JPH077082A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
て、一対のスイッチングトランジスタ(124) (126) のエ
ミッター(136) (142) および定電流源トランジスタ(12
8) のコレクター(144) を、P型基板(200) 上に形成し
たN型エピタキシャル層(230) で構成し、このN型エピ
タキシャル層(230) 内の各P型領域(ベース)における
各内部のN型領域を、一対のスイッチングトランジスタ
(124) (126) ではコレクター(132) (138) とする一方、
定電流源トランジスタ(128) ではエミッター(148) とし
てそれぞれ構成する。 【効果】 N型エピタキシャル層(230) が、各トランジ
スタ(124) (126) (128)を相互に接続する配線機能を有
するので、基板表面に設けるべき接点領域が少なくな
り、これにより、高集積化、高速化、低消費電力化を図
ることができる。
Description
Logic) やECL(Emitter Coupled Logic)回路を具現
するための論理素子構造に関するもので、特に、CML
回路のスイッチングトランジスタと定電流源トランジス
タとが、絶縁膜等を利用して電気的に分離されると共
に、一つのN型シリコン領域に集積化された半導体装置
に関するものである。
合された一対のスイッチングトランジスタで電流の流れ
を切換えることにより、論理機能を実現する非飽和型論
理回路である。このようなCML回路は、トランジスタ
が飽和状態とはならないために高速で動作するが、相対
的に消費電力が大きい。
記のCML回路の論理素子構造に別途のN型の領域に構
成されたバイポーラトランジスタを用いたエミッターフ
ォロワー(emitter follower) 端を追加し接続した構成
を有している。
装置を構成するCMLやECLの例としてインバーター
回路を図3に示している。同図は、後述する図1・図2
および図4の等価回路である。したがって、本明細書に
添付された図1ないし図4において、相互に対応する部
分は、互いに同一の番号を付記している。
ており、このCML回路(162) にエミッターフォロワー
回路(164) を接続してECL回路が構成されている。
入力(106) に第1定電圧ノード(108) よりも低い“L”
状態の電圧が印加されると、電流は、第1電源ノード(1
02)から、抵抗(122) ・一方のスイッチングトランジス
タ(126) ・定電流源トランジスタ(128) ・抵抗(130) を
通して、第2電源ノード(104) に流れる一方、抵抗(12
0) と他方のスイッチングトランジスタ(124) とは電流
が遮断されるので、CMLインバーター出力ノード(11
2) の電圧は、第1電源ノード(102) と同電圧になっ
て、“H”状態となる。これにより、CMLインバータ
ー出力ノード(158) の電圧は、CMLインバーター出力
ノード(112) の電圧から、トランジスタ(150)のベース
・エミッター間の電圧降下分だけ低い電圧レベルにな
り、“H”状態になる。
8) よりも高い“H”状態の電圧が印加されると、抵抗
(122) ・トランジスタ(126) は電流が遮断され、電流は
第1電源ノード(102) から、抵抗(120) ・トランジスタ
(124) ・定電流源トランジスタ(128) ・抵抗(130) を通
して第2電源ノード(104) に流れ、CMLインバーター
出力ノード(112) の電圧は、第1電源ノード(102) か
ら、電流が抵抗(120) を流れる際の電圧降下分だけ低い
電圧レベルになり、“L”状態となる。このとき、CM
Lインバーター出力ノード(158) の電圧は、上記のCM
Lインバーター出力ノード(112) の電圧から、トランジ
スタ(150) のベース・エミッター間の電圧降下分だけさ
らに低い電圧レベルになり、“L”状態になる。
する従来の構成を図4に示している。同図中、(162) は
CML回路のトランジスタ構造の断面図及び回路連結
図、(164) はエミッターフォロワー端を構成するトラン
ジスタ構造の断面図及び回路連結図である。
のトランジスタは、同図のように、互いに電気的に分離
されていて、各エミッター・ベース・コレクターの各々
の接点がウエハーの表面部分、すなわち、上部分に設け
られて、これら接点を相互に連結して回路が構成されて
いる。
0) は、図3の等価回路に示すものと同等のものであ
る。P型シリコン基板(200) とN型エピタキシャル層(2
30) 間に高濃度N型埋込層(220) があり、また、各トラ
