれることによって起きる出力の変動
を抑えることができる。また、図３に示すように、面Ａ
の下半分に励起光を入射角度４８度で入射させた場合、
この装置では、その反射損失を０，５％以下にでき、し
かも、戻り光がないので、ノイズが低減できる。
【００１６】本実施例では、そのＹＡＧレーザ素子３の
面ＡにＬＤ１を密着させて、波長８０８ｎｍで出力２６
０ｍｗの光エネルギーを投入したところ、波長１０６４
ｎｍで出力１３０ｍｗのＹＡＧレーザ光が得られた。
面ＡにＬＤ１を密着させて、波長８０８ｎｍで出力２６
０ｍｗの光エネルギーを投入したところ、波長１０６４
ｎｍで出力１３０ｍｗのＹＡＧレーザ光が得られた。
【００１７】図４及び図５は、本発明によるＬＤ励起固
体レーザ装置の概略構成の他の実施例を示す図である。
図４及び図５において、ＬＤ励起固体レーザ装置は、Ｌ
Ｄ１’と固体レーザ素子３’により構成される。
体レーザ装置の概略構成の他の実施例を示す図である。
図４及び図５において、ＬＤ励起固体レーザ装置は、Ｌ
Ｄ１’と固体レーザ素子３’により構成される。
【００１８】本実施例では、幅５０ｍｍ，厚さ１ｍｍ、
長さ４ｍｍの固体単結晶の一面（幅が５０ｍｍで厚さが
１ｍｍの面）のみ４８度傾け、他は全て直角となるよう
にしたブロックの側面（幅が１ｍｍで長さが４ｍｍの
面）以外の面を、平面度６０ｎｍ、平滑度２ｎｍで光学
鏡面仕上げしてから、４８度傾けた面Ｂに、９９．８％
以上の高反射率が得られるようにＳｉＯ2 膜とＴｉＯ2
膜とを交互に２３層蒸着し、面Ａの上半分に、膜厚１８
２ｎｍのＳｉＯ2 膜と膜厚１１５ｎｍのＴｉＯ2膜とを
交互に１９層蒸着して、下半分に膜厚３７７ｎｍのＭｇ
Ｆ2 膜を蒸着した後、切断機を用いて幅０．５ｍｍ、厚
さ１ｍｍ、長さ４ｍｍのスラブ型となるように切断し
て、６０枚の固体レーザ素子３を製作した。
長さ４ｍｍの固体単結晶の一面（幅が５０ｍｍで厚さが
１ｍｍの面）のみ４８度傾け、他は全て直角となるよう
にしたブロックの側面（幅が１ｍｍで長さが４ｍｍの
面）以外の面を、平面度６０ｎｍ、平滑度２ｎｍで光学
鏡面仕上げしてから、４８度傾けた面Ｂに、９９．８％
以上の高反射率が得られるようにＳｉＯ2 膜とＴｉＯ2
膜とを交互に２３層蒸着し、面Ａの上半分に、膜厚１８
２ｎｍのＳｉＯ2 膜と膜厚１１５ｎｍのＴｉＯ2膜とを
交互に１９層蒸着して、下半分に膜厚３７７ｎｍのＭｇ
Ｆ2 膜を蒸着した後、切断機を用いて幅０．５ｍｍ、厚
さ１ｍｍ、長さ４ｍｍのスラブ型となるように切断し
て、６０枚の固体レーザ素子３を製作した。
【００１９】蒸着は、結晶軸に対して直角な面Ａに反射
防止膜としてフッ化マグネシウムを４４０ｎｍ蒸着し、
結晶軸に対して４８度以上の角度をなす面Ｂには、Ｓｉ
Ｏ2膜とＴｉＯ2 膜を交互に蒸着して、上半分に発振レ
ーザ光の波長に対して９９．８％の反射コート（１９
層）をつけ、下半分に発振レーザ光の波長に対して９６
％の反射コート（９層）をつけた。
防止膜としてフッ化マグネシウムを４４０ｎｍ蒸着し、
結晶軸に対して４８度以上の角度をなす面Ｂには、Ｓｉ
Ｏ2膜とＴｉＯ2 膜を交互に蒸着して、上半分に発振レ
ーザ光の波長に対して９９．８％の反射コート（１９
層）をつけ、下半分に発振レーザ光の波長に対して９６
％の反射コート（９層）をつけた。
【００２０】固体レーザ素子３’を励起するためのＬＤ
レーザ光は、一方に３０度以上、それと直交する方向に
数度の広がり角度を有する。このような光の広がり角度
の大きい方向と固体レーザ発振光がジグザグパスする方
向とを合わせて入射することにより、固体レーザ発振光
と同様に全反射を起こさせて励起光を固体レーザ素子
３’内に閉じ込めることが可能となる。一方、固体レー
ザ発振光は、略４５度に近い角度でジグザグパスするの
で、スラブ結晶内の全ての領域を通過することになり、
固体レーザ素子３’内に閉じ込められた励起光を有効に
利用することが可能となる。
レーザ光は、一方に３０度以上、それと直交する方向に
