JPH0766251A - Ｉｃチップの位置決め方法 - Google Patents
Ｉｃチップの位置決め方法Info
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- JPH0766251A JPH0766251A JP5214653A JP21465393A JPH0766251A JP H0766251 A JPH0766251 A JP H0766251A JP 5214653 A JP5214653 A JP 5214653A JP 21465393 A JP21465393 A JP 21465393A JP H0766251 A JPH0766251 A JP H0766251A
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- axis
- angle
- chip
- straight line
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＣチップの位置決め方法に関し、位置決め
に要する時間の短縮を目的とする。 【構成】 ステージ２に搭載した１番目のＩＣチップ１
のコーナａを視野３の中心部に捕らえてそのコーナａを
原点Ｚとして登録し、チップ１の一辺1aを含むＸ軸, 原
点Ｚを通りＸ軸に直交するＹ軸を設定する。２番目以降
のＩＣチップ１′について、Ｘ軸に近い一方の辺1a′上
の点ａn 、辺1a′の延長線上の点ｃ、点ｃを通ってＹ軸
に平行する直線と点ａn を通ってＸ軸に平行する直線と
の交点ｄを求め、図示角度θを間隔Ｙ1 とＸ1 より算出
する。角度θだけステージ２を回転せしめ、辺1b′上の
点ｅ、辺1b′の延長線上の点ｆを通ってＸ軸に平行する
直線とＹ軸との交点ｇ、辺1b′上の点を通ってＸ軸に平
行する直線とＹ軸との交点ｈを求め、間隔Ｙ2 とＸ2 よ
り図示角度θ1 とθ2 を算出し、θ1 とθ2 の和が所定
値内にあることを確認する。
に要する時間の短縮を目的とする。 【構成】 ステージ２に搭載した１番目のＩＣチップ１
のコーナａを視野３の中心部に捕らえてそのコーナａを
原点Ｚとして登録し、チップ１の一辺1aを含むＸ軸, 原
点Ｚを通りＸ軸に直交するＹ軸を設定する。２番目以降
のＩＣチップ１′について、Ｘ軸に近い一方の辺1a′上
の点ａn 、辺1a′の延長線上の点ｃ、点ｃを通ってＹ軸
に平行する直線と点ａn を通ってＸ軸に平行する直線と
の交点ｄを求め、図示角度θを間隔Ｙ1 とＸ1 より算出
する。角度θだけステージ２を回転せしめ、辺1b′上の
点ｅ、辺1b′の延長線上の点ｆを通ってＸ軸に平行する
直線とＹ軸との交点ｇ、辺1b′上の点を通ってＸ軸に平
行する直線とＹ軸との交点ｈを求め、間隔Ｙ2 とＸ2 よ
り図示角度θ1 とθ2 を算出し、θ1 とθ2 の和が所定
値内にあることを確認する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＩＣチップの位置決め方
法、特に、ＩＣチップの電気特性を検査するため、水平
面内で回転可能かつＸ−Ｙの直交二軸方向に移動可能な
ステージに搭載したＩＣチップの位置決め方法に関す
る。
法、特に、ＩＣチップの電気特性を検査するため、水平
面内で回転可能かつＸ−Ｙの直交二軸方向に移動可能な
ステージに搭載したＩＣチップの位置決め方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＩＣチップ検査装置においてＣＯ
Ｇ(Chip on Glass) タイプのＩＣチップは、ガラスプロ
