JPH0775751A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0775751A JPH0775751A JP24881993A JP24881993A JPH0775751A JP H0775751 A JPH0775751 A JP H0775751A JP 24881993 A JP24881993 A JP 24881993A JP 24881993 A JP24881993 A JP 24881993A JP H0775751 A JPH0775751 A JP H0775751A
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- JP
- Japan
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- cleaning
- cleaning liquid
- sheet
- cleaned
- cleaning solution
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被洗浄物を洗浄槽内に収容した洗浄液の中に
入れて洗浄する洗浄装置において、洗浄槽内に収容した
洗浄液を循環させる手段と、汚染された洗浄液を浄化す
る手段とを具備させ、洗浄槽内の洗浄液を繰り返し浄化
し循環使用できるようにして、洗浄槽内に一度収容した
洗浄液で洗浄できる被洗浄物の量を大幅に増やし、洗浄
液を節約して有効に活用できるようにする。 【構成】 被洗浄物を洗浄槽内に収容した洗浄液の中に
入れて洗浄する洗浄装置において、洗浄槽内に収容した
洗浄液を循環させる手段と、汚染された洗浄液を浄化す
る手段とを有する洗浄装置
入れて洗浄する洗浄装置において、洗浄槽内に収容した
洗浄液を循環させる手段と、汚染された洗浄液を浄化す
る手段とを具備させ、洗浄槽内の洗浄液を繰り返し浄化
し循環使用できるようにして、洗浄槽内に一度収容した
洗浄液で洗浄できる被洗浄物の量を大幅に増やし、洗浄
液を節約して有効に活用できるようにする。 【構成】 被洗浄物を洗浄槽内に収容した洗浄液の中に
入れて洗浄する洗浄装置において、洗浄槽内に収容した
洗浄液を循環させる手段と、汚染された洗浄液を浄化す
る手段とを有する洗浄装置
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、被洗浄物を洗浄槽内
に収容した洗浄液の中に入れて洗浄する洗浄装置に関
し、さらに詳しくは、洗浄槽内の洗浄液を繰り返し浄化
し循環使用できるようにして、洗浄液を節約し有効に活
用できるようにした洗浄装置に関する。
に収容した洗浄液の中に入れて洗浄する洗浄装置に関
し、さらに詳しくは、洗浄槽内の洗浄液を繰り返し浄化
し循環使用できるようにして、洗浄液を節約し有効に活
用できるようにした洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の洗浄装置は、被洗浄物を
洗浄液の中で洗浄した後、洗浄液の汚れがひどくなる
と、汚れた洗浄液を廃棄し、新しいきれいな洗浄液を入
れて洗浄を行っている。
洗浄液の中で洗浄した後、洗浄液の汚れがひどくなる
と、汚れた洗浄液を廃棄し、新しいきれいな洗浄液を入
れて洗浄を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
洗浄装置では、たとえば、洗浄液に水を使用する場合、
水質源が豊富にある地域においては何ら問題なく使用で
きるが、砂漠等の水質源が少なく、水が貴重な地域では
使用するのが困難であり、さらに、汚れた水をそのまま
廃棄すると自然環境汚染の原因にもなる。また、洗浄液
に有機溶剤等を使用する場合は、汚れた有機溶剤をその
まま捨てることもできないため、廃棄する洗浄液が大量
に出る従来の洗浄装置では処理が面倒である。
洗浄装置では、たとえば、洗浄液に水を使用する場合、
水質源が豊富にある地域においては何ら問題なく使用で
きるが、砂漠等の水質源が少なく、水が貴重な地域では
使用するのが困難であり、さらに、汚れた水をそのまま
廃棄すると自然環境汚染の原因にもなる。また、洗浄液
に有機溶剤等を使用する場合は、汚れた有機溶剤をその
まま捨てることもできないため、廃棄する洗浄液が大量
に出る従来の洗浄装置では処理が面倒である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明はかかる現状に
鑑み種々検討を行った結果なされたもので、被洗浄物を
洗浄槽内に収容した洗浄液の中に入れて洗浄する洗浄装
置において、洗浄槽内に収容した洗浄液を循環させる手
段と、汚染された洗浄液を浄化する手段とを具備させる
ことによって、洗浄槽内の洗浄液を繰り返し浄化して循
