JPH0758187A - 被処理物検知方法及び装置 - Google Patents
被処理物検知方法及び装置Info
- Publication number
- JPH0758187A JPH0758187A JP19739993A JP19739993A JPH0758187A JP H0758187 A JPH0758187 A JP H0758187A JP 19739993 A JP19739993 A JP 19739993A JP 19739993 A JP19739993 A JP 19739993A JP H0758187 A JPH0758187 A JP H0758187A
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- Japan
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- stored
- wafer
- storage device
- carrier
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被処理物を正確に検知し、被処理物検知可能
幅の設定を自動的に短時間に行う。 【構成】 被処理物キャリア１内の被処理物２を検知す
る検知センサ３を被処理物２の端部の下側から上側，又
は上側から下側に向ってコマ送りして被処理物端部を検
知した時その位置を第１記憶装置５に記憶し、被処理物
端部を失測した時その位置を第２記憶装置６に記憶し、
第１，第２記憶装置５，６に記憶された位置から被処理
物２の検知可能な幅を演算することを特徴とする。
幅の設定を自動的に短時間に行う。 【構成】 被処理物キャリア１内の被処理物２を検知す
る検知センサ３を被処理物２の端部の下側から上側，又
は上側から下側に向ってコマ送りして被処理物端部を検
知した時その位置を第１記憶装置５に記憶し、被処理物
端部を失測した時その位置を第２記憶装置６に記憶し、
第１，第２記憶装置５，６に記憶された位置から被処理
物２の検知可能な幅を演算することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ，ＬＳＩ等を製造
するための半導体製造装置において、被処理物であるシ
リコン等のウェーハの検知，移載時に、ウェーハのある
べき位置をあらかじめ正確に検知する被処理物検知方法
及び装置に関する。
するための半導体製造装置において、被処理物であるシ
リコン等のウェーハの検知，移載時に、ウェーハのある
べき位置をあらかじめ正確に検知する被処理物検知方法
及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ，ＬＳＩ等を製造する半導体製造装
置は、加熱装置を有する反応炉と、反応処理に要する反
応ガスの導入，排出手段と、半導体ウェーハを反応炉に
搬送する搬送手段と、半導体製造装置外から半導体ウェ
ーハを収納したウェーハキャリアを装置外から装置内に
搬入するウェーハキャリア搬送手段と、装置内に搬送さ
れたウェーハキャリア内のウェーハを反応炉に搬送する
ためのボートと、ウェーハキャリアからボートへウェー
ハを移載するウェーハ移載手段を有する半導体製造装置
の１つである縦型半導体製造装置について説明する。
置は、加熱装置を有する反応炉と、反応処理に要する反
応ガスの導入，排出手段と、半導体ウェーハを反応炉に
搬送する搬送手段と、半導体製造装置外から半導体ウェ
ーハを収納したウェーハキャリアを装置外から装置内に
搬入するウェーハキャリア搬送手段と、装置内に搬送さ
れたウェーハキャリア内のウェーハを反応炉に搬送する
ためのボートと、ウェーハキャリアからボートへウェー
ハを移載するウェーハ移載手段を有する半導体製造装置
の１つである縦型半導体製造装置について説明する。
【０００３】装置内でウェーハを処理するためには、処
理するウェーハの数量，位置を明確に装置の制御装置が
知っておく必要がある。そこで従来ウェーハの数量，位
置を確認するためにウェーハが装置内のウェーハキャリ
ア内にある状態で検知している。ウェーハキャリア内の
ウェーハの間隔は通常一義的に定められるため、装置は
ウェーハキャリア内の本来ウェーハの有るべき所にウェ
ーハがあるかないかを確認するのみであった。
理するウェーハの数量，位置を明確に装置の制御装置が
知っておく必要がある。そこで従来ウェーハの数量，位
置を確認するためにウェーハが装置内のウェーハキャリ
ア内にある状態で検知している。ウェーハキャリア内の
ウェーハの間隔は通常一義的に定められるため、装置は
ウェーハキャリア内の本来ウェーハの有るべき所にウェ
ーハがあるかないかを確認するのみであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記従来例にあ
っては、ウェーハキャリアは、温度等でも変形しやすく
