JPH0766317A - 封止用または接着用樹脂組成物 - Google Patents
封止用または接着用樹脂組成物Info
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- JPH0766317A JPH0766317A JP23567193A JP23567193A JPH0766317A JP H0766317 A JPH0766317 A JP H0766317A JP 23567193 A JP23567193 A JP 23567193A JP 23567193 A JP23567193 A JP 23567193A JP H0766317 A JPH0766317 A JP H0766317A
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- resin composition
- fluororesin
- inorganic filler
- sealing
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】含フッ素脂肪族環構造を有する重合体、無機充
填剤、カップリング剤および有機溶剤を必須成分とし、
前３者の合計量に対する含フッ素脂肪族環構造を有する
重合体の割合が２０〜９０重量％である、封止用または
接着用樹脂組成物。 【構成】低吸水性、低透湿性、電気特性に優れた信頼性
の高い封止用または接着用樹脂組成物が得られる。
填剤、カップリング剤および有機溶剤を必須成分とし、
前３者の合計量に対する含フッ素脂肪族環構造を有する
重合体の割合が２０〜９０重量％である、封止用または
接着用樹脂組成物。 【構成】低吸水性、低透湿性、電気特性に優れた信頼性
の高い封止用または接着用樹脂組成物が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子、電気部品を封止
および接着する樹脂に関する。特に、非吸水性、密着
性、電気特性に優れた信頼性の高い、封止用または接着
用樹脂組成物に関する。
および接着する樹脂に関する。特に、非吸水性、密着
性、電気特性に優れた信頼性の高い、封止用または接着
用樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子、電気部品を封止および接着するに
は、エポキシ等の樹脂を用いる方法、ガラス、金属、セ
ラミックスを用いたハーメチックシール法等が行われて
いるが、経済的に有利なため前者が広く実用化されてき
た。樹脂としては、熱硬化性樹脂組成物が用いられ、な
かでも信頼性、価格等の点からエポキシ樹脂組成物が、
最も一般的に用いられている。近年、電子、電気部品の
小型化が進むにつれ、封止形態が多様化し、樹脂の厚み
を薄くすることが必要となってきている。厚みを薄くす
るため、エポキシ樹脂組成物の低粘度化が検討されてい
るが、吸水性があり被封止物の腐食を起こすという問題
があった。また、半導体素子の高速化に伴い、電気特性
特に低誘電率化が求められているが、エポキシ樹脂の特
性から、この要求に答えることができないでいる。一
方、エポキシ樹脂のかわりに、フッ素系樹脂を用いるこ
とで、低吸水性化、低誘電率化の検討がなされている
が、近年更なる透湿率低減が要求されている。
は、エポキシ等の樹脂を用いる方法、ガラス、金属、セ
ラミックスを用いたハーメチックシール法等が行われて
いるが、経済的に有利なため前者が広く実用化されてき
た。樹脂としては、熱硬化性樹脂組成物が用いられ、な
かでも信頼性、価格等の点からエポキシ樹脂組成物が、
最も一般的に用いられている。近年、電子、電気部品の
小型化が進むにつれ、封止形態が多様化し、樹脂の厚み
を薄くすることが必要となってきている。厚みを薄くす
るため、エポキシ樹脂組成物の低粘度化が検討されてい
るが、吸水性があり被封止物の腐食を起こすという問題
があった。また、半導体素子の高速化に伴い、電気特性
特に低誘電率化が求められているが、エポキシ樹脂の特
性から、この要求に答えることができないでいる。一
方、エポキシ樹脂のかわりに、フッ素系樹脂を用いるこ
とで、低吸水性化、低誘電率化の検討がなされている
が、近年更なる透湿率低減が要求されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は上記
問題点に鑑みてなされたものでその目的は、低吸水性、
低透湿性、電気特性に優れた信頼性の高い、封止用また
は接着用樹脂組成物を提供することにある。
問題点に鑑みてなされたものでその目的は、低吸水性、
低透湿性、電気特性に優れた信頼性の高い、封止用また