ーバに当て実動作に近い状態でチェックしており、その
ためＩＣチップの位置決め（修正）を行う必要がある。
Ｇ(Chip on Glass) タイプのＩＣチップは、ガラスプロ
ーバに当て実動作に近い状態でチェックしており、その
ためＩＣチップの位置決め（修正）を行う必要がある。
【０００３】図６は従来のＩＣチップ位置決め方法の説
明図である。図６(イ) において、ＩＣチップ１をチップ
ステージ２に搭載する。一般に角形チップ１の四辺は図
示するように、一点鎖線で示すステージ２のＸ軸，Ｙ軸
に対し傾斜し、チップ１の中心点とステージ２の回転中
心も一致しないため、Ｘ−Ｙ方向に移動可能かつ回動可
能なステージ２を駆動し、前記傾斜および中心点のずれ
を修正する必要がある。
明図である。図６(イ) において、ＩＣチップ１をチップ
ステージ２に搭載する。一般に角形チップ１の四辺は図
示するように、一点鎖線で示すステージ２のＸ軸，Ｙ軸
に対し傾斜し、チップ１の中心点とステージ２の回転中
心も一致しないため、Ｘ−Ｙ方向に移動可能かつ回動可
能なステージ２を駆動し、前記傾斜および中心点のずれ
を修正する必要がある。
【０００４】そこで、まず図６(ロ) においては、１回目
の観察でチップ１の任意の二辺の接点（コーナ）、例え
ばコーナａを撮像装置の視野３に捕らえ、その座標値を
読み取る。
の観察でチップ１の任意の二辺の接点（コーナ）、例え
ばコーナａを撮像装置の視野３に捕らえ、その座標値を
読み取る。
【０００５】次いで、ステージ２を移動させて図６(ハ)
に示すように、２回目の観察ではチップ１の他のコー
ナ，一般にはコーナａに対し対称位置のコーナｂを、撮
像装置の視野３に捉え、その座標値を読み取る。
に示すように、２回目の観察ではチップ１の他のコー
ナ，一般にはコーナａに対し対称位置のコーナｂを、撮
像装置の視野３に捉え、その座標値を読み取る。
【０００６】しかるのち、コーナａとｂの座標値からコ
ーナａ，ｂの正規位置に対するＸ軸方向，Ｙ軸方向のズ
レ量を算出し、その算出値から修正に必要な回転角度を
算出してステージ２を回動せしめ、図６(ニ) に示すよう
にチップ１をステージ２の四辺がＸ軸とＹ軸に平行し、
かつ、中心をＸ軸とＹ軸の交点と一致させる方法であっ
た。
ーナａ，ｂの正規位置に対するＸ軸方向，Ｙ軸方向のズ
レ量を算出し、その算出値から修正に必要な回転角度を
算出してステージ２を回動せしめ、図６(ニ) に示すよう
にチップ１をステージ２の四辺がＸ軸とＹ軸に平行し、
かつ、中心をＸ軸とＹ軸の交点と一致させる方法であっ
た。
【０００７】以上説明したように、従来方法では第１の
測定点（コーナａ）を視野内に捕らえるステージ２の移
動工程と、第１の測定点の位置を認識する工程と、第２
の測定点（コーナｂ）を視野内に捕らえるステージ２の
移動工程と、第２の測定点の位置を認識する工程と、第
１，第２の測定点の認識位置から回転（補正）させるべ
き回転角度θを算出しステージ２を角度θだけ回動させ
る工程と、その回転角度θを確認する工程と、第１の測
定点を視野内に捕らえるステージ２の移動工程と、その
移動後における第１の測定点の位置を認識する工程と、
Ｘ軸，Ｙ軸に対するチップ１の偏りを補正する工程とを
辿るため、全工程の所要時間はチップ１個に付き１５秒
程度になる。
測定点（コーナａ）を視野内に捕らえるステージ２の移
動工程と、第１の測定点の位置を認識する工程と、第２
の測定点（コーナｂ）を視野内に捕らえるステージ２の
移動工程と、第２の測定点の位置を認識する工程と、第
１，第２の測定点の認識位置から回転（補正）させるべ
き回転角度θを算出しステージ２を角度θだけ回動させ
る工程と、その回転角度θを確認する工程と、第１の測