環使用できるようにし、洗浄槽内に一度収容した洗浄液
により洗浄できる被洗浄物の量を大幅に増やして、洗浄
液を節約し有効に活用できるようにしたものである。
鑑み種々検討を行った結果なされたもので、被洗浄物を
洗浄槽内に収容した洗浄液の中に入れて洗浄する洗浄装
置において、洗浄槽内に収容した洗浄液を循環させる手
段と、汚染された洗浄液を浄化する手段とを具備させる
ことによって、洗浄槽内の洗浄液を繰り返し浄化して循
環使用できるようにし、洗浄槽内に一度収容した洗浄液
により洗浄できる被洗浄物の量を大幅に増やして、洗浄
液を節約し有効に活用できるようにしたものである。
【０００５】
【実施例】以下、この発明に係る洗浄装置の一実施例を
示す図面に基づいて説明する。図１は、被洗浄物が可撓
性のシ−トである場合のシ−ト用洗浄装置を示したもの
であり、可撓性のシ−ト１は洗浄槽２内に収容した洗浄
液３の中にシ−トホルダ４によって保持され浸漬され
る。
示す図面に基づいて説明する。図１は、被洗浄物が可撓
性のシ−トである場合のシ−ト用洗浄装置を示したもの
であり、可撓性のシ−ト１は洗浄槽２内に収容した洗浄
液３の中にシ−トホルダ４によって保持され浸漬され
る。
【０００６】５は洗浄槽２の下部に設けられた振動発生
部を保護するカバ−で、このカバ−５内の洗浄槽２下面
に駆動モ−タ６が取りつけられ、駆動モ−タ６はフレキ
シブルジョイント７で偏心ロ−ラ８と接続されている。
また、偏心ロ−ラ８は振動板１０に固定された軸受け９
によって保持されている。
部を保護するカバ−で、このカバ−５内の洗浄槽２下面
に駆動モ−タ６が取りつけられ、駆動モ−タ６はフレキ
シブルジョイント７で偏心ロ−ラ８と接続されている。
また、偏心ロ−ラ８は振動板１０に固定された軸受け９
によって保持されている。
【０００７】１１はゴム製のジョイントで、洗浄槽２の
下底に取りつけられて振動板１０をフレキシブルに振動
できるように支持し、振動板１０と洗浄槽２との間を洗
浄液３が漏れないように液密に接続している。
下底に取りつけられて振動板１０をフレキシブルに振動
できるように支持し、振動板１０と洗浄槽２との間を洗
浄液３が漏れないように液密に接続している。
【０００８】しかして、駆動モ−タ６を回転させると、
フレキシブルジョイント７を介して偏心ロ−ラ８に伝わ
り、この偏心ロ−ラ８の回転により振動板１０に振動が
生じる。
フレキシブルジョイント７を介して偏心ロ−ラ８に伝わ
り、この偏心ロ−ラ８の回転により振動板１０に振動が
生じる。
【０００９】そして、この振動が振動板１０に固定され
たシ−トホルダ４を介してシ−ト１に伝わり、シ−ト１
が振動すると、シ−ト１の振動とシ−ト１の表面近傍の
洗浄液３の流れにより生じる剪断力によって、シ−ト１
表面の汚れが剥離されて除去される。
たシ−トホルダ４を介してシ−ト１に伝わり、シ−ト１
が振動すると、シ−ト１の振動とシ−ト１の表面近傍の
洗浄液３の流れにより生じる剪断力によって、シ−ト１
表面の汚れが剥離されて除去される。
【００１０】特に、この洗浄装置では、可撓性のシ−ト
１が、洗浄液３中でシ−トホルダ４で保持されて振動さ
れるため、シ−ト１が折れたりあるいはシ−ト１の表面
に傷がついたりすることもなく、シ−ト１の表面平滑性
が確実に維持されて洗浄される。
１が、洗浄液３中でシ−トホルダ４で保持されて振動さ
れるため、シ−ト１が折れたりあるいはシ−ト１の表面
に傷がついたりすることもなく、シ−ト１の表面平滑性
が確実に維持されて洗浄される。
【００１１】１２は洗浄槽２の側壁に連通連結された循
環管で、フィルタ１３および循環ポンプ１４が取りつけ
られ、循環ポンプ１４によって洗浄槽２内の洗浄液３は
循環管１２の中を循環させられる。そして、フィルタ１
３によって洗浄液３中のシ−ト１から除去された汚物が
取り除かれる。
環管で、フィルタ１３および循環ポンプ１４が取りつけ
られ、循環ポンプ１４によって洗浄槽２内の洗浄液３は
循環管１２の中を循環させられる。そして、フィルタ１
３によって洗浄液３中のシ−ト１から除去された汚物が
取り除かれる。
【００１２】しかして、洗浄液３の中にシ−ト１を浸漬
して洗浄している間、循環ポンプ１４で洗浄槽２内の洗
浄液３が循環管１２で循環され、シ−ト１から除去され
て洗浄液３中に含まれる汚物は、フィルタ１３によって
除去され、浄化された洗浄液３が再び洗浄槽２内に還流
されて、再びシ−ト１の洗浄に使用される。
して洗浄している間、循環ポンプ１４で洗浄槽２内の洗
浄液３が循環管１２で循環され、シ−ト１から除去され
て洗浄液３中に含まれる汚物は、フィルタ１３によって
除去され、浄化された洗浄液３が再び洗浄槽２内に還流
されて、再びシ−ト１の洗浄に使用される。
【００１３】従って、洗浄槽２内に一度洗浄液３が収容
されると、この洗浄液３が繰り返し浄化されて循環使用