は接着用樹脂組成物を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成しようと鋭意研究を重ねた結果、非晶質のフッ素樹
脂に無機充填剤を配合すれば、優れた低吸水性、低透湿
性、電気特性を有し、かつその他特性の良い封止用また
は接着用樹脂組成物が得られることを見出し、本発明を
完成させるにいたった。すなわち本発明は、非晶質フッ
素樹脂（Ａ）と無機充填剤（Ｂ）および有機溶剤（Ｃ）
を成分とする樹脂組成物であって、（Ｂ）／［（Ａ）＋
（Ｂ）］が２０〜９０重量％であることを特徴とする封
止用または接着用樹脂組成物である。また、カップリン
グ剤（Ｄ）を用いる場合は、（Ｂ）／［（Ａ）＋（Ｂ）
＋（Ｄ）］が２０〜９０重量％であることを特徴とする
封止用または接着用樹脂組成物である。
達成しようと鋭意研究を重ねた結果、非晶質のフッ素樹
脂に無機充填剤を配合すれば、優れた低吸水性、低透湿
性、電気特性を有し、かつその他特性の良い封止用また
は接着用樹脂組成物が得られることを見出し、本発明を
完成させるにいたった。すなわち本発明は、非晶質フッ
素樹脂（Ａ）と無機充填剤（Ｂ）および有機溶剤（Ｃ）
を成分とする樹脂組成物であって、（Ｂ）／［（Ａ）＋
（Ｂ）］が２０〜９０重量％であることを特徴とする封
止用または接着用樹脂組成物である。また、カップリン
グ剤（Ｄ）を用いる場合は、（Ｂ）／［（Ａ）＋（Ｂ）
＋（Ｄ）］が２０〜９０重量％であることを特徴とする
封止用または接着用樹脂組成物である。
【０００５】非晶質フッ素樹脂としては、テトラフルオ
ロエチレン、ビニリデンフルオリドおよびヘキサフルオ
ロプロピレンがそれぞれ３７〜４８重量％、１５〜３５
重量％および２６〜４４重量％の３元共重合体などのフ
ルオロオレフィン系の共重合体や、含フッ素脂肪族環構
造を有する重合体などがある。特に、含フッ素脂肪族環
構造を有する重合体が耐クリープ性等の機械的特性に優
れるため好ましく採用される。
ロエチレン、ビニリデンフルオリドおよびヘキサフルオ
ロプロピレンがそれぞれ３７〜４８重量％、１５〜３５
重量％および２６〜４４重量％の３元共重合体などのフ
ルオロオレフィン系の共重合体や、含フッ素脂肪族環構
造を有する重合体などがある。特に、含フッ素脂肪族環
構造を有する重合体が耐クリープ性等の機械的特性に優
れるため好ましく採用される。
【０００６】含フッ素脂肪族環構造を有する重合体とし
ては、含フッ素環構造を有するモノマーを重合して得ら
れるものや、少なくとも２つの重合性二重結合を有する
含フッ素モノマーを環化重合して得られる主鎖に環構造
を有する重合体が好適である。
ては、含フッ素環構造を有するモノマーを重合して得ら
れるものや、少なくとも２つの重合性二重結合を有する
含フッ素モノマーを環化重合して得られる主鎖に環構造
を有する重合体が好適である。
【０００７】含フッ素環構造を有するモノマーを重合し
て得られる主鎖に環構造を有する重合体は、特公昭６３
−１８９６４号公報等により知られている。すなわち、
パーフルオロ（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソー
ル）等の含フッ素環構造を有する重合体を単独重合ない
し、テトラフルオロエチレンなどのラジカル重合性モノ
マーと共重合することにより得られる。
て得られる主鎖に環構造を有する重合体は、特公昭６３
−１８９６４号公報等により知られている。すなわち、
パーフルオロ（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソー
ル）等の含フッ素環構造を有する重合体を単独重合ない
し、テトラフルオロエチレンなどのラジカル重合性モノ
マーと共重合することにより得られる。
【０００８】また、少なくとも２つの重合性二重結合を
有する含フッ素モノマーを環化重合して得られる主鎖に
環構造を有する重合体は、特開昭６３−２３８１１１号
公報や特開昭６３−２３８１１５号公報等により知られ
ている。すなわち、パーフルオロ（アリルビニルエーテ
ル）やパーフルオロ（ブテニルビニルエーテル）等のモ
ノマーの環化重合、またはテトラフルオロエチレンなど
のラジカル重合性モノマーと共重合することにより得ら
れる。
有する含フッ素モノマーを環化重合して得られる主鎖に
環構造を有する重合体は、特開昭６３−２３８１１１号
公報や特開昭６３−２３８１１５号公報等により知られ
ている。すなわち、パーフルオロ（アリルビニルエーテ
ル）やパーフルオロ（ブテニルビニルエーテル）等のモ
ノマーの環化重合、またはテトラフルオロエチレンなど
のラジカル重合性モノマーと共重合することにより得ら
れる。
【０００９】また、パーフルオロ（２，２−ジメチル−
１，３−ジオキソール）等の含フッ素環構造を有するモ
ノマーとパーフルオロ（アリルビニルエーテル）やパー