定点を視野内に捕らえるステージ２の移動工程と、その
移動後における第１の測定点の位置を認識する工程と、
Ｘ軸，Ｙ軸に対するチップ１の偏りを補正する工程とを
辿るため、全工程の所要時間はチップ１個に付き１５秒
程度になる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記ＩＣチ
ップの位置決め工程を簡略化し、位置決めの所要時間を
短縮し、極めて多数のＩＣチップの試験・検査作業の効
率向上を目的とする。
ップの位置決め工程を簡略化し、位置決めの所要時間を
短縮し、極めて多数のＩＣチップの試験・検査作業の効
率向上を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】図１は本発明方法の基本
工程の説明図であり、図１を用いて本発明方法の基本工
程を説明する。
工程の説明図であり、図１を用いて本発明方法の基本工
程を説明する。
【００１０】図１(イ) に示すように、水平面内で回転可
能かつＸ−Ｙの直交二軸方向に移動可能なステージ２に
１番目のＩＣチップ１を搭載したのち、図１(ロ) に示す
ようにチップ１の任意の２辺が接する一つのコーナ、例
えば辺１ａと１ｂが接するコーナａを撮像装置の視野３
のほぼ中心部に捕らえ、コーナａをＸ−Ｙ座標の原点Ｚ
として登録し、その原点Ｚを通り一方の辺１ａを含むＸ
軸と、原点Ｚを通りＸ軸に直交するＹ軸とを設定する。
能かつＸ−Ｙの直交二軸方向に移動可能なステージ２に
１番目のＩＣチップ１を搭載したのち、図１(ロ) に示す
ようにチップ１の任意の２辺が接する一つのコーナ、例
えば辺１ａと１ｂが接するコーナａを撮像装置の視野３
のほぼ中心部に捕らえ、コーナａをＸ−Ｙ座標の原点Ｚ
として登録し、その原点Ｚを通り一方の辺１ａを含むＸ
軸と、原点Ｚを通りＸ軸に直交するＹ軸とを設定する。
【００１１】チップ１の試験・測定が終了したのち、チ
ップ１に替えてステージ２に順次搭載した２番目以降
（新規）のＩＣチップ１′は、図１(ハ) に示すように、
チップ１のコーナａに相当するコーナａ′を撮像装置の
視野３のほぼ中心部に捕らえたのち、コーナａ′を構成
しＸ軸に近い一方の辺１ａ′上の点ａn および、辺１
ａ′の延長線上の点ｃおよび、点ｃを通ってＹ軸に平行
する第１の直線と点ａn を通ってＸ軸に平行する第２の
直線との交点ｄを求める。
ップ１に替えてステージ２に順次搭載した２番目以降
（新規）のＩＣチップ１′は、図１(ハ) に示すように、
チップ１のコーナａに相当するコーナａ′を撮像装置の
視野３のほぼ中心部に捕らえたのち、コーナａ′を構成
しＸ軸に近い一方の辺１ａ′上の点ａn および、辺１
ａ′の延長線上の点ｃおよび、点ｃを通ってＹ軸に平行
する第１の直線と点ａn を通ってＸ軸に平行する第２の
直線との交点ｄを求める。
【００１２】そこで、点ｃと交点ｄとの間隔をＹ1 と
し、点ａn と交点ｄとの間隔をＸ1 としたとき、間隔Ｙ
1 とＸ1 を計測することによって辺１ａ′と前記第２の
直線との成す角度θ、即ちＸ−Ｙ軸に対するチップ１′
のずれ角度θは、 ｔａｎθ＝Ｙ1 ／Ｘ1 の式より算出される。
し、点ａn と交点ｄとの間隔をＸ1 としたとき、間隔Ｙ
1 とＸ1 を計測することによって辺１ａ′と前記第２の
直線との成す角度θ、即ちＸ−Ｙ軸に対するチップ１′
のずれ角度θは、 ｔａｎθ＝Ｙ1 ／Ｘ1 の式より算出される。
【００１３】従って、ステージ２を所定方向に角度θだ
け回転させると、図１(ニ) に示すように辺１ａ′はＸ軸
に対して平行になる。次いで、コーナａ′を構成する他
方の辺１b ′上の点ｅおよび、辺１b ′の延長線上の点