ンジスタ(124) (126) (128) (150) を相互に電気的に分
離するため、各トランジスタ間のトレンチ(trench) に
絶縁物(210) が充填されている。
域(134) (140) (146) (154) は、各トランジスタのベー
スとしてそれぞれ用いられ、また、各P型領域内に存在
する高濃度N型領域(136) (142) (148) (156) は、各ト
ランジスタのエミッターとしてそれぞれ用いられる。
ジスタのコレクター(132) (138) (144) (152) として動
作する。なお、このエピタキシャル層(230) に存在する
高濃度N型層(132A)(138A)(144A)(152A)は、接点(112)
(114) (116) (102) と各トランジスタのコレクター(13
2) (138) (144) (152) とのオーム性接触を得るために
設けられている。
導体装置におけるCML及びECL回路では、各個別の
トランジスタのエミッター・ベース・コレクターに各々
対応するN型・P型・N型の各領域が、P型のシリコン
基板(200) 上で各々個別のトランジスタ毎に電気的に分
離され、また、各トランジスタのエミッター・ベース・
コレクターの各接点端子をウエハー上面に設けて、これ
らを相互に配線した回路構成となされているために、ト
ランジスタの集積度が低いという問題を有している。
(138) (144) (152) とP型のシリコン基板(200) との間
に接合キャパシタが存在し、このキャパシタは、図3の
回路より明らかなように、スイッチングトランジスタ(1
24) (126) のコレクター端子(112) と(114) とにそれぞ
れ連結されるため、CML及びECLに供給される電力
が入力信号に応じて論理回路ゲートを通過する時間が多
くかかるようになって、動作速度が遅く、しかも、消費
電力量が多くなるという問題も有している。
るため、接点の数を最大限減らし、既存の構造に比べ
て、集積度を大きく向上させることができるCML及び
ECL回路が構成された半導体装置を提供することを目
的としている。
るCML及びECLの論理半導体装置を提供することに
ある。
ため、本発明の請求項1記載の半導体装置は、第1の電
源ノードを通して供給された電流の流れを切換えるため
の少なくとも一対のスイッチングトランジスタと、これ
らスイッチングトランジスタ中のいずれか一つのスイッ
チングトランジスタを通して流れる上記電流を第2の電
源ノードへと供給する定電流源トランジスタとを設けて
成るエミッターカップル型の論理回路を備える半導体装
置において、上記各スイッチングトランジスタのエミッ
ターおよび定電流源トランジスタのコレクターとして動
作すべくP型基板上に形成されたN型エピタキシャル層
と、このN型エピタキシャル層内にそれぞれ形成され、
上記スイッチングトランジスタおよび定電流源トランジ
スタの各ベースとして各々動作する少なくとも3個以上
のP型領域と、これら各P型領域内にそれぞれ形成さ
れ、上記各スイッチングトランジスタのコレクターおよ
び定電流源トランジスタのエミッターとして各々動作す
る少なくとも3個以上のN型領域とが設けられているこ
とを特徴としている。
1記載の装置において、上記P型基板上に電気的に分離
された一つの上記N型エピタキシャル層内に、上記スイ
ッチングトランジスタおよび定電流源トランジスタが集
積されていることを特徴としている。
1又は2記載の装置において、上記N型エピタキシャル
層とP型基板間に高濃度のN型埋込層が形成されている
ことを特徴としている。
一対のスイッチングトランジスタと、定電流源トランジ
スタと、出力バッファー用のエミッターフォロワートラ
ンジスタとを設けて成るエミッターカップル型の論理回
路を備える半導体装置において、P型基板内に高濃度ド
ーピングにより形成され、上記各スイッチングトランジ
スタのエミッターおよび定電流源トランジスタのコレク
ターとして動作する第1のN型領域と、この第1のN型
領域とは別に上記P型基板内に高濃度ドーピングにより
形成され、上記エミッターフォロワートランジスタのコ
レクターとして動作する第2のN型領域と、上記第1の
N型領域上に柱形状にそれぞれ形成され、上記各スイッ
チングトランジスタおよび定電流源トランジスタの各ベ
ースとして動作する3個以上のP型領域と、上記第2の
N型領域上に柱形状に形成され、上記エミッターフォロ
ワートランジスタのベースとして動作する他の一つのP
型領域と、これらP型領域の各上部にそれぞれ柱形状に
形成され、上記各スイッチングトランジスタの各々のコ