フルオロ（ブテニルビニルエーテル）等の少なくとも２
つの重合性二重結合を有する含フッ素モノマーを共重合
して得られる重合体でもよい。
１，３−ジオキソール）等の含フッ素環構造を有するモ
ノマーとパーフルオロ（アリルビニルエーテル）やパー
フルオロ（ブテニルビニルエーテル）等の少なくとも２
つの重合性二重結合を有する含フッ素モノマーを共重合
して得られる重合体でもよい。
【００１０】含フッ素脂肪族環構造を有する重合体は、
主鎖に環構造を有する重合体が好適であるが、重合体を
形成するモノマーの繰り返し単位中に環構造を２０モル
％以上含有するものが透明性、機械的特性等の面から好
ましい。
主鎖に環構造を有する重合体が好適であるが、重合体を
形成するモノマーの繰り返し単位中に環構造を２０モル
％以上含有するものが透明性、機械的特性等の面から好
ましい。
【００１１】また、本発明に用いる無機充填剤として
は、シリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、酸化マグネシ
ウム、酸化亜鉛、水酸化マグネシウム、ガラス等の酸化
物、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、炭化
ケイ素等の非酸化物が挙げられ、これらは、単独もしく
は２種以上混合して使用する。
は、シリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、酸化マグネシ
ウム、酸化亜鉛、水酸化マグネシウム、ガラス等の酸化
物、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、炭化
ケイ素等の非酸化物が挙げられ、これらは、単独もしく
は２種以上混合して使用する。
【００１２】これら無機充填剤の形状は、破砕状、球
状、板状、針状等が挙げられるが、特に限定されるもの
ではない。また、平均粒径は０．１〜１００μｍ、好ま
しくは０．１〜５０μｍである。平均粒径が１００μｍ
を超えるものでは、樹脂組成物中での分散性が悪くな
り、０．１μｍより小さい平均粒径では、樹脂組成物の
粘性を著しく高め、また樹脂組成物中での凝集や作業性
が悪くなる。
状、板状、針状等が挙げられるが、特に限定されるもの
ではない。また、平均粒径は０．１〜１００μｍ、好ま
しくは０．１〜５０μｍである。平均粒径が１００μｍ
を超えるものでは、樹脂組成物中での分散性が悪くな
り、０．１μｍより小さい平均粒径では、樹脂組成物の
粘性を著しく高め、また樹脂組成物中での凝集や作業性
が悪くなる。
【００１３】無機充填剤の粒度分布としては、ボールミ
ル、振動ミル、アトライター、ローラーミル、ジェット
ミル等による粉砕品をそのまま篩で粗粒子を除去した
り、分級したものでもよいが、好ましくはＲＲＳ粒度線
図において最大粒径からの累積重量％の１０〜３０％の
１点と７０〜９０％の１点とを結んだ直線の勾配が３以
下が好ましい。この勾配が３を超えると樹脂組成物の流
動性が高くなり、成形性が悪くなる。ここでＲＲＳ粒度
線図とは、Ｒｏｓｉｎ−Ｒａｍｍｌｅｒの次式に従う粒
度分布を表す粒度線図のことである。Ｒ（Ｄｐ）＝１０
０ｅｘｐ（−ｂＤｐｎ）（ただし、式中のＲ（Ｄｐ）は
最大粒径から粒度Ｄｐまでの累積重量％、Ｄｐは粒径、
ｂ及びｎは定数である。）ＲＲＳ粒度線図における勾配
とは、ＲＲＳ粒度線図の最大粒径からの累積重量％の１
０〜３０％の１点と７０〜９０％の１点とを結んだ直線
で代表されるＲｏｓｉｎ−Ｒａｍｍｌｅｒの式のｎ値の
ことをいう。
ル、振動ミル、アトライター、ローラーミル、ジェット
ミル等による粉砕品をそのまま篩で粗粒子を除去した
り、分級したものでもよいが、好ましくはＲＲＳ粒度線
図において最大粒径からの累積重量％の１０〜３０％の
１点と７０〜９０％の１点とを結んだ直線の勾配が３以
下が好ましい。この勾配が３を超えると樹脂組成物の流
動性が高くなり、成形性が悪くなる。ここでＲＲＳ粒度
線図とは、Ｒｏｓｉｎ−Ｒａｍｍｌｅｒの次式に従う粒
度分布を表す粒度線図のことである。Ｒ（Ｄｐ）＝１０
０ｅｘｐ（−ｂＤｐｎ）（ただし、式中のＲ（Ｄｐ）は
最大粒径から粒度Ｄｐまでの累積重量％、Ｄｐは粒径、
ｂ及びｎは定数である。）ＲＲＳ粒度線図における勾配
とは、ＲＲＳ粒度線図の最大粒径からの累積重量％の１
０〜３０％の１点と７０〜９０％の１点とを結んだ直線
で代表されるＲｏｓｉｎ−Ｒａｍｍｌｅｒの式のｎ値の
ことをいう。
【００１４】本発明の無機充填剤の割合は、非晶質フッ
素樹脂と無機充填剤、さらに必要に応じて後述のシラン
カップリング剤を合計した量に対して、２０〜９０重量
％の割合で含有するよう配合するのが好ましい。さらに
好ましくは３０〜８０重量％の割合である。配合割合が
