JPH0774821B2 - 磁気記録媒体の計測方法 - Google Patents

磁気記録媒体の計測方法

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JPH0774821B2
JPH0774821B2 JP62247848A JP24784887A JPH0774821B2 JP H0774821 B2 JPH0774821 B2 JP H0774821B2 JP 62247848 A JP62247848 A JP 62247848A JP 24784887 A JP24784887 A JP 24784887A JP H0774821 B2 JPH0774821 B2 JP H0774821B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録媒体に記録された信号の磁化状態を
転写して高コントラストで計測する磁気記録媒体の計測
方法に関するものである。
〔従来の技術〕
フロッピディスク等の磁気記録媒体においては、媒体の
互換性が要求されることから、媒体上に記録された信号
において、その位置や姿勢(傾き角)が、精度良く記録
されている必要がある。
媒体上に記録された信号の位置や姿勢を計測するために
は、眼で見ることの出来ない記録信号をなんらかの本法
で顕在化させ、光学的に観察すれば良い。この顕在化の
方法として、従来では、磁性コロイド液を用いて、媒体
上の磁化された領域に磁性粉を付着させる方法や、特公
昭59−4670号に記載のように、非晶質希土類遷移金属合
金を磁気転写体として用い、磁気光学効果を利用する方
法が知られている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来技術において、磁性コロイド液を用いた方法で
は、磁性粉の付着状態にばらつきが生じやすく、高精度
の計測を行うことは非常に困難である。
また、磁気光学効果を用いた方法では、一般にTVカメラ
等の撮像素子で得られる画像のコントラストが低く、撮
像素子等で発生する画像のノイズより、十分な画質が得
られず、従来、高精度で計測する点について配慮されて
いなかった。
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決すべく、磁
気記録媒体に記録された信号の磁化状態の転写性を著し
く向上させて、しかも転写された磁化状態を高コントラ
ストで検出でき、且つ明るさのむらや画像ノイズを消去
して磁気記録媒体に記録された信号の磁化状態を高精度
に計測できるようにした磁気記録媒体の計測方法を提供
することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、上記目的を達成するために、ガドリニウムガ
リウムガーネット透明基板上に形成された垂直磁化特性
の磁性ガーネット膜を磁気記録媒体に密着接触させて磁
気記録媒体に記録された信号の磁化状態を前期磁性ガー
ネット膜に転写し、該転写された磁性ガーネット膜に対
して、光軸を中心に偏光子と検光子との間で相対的回転
させて相対的に偏光角度を変化させて前期検光子から得
られる光学画像の濃淡を互いに反転させるべく光源から
前期偏光子を通して得られる直線偏光した光をほぼ垂直
に入射させ、前期転写された磁性ガーネット膜の磁気光
学効果によって偏光面の回転を発生させて該偏光面の回
転分布を前期検光子を通して光電変換手段で受光して転
写された磁化状態の光学画像信号として濃淡を互いに反
転させた偏光角度変化前の磁化状態の光学画像信号と偏
光角度変化後の磁化状態の光学画像信号とを検出し、該
検出される偏光角度変化前の磁化状態の光学画像信号と
偏光角度変化後の磁化状態の光学画像信号との各々をA/
D変換させてディジタル画像信号(多値画像信号)にし
て複数回について加算して一方のディジタル画像信号か
ら他方のディジタル画像信号を減算して磁気記録媒体に
記録された信号の磁化状態を計測することを特徴とする
磁気記録媒体の計測方法である。
〔作用〕 上記構成により、磁気記録媒体に記録された信号の磁化
状態の転写性を著しく向上させて、しかも転写された磁
化状態を高コントラストで検出でき、且つ明るさのむら
や画像ノイズを消去して磁気記録媒体に記録された信号
の磁化状態を高精度に計測することができる。即ち本発
明は、ガドリニウムガリウムガーネット透明基板上に形
成された垂直磁化特性の磁性ガーネット膜を用いたの
で、磁気記録媒体に記録された信号の磁化状態の転写性