レクターおよび上記定電流源トランジスタとエミッター
フォロワートランジスタとの各エミッターとしてそれぞ
れ動作する少なくとも4個以上の第3のN型領域とが設
けられていることを特徴としている。
4記載の装置において、上記スイッチングトランジスタ
および定電流源トランジスタが、上記P型基板と電気的
に分離された上記第1のN型領域により相互に電気的に
接続され集積されていることを特徴としている。
イポーラトランジスタをP型基板上に縦方向にN型、P
型、N型の三層設けて構成することを前提として、上方
のN型をコレクター、P型をベース、下方のN型をエミ
ッターとする上向動作トランジスタをスイッチングトラ
ンジスタとして形成する一方、下方のN型をコレクタ
ー、P型をベース、上方のN型をエミッターとする下向
動作トランジスタを定電流源トランジスタとして形成し
ている。
クターと、少なくともこれに隣接するスイッチングトラ
ンジスタのエミッターとは、これらがそれぞれ形成され
る下方のN型領域、すなわち、N型エピタキシャル層
に、両トランジスタ間を電気的に分離する分離層を設け
ずに構成することによって、このN型エピタキシャル層
が、定電流源トランジスタのコレクターとスイッチング
トランジスタのエミッターとの相互接続配線としても機
能するエミッターカップル型の回路構成となる。
ターとスイッチングトランジスタのエミッターとの接続
を基板表面の配線で行っていた従来の構造に比べ、この
配線のための接点領域や、トランジスタ間の分離層が必
要でなくなるので、集積度が向上する。また、電流経路
長も短くなると共に、N型とP型基板間に存在する接合
キャパシタはスイッチングトランジスタのエミッターに
連結された構成ともなり、このエミッターの電圧変化
は、コレクターの電圧変化に比べて大幅に少ないので、
従来のものより動作速度が速くなる。
つのN型エピタキシャル層内に、CML回路を構成する
複数のスイッチングトランジスタと定電流源トランジス
タとが設けられているので、各スイッチングトランジス
タの各々のエミッターは、定電流源トランジスタのコレ
クターに上記エピタキシャル層によって電気的に接続さ
れた構成となっている。したがって、このための接続配
線や、配線のための接点領域が各スイッチングトランジ
スタおよび定電流源トランジスタの全体にわたって不要
となるので、集積度がさらに向上する。
型エピタキシャル層とP型基板間に高濃度のN型埋込層
が形成されているので、上記エピタキシャル層が各トラ
ンジスタ間の接続配線として機能するときの抵抗が小さ
く、これにより、良好な特性を維持することができる。
記請求項1記載の装置とほぼ同様に、第1のN型領域が
定電流源トランジスタのコレクターとスイッチングトラ
ンジスタのエミッターとの相互接続配線としても機能す
るエミッターカップル型の回路構成となる。この結果、
請求項1記載の装置と同様に、集積度が向上すると共
に、動作速度が速くなる。
L回路を構成する複数のスイッチングトランジスタと定
電流源トランジスタとが第1のN型領域により接続され
ているので、これらスイッチングトランジスタの各々の
エミッターと定電流源トランジスタのコレクターとを相
互に配線するための接点領域や接続配線が全体にわたっ
て不要となるので、集積度がさらに向上する。
る半導体装置について図1を参照しつつ詳細に説明す
る。図1には、本発明の第1実施例におけるCML及び
ECL回路を構成する断面図を示しており、前記同様に
絶縁物(210) が充填されたトレンチ等によって電気的に
分離された一つのエピタキシャル層(230) に、CML回
路を構成する種々のトランジスタが高い集積度で集積さ
れ、また、スイッチング素子に用いるトランジスタ(12
4) (126) のコレクター(132) (138) とシリコン基板(20
0) 間が電気的に分離され、両者間のキャパシタが最小
化された特徴を有している。
理素子の断面図および回路連結図、(164) は、エミッタ
ーフォロワー端を構成するトランジスタの断面図および
回路連結図である。
図3の等価回路を参照して先に説明したものと同等のも
のである。P型シリコン基板(200) とN型エピタキシャ
ル層(230) 間に高濃度N型埋込層(220) があり、CML
回路のトランジスタ(124) (126) (128) とエミッターフ
ォロワー端(164) のトランジスタ(150) との間に、これ
らを相互に電気的に分離するため、絶縁膜(210) が充填
されたトレンチが設けられている。
4) (126) と、下向動作トランジスタ(128) とを用いて
構成され、また、エミッターフォロワー端(164) は、下