２０重量％未満の割合では透湿性に効果がなく、９０重
量％を超えるとカサバリが大きくなり成形性が悪く、ま
た吸水性が悪くなり、実用に適さなくなる。
素樹脂と無機充填剤、さらに必要に応じて後述のシラン
カップリング剤を合計した量に対して、２０〜９０重量
％の割合で含有するよう配合するのが好ましい。さらに
好ましくは３０〜８０重量％の割合である。配合割合が
２０重量％未満の割合では透湿性に効果がなく、９０重
量％を超えるとカサバリが大きくなり成形性が悪く、ま
た吸水性が悪くなり、実用に適さなくなる。
【００１５】本発明の無機充填剤は、分散性を向上させ
るために、必要に応じて配合前に、非晶質フッ素樹脂に
より被覆されてもよい。被覆の方法としては特に制限は
ないが、非晶質フッ素樹脂の希薄溶液に含浸後乾燥およ
び熱処理する方法などが挙げられる。この場合、被覆さ
れるフッ素樹脂と無機充填剤との接着性を向上させるた
めに、必要に応じてあらかじめ無機充填剤をシランカッ
プリング剤処理してもよい。
るために、必要に応じて配合前に、非晶質フッ素樹脂に
より被覆されてもよい。被覆の方法としては特に制限は
ないが、非晶質フッ素樹脂の希薄溶液に含浸後乾燥およ
び熱処理する方法などが挙げられる。この場合、被覆さ
れるフッ素樹脂と無機充填剤との接着性を向上させるた
めに、必要に応じてあらかじめ無機充填剤をシランカッ
プリング剤処理してもよい。
【００１６】本発明に用いる有機溶剤は非晶質フッ素樹
脂を溶解させるものであれば特に限定されるものではな
いが、具体的にはパーフルオロ（２−ブチルテトラヒド
ロフラン）あるいはパーフルオロオクタンあるいはパー
フルオロトリブチルアミンなどが例示され得る。
脂を溶解させるものであれば特に限定されるものではな
いが、具体的にはパーフルオロ（２−ブチルテトラヒド
ロフラン）あるいはパーフルオロオクタンあるいはパー
フルオロトリブチルアミンなどが例示され得る。
【００１７】本発明に用いるカップリング剤は、無機充
填剤の非晶質フッ素樹脂への分散性および接着性を向上
させるために用いることができる。カップリング剤の種
類としては特に限定はないが、分散性を向上するために
は含フッ素シラン化合物が好ましく、また、接着性を向
上させるためにはアミノ基含有シラン化合物あるいはグ
リシジル基含有シラン化合物が好ましい。
填剤の非晶質フッ素樹脂への分散性および接着性を向上
させるために用いることができる。カップリング剤の種
類としては特に限定はないが、分散性を向上するために
は含フッ素シラン化合物が好ましく、また、接着性を向
上させるためにはアミノ基含有シラン化合物あるいはグ
リシジル基含有シラン化合物が好ましい。
【００１８】含フッ素シラン化合物としては、（トリフ
ルオロメチル）エチルトリメトキシシラン、（パーフル
オロオクチル）エチルトリメトキシシラン、（パーフル
オロヘキシル）エチルトリメトキシシランなどが例示で
き、アミノ基含有シラン化合物としては、アミノプロピ
ルトリエトキシシラン、アミノエチルアミノプロピルト
リメトキシシラン、アミノエチルアミノプロピルメチル
ジメトキシシランなどが例示でき、グリシジル基含有シ
ラン化合物としては、グリシドキシプロピルトリメトキ
シシラン、グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラ
ンなどが例示できる。
ルオロメチル）エチルトリメトキシシラン、（パーフル
オロオクチル）エチルトリメトキシシラン、（パーフル
オロヘキシル）エチルトリメトキシシランなどが例示で
き、アミノ基含有シラン化合物としては、アミノプロピ
ルトリエトキシシラン、アミノエチルアミノプロピルト
リメトキシシラン、アミノエチルアミノプロピルメチル
ジメトキシシランなどが例示でき、グリシジル基含有シ
ラン化合物としては、グリシドキシプロピルトリメトキ
シシラン、グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラ
ンなどが例示できる。
【００１９】当然ながら、２種類以上のカップリング剤
を併用してもよい。また、カップリング剤の反応性を高
めるために、エチルシリート、テトラブトキシチタネー
ト、アルミニウムアセチルアセトナートなどの助剤、触
媒等を使用してもよい。
を併用してもよい。また、カップリング剤の反応性を高
めるために、エチルシリート、テトラブトキシチタネー
ト、アルミニウムアセチルアセトナートなどの助剤、触
媒等を使用してもよい。
【００２０】本発明に用いるカップリング剤の配合割合
は、無機充填剤に対して０．１〜１５重量％が好まし
い。カップリング剤の割合が１５重量％を超えて添加し
ても無機充填剤とフッ素樹脂とのぬれ性および接着性は
適正量の割合を添加した場合とその効果はほとんど変わ