され、洗浄槽２内に一度収容された洗浄液３により洗浄
できるシ−ト１の量を大幅に増やすことができて、洗浄
液を節約することができ、有効に活用することができ
る。
されると、この洗浄液３が繰り返し浄化されて循環使用
され、洗浄槽２内に一度収容された洗浄液３により洗浄
できるシ−ト１の量を大幅に増やすことができて、洗浄
液を節約することができ、有効に活用することができ
る。
【００１４】１５は電源であり、電線１６を介して駆動
モ−タ６に電力が供給され、また電線１７を介して循環
ポンプ１４に電力が供給される。
モ−タ６に電力が供給され、また電線１７を介して循環
ポンプ１４に電力が供給される。
【００１５】ここで、洗浄槽２内の洗浄液３を循環管１
２で循環しながら、フィルタ１３で洗浄液３中の汚物を
適当な量まで除去したときは、フィルタ１３を取り出し
て取り替えればよく、フィルタ１３の取り替えにより、
洗浄液３中の汚物は常に効率よく除去される。
２で循環しながら、フィルタ１３で洗浄液３中の汚物を
適当な量まで除去したときは、フィルタ１３を取り出し
て取り替えればよく、フィルタ１３の取り替えにより、
洗浄液３中の汚物は常に効率よく除去される。
【００１６】また、洗浄槽２内に収容された洗浄液３と
しては、水、有機溶剤などが使用され、この他、これら
に界面活性剤などの適当な洗浄促進剤を溶解あるいは分
散させたものも使用される。
しては、水、有機溶剤などが使用され、この他、これら
に界面活性剤などの適当な洗浄促進剤を溶解あるいは分
散させたものも使用される。
【００１７】なお、実施例に示すシ−ト用洗浄装置にお
いては、シ−ト１を、駆動モ−タ６とフレキシブルジョ
イント７および偏心ロ−ラ８を介して振動する振動板１
０にシ−トホルダ４で固定して振動させているが、シ−
ト１を振動させる手段はこれに限定されず、たとえば、
振動板に回転体を直接接触させて振動させたり、圧電素
子や電磁コイルを利用したものなどでもよい。
いては、シ−ト１を、駆動モ−タ６とフレキシブルジョ
イント７および偏心ロ−ラ８を介して振動する振動板１
０にシ−トホルダ４で固定して振動させているが、シ−
ト１を振動させる手段はこれに限定されず、たとえば、
振動板に回転体を直接接触させて振動させたり、圧電素
子や電磁コイルを利用したものなどでもよい。
【００１８】また、洗浄液３の浄化手段としては、適当
な大きさの微細孔を有するフィルタ１３に限らず、洗浄
液中の汚物を低減する効果があるものならばどのような
ものでも使用でき、たとえば、フィルタ１３に代えて活
性炭等の吸着性物質の中を汚染された洗浄液を通すよう
にして浄化したり、あるいはイオン交換樹脂等を用いて
化学反応により特定の汚物を分離除去してもよい。
な大きさの微細孔を有するフィルタ１３に限らず、洗浄
液中の汚物を低減する効果があるものならばどのような
ものでも使用でき、たとえば、フィルタ１３に代えて活
性炭等の吸着性物質の中を汚染された洗浄液を通すよう
にして浄化したり、あるいはイオン交換樹脂等を用いて
化学反応により特定の汚物を分離除去してもよい。
【００１９】さらに、実施例では、可撓性のシ−ト１を
洗浄するシ−ト用洗浄装置について説明したが、この発
明はこのようなシ−ト用洗浄装置に限られるものではな
く、あらゆる被洗浄物を洗浄槽内に収容した洗浄液の中
に入れて洗浄する洗浄装置に適用することができる。
洗浄するシ−ト用洗浄装置について説明したが、この発
明はこのようなシ−ト用洗浄装置に限られるものではな
く、あらゆる被洗浄物を洗浄槽内に収容した洗浄液の中
に入れて洗浄する洗浄装置に適用することができる。
【００２０】以下、図１に示すシ−ト用洗浄装置を使用
して、ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの洗浄試験
を行った試験例について説明する。
して、ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの洗浄試験
を行った試験例について説明する。
【００２１】試験例１ 洗浄試験は、図１に示すシ−ト用洗浄装置において、大
きさ平均１μｍ程度の微細孔を有するろ過フィルタ１３
を、循環管１２に取り付け、塵埃で汚れたポリエチレン
テレフタレ−トフィルム１を洗浄して行った。そして、
洗浄後の汚れを目視で調べた。
きさ平均１μｍ程度の微細孔を有するろ過フィルタ１３
を、循環管１２に取り付け、塵埃で汚れたポリエチレン
テレフタレ−トフィルム１を洗浄して行った。そして、
洗浄後の汚れを目視で調べた。
【００２２】その結果、循環ポンプ１４を止めて洗浄し
た場合には、ポリエチレンテレフタレ−トフィルム１を
１０枚洗浄した後には、除去した塵埃の再付着により汚
れが完全に落ちなくなった。
た場合には、ポリエチレンテレフタレ−トフィルム１を
１０枚洗浄した後には、除去した塵埃の再付着により汚