を著しく向上させることができると共に転写された磁化
状態を高コントラストで検出でき、その結果磁気記録媒
体に記録された信号の磁化状態を高精度に計測すること
ができ、しかも磁気記録媒体に記録された信号の磁化状
態が転写された磁性ガーネット膜に対して直線偏光した
光をほぼ垂直に入射させと共に転写された磁化状態の光
学画像信号として濃淡を互いに反転させるべく偏光子と
検光子との間で相対的に回転させて検光子を通して光電
変換手段で受光して得られる濃淡を互いに反転させた偏
光角度変化前の磁化状態の光学画像信号と偏光角度変化
後の磁化状態の光学画像信号との各々をA/D変換させて
ディジタル画像信号(多値画像信号)にして複数回につ
いて加算して一方のディジタル画像信号から他方のディ
ジタル画像信号を減算するので、更に高コントラスト
で、明るさのむらや画像ノイズが消去された磁化状態を
示す高画質化されたディジタル画像信号が得られ、その
結果磁気記録媒体に記録された信号の磁化状態を高信頼
度で計測することができる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。第1
図は、本発明による装置の構成を示したものである。被
計測体である磁気記録媒体1に磁気転写板2を密着接触
させることにより磁気記録媒体1に記録された信号の磁
化状態が磁気転写板2に転写され、この磁気転写板2の
に転写された磁化状態は光学系3により、TVカメラ3aに
撮像される。
ここで磁気転写板2は、透明な基板上に磁気転写体であ
る軟磁性垂直磁化膜が成膜されたものであり、軟磁性垂
直磁化膜としては、磁性ガーネットが転写性の点、およ
び高コントラストの点で最も優れている。
また、光学系3において、光源3bからの光は、偏光子3c
により直線偏光され、半透鏡3d、対物レンズ3eを経て、
磁気転写板2に入射される。磁気転写板2からの反射光
は、磁気光学効果により、偏光面が回転し、検光子3fを
透過することにより、TVカメラ3aに磁化状態の画像が撮
像される。
TVカメラ3aにより取込まれた画像は画像処理部に入力さ
れ、複数回取込まれた画像データを加減算処理すること
により、TVカメラ3aで撮像された画像のノイズが除去さ
れる。このように処理された画像データは、コンピュー
タ5により演算処理され、磁気記録媒体上の信号の位置
及び姿勢が計測され、プリンタ,CRT等の出力装置6に出
力される。
ここで第2図は、画像処理部4の構成を示したものであ
るが、TVカメラ3aからの入力信号を変換するA/D変換器4
a,メモリ4bのデータとA/D変換器4aの出力データの加減
算を行なう加減算器4c,加減算処理された画像データを
コンピュータ5に出力するためのシフタ4dおよび加減算
処理のタイミング等をコントロールするためのタイミン
グコントローラ4eから構成される。
第3図〜第6図は、画像処理部4によって画像データを
加減算処理した時の画像の変化を示す膜式図である。
第3図は、TVカメラ3aで撮像される画像を示したもので
あり、磁気光学効果による磁化状態の画像は、コントラ
ストが小さいことから、磁化状態による像8aに、ノイズ
8bが重畳した画像となり、磁化状態よる像8bの位置を計
測する上で、このノイズ8bが誤差要因となる。
第4図は、TVカメラ3aによる画像を複数回取込み、画像
処理部4で加算処理された後の画像を示したものであ
り、上記したノイズ8bが除去され、高画質の磁化状態に
よる像9aが得られる。
なお、第3図に示したTVカメラ3aで撮像される画像にお
いて、照明むら等による明るさのむら8cの生じる場合が
ある。これに対しては、上記した加算処理によって除去
することが出来ないが、第1図に示した偏光子3cに回転
駆動機構3gを設け、偏光子3cを回転させて(相対的な関
係にあるため検光子3fを回転させても良いことは明らか
である。)、磁化状態による像の反転像を得ることによ
り除去される。即ち、偏光子3cを回転させた後に第4図
と同様にTVカメラ3aの画像を複数回取込み、画像処理部
4で加算処理を行なえば、第5図に示すように第4図に
対して磁化状態による像9aが反転した像10aが得られ、
明るさのむら10cは変化しない像が得られる。この第5
図の画像を第4図の画像から減算すれば、第6図に示し
たさらに高画質の画像が得られる。ここでは説明のた
め、仮に加算取込みにより、第5図の画像を得るとした
が、実際の処理としては、第2図に示した加減算器4cの
減算機能を用いて、第4図の画像から、磁化状態の像が
反転した画像を複数回減算取込みをすれば第6図の画像
が得られる。