ｆおよび、点ｆを通ってＸ軸に平行する第３の直線とＹ
軸との交点ｇおよび、辺１b ′上の点ｅを通ってＸ軸に
平行する第４の直線とＹ軸との交点ｈを求める。
け回転させると、図１(ニ) に示すように辺１ａ′はＸ軸
に対して平行になる。次いで、コーナａ′を構成する他
方の辺１b ′上の点ｅおよび、辺１b ′の延長線上の点
ｆおよび、点ｆを通ってＸ軸に平行する第３の直線とＹ
軸との交点ｇおよび、辺１b ′上の点ｅを通ってＸ軸に
平行する第４の直線とＹ軸との交点ｈを求める。
【００１４】そこで、一対の交点ｇ，ｈの間隔Ｙ2 およ
び点ｅとｈとの間隔Ｘ2 より、交点ｇとｈを結ぶ直線と
Ｙ軸との成す第１の角度θ1 および、交点ｇとｈを結ぶ
直線と第４の直線との成す第２の角度θ2 を算出する。
び点ｅとｈとの間隔Ｘ2 より、交点ｇとｈを結ぶ直線と
Ｙ軸との成す第１の角度θ1 および、交点ｇとｈを結ぶ
直線と第４の直線との成す第２の角度θ2 を算出する。
【００１５】かかる角度θ1 とθ2 の和は、コーナａ′
が９０°であり辺１b ′がＹ軸に平行であれば、９０°
になる筈であり、その和が所定値例えば９０°±0.１°
にあることを確認し、チップ１′の位置合わせが完了す
る。
が９０°であり辺１b ′がＹ軸に平行であれば、９０°
になる筈であり、その和が所定値例えば９０°±0.１°
にあることを確認し、チップ１′の位置合わせが完了す
る。
【００１６】θ1 とθ2 の和が９０°±0.１°の範囲を
超えたときには、前記角度θの測定をやり直して再調整
して角度θ1,θ2 の２回目の測定を行い、その結果角度
θ1とθ2 の和が再度９０°±0.１°の範囲を超えたチ
ップ１′は、コーナａ′の角度不良として排除すること
になる。
超えたときには、前記角度θの測定をやり直して再調整
して角度θ1,θ2 の２回目の測定を行い、その結果角度
θ1とθ2 の和が再度９０°±0.１°の範囲を超えたチ
ップ１′は、コーナａ′の角度不良として排除すること
になる。
【００１７】
【作用】以上説明したように前記手段によれば、１番目
のチップ１を使用して原点とＸ軸およびＹ軸を設定し、
２番目以降のチップ１′は前記原点とＸ軸およびＹ軸を
利用し、そのＸ軸, Ｙ軸方向にステージを移動させるこ
となくチップ１′の傾斜角度を検出（認識）し、従っ
て、チップ１′の位置決めに際しチップステージの移動
は、傾斜角度θの調整時のみとなり、１個当たりの位置
決め所要時間は従来方法の約1/2 の８秒程度になる。
のチップ１を使用して原点とＸ軸およびＹ軸を設定し、
２番目以降のチップ１′は前記原点とＸ軸およびＹ軸を
利用し、そのＸ軸, Ｙ軸方向にステージを移動させるこ
となくチップ１′の傾斜角度を検出（認識）し、従っ
て、チップ１′の位置決めに際しチップステージの移動
は、傾斜角度θの調整時のみとなり、１個当たりの位置
決め所要時間は従来方法の約1/2 の８秒程度になる。
【００１８】
【実施例】図２は本発明方法による装置の主要構成を示
す略図、図３は本発明方法によるＩＣチップ位置決め方
法の詳細図（その１）、図４は本発明方法によるＩＣチ
ップ位置決め方法の詳細図（その２）、図５は本発明方
法によるＩＣチップ位置決め方法の詳細図（その３）で
ある。
す略図、図３は本発明方法によるＩＣチップ位置決め方
法の詳細図（その１）、図４は本発明方法によるＩＣチ
ップ位置決め方法の詳細図（その２）、図５は本発明方
法によるＩＣチップ位置決め方法の詳細図（その３）で
ある。
【００１９】図２において、11は被検ＩＣチップ(1,
1′) を搬送する搬送部、12は被検チップ(1) を供給す