らない。０．１重量％未満ではフッ素樹脂とのぬれ性が
悪くなり、透湿性を低減させる効果がなく、吸水性を悪
化させる。
は、無機充填剤に対して０．１〜１５重量％が好まし
い。カップリング剤の割合が１５重量％を超えて添加し
ても無機充填剤とフッ素樹脂とのぬれ性および接着性は
適正量の割合を添加した場合とその効果はほとんど変わ
らない。０．１重量％未満ではフッ素樹脂とのぬれ性が
悪くなり、透湿性を低減させる効果がなく、吸水性を悪
化させる。
【００２１】本発明に用いるカップリング剤は、前述の
ように樹脂組成物として配合してもよく、あるいはあら
かじめ無機充填剤の表面の水酸基にカップリング剤のシ
ラノール基を反応させ、表面処理を行わせておくことも
できる。このときのカップリング剤の割合は、無機充填
剤に対して０．１〜９重量％が好ましい。カップリング
剤の割合が９重量％を超えると、無機充填剤の凝集が激
しくなり、樹脂組成物としたとき分散性が悪くなり、
０．１重量％未満ではフッ素樹脂とのぬれ性が悪くな
り、透湿性を低減させる効果がなく、吸水性を悪化させ
る。
ように樹脂組成物として配合してもよく、あるいはあら
かじめ無機充填剤の表面の水酸基にカップリング剤のシ
ラノール基を反応させ、表面処理を行わせておくことも
できる。このときのカップリング剤の割合は、無機充填
剤に対して０．１〜９重量％が好ましい。カップリング
剤の割合が９重量％を超えると、無機充填剤の凝集が激
しくなり、樹脂組成物としたとき分散性が悪くなり、
０．１重量％未満ではフッ素樹脂とのぬれ性が悪くな
り、透湿性を低減させる効果がなく、吸水性を悪化させ
る。
【００２２】本発明の樹脂組成物は、前記に示した各成
分の所定量をヘンシャルミキサー等により充分混合後、
ロール、バンバリーミキサー、ニーダー、らいかい機、
アザホモミキサー、ボールミル等により混練して製造で
きる。
分の所定量をヘンシャルミキサー等により充分混合後、
ロール、バンバリーミキサー、ニーダー、らいかい機、
アザホモミキサー、ボールミル等により混練して製造で
きる。
【００２３】本発明の樹脂組成物は、本発明の目的を損
なわないかぎり必要に応じて消泡剤、分散安定剤、着色
剤、被封止物との密着性を向上させるためのシランカッ
プリング剤を添加しても支障ない。
なわないかぎり必要に応じて消泡剤、分散安定剤、着色
剤、被封止物との密着性を向上させるためのシランカッ
プリング剤を添加しても支障ない。
【００２４】本発明の樹脂組成物の用途としては、電
子、電気部品を封止および接着する用途であれば特に限
定はないが、応用例として、ＨＩＣ等の外装、ＴＡＢ、
ＣＯＧ、ＣＯＢ等の外装、トランジスタ、コンデンサ、
サーミスタ、バリスタ、圧電素子等の封止、セラミック
パッケージの接着などを例示できる。
子、電気部品を封止および接着する用途であれば特に限
定はないが、応用例として、ＨＩＣ等の外装、ＴＡＢ、
ＣＯＧ、ＣＯＢ等の外装、トランジスタ、コンデンサ、
サーミスタ、バリスタ、圧電素子等の封止、セラミック
パッケージの接着などを例示できる。
【００２５】
【作用】本発明の樹脂組成物はフッ素樹脂に無機充填剤
および必要に応じてカップリング剤を添加することで目
的とする特性が得られるのものである。無機充填剤はフ
ッ素樹脂の低透湿化に寄与し、カップリング剤はフッ素
樹脂と無機充填剤のぬれ性および接着性を向上し、低吸
水化に寄与する。
および必要に応じてカップリング剤を添加することで目
的とする特性が得られるのものである。無機充填剤はフ
ッ素樹脂の低透湿化に寄与し、カップリング剤はフッ素
樹脂と無機充填剤のぬれ性および接着性を向上し、低吸
水化に寄与する。
【００２６】
【実施例】次に、本発明の実施例についてさらに具体的
に説明するが、この説明が本発明を限定するものではな
い。
に説明するが、この説明が本発明を限定するものではな
い。
【００２７】合成例 パーフルオロブテニルビニルエーテルの３５ｇ、イオン
交換水の１５０ｇおよび重合開始剤として（（ＣＨ3 ）
2 ＣＨＯＣＯＯ）2 の９０ｍｇを、内容積２００ｃｃの
耐圧ガラス製オートクレーブに入れた。系内を３回窒素
で置換した後、４０℃で２２時間懸濁重合を行った。そ
の結果、重合体Ａを２８ｇ得た。この重合体の固有粘度
［η］は、パーフルオロ（２−ブチルテトラヒドロフラ
ン）中３０℃で０．５０であった。重合体のガラス転移
点は１０８℃であり、室温ではタフで透明なガラス状の
重合体である。また１０％熱分解温度は４６５℃であ
り、光線透過率は９５％以上と高かった。吸水率は非常
に小さく、０．０１％以下であった。
交換水の１５０ｇおよび重合開始剤として（（ＣＨ3 ）
2 ＣＨＯＣＯＯ）2 の９０ｍｇを、内容積２００ｃｃの
耐圧ガラス製オートクレーブに入れた。系内を３回窒素