向動作トランジスタ(150) を用いて構成されている。
型の領域(134) (140) (146) (15
4)は、各トランジスタのベースとして動作し、各P型
領域(134) (140) 内に存在する高濃度N型
領域(132) (138) は、トランジスタ(124) (126) のコレ
クターとして動作する。一方、P型領域(146) (154) 内
の高濃度N型領域(148) (156) はトランジスタ(128) (1
50) のエミッターとして動作する。
(124) (126) に対してはエミッター(136) (142) として
動作し、トランジスタ(128) (150) に対してはコレクタ
ー(144) (152) として動作すると同時に、これらを相互
に接続する前記の接点(116)の機能も兼用する。
明すると、まず、ウエハー状のP型のシリコン基板(20
0) にN型不純物(impurity) である砒素(As)と同じ
5価の元素を拡散させて、高濃度の埋込層(220) を作製
した後、低濃度のN型エピタキシャル層(230) を成長さ
せる。
グ装置を利用してトレンチを作った後、絶縁膜(210) で
トレンチ領域を充填する。
さで成長させた後、マスクを利用してベース領域(134)
(140) (146) (154) にP型の不純物である硼素(B) 元
素を注入し、再びマスクを用いて定電流源トランジスタ
及びエミッターフォロワー端トランジスタの各エミッタ
ー領域(148) (156) と、スイッチングトランジスタのコ
レクター領域(132) (138) 、およびエミッターフォロワ
ー端のトランジスタのコレクター接点領域(152A)に砒素
と同じ5価の元素を注入する。
シリコンを利用して抵抗(120) (122) (130) (160) を形
成し、その後、マスクを利用して必要な接点間に金属配
線をする。
おいては、バイポーラトランジスタがP型のウエハーの
上面からN型、P型、N型に形成されるとき、上方のN
型をトランジスタのコレクター、P型をベース、下方の
N型をエミッターとして動作する上向動作トランジスタ
を、CMLのスイッチングトランジスタ(124) (126)に
用いる一方、下方のN型をコレクター、P型をベース、
上方のN型をエミッターとして動作する下向動作トラン
ジスタをCMLの定電流源トランジスタ(128)に用いて
構成している。
域、及びP型領域は相互トランジスタ間でそれぞれ電気
的に分離されるが、一つのCMLを構成する各トランジ
スタの下方のN型は、P型のウエハー上に形成された同
一なN型領域、すなわち、N型エピタキシャル層(230)
に形成され、この結果、スイッチングトランジスタ(12
4) (126) のエミッターと定電流源トランジスタ(128)
のコレクターとが上記のエピタキシャル層(230) によっ
て相互に接続されるため、これに該当する別途の接点部
が基板の表面側に必要でなくなるので、既存の構造に比
べて、集積度を大きく向上させることができる。また、
上記のN型とP型のウエハー基板間に存在する接合キャ
パシタが、従来の構造とは異なるCML回路の構成によ
り、共通エミッター端子に連結され、この共通エミッタ
ー端子の電圧変化は、各トランジスタのコレクター端子
の電圧変化に比べて大幅に少ないため、動作速度が非常
に速くなると共に、消費電力をより小さくすることがで
きる。
例におけるCML及びECL回路を構成する断面図を示
している。これは、1990年韓国特許出願第1790
9号における垂直構造を有するバイポーラトランジスタ
の構成を応用している。
と電気的に分離された一つのN型領域(240) に、CML
回路の構成に必要な多数のトランジスタが高い集積度で
集積され、また、スイッチング素子に使用されているト
ランジスタ(124) (126) のコレクター(132) (138) とシ
リコン基板(200) 間が電気的に分離され、両者間のキャ
パシタが最小化された特徴を有している。
構成する論理素子(124) (126) (128) の断面図および回
路連結図で、(164) で示す部分は、エミッターフォロワ
ートランジスタ(150) の断面図で、(162) の部分と(16
4) の部分とを合わせて、ECL回路の論理素子断面図
および回路連結図になっている。
0) (160) は、前記の図3の等価回路を参照して先に説
明したものと同等のものである。P型シリコン基板(20
0) には、CML回路のトランジスタ(124) (126) (128)
とエミッターフォロワー端(164) のトランジスタ(150)
を電気的に分離するため、高濃度N型拡散領域(240)