るローダ、2は該チップを搭載するステージ、14は該チ
ップの所定部を視野に捉える撮像装置、15は撮像装置14
の画像を取込み基準値に対するズレ量を算出する認識
部、16はステージ２上の該チップに接触するプローバを
具えたプローバ部、17は搬送部11の右端部に搬送された
試験済みチップを搬出するアンローダ、18は搬送部11を
動作させる機構部である。
1′) を搬送する搬送部、12は被検チップ(1) を供給す
るローダ、2は該チップを搭載するステージ、14は該チ
ップの所定部を視野に捉える撮像装置、15は撮像装置14
の画像を取込み基準値に対するズレ量を算出する認識
部、16はステージ２上の該チップに接触するプローバを
具えたプローバ部、17は搬送部11の右端部に搬送された
試験済みチップを搬出するアンローダ、18は搬送部11を
動作させる機構部である。
【００２０】さらに、搬送機構のインターフェース（メ
カＩ／Ｆ）19, ステージコントローラ20, 試験測定部2
1, ホスト (パーソナルコンピュータ)22 を具え、ホス
ト22には認識部15, メカＩ／Ｆ19, ステージコントロー
ラ20, 試験測定部21が接続し、メカＩ／Ｆ19にはローダ
12, アンローダ17, 機構部18が接続し、認識部15はステ
ージコントローラ20を介してステージ２に接続し、プロ
ーバ部16は試験測定部21に接続されている。
カＩ／Ｆ）19, ステージコントローラ20, 試験測定部2
1, ホスト (パーソナルコンピュータ)22 を具え、ホス
ト22には認識部15, メカＩ／Ｆ19, ステージコントロー
ラ20, 試験測定部21が接続し、メカＩ／Ｆ19にはローダ
12, アンローダ17, 機構部18が接続し、認識部15はステ
ージコントローラ20を介してステージ２に接続し、プロ
ーバ部16は試験測定部21に接続されている。
【００２１】かかる装置において、ローダ12より送出さ
れた１番目のＩＣチップ１が、搬送部11によってステー
ジ２に搭載されると、撮像装置14は図１(ロ) に示すよう
にチップ１の所定コーナａを視野３の中心部に捕らえ、
コーナａをＸ−Ｙ座標の原点Ｚとして登録し、その原点
Ｚを通り一方の辺１ａを含むＸ軸と、原点Ｚを通りＸ軸
に直交するＹ軸とを設定する。
れた１番目のＩＣチップ１が、搬送部11によってステー
ジ２に搭載されると、撮像装置14は図１(ロ) に示すよう
にチップ１の所定コーナａを視野３の中心部に捕らえ、
コーナａをＸ−Ｙ座標の原点Ｚとして登録し、その原点
Ｚを通り一方の辺１ａを含むＸ軸と、原点Ｚを通りＸ軸
に直交するＹ軸とを設定する。
【００２２】チップ１の試験・測定が終了すると、図３
(イ) に示すように、チップ１に替えてステージ２に２番
目以降（新規）のＩＣチップ１′を搭載し、図１(ハ) お
よび図３(ロ) に示すようにチップ１のコーナａに相当す
るコーナａ′を撮像装置の視野３のほぼ中心部に捕らえ
る。
(イ) に示すように、チップ１に替えてステージ２に２番
目以降（新規）のＩＣチップ１′を搭載し、図１(ハ) お
よび図３(ロ) に示すようにチップ１のコーナａに相当す
るコーナａ′を撮像装置の視野３のほぼ中心部に捕らえ
る。
【００２３】そこで、コーナａ′を構成しＸ軸に近い一
方の辺１ａ′の延長線上かつ視野端近傍に点ｃを求め
（設定し）、点ｃを通ってＹ軸に平行な直線Ｙ′と、辺
１ａ′上かつ視野端近傍の点ａn を通ってＸ軸に平行な
直線Ｘ′との交点ｄを求める（設定する）と、点ａn ,
ｃ, ｄを結ぶ三角形ができる。
方の辺１ａ′の延長線上かつ視野端近傍に点ｃを求め
（設定し）、点ｃを通ってＹ軸に平行な直線Ｙ′と、辺
１ａ′上かつ視野端近傍の点ａn を通ってＸ軸に平行な