で置換した後、４０℃で２２時間懸濁重合を行った。そ
の結果、重合体Ａを２８ｇ得た。この重合体の固有粘度
［η］は、パーフルオロ（２−ブチルテトラヒドロフラ
ン）中３０℃で０．５０であった。重合体のガラス転移
点は１０８℃であり、室温ではタフで透明なガラス状の
重合体である。また１０％熱分解温度は４６５℃であ
り、光線透過率は９５％以上と高かった。吸水率は非常
に小さく、０．０１％以下であった。
【００２８】配合例１ 平均粒径０．５μｍ、ＲＲＳ粒度線図の勾配が２．５を
もつ球状アルミナ２０ｇを蒸留水２００ｃｃに入れ、ス
ターラーにて分散を行った。このとき酢酸によりｐＨを
３とした。これに、あらかじめＣＦ3 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ
（ＯＣＨ3 ）3０．５ｇ、メタノール２０ｃｃ、蒸留水
０．１ｃｃの混合溶液を３０分撹拌してＣＦ3 ＣＨ2 Ｃ
Ｈ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 を水溶性にしたものを加え、３
時間撹拌した。この溶液を１４０℃で２４時間、１８０
℃で３時間乾燥器に入れ充分に乾燥させた。このシラン
カップリング剤処理後の球状アルミナ２０．６ｇと重合
体Ａ７ｇとパーフルオロトリブチルアミン９３ｇをスタ
ーラーで混合した後、アルミナ製ボールミルに入れ２４
時間混練して樹脂組成物Ａを得た。
もつ球状アルミナ２０ｇを蒸留水２００ｃｃに入れ、ス
ターラーにて分散を行った。このとき酢酸によりｐＨを
３とした。これに、あらかじめＣＦ3 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ
（ＯＣＨ3 ）3０．５ｇ、メタノール２０ｃｃ、蒸留水
０．１ｃｃの混合溶液を３０分撹拌してＣＦ3 ＣＨ2 Ｃ
Ｈ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 を水溶性にしたものを加え、３
時間撹拌した。この溶液を１４０℃で２４時間、１８０
℃で３時間乾燥器に入れ充分に乾燥させた。このシラン
カップリング剤処理後の球状アルミナ２０．６ｇと重合
体Ａ７ｇとパーフルオロトリブチルアミン９３ｇをスタ
ーラーで混合した後、アルミナ製ボールミルに入れ２４
時間混練して樹脂組成物Ａを得た。
【００２９】配合例２ 平均粒径２．０μｍ、ＲＲＳ粒度線図の勾配が０．９５
をもつ破砕状シリカ１００ｇをヘンシャルミキサーで撹
拌し、そこにＣＦ3 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 ４
ｇを滴下した。この粉末を１８０℃で３時間乾燥器に入
れ充分に乾燥させた。乾燥後充填剤８．９ｇと重合体Ａ
７ｇ、パーフルオロトリブチルアミン９３ｇをスターラ
ーで混合した後、３本ロールミルで２時間混練して樹脂
組成物Ｂを得た。
をもつ破砕状シリカ１００ｇをヘンシャルミキサーで撹
拌し、そこにＣＦ3 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 ４
ｇを滴下した。この粉末を１８０℃で３時間乾燥器に入
れ充分に乾燥させた。乾燥後充填剤８．９ｇと重合体Ａ
７ｇ、パーフルオロトリブチルアミン９３ｇをスターラ
ーで混合した後、３本ロールミルで２時間混練して樹脂
組成物Ｂを得た。
【００３０】配合例３ 平均粒径１０．０μｍ、ＲＲＳ粒度線図の勾配が０．８
５をもつ破砕状シリカ４．５ｇ、重合体Ａ７ｇ、パーフ
ルオロトリブチルアミン９３ｇ、ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 Ｃ
Ｈ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 をヘンシャルミキサーで
１時間撹拌後、３本ロールミルで２時間混連し、さらに
上記破砕状シリカ４．４ｇを加え２時間混連し樹脂組成
物Ｃを得た。
５をもつ破砕状シリカ４．５ｇ、重合体Ａ７ｇ、パーフ
ルオロトリブチルアミン９３ｇ、ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 Ｃ
Ｈ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 をヘンシャルミキサーで
１時間撹拌後、３本ロールミルで２時間混連し、さらに
上記破砕状シリカ４．４ｇを加え２時間混連し樹脂組成
物Ｃを得た。
【００３１】配合例４ 配合例２において、シランカップリング剤であるＣＦ3
ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 ４ｇの代わりに、ＣＦ