収納したウェーハが最初の設定姿勢（水平状態）に対し
上向き、下向きに傾むいていること等、最初の設定のま
まであるとはかぎらず正確なウェーハの検知が、できな
くなることがあった。また最初の設定も、オペレータが
目視で実施しており、熟練作業者が必要となって多大な
時間を必要とするという課題がある。
っては、ウェーハキャリアは、温度等でも変形しやすく
収納したウェーハが最初の設定姿勢（水平状態）に対し
上向き、下向きに傾むいていること等、最初の設定のま
まであるとはかぎらず正確なウェーハの検知が、できな
くなることがあった。また最初の設定も、オペレータが
目視で実施しており、熟練作業者が必要となって多大な
時間を必要とするという課題がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明方法は上記の課題
を解決するため被処理物キャリア１内の被処理物２を検
知する検知手段３を被処理物２の端部の下側から上側，
又は上側から下側に向ってコマ送りして被処理物端部を
検知した時その位置を第１記憶装置５に記憶し、被処理
物端部を失測した時その位置を第２記憶装置６に記憶
し、第１，第２記憶装置５，６に記憶された位置から被
処理物２の検知可能な幅を演算することを特徴とする。
本発明装置は同じ課題を解決するため被処理物キャリア
１内の被処理物２を検知する検知手段３と、この検知手
段３を被処理物端部に対し上下動する上下動装置４と、
被処理物２を検知手段３により検知した位置を記憶する
第１記憶装置５と、失測した位置を記憶する第２記憶装
置６と、第１，第２記憶装置５，６に記憶された位置か
ら被処理物２の検知可能幅を演算する演算装置７とより
なる。
を解決するため被処理物キャリア１内の被処理物２を検
知する検知手段３を被処理物２の端部の下側から上側，
又は上側から下側に向ってコマ送りして被処理物端部を
検知した時その位置を第１記憶装置５に記憶し、被処理
物端部を失測した時その位置を第２記憶装置６に記憶
し、第１，第２記憶装置５，６に記憶された位置から被
処理物２の検知可能な幅を演算することを特徴とする。
本発明装置は同じ課題を解決するため被処理物キャリア
１内の被処理物２を検知する検知手段３と、この検知手
段３を被処理物端部に対し上下動する上下動装置４と、
被処理物２を検知手段３により検知した位置を記憶する
第１記憶装置５と、失測した位置を記憶する第２記憶装
置６と、第１，第２記憶装置５，６に記憶された位置か
ら被処理物２の検知可能幅を演算する演算装置７とより
なる。
【０００６】
【作 用】上記の構成において被処理物キャリア１内の
被処理物２端部に対し検知手段３が上下動装置４により
下側から上側，又は上側から下側に向ってコマ送りされ
て被処理物端部が検知された時、その位置が第１記憶装
置５に記憶され、又被処理物端部が失測された時、その
位置が第２記憶装置６に記憶される。第１，第２記憶装
置５，６に記憶された位置から演算装置７により被処理
物２の検知可能な幅が演算される。
被処理物２端部に対し検知手段３が上下動装置４により
下側から上側，又は上側から下側に向ってコマ送りされ
て被処理物端部が検知された時、その位置が第１記憶装
置５に記憶され、又被処理物端部が失測された時、その
位置が第２記憶装置６に記憶される。第１，第２記憶装
置５，６に記憶された位置から演算装置７により被処理
物２の検知可能な幅が演算される。
【０００７】
【実施例】図１は本発明方法及び装置の１実施例の構成
を示す説明図である。図１において１は被処理物キャリ
ア、２は被処理物キャリア１内に収められたウェーハ、
３はウェーハ２を検知する検知センサ、４は検知センサ
３をウェーハ端部に対し上下動する上下動装置、５はウ
ェーハ２を検知センサ３により検知した位置を記憶する
第１記憶装置、６は失測した位置を記憶する第２記憶装
置、７は第１，第２記憶装置５，６に記憶された位置か
らウェーハ２の検知可能幅を演算する演算装置である。
を示す説明図である。図１において１は被処理物キャリ
ア、２は被処理物キャリア１内に収められたウェーハ、
３はウェーハ２を検知する検知センサ、４は検知センサ
３をウェーハ端部に対し上下動する上下動装置、５はウ
ェーハ２を検知センサ３により検知した位置を記憶する
第１記憶装置、６は失測した位置を記憶する第２記憶装
置、７は第１，第２記憶装置５，６に記憶された位置か
らウェーハ２の検知可能幅を演算する演算装置である。
【０００８】本実施例は上記のような構成であるから、
被処理物キャリア１内のウェーハ２に対しウェーハ２を
検知する検知センサ３を上下動装置４により、ウェーハ
端部の下側から上側に向ってコマ送りする。コマ送りし
ながらウェーハ端部を未検知から検知した時にその位置
を第１記憶装置５に記憶する。さらに上側に検知センサ
３を移動し、ウェーハ端部を失測した時にその位置を第
２記憶装置６に記憶する。第１記憶装置５に記憶した位
置と第２記憶装置６に記憶した位置より、演算装置７に
