JPH0756519B2 - 非接触式送りテ−ブル - Google Patents
非接触式送りテ−ブルInfo
- Publication number
- JPH0756519B2 JPH0756519B2 JP61041907A JP4190786A JPH0756519B2 JP H0756519 B2 JPH0756519 B2 JP H0756519B2 JP 61041907 A JP61041907 A JP 61041907A JP 4190786 A JP4190786 A JP 4190786A JP H0756519 B2 JPH0756519 B2 JP H0756519B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- roller
- gas
- linear motor
- permanent magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は駆動コイルの励磁により軸方向の移動を行なう
気体軸受支持リニアモータ駆動の送りテーブルに係り、
特に停止位置決め制御の改良に関する。
気体軸受支持リニアモータ駆動の送りテーブルに係り、
特に停止位置決め制御の改良に関する。
（従来の技術） 例えば集積回路を形成する工程において、微細パターン
の転写などに静圧気体軸受ガイドとリニアモータとを組
合せて成る送りテーブルが使用されている。即ちこの種
の送りテーブルは非接触移動であるため、外乱を防止で
きるとともに摩擦も小さくモータへの反力も慣性だけで
所定の状態を精度よく保持し得るからである。しかして
この種の非接触式送りテーブルは例えば第３図に示す如
く構成されている。第３図において、（１）はテーブル
基準面、（２）はテーブルガイドで気体軸受（３）に嵌
合するよう設置されている。また（４）はテーブルで前
記気体軸受（３）と一体的に接続し、気体軸受（３）に
てテーブルガイド（２）面に射出する圧縮気体、例えば
圧縮空気の作用によってテーブル基準面（１）やテーブ
ルガイド（２）に対して非接触に支持（浮上）した形と
なる。しかしてこの非接触に支持されたテーブル（４）
は所謂るリニアモータ（５）の駆動に伴ない、このリニ
アモータ（５）と前記気体軸受（３）とを結ぶ接続片
（６）を介してテーブルガイド（２）に沿って選択的に
移動しうるように構成してある。尚、第３図において
（７）はレーザ発振器、（８）はターニングミラー、
（９）は干渉計用反射ミラー、（10）はレシバー、（1
1）は増幅器カウンターで、これら（７）〜（11）にて
成す所謂るレーザ干渉計システムとコンピュータ（12）
によってテーブル（４）の位置を計測、制御し、ドライ
バ（13）を介してリニアモータ（５）にフィードバック
して上記テーブル（４）を所定の位置に停止．制御しう
るようになっている。
の転写などに静圧気体軸受ガイドとリニアモータとを組
合せて成る送りテーブルが使用されている。即ちこの種
の送りテーブルは非接触移動であるため、外乱を防止で
きるとともに摩擦も小さくモータへの反力も慣性だけで
所定の状態を精度よく保持し得るからである。しかして
この種の非接触式送りテーブルは例えば第３図に示す如
く構成されている。第３図において、（１）はテーブル
基準面、（２）はテーブルガイドで気体軸受（３）に嵌
合するよう設置されている。また（４）はテーブルで前
記気体軸受（３）と一体的に接続し、気体軸受（３）に
てテーブルガイド（２）面に射出する圧縮気体、例えば
圧縮空気の作用によってテーブル基準面（１）やテーブ
ルガイド（２）に対して非接触に支持（浮上）した形と
なる。しかしてこの非接触に支持されたテーブル（４）
は所謂るリニアモータ（５）の駆動に伴ない、このリニ
アモータ（５）と前記気体軸受（３）とを結ぶ接続片
（６）を介してテーブルガイド（２）に沿って選択的に
移動しうるように構成してある。尚、第３図において
（７）はレーザ発振器、（８）はターニングミラー、
（９）は干渉計用反射ミラー、（10）はレシバー、（1
1）は増幅器カウンターで、これら（７）〜（11）にて
成す所謂るレーザ干渉計システムとコンピュータ（12）
によってテーブル（４）の位置を計測、制御し、ドライ
バ（13）を介してリニアモータ（５）にフィードバック
して上記テーブル（４）を所定の位置に停止．制御しう
るようになっている。
しかしながら一般的にレーザ干渉計の分解能はテーブル
（４）の移動速度に影響され例えば100mm/sの高速移動
においては0.02μｍ程度が分解能の限界であり、またリ
ニアモータ（５）の停止時において慣性力も加わること
に伴ない、例えば±0.02μｍ程度に制御し位置決めし難
いのが実情である。一方集積回路の製造などにおいて