3 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 ４ｇとＮＨ2 Ｃ3 Ｈ
6 Ｓｉ（ＯＣ2 Ｈ5 ）3 ３ｇを同時に滴下して、同様の
操作を行い、樹脂組成物Ｄを得た。
ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 ４ｇの代わりに、ＣＦ
3 ＣＨ2 ＣＨ2 Ｓｉ（ＯＣＨ3 ）3 ４ｇとＮＨ2 Ｃ3 Ｈ
6 Ｓｉ（ＯＣ2 Ｈ5 ）3 ３ｇを同時に滴下して、同様の
操作を行い、樹脂組成物Ｄを得た。
【００３２】配合例５ 樹脂組成物ＢにＮＨ2 Ｃ3 Ｈ6 Ｓｉ（ＯＣ2 Ｈ5 ）3 の
０．２ｇとテトラエトキシシランの０．１ｇを添加して
充分に混合し、樹脂組成物Ｅを得た。
０．２ｇとテトラエトキシシランの０．１ｇを添加して
充分に混合し、樹脂組成物Ｅを得た。
【００３３】実施例 樹脂組成物Ａ〜Ｅについて、（１）吸水性、（２）透湿
性、（３）密着性、（４）素子封止後の信頼性試験を行
った。（１）吸水性は樹脂組成物を１８０℃、１２時間
で溶剤留去して直径５０ｍｍ、厚さ３ｍｍの成形品を作
成し、これを１２１℃、２気圧の飽和蒸気中に２４時間
放置し、増加した重量によって求めた。（２）透湿率は
樹脂組成物を１８０℃１２時間で溶剤留去してＪＩＳ−
Ｚ０２０８を測定した。（３）密着性はシリコンウェハ
ーに樹脂組成物をスピンコート後、１８０℃で１時間キ
ュアし、ＰＣＴ試験（条件１２１℃２気圧５０時間）後
にゴバン目試験（ＪＩＳ−Ｋ５４００：１０点法偶数
点）により評価した。（４）素子封止後の信頼性は、線
幅３μｍのアルミニウム配線を形成したモデル素子上に
樹脂組成物をディスペンサーにより塗布し、１５０℃で
１時間溶剤留去して封止を行った。続いてＰＣＴ試験
（１２１℃２気圧）を行いアルミニウム配線の腐食によ
る断線数を数え、累積不良率が５０％となるまでの時間
を測定した。以上の試験結果を表１に示す。
性、（３）密着性、（４）素子封止後の信頼性試験を行
った。（１）吸水性は樹脂組成物を１８０℃、１２時間
で溶剤留去して直径５０ｍｍ、厚さ３ｍｍの成形品を作
成し、これを１２１℃、２気圧の飽和蒸気中に２４時間
放置し、増加した重量によって求めた。（２）透湿率は
樹脂組成物を１８０℃１２時間で溶剤留去してＪＩＳ−
Ｚ０２０８を測定した。（３）密着性はシリコンウェハ
ーに樹脂組成物をスピンコート後、１８０℃で１時間キ
ュアし、ＰＣＴ試験（条件１２１℃２気圧５０時間）後
にゴバン目試験（ＪＩＳ−Ｋ５４００：１０点法偶数
点）により評価した。（４）素子封止後の信頼性は、線
幅３μｍのアルミニウム配線を形成したモデル素子上に
樹脂組成物をディスペンサーにより塗布し、１５０℃で
１時間溶剤留去して封止を行った。続いてＰＣＴ試験
（１２１℃２気圧）を行いアルミニウム配線の腐食によ
る断線数を数え、累積不良率が５０％となるまでの時間
を測定した。以上の試験結果を表１に示す。
【００３４】比較例 重合体Ａの７ｇをパーフルオロトリブチルアミン９３ｇ
に溶解した溶液について、実施例と同様の評価を行っ
た。その結果を表１に示す。
に溶解した溶液について、実施例と同様の評価を行っ
た。その結果を表１に示す。
【００３５】
【表１】
【００３６】
【発明の効果】本発明に従えば、低吸水性、低透湿性、
電気特性に優れた信頼性の高い封止用または接着用樹脂
組成物を得ることができる。
電気特性に優れた信頼性の高い封止用または接着用樹脂
組成物を得ることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 成富 正樹 東京都千代田区丸の内二丁目１番２号 旭 硝子株式会社内 (72)発明者 弘井 淳雄 千葉県船橋市行田１丁目50番１号 岩城硝 子株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】非晶質フッ素樹脂（Ａ）と無機充填剤
（Ｂ）および有機溶剤（Ｃ）を必須成分とする樹脂組成
物であって、（Ｂ）／［（Ａ）＋（Ｂ）］が２０〜９０
重量％であることを特徴とする封止用または接着用樹脂
組成物。 - 【請求項２】非晶質フッ素樹脂が含フッ素脂肪族環構造
を有する重合体である、請求項１の封止用または接着用
樹脂組成物。 - 【請求項３】非晶質フッ素樹脂（Ａ）と無機充填剤
（Ｂ）とカップリング剤（Ｄ）および有機溶剤（Ｃ）を
必須成分とする樹脂組成物であって、（Ｂ）／［（Ａ）
＋（Ｂ）＋（Ｄ）］が２０〜９０重量％であることを特
徴とする封止用または接着用樹脂組成物。 - 【請求項４】非晶質フッ素樹脂が含フッ素脂肪族環構造
を有する重合体である、請求項３の封止用または接着用