よりウェーハ端の検知可能幅を算出する。
被処理物キャリア１内のウェーハ２に対しウェーハ２を
検知する検知センサ３を上下動装置４により、ウェーハ
端部の下側から上側に向ってコマ送りする。コマ送りし
ながらウェーハ端部を未検知から検知した時にその位置
を第１記憶装置５に記憶する。さらに上側に検知センサ
３を移動し、ウェーハ端部を失測した時にその位置を第
２記憶装置６に記憶する。第１記憶装置５に記憶した位
置と第２記憶装置６に記憶した位置より、演算装置７に
よりウェーハ端の検知可能幅を算出する。
【０００９】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、被処理物
キャリア１内の被処理物２を検知する検知手段３を被処
理物２の端部の上下方向に移動して被処理物端部を検知
した時その位置を第１記憶装置５に記憶し、被処理物端
部を失測した時その位置を第２記憶装置６に記憶し、第
１，第２記憶装置５，６に記憶された位置から被処理物
２の検知可能な幅を演算することにより装置や被処理物
キャリア毎に少しずつ異なる被処理物検知可能幅を装置
毎に設定することができるため、被処理物を正確に検知
することができ、被処理物の検知もれや被処理物を２枚
同時に検知するおそれがないばかりでなく、被処理物検
知可能幅の設定を目視ではなく自動的に短時間に行うこ
とができる。
キャリア１内の被処理物２を検知する検知手段３を被処
理物２の端部の上下方向に移動して被処理物端部を検知
した時その位置を第１記憶装置５に記憶し、被処理物端
部を失測した時その位置を第２記憶装置６に記憶し、第
１，第２記憶装置５，６に記憶された位置から被処理物
２の検知可能な幅を演算することにより装置や被処理物
キャリア毎に少しずつ異なる被処理物検知可能幅を装置
毎に設定することができるため、被処理物を正確に検知
することができ、被処理物の検知もれや被処理物を２枚
同時に検知するおそれがないばかりでなく、被処理物検
知可能幅の設定を目視ではなく自動的に短時間に行うこ
とができる。
【図１】本発明方法及び装置の１実施例の構成を示す説
明図である。
明図である。
１ 被処理物キャリア ２ 被処理物（ウェーハ） ３ 検知手段（センサ） ４ 上下動装置 ５ 第１記憶装置 ６ 第２記憶装置 ７ 演算装置
Claims (2)
- 【請求項１】 被処理物キャリア（１）内の被処理物
（２）を検知する検知手段（３）を被処理物（２）の端
部の上下方向に移動して被処理物端部を検知した時その
位置を第１記憶装置（５）に記憶し、被処理物端部を失
測した時その位置を第２記憶装置（６）に記憶し、第
１，第２記憶装置（５，６）に記憶された位置から被処
理物（２）の検知可能な幅を演算することを特徴とする
被処理物検知方法。 - 【請求項２】 被処理物キャリア（１）内の被処理物
（２）を検知する検知手段（３）と、この検知手段
（３）を被処理物端部に対し上下動する上下動装置
（４）と、被処理物（２）を検知手段（３）により検知
した位置を記憶する第１記憶装置（５）と、失測した位
置を記憶する第２記憶装置（６）と、第１，第２記憶装
置（５，６）に記憶された位置から被処理物（２）の検
知可能幅を演算する演算装置（７）とよりなる被処理物
検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19739993A JPH0758187A (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | 被処理物検知方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19739993A JPH0758187A (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | 被処理物検知方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0758187A true JPH0758187A (ja) | 1995-03-03 |
Family
ID=16373871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19739993A Pending JPH0758187A (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | 被処理物検知方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0758187A (ja) |
-
1993
- 1993-08-09 JP JP19739993A patent/JPH0758187A/ja active Pending
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