直線Ｘ′との交点ｄを求める（設定する）と、点ａn ,
ｃ, ｄを結ぶ三角形ができる。
【００２４】ただし、辺１ａ′を拡大すると図３(ロ) に
示すように凹凸がある。そのため、辺１ａ′の延長線設
定に際しては、辺１ａ′の上に複数の測定点ａ1,ａ2,ａ
3 ・・・・ａn の座標値を測定し、その測定値から想定した
直線を延長して設定する。
示すように凹凸がある。そのため、辺１ａ′の延長線設
定に際しては、辺１ａ′の上に複数の測定点ａ1,ａ2,ａ
3 ・・・・ａn の座標値を測定し、その測定値から想定した
直線を延長して設定する。
【００２５】かかる三角形について、Ｘ軸に対する辺１
ａ′の傾斜角θは、点ｃとｄの間隔をＹ1 とし、点ａn
とｄの間隔をＸ1 としたとき、 Ｙ1 ／Ｘ1 ＝ｔａｎθ となる。従って、間隔Ｙ1 とＸ1 を認識部15によって認
識（計測）し、傾斜角θを知ることができる。
ａ′の傾斜角θは、点ｃとｄの間隔をＹ1 とし、点ａn
とｄの間隔をＸ1 としたとき、 Ｙ1 ／Ｘ1 ＝ｔａｎθ となる。従って、間隔Ｙ1 とＸ1 を認識部15によって認
識（計測）し、傾斜角θを知ることができる。
【００２６】そこで、θが０となるようにステージ２を
回動せしめると、図１(ニ) および図４に示すようにチッ
プ１′の一辺１ａ′はＸ軸に対し平行になる。次いで、
傾斜角θの０調整確認のため、チップ１′のコーナａ′
を構成する他方の辺１ｂ′上に点ｅを求め（設定し）、
辺１ｂ′の延長線上に点ｆを求め（設定し）、点ｆを通
ってＸ軸に平行する直線とＹ軸との交点をｇとし、点ｅ
を通ってＸ軸に平行する直線とＹ軸との交点をｈとする
と、点ｅ，ｇ，ｈを結ぶ三角形が形成される。
回動せしめると、図１(ニ) および図４に示すようにチッ
プ１′の一辺１ａ′はＸ軸に対し平行になる。次いで、
傾斜角θの０調整確認のため、チップ１′のコーナａ′
を構成する他方の辺１ｂ′上に点ｅを求め（設定し）、
辺１ｂ′の延長線上に点ｆを求め（設定し）、点ｆを通
ってＸ軸に平行する直線とＹ軸との交点をｇとし、点ｅ
を通ってＸ軸に平行する直線とＹ軸との交点をｈとする
と、点ｅ，ｇ，ｈを結ぶ三角形が形成される。
【００２７】かかる三角形において、点ｅとｇを結ぶ直
線と点ｇとｈを結ぶ直線との成す角度をθ1 とし、点ｅ
とｇを結ぶ直線と点ｅとｈを結ぶ直線との成す角度をθ
2 とし、点ｅとｈとの間隔をＸ2,点ｇとｈとの間隔をＹ
2 とすると、それらの角度θ 1,θ2 は、 ｔａｎθ1 ＝Ｙ2 ／Ｘ2 ， ｔａｎθ2 ＝Ｘ2 ／Ｙ2 によって算出される。
線と点ｇとｈを結ぶ直線との成す角度をθ1 とし、点ｅ
とｇを結ぶ直線と点ｅとｈを結ぶ直線との成す角度をθ
2 とし、点ｅとｈとの間隔をＸ2,点ｇとｈとの間隔をＹ
2 とすると、それらの角度θ 1,θ2 は、 ｔａｎθ1 ＝Ｙ2 ／Ｘ2 ， ｔａｎθ2 ＝Ｘ2 ／Ｙ2 によって算出される。
【００２８】そこで、間隔Ｘ2,Ｙ2 を点ｅ，ｇ，ｈの座
標値から算出し角度θ1,θ2 を検出すると、角度θ1 と
θ2 の和は、辺１ｂ′がＹ軸と平行するとき90°となる
べきであるが、辺１ａ′がＸ軸と平行でないときおよ
び、辺１ａ′と１ｂ′が直角でないときに誤差が発生す
る。そこで、その誤差が許容される所定値内例えば±0.
１°であれば、チップ１′の特性試験を行うことにな
る。
標値から算出し角度θ1,θ2 を検出すると、角度θ1 と
θ2 の和は、辺１ｂ′がＹ軸と平行するとき90°となる
べきであるが、辺１ａ′がＸ軸と平行でないときおよ
び、辺１ａ′と１ｂ′が直角でないときに誤差が発生す
る。そこで、その誤差が許容される所定値内例えば±0.