樹脂組成物。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23567193A JP3418432B2 (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 封止用または接着用樹脂組成物 |
| US08/296,469 US5498657A (en) | 1993-08-27 | 1994-08-26 | Fluorine-containing polymer composition |
| US09/037,887 USRE37022E1 (en) | 1993-08-27 | 1998-03-10 | Fluorine-containing polymer composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23567193A JP3418432B2 (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 封止用または接着用樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0766317A true JPH0766317A (ja) | 1995-03-10 |
| JP3418432B2 JP3418432B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=16989479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23567193A Expired - Fee Related JP3418432B2 (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 封止用または接着用樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3418432B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE37022E1 (en) * | 1993-08-27 | 2001-01-16 | Asahi Glass Company Ltd. | Fluorine-containing polymer composition |
| WO2005023954A1 (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-17 | Sony Chemicals Corporation | 接着剤及びその製造方法 |
| JP2011049274A (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-10 | Asahi Glass Co Ltd | 固体撮像素子パッケージ用窓材並びに撮像装置 |
| CN113667245A (zh) * | 2021-07-21 | 2021-11-19 | 佛山市天禄智能装备科技有限公司 | 一种柔性耐高温密封材料及其制备方法 |
-
1993
- 1993-08-27 JP JP23567193A patent/JP3418432B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE37022E1 (en) * | 1993-08-27 | 2001-01-16 | Asahi Glass Company Ltd. | Fluorine-containing polymer composition |
| WO2005023954A1 (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-17 | Sony Chemicals Corporation | 接着剤及びその製造方法 |
| JP2011049274A (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-10 | Asahi Glass Co Ltd | 固体撮像素子パッケージ用窓材並びに撮像装置 |
| CN113667245A (zh) * | 2021-07-21 | 2021-11-19 | 佛山市天禄智能装备科技有限公司 | 一种柔性耐高温密封材料及其制备方法 |
| CN113667245B (zh) * | 2021-07-21 | 2023-08-29 | 佛山市天禄智能装备科技有限公司 | 一种柔性耐高温密封材料及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3418432B2 (ja) | 2003-06-23 |
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