が形成されている。
ピタキシャル層(132) (138) (148)(156) と、P型領域
(134) (149) (146) (154) は、各トランジスタ毎にトレ
ンチ形態を有する構造で分離される一方、下方のN型拡
散領域(240) は、CML回路の各トランジスタにおける
互いに同一な領域を連結している。
グトランジスタは上向きに動作するトランジスタ(124)
(126) を用いて構成され、また、定電流源トランジスタ
は下向きに動作するトランジスタ(128) を用いて構成さ
れる。エミッターフォロワー端(164)では、下向トラン
ジスタ(150) として構成されている。高濃度N型拡散領
域(240) は、トランジスタ(124) (126) に対してはエミ
ッター(136) (142) として動作し、トランジスタ(128)
(150) に対してはコレクター(144) (152) として動作す
る。
タキシャル層(132) (138) は、スイッチングトランジス
タ(124) (126) ではコレクターとして動作し、また、N
型エピタキシャル層(148) (156) は、定電流源トランジ
スタ及びエミッターフォロワー端トランジスタ(128) (1
50) ではエミッターとしてそれぞれ動作する。
まず、P型のウエハー状のシリコン基板(200) の上方に
トランジスタのベース(134) (140) (146) (154) を作る
ために、硼素(B)等の3価元素を適切な量で、ウエハ
ー全面に注入する。
になる柱(Pillar) だけ残すようにドライエッチングす
る。その後、下方のN型(240) を形成するために、マス
クを用いて所定の領域に、砒素(As)等の5価元素を注
入した後、拡散させる。
タベースの側面に設け、次いで、トランジスタ上方のN
型エピタキシャル層(132) (138) (148) (156) に、砒素
等の5価元素を高濃度に注入し、その後、各柱間を絶縁
膜で覆う。
せ、抵抗(120) (122) (130) (160)を形成し、マスクを
利用して各素子の接点を金属配線で連結して回路を完成
する。
は、各トランジスタの上方のN型領域及びP型領域は、
トランジスタ毎にトレンチ等によりそれぞれ電気的に分
離されるが、一つのCMLを構成する各トランジスタの
下方のN型は、P型のウエハー上に形成された同一なN
型領域で相互に接続された構成となっている。これによ
り、前記実施例同様に、スイッチングトランジスタのエ
ミッターと定電流源トランジスタのコレクターとを相互
に接続するための別途の接点が必要でなくなり、既存の
構造に比べて、集積度を大きく向上させることができる
と共に、スイッチングトランジスタのコレクターと基板
間のキャパシタが最小化されるので、動作速度が非常に
速くなるという効果が得られる。
半導体装置は、少なくとも一対のスイッチングトランジ
スタのエミッターおよび定電流源トランジスタのコレク
ターとして動作すべくP型基板上に形成されたN型エピ
タキシャル層と、このN型エピタキシャル層内にそれぞ
れ形成され、上記スイッチングトランジスタおよび定電
流源トランジスタの各ベースとして各々動作する少なく
とも3個以上のP型領域と、これら各P型領域内にそれ
ぞれ形成され、上記各スイッチングトランジスタのコレ
クターおよび定電流源トランジスタのエミッターとして
各々動作する少なくとも3個以上のN型領域とが設けら
れている構成である。
クターとスイッチングトランジスタのエミッターとの接
続を基板表面の配線で行っていた従来の構造に比べ、こ
の配線のための接点領域や、トランジスタ間の分離層が
必要でなくなるので、集積度が向上する。また、電流経
路長も短くなると共に、N型とP型基板間に存在する接
合キャパシタはスイッチングトランジスタのエミッター
に連結された構成ともなり、このエミッターの電圧変化
は、コレクターの電圧変化に比べて大幅に少ないので、
従来のものより動作速度が速くなるという効果を奏す
る。
板上に電気的に分離された一つの上記N型エピタキシャ
ル層内に、上記スイッチングトランジスタおよび定電流
源トランジスタが集積されている構成である。
スタ各々のエミッターと定電流源トランジスタのコレク
ターとを相互に接続するための接点領域や接続配線が各
スイッチングトランジスタおよび定電流源トランジスタ
の全体にわたって不要となるので、集積度がさらに向上
するという効果を奏する。
ピタキシャル層とP型基板間に高濃度のN型埋込層が形
成されている構成である。
ランジスタ間の接続配線として機能するときの抵抗が小
さく、これにより、良好な特性を維持することができる