数度の広がり角度を有する。このような光の広がり角度
の大きい方向と固体レーザ発振光がジグザグパスする方
向とを合わせて入射することにより、固体レーザ発振光
と同様に全反射を起こさせて励起光を固体レーザ素子
３’内に閉じ込めることが可能となる。一方、固体レー
ザ発振光は、略４５度に近い角度でジグザグパスするの
で、スラブ結晶内の全ての領域を通過することになり、
固体レーザ素子３’内に閉じ込められた励起光を有効に
利用することが可能となる。
【００２１】固体レーザ発振光は、固体レーザ素子３’
内で全反射を起こし、端面Ａに４８度で入射して、面
Ｃ，Ｄに４２度で入射する光路で、ジグザグパスしなが
ら増幅発振する。本実施例では、面Ｂの上半分に発振レ
ーザ光の波長に対して９９．８％の反射コート（１９
層）をつけ、下半分に発振レーザ光の波長に対して９６
％の反射コート（９層）をつけて、その下半分から固体
発振レーザ光の４％を外部に取り出すので、固体発振レ
ーザ光のエネルギー密度が従来のスラブに比べて倍にな
り、効率がよくなる。また、面Ｂは、上半分が反射ミラ
ーに、下半分が出力ミラーの働きをするので、従来のよ
うな反射ミラーと出力ミラーの平行度調整が不要とな
る。従って、この装置では、平行度調整機構が室温変化
に伴ってずれることによって起きる出力の変動を抑える
ことができる。
内で全反射を起こし、端面Ａに４８度で入射して、面
Ｃ，Ｄに４２度で入射する光路で、ジグザグパスしなが
ら増幅発振する。本実施例では、面Ｂの上半分に発振レ
ーザ光の波長に対して９９．８％の反射コート（１９
層）をつけ、下半分に発振レーザ光の波長に対して９６
％の反射コート（９層）をつけて、その下半分から固体
発振レーザ光の４％を外部に取り出すので、固体発振レ
ーザ光のエネルギー密度が従来のスラブに比べて倍にな
り、効率がよくなる。また、面Ｂは、上半分が反射ミラ
ーに、下半分が出力ミラーの働きをするので、従来のよ
うな反射ミラーと出力ミラーの平行度調整が不要とな
る。従って、この装置では、平行度調整機構が室温変化
に伴ってずれることによって起きる出力の変動を抑える
ことができる。
【００２２】本実施例では、その固体レーザ素子３の面
ＡにＬＤ１を密着させて、波長８０８ｎｍで出力２６０
ｍｗの光エネルギーを投入したところ、波長１０６４ｎ
ｍで出力１３０ｍｗの固体レーザ光が得られた。
ＡにＬＤ１を密着させて、波長８０８ｎｍで出力２６０
ｍｗの光エネルギーを投入したところ、波長１０６４ｎ
ｍで出力１３０ｍｗの固体レーザ光が得られた。
【００２３】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、一度
に数十個の固体レーザ素子を製作できるので、固体レー
ザ素子を安価に提供できる。また、本発明によれば、励
起光を固体レーザ素子に絞り込むための集光レンズや出
力ミラー及び反射ミラー等を必要としないので、ミラー
調整をせずに安定した出力を得られる。
に数十個の固体レーザ素子を製作できるので、固体レー
ザ素子を安価に提供できる。また、本発明によれば、励
起光を固体レーザ素子に絞り込むための集光レンズや出
力ミラー及び反射ミラー等を必要としないので、ミラー
調整をせずに安定した出力を得られる。
【図１】本発明の一実施例のＬＤ励起固体レーザ装置の
構成を示す概略図である。
構成を示す概略図である。
【図２】上記実施例の面Ａの上部に入射角度４８度で励
起光が入射した場合の分光特性図である。
起光が入射した場合の分光特性図である。
【図３】上記実施例の面Ａの下部に入射角度４８度で励
起光が入射した場合の分光特性図である。
起光が入射した場合の分光特性図である。
【図４】本発明の他の実施例のＬＤ励起固体レーザ装置
の構成を示す概略平面図である。
の構成を示す概略平面図である。
【図５】本発明の他の実施例のＬＤ励起固体レーザ装置
の構成を示す概略側面図である。
の構成を示す概略側面図である。