１°であれば、チップ１′の特性試験を行うことにな
る。
【００２９】そして、角度θ1 とθ2 の和の誤差が所定
値外、例えば±0.１°以上のときは、図５に示すように
辺１ａ′上の複数の点ａ1,ａ2,・・・ａn ′の座標値を
測定して辺１ａ′の延長線上の点ｃ′と、点ｃ′を通っ
てＹ軸に平行な直線と点ａn′を通ってＸ軸に平行な直
線との交点ｄ′を求め、点ａn ′と点ｄ′を結ぶ直線と
辺１ａ′とが成す角度θ′を、前記角度θと同様な方法
で算出し、即ち点ｃ′と交点ｄ′との間隔Ｙ3 および点
ａn ′と交点ｄ′との間隔Ｘ3 を検出して算出し、角度
θ′が０となるようにステージ２を回動させる。
値外、例えば±0.１°以上のときは、図５に示すように
辺１ａ′上の複数の点ａ1,ａ2,・・・ａn ′の座標値を
測定して辺１ａ′の延長線上の点ｃ′と、点ｃ′を通っ
てＹ軸に平行な直線と点ａn′を通ってＸ軸に平行な直
線との交点ｄ′を求め、点ａn ′と点ｄ′を結ぶ直線と
辺１ａ′とが成す角度θ′を、前記角度θと同様な方法
で算出し、即ち点ｃ′と交点ｄ′との間隔Ｙ3 および点
ａn ′と交点ｄ′との間隔Ｘ3 を検出して算出し、角度
θ′が０となるようにステージ２を回動させる。
【００３０】次いで、図４を用いて説明した方法によっ
て角度θ1 とθ2 の和を検出し直し、その和が所定値内
例えば90°±0.１°であれば、チップ１′の特性試験を
行い、所定値外であればコーナａ′の角度不良としてチ
ップ１′を除外（廃棄）することになる。
て角度θ1 とθ2 の和を検出し直し、その和が所定値内
例えば90°±0.１°であれば、チップ１′の特性試験を
行い、所定値外であればコーナａ′の角度不良としてチ
ップ１′を除外（廃棄）することになる。
【００３１】なお、一番目のＩＣチップ１に替えて、正
確に形成した規範を用いてよいことは、前記実施例から
明白である。
確に形成した規範を用いてよいことは、前記実施例から
明白である。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明方法によれ
ば、ステージの移動回数が減り、ＩＣチップ１個当たり
の位置決め所要時間は、従来方法の約1/2 の８秒程度に
なる。
ば、ステージの移動回数が減り、ＩＣチップ１個当たり
の位置決め所要時間は、従来方法の約1/2 の８秒程度に
なる。
【図１】 本発明方法の基本工程の説明図
【図２】 本発明方法による装置の主要構成を示す略図
【図３】 本発明方法によるＩＣチップ位置決め方法の
詳細図（その１）
詳細図（その１）
【図４】 本発明方法によるＩＣチップ位置決め方法の
詳細図（その２）
詳細図（その２）
【図５】 本発明方法によるＩＣチップ位置決め方法の
詳細図（その３）
詳細図（その３）
【図６】 従来のＩＣチップ位置決め方法の説明図
1,１′はＩＣチップ 1a, 1a′,1b,1b′はＩＣチップのコーナ構成辺 ２はステージ ３は撮像装置の視野 ａ，ａ′はＩＣチップのコーナ ａn はチップ辺上の点 c,d,ｃ′,d′,e,f,g,hはＩＣチップの位置決め用として
設定した点 θ，θ′はＩＣチップの位置調整のための角度 θ1 ，θ2 はＩＣチップの位置調整確認のための角度 Ｘ1 ，Ｙ1 は角度θ算出のための間隔 Ｘ2 ，Ｙ2 は角度θ1,θ2 算出のための間隔 ＺはＸ−Ｙ軸の原点
設定した点 θ，θ′はＩＣチップの位置調整のための角度 θ1 ，θ2 はＩＣチップの位置調整確認のための角度 Ｘ1 ，Ｙ1 は角度θ算出のための間隔 Ｘ2 ，Ｙ2 は角度θ1,θ2 算出のための間隔 ＺはＸ−Ｙ軸の原点
Claims (2)
- 【請求項１】 水平面内で回転可能かつＸ−Ｙの直交二
軸方向に移動可能なステージ(2) に１番目のＩＣチップ
(1) を搭載し、 該１番目のＩＣチップの２辺が接する一つのコーナ(a)
を撮像装置の視野(3)のほぼ中心部に位置せしめ、その
コーナを原点(Z) として登録し、 該原点を通り該２辺の一方(1a)を含むＸ軸と該原点を通
り該Ｘ軸に直交するＹ軸とを設定し、 該１番目のＩＣチップに替えて該ステージに搭載した２
番目以降のＩＣチップ(1′) は、該１番目のＩＣチップ
の該一つのコーナに相当するコーナ(a′) を該撮像装置
の視野のほぼ中心部に捕らえ、 該相当コーナを構成し該Ｘ軸に近い一方の辺( 1a′) 上
の点（ａn ) および、該一方の辺の延長線上の点(c) お
よび、該延長線上の点を通って該Ｙ軸に平行する第１の
直線と該一方の辺上の点を通って該Ｘ軸に平行する第２
の直線との交点(d) を求め、 該一方の辺と該第２の直線との成す角度（θ）を、該延
長線上の点と該交点との間隔(Y1)および該一方の辺上の
点と該交点との間隔(X1)より算出し、 該角度だけ該ステージを回転せしめて該一方の辺が該Ｘ
軸と平行になるようにし、 該相当コーナを構成する他方の辺 (1b′) 上の点(e) お
よび、該他方の辺の延長線上の点(f) を通って該Ｘ軸に
平行する第３の直線と該Ｙ軸とが交差する第１の交点