という効果を奏する。
に高濃度ドーピングにより形成され、上記各スイッチン
グトランジスタのエミッターおよび定電流源トランジス
タのコレクターとして動作する第1のN型領域と、この
第1のN型領域とは別に上記P型基板内に高濃度ドーピ
ングにより形成され、上記エミッターフォロワートラン
ジスタのコレクターとして動作する第2のN型領域と、
上記第1のN型領域上に柱形状にそれぞれ形成され、上
記各スイッチングトランジスタおよび定電流源トランジ
スタの各ベースとして動作する3個以上のP型領域と、
上記第2のN型領域上に柱形状に形成され、上記エミッ
ターフォロワートランジスタのベースとして動作する他
の一つのP型領域と、これらP型領域の各上部にそれぞ
れ柱形状に形成され、上記各スイッチングトランジスタ
の各々のコレクターおよび上記定電流源トランジスタと
エミッターフォロワートランジスタとの各エミッターと
してそれぞれ動作する少なくとも4個以上の第3のN型
領域とが設けられている構成である。
様に、第1のN型領域が定電流源トランジスタのコレク
ターとスイッチングトランジスタのエミッターとの相互
接続配線としても機能するので、集積度が向上すると共
に、動作速度が速くなるという効果を奏する。
チングトランジスタおよび定電流源トランジスタが、上
記P型基板と電気的に分離された上記第1のN型領域に
より相互に電気的に接続され集積されている構成であ
る。
スタの各々のエミッターと定電流源トランジスタのコレ
クターとを相互に配線するための接点領域や接続配線が
全体にわたって不要となるので、集積度がさらに向上す
るという効果を奏する。
路が構成された半導体装置の断面模式図である。
回路が構成された半導体装置の断面模式図である。
る。
体装置の断面模式図である。
領域) 134・140・146・154 ベース(P型領
域) 136・142・148・156 コレクター 200 P型シリコン基板 220 高濃度N型埋込層 230 N型エピタキシャル層 240 第1N型領域、第2N型領域
Claims (5)
- 【請求項1】第1の電源ノードを通して供給された電流
の流れを切換えるための少なくとも一対のスイッチング
トランジスタと、これらスイッチングトランジスタ中の
いずれか一つのスイッチングトランジスタを通して流れ
る上記電流を第2の電源ノードへと供給する定電流源ト
ランジスタとを設けて成るエミッターカップル型の論理
回路を備える半導体装置において、 上記各スイッチングトランジスタのエミッターおよび定
電流源トランジスタのコレクターとして動作すべくP型
基板上に形成されたN型エピタキシャル層と、このN型
エピタキシャル層内にそれぞれ形成され、上記スイッチ
ングトランジスタおよび定電流源トランジスタの各ベー
スとして各々動作する少なくとも3個以上のP型領域
と、これら各P型領域内にそれぞれ形成され、上記各ス
イッチングトランジスタのコレクターおよび定電流源ト
ランジスタのエミッターとして各々動作する少なくとも
3個以上のN型領域とが設けられていることを特徴とす
る半導体装置。 - 【請求項2】上記P型基板上に電気的に分離された一つ
の上記N型エピタキシャル層内に、上記スイッチングト
ランジスタおよび定電流源トランジスタが集積されてい
ることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 【請求項3】上記N型エピタキシャル層とP型基板間に
高濃度のN型埋込層が形成されていることを特徴とする
請求項1又は2記載の半導体装置。 - 【請求項4】少なくとも一対のスイッチングトランジス
タと、定電流源トランジスタと、出力バッファー用のエ
ミッターフォロワートランジスタとを設けて成るエミッ
ターカップル型の論理回路を備える半導体装置におい
て、 P型基板内に高濃度ドーピングにより形成され、上記各
スイッチングトランジスタのエミッターおよび定電流源
トランジスタのコレクターとして動作する第1のN型領
域と、この第1のN型領域とは別に上記P型基板内に高
濃度ドーピングにより形成され、上記エミッターフォロ
ワートランジスタのコレクターとして動作する第2のN
型領域と、上記第1のN型領域上に柱形状にそれぞれ形
成され、上記各スイッチングトランジスタおよび定電流
源トランジスタの各ベースとして動作する3個以上のP
型領域と、上記第2のN型領域上に柱形状に形成され、
上記エミッターフォロワートランジスタのベースとして
動作する他の一つのP型領域と、これらP型領域の各上
部にそれぞれ柱形状に形成され、上記各スイッチングト
ランジスタの各々のコレクターおよび上記定電流源トラ