【図６】従来のＬＤ励起固体レーザ装置の構成を示す概
略図である。
略図である。
１，１’ ＬＤ ２ 出射ミラーコート膜 ３ ＹＡＧレーザ素子 ３’ 固体レーザ素子 ６ 励起面 ７ ＬＤレーザ光 ８ 反射面 ９ レーザ光路
Claims (3)
- 【請求項１】 イットリウム・アルミニウム・酸化物単
結晶の結晶軸に対して直角な面Ａと、上記結晶軸に対し
て所定の角度をなす面Ｂとを有するマイクロスラブ型Ｙ
ＡＧレーザ発振素子において、上記面Ａに、膜厚が１７
０ｎｍから１９５ｎｍのＳｉＯ2 膜と、膜厚が１１０ｎ
ｍから１３０ｎｍのＴｉＯ2 膜とを交互に１９層蒸着
し、上記面Ａに、膜厚が３００ｎｍから５００ｎｍのＭ
ｇＦ2 膜を蒸着したことを特徴とするＬＤ励起固体レー
ザ装置。 - 【請求項２】 結晶軸に対して直角な面Ａに、励起レー
ザ光の波長に対して無反射コートを蒸着した励起光入射
面と、上記結晶軸に対して所定の角度をなす面Ｂに、発
振レーザ光の波長に対して反射コートを蒸着した出射面
とを有するマイクロスラブ型固体レーザ発振素子におい
て、上記出射面の上半分の部分に、発振レーザ光の波長
に対して９９．８％以上の反射コートをつけ、上記出射
面の下半分の部分に、発振レーザ光の波長に対して５０
％以上の反射コートをつけたことを特徴とするＬＤ励起
固体レーザ装置。 - 【請求項３】 上記励起光入射面にフッ化マグネシウム
を蒸着したことを特徴とする請求項１記載のＬＤ励起固
体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22101993A JPH0779038A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | Ｌｄ励起固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22101993A JPH0779038A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | Ｌｄ励起固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0779038A true JPH0779038A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16760215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22101993A Withdrawn JPH0779038A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | Ｌｄ励起固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0779038A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000008726A3 (de) * | 1998-08-04 | 2001-10-11 | Univ Stuttgart Strahlwerkzeuge | Laserverstärkersystem |
-
1993
- 1993-09-06 JP JP22101993A patent/JPH0779038A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000008726A3 (de) * | 1998-08-04 | 2001-10-11 | Univ Stuttgart Strahlwerkzeuge | Laserverstärkersystem |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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