れが完全に落ちなくなった。
【００２３】これに対して、循環ポンプ１４を作動させ
フィルタ１３で浄化しながら洗浄した場合には、ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム１を５０枚以上洗浄して
も完全に洗浄することができた。また、洗浄後のポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム１には、折れ曲がったり
表面に傷がついたりしているものはなかった。
フィルタ１３で浄化しながら洗浄した場合には、ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム１を５０枚以上洗浄して
も完全に洗浄することができた。また、洗浄後のポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム１には、折れ曲がったり
表面に傷がついたりしているものはなかった。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の洗浄装
置によれば、被洗浄物を洗浄しながら洗浄液を浄化して
循環させているため、洗浄槽に一度収容した洗浄液で洗
浄できる被洗浄物の量が大幅に増大し、洗浄液を節約す
ることができて、洗浄液の使用効率が向上する。また被
洗浄物の表面を傷つけずに洗浄することができる。
置によれば、被洗浄物を洗浄しながら洗浄液を浄化して
循環させているため、洗浄槽に一度収容した洗浄液で洗
浄できる被洗浄物の量が大幅に増大し、洗浄液を節約す
ることができて、洗浄液の使用効率が向上する。また被
洗浄物の表面を傷つけずに洗浄することができる。
【図１】この発明の洗浄装置の一実施例であるシ−ト用
洗浄装置の要部断面説明図である。
洗浄装置の要部断面説明図である。
１ シ−ト（ポリエチレンテレフタレ−トフィルム） ２ 洗浄槽 ３ 洗浄液 ４ シ−トホルダ ６ 駆動モ−タ ７ フレキシブルジョイント ８ 偏心ロ−ラ ９ 軸受 １０ 振動板 １１ ジョイント １２ 循環管 １３ フィルタ １４ 循環ポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥脇 東洋治 大阪府茨木市丑寅一丁目１番88号 日立マ クセル株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 被洗浄物を洗浄槽内に収容した洗浄液の
中に入れて洗浄する洗浄装置において、洗浄槽内に収容
した洗浄液を循環させる手段と、汚染された洗浄液を浄
化する手段とを有することを特徴とする洗浄装置 - 【請求項２】 洗浄装置に、さらに被洗浄物を洗浄槽内
の洗浄液中で振動させる手段を装備した請求項１記載の
洗浄装置 - 【請求項３】 洗浄装置に、さらに可撓性シ−ト状の被
洗浄物を洗浄槽内の洗浄液中で支持体により保持して振
動させる手段を装備した請求項１記載の洗浄装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24881993A JPH0775751A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24881993A JPH0775751A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0775751A true JPH0775751A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=17183887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24881993A Withdrawn JPH0775751A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0775751A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106623212A (zh) * | 2016-12-13 | 2017-05-10 | 苏州羽美尚精密机械有限公司 | 一种清洗半导体器件的清洗槽 |
-
1993
- 1993-09-08 JP JP24881993A patent/JPH0775751A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106623212A (zh) * | 2016-12-13 | 2017-05-10 | 苏州羽美尚精密机械有限公司 | 一种清洗半导体器件的清洗槽 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001128 |