ンジスタとエミッターフォロワートランジスタとの各エ
ミッターとしてそれぞれ動作する少なくとも4個以上の
第3のN型領域とが設けられていることを特徴とする半
導体装置。 - 【請求項5】上記スイッチングトランジスタおよび定電
流源トランジスタが、上記P型基板と電気的に分離され
た上記第1のN型領域により相互に電気的に接続され集
積されていることを特徴とする請求項4記載の半導体装
置。
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---|---|---|---|
KR1019920011456A KR950005463B1 (ko) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | 에미터 커플드 논리 반도체 장치 |
KR92-11456 | 1992-06-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH077082A true JPH077082A (ja) | 1995-01-10 |
JP2583000B2 JP2583000B2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=19335495
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5158880A Expired - Fee Related JP2583000B2 (ja) | 1992-06-29 | 1993-06-29 | 半導体装置 |
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---|---|
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JP (1) | JP2583000B2 (ja) |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57132353A (en) * | 1981-02-09 | 1982-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor integrated circuit |
JPS61114568A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-02 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4979793A (ja) * | 1972-12-08 | 1974-08-01 | ||
JPS6098659A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-06-01 | Hitachi Ltd | 直列接続トランジスタを有する半導体集積回路 |
-
1992
- 1992-06-29 KR KR1019920011456A patent/KR950005463B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1993
- 1993-06-24 EP EP93110134A patent/EP0582076A1/en not_active Withdrawn
- 1993-06-29 JP JP5158880A patent/JP2583000B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57132353A (en) * | 1981-02-09 | 1982-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor integrated circuit |
JPS61114568A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-02 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR940001387A (ko) | 1994-01-11 |
JP2583000B2 (ja) | 1997-02-19 |
KR950005463B1 (ko) | 1995-05-24 |
EP0582076A1 (en) | 1994-02-09 |
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