(g) および、該他方の辺上の点を通って該Ｘ軸に平行す
る第４の直線と該Ｙ軸とが交差する第２の交点(h) を求
め、 該第１，第２の交点の間隔(Y2)および該他方の辺上の点
と該第２の交点との間隔(X2)より、該第１，第２の交点
を結ぶ直線と該Ｙ軸との成す第１の角度（θ1)および該
第１，第２の交点を結ぶ直線と該第４の直線との成す第
２の角度（θ2)を算出し、 ９０°になるべき該第１の角度と該第２の角度との和の
誤差が所定値内にあることを確認すること、 を特徴とするＩＣチップの位置決め方法。 - 【請求項２】 請求項１記載のＩＣチップの位置決め方
法において、前記第１の角度（θ1)と第２の角度（θ2)
との和の誤差が所定値より大きいときには、該第１の角
度と第２の角度を測定した状態で、前記一方の辺( 1
a′) の延長線上の点(C′) および、該一方の辺( 1a′)
上の点（ａn ′) および、該延長線上の点を通って前
記Ｙ軸に平行な直線と該一方の辺上の点を通って前記Ｘ
軸に平行な直線との交点(d′) を求め、 該一方の辺と該Ｘ軸に平行な直線との成す角度（θ′）
を、該延長線上の点と該交点との間隔(Y3)および該一方
の辺上の点と該交点との間隔(X3)より算出し、 該一方の辺が該Ｘ軸と平行になるように該角度だけ該ス
テージを回転せしめて該一方の辺が該Ｘ軸と平行になる
ようにし、 しかるのち、請求項１記載第１の角度（θ1)および第２
の角度（θ2)を算出し、 ９０°になるべき該第１の角度と該第２の角度との和の
誤差が所定値内にあることを確認し、該誤差が所定値外
のときにはそのＩＣチップを不良品として処理するこ
と、 を特徴とするＩＣチップの位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5214653A JP2979917B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｉｃチップの位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5214653A JP2979917B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｉｃチップの位置決め方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0766251A true JPH0766251A (ja) | 1995-03-10 |
| JP2979917B2 JP2979917B2 (ja) | 1999-11-22 |
Family
ID=16659336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5214653A Expired - Fee Related JP2979917B2 (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Ｉｃチップの位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2979917B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109579720A (zh) * | 2018-12-07 | 2019-04-05 | 广州大学 | 一种边缘距离测量的引伸计动态测量方法 |
| CN111220106A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-06-02 | 紫光宏茂微电子(上海)有限公司 | 针对贴附于基板上芯片的量测方法、存储设备以及终端 |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP5214653A patent/JP2979917B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109579720A (zh) * | 2018-12-07 | 2019-04-05 | 广州大学 | 一种边缘距离测量的引伸计动态测量方法 |
| CN109579720B (zh) * | 2018-12-07 | 2021-09-24 | 广州大学 | 一种边缘距离测量的引伸计动态测量方法 |
| CN111220106A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-06-02 | 紫光宏茂微电子(上海)有限公司 | 针对贴附于基板上芯片的量测方法、存储设备以及终端 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2979917B2 (ja) | 1999-11-22 |
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