第1図に示した本発明の実施例において、対物レンズ3e
の倍率を20倍、磁気転写板2としてガドリニウムガリウ
ムガーネット基板上に磁性ガーネットを成膜したものを
用い、磁気記録媒体1に記録された信号のピッチを計測
した。第7図はTVカメラ3aで撮像された画像の取込回数
と、計測誤差との関係を示したものであり、第1図に示
した装置構成とすることにより、著るしい計測精度の向
上が実現できることがわかる。
なお、第2図に示した画像処理部4において、シフタ4d
は、加減算処理された画像データの割算を行ない、画像
データを構成するビット数をコンピュータ5で取扱い易
いビット数に変換することを目的とするものであるが、
画像の取込回数が一定の場合や、コンピュータ5の能
力,入力ポートの仕様によっては、シフタ4dは必ずしも
必要とするものではない。
また、第1図に示した装置構成において、被計測体であ
る磁気記録媒体1は、配置台7に配置されるが、配置台
をXYZテーブルとすることにより、任意の位置に移動お
よび停止せしめることが可能であり、磁気記録媒体1上
の任意の位置に記録された信号に対して、位置・姿勢の
計測が可能とる。ここで移動機構を磁気記録媒体1を配
置する配置台7に設けるのでなく、光学系3に移動機構
を設けても同様の効果の得られることは言うまでもな
い。
〔発明の効果〕
本発明によれば、磁気記録媒体に記録された信号の磁化
状態の転写性を著しく向上させて、しかも転写された磁
化状態を高コントストで検出でき、且つ明るさのむらや
画像ノイズを消去して磁気記録媒体に記録された信号の
磁化状態を高精度に計測することができる効果を奏す
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係る計測装置の一実施例を示す構成
図、第2図は、第1図における画像処理部の構成を示す
図、第3図から第6図は第2図の画像処理部による画像
の変化を示す模式図、第7図は第1図の実施例による計
測精度向上の効果を示すグラフである。 1……磁気記録媒体、2……磁気転写板 3……光学系、3a……TVカメラ 3b……光源、3c……偏光子 3d……半透鏡、3e……対物レンズ 3f……検光子、3g……回転駆動機構 4……画像処理部、4a……A/D変換器 4b……メモリ、4c……加減算器 4d……シフタ 4e……タイミングコントローラ 5……コンピュータ、6……出力装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−30075(JP,A) 特開 昭56−124064(JP,A) 特開 昭47−28967(JP,A) 特開 昭56−142453(JP,A) 特開 昭62−102103(JP,A) 特開 昭53−50777(JP,A) 特開 昭51−131670(JP,A) 特開 昭62−201335(JP,A) 特開 昭61−256237(JP,A)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ガドリニウムガリウムガーネット透明基板
    上に形成された垂直磁化特性の磁性ガーネット膜を磁気
    記録媒体に密着接触させて磁気記録媒体に記録された信
    号の磁化状態を前期磁性ガーネット膜に転写し、該転写
    された磁性ガーネット膜に対して、光軸を中心に偏光子
    と検光子との間で相対的回転させて相対的に偏光角度を
    変化させて前期検光子から得られる光学画像の濃淡を互
    いに反転させるべく光源から前記偏光子を通して得られ
    る直線偏光した光をほぼ垂直に入射させ、前期転写され
    た磁性ガーネット膜の磁気光学効果によって偏光面の回
    転を発生させて該偏光面の回転分布を前期検光子を通し
    て光電変換手段で受光して転写された磁化状態の光学画
    像信号として濃淡を互いに反転させた偏光角度変化前の
    磁化状態の光学画像信号と偏光角度変化後の磁化状態の
    光学画像信号とを検出し、該検出される偏光角度変化前
    の磁化状態の光学画像信号と偏光角度変化後の磁化状態
    の光学画像信号との各々をA/D変換させてディジタル画
    像信号にして複数回について加算して一方のディジタル
    画像信号から他方のディジタル画像信号を減算して磁気
    記録媒体に記録された信号の磁化状態を計測することを
    特徴とする磁気記録媒体の計測方法。
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