は、回路の微細化、高集積化に伴ない、上記送りテーブ
ルについて100mm/s単位の移動を短時間内に行なうとと
もに±0.02μｍ単位以下の高精度で位置決めしうること
が望まれている。
（４）の移動速度に影響され例えば100mm/sの高速移動
においては0.02μｍ程度が分解能の限界であり、またリ
ニアモータ（５）の停止時において慣性力も加わること
に伴ない、例えば±0.02μｍ程度に制御し位置決めし難
いのが実情である。一方集積回路の製造などにおいて
は、回路の微細化、高集積化に伴ない、上記送りテーブ
ルについて100mm/s単位の移動を短時間内に行なうとと
もに±0.02μｍ単位以下の高精度で位置決めしうること
が望まれている。
こうした位置決めを精度よく行なう一手段として複雑な
制御系なども提案されている。（特開昭57−206926号公
報）が装置としての大型化や高価格化を招き実用上十分
満足しうるものとは云い難い。
制御系なども提案されている。（特開昭57−206926号公
報）が装置としての大型化や高価格化を招き実用上十分
満足しうるものとは云い難い。
（発明が解決しようとする問題点） 本発明は上記事情に対して、高速移動した場合にも容易
に移動、停止が可能で、高精度に位置決めしうる構成簡
単な機構を備えた非接触式送りテーブルを提供しようと
するものである。
に移動、停止が可能で、高精度に位置決めしうる構成簡
単な機構を備えた非接触式送りテーブルを提供しようと
するものである。
（問題を解決するための手段） 本発明は、テーブルと、上記テーブルに連結された複数
の気体軸受と、上記気体軸受に非接触にて軸支され上記
気体軸受を介して上記テーブルを移動自在に支持するテ
ーブルガイドと、上記テーブルガイドに沿って上記テー
ブルを移動させるリニアモータと、上記テーブルガイド
に摺接し且つ上記テーブルの移動に追従して回転自在に
設けられたローラと、一端が上記ローラに連結され他端
が上記気体軸受又は上記テーブルに固定され且つ上記ロ
ーラの上記テーブルガイドに対する摺接方向に弾性変形
する弾性体片と、上記弾性体片に一体的に取付けられた
永久磁石及びこの永久磁石に対向させて設けられた電磁
石を有し上記電磁石を着磁脱磁させて上記弾性体片に付
勢を選択的に付与することにより上記ローラと上記テー
ブルガイドとの間に上記テーブルを停止させるための摩
擦力を発生させる摩擦停止機構とから構成されてなるも
のである。
の気体軸受と、上記気体軸受に非接触にて軸支され上記
気体軸受を介して上記テーブルを移動自在に支持するテ
ーブルガイドと、上記テーブルガイドに沿って上記テー
ブルを移動させるリニアモータと、上記テーブルガイド
に摺接し且つ上記テーブルの移動に追従して回転自在に
設けられたローラと、一端が上記ローラに連結され他端
が上記気体軸受又は上記テーブルに固定され且つ上記ロ
ーラの上記テーブルガイドに対する摺接方向に弾性変形
する弾性体片と、上記弾性体片に一体的に取付けられた
永久磁石及びこの永久磁石に対向させて設けられた電磁
石を有し上記電磁石を着磁脱磁させて上記弾性体片に付
勢を選択的に付与することにより上記ローラと上記テー
ブルガイドとの間に上記テーブルを停止させるための摩
擦力を発生させる摩擦停止機構とから構成されてなるも
のである。
（作用） 上記構成の本発明は、以下のような格別の作用を奏する
ものである。すなわち、＜Ａ＞高速移動しているテーブ
ルの高精度位置決めが可能となる。ちなみに、リニアモ
ータの駆動により100mm/秒程度の高速で移動するテーブ
ルを、リニアモータの慣性力に基因する微小振動（ハン
チング）を惹起することなく、±0.02μｍ以下の位置決
め精度で位置決めすることが可能となる。＜Ｂ＞構造が
比較的簡単であるため、装置が大型化する弊害がなく、
しかも故障が少なく保守が容易であるばかりか、製造コ
ストも廉価となる。＜Ｃ＞上記＜Ａ＞，＜Ｂ＞が相俟っ
て、本発明の非接触式送りテーブルは、±0.02μｍ以下
の位置決め精度が要請される集積回路の製造装置へ適用
した場合、顕著な効果を奏する。
ものである。すなわち、＜Ａ＞高速移動しているテーブ
ルの高精度位置決めが可能となる。ちなみに、リニアモ
ータの駆動により100mm/秒程度の高速で移動するテーブ
ルを、リニアモータの慣性力に基因する微小振動（ハン
チング）を惹起することなく、±0.02μｍ以下の位置決
め精度で位置決めすることが可能となる。＜Ｂ＞構造が
比較的簡単であるため、装置が大型化する弊害がなく、
しかも故障が少なく保守が容易であるばかりか、製造コ
ストも廉価となる。＜Ｃ＞上記＜Ａ＞，＜Ｂ＞が相俟っ
て、本発明の非接触式送りテーブルは、±0.02μｍ以下
の位置決め精度が要請される集積回路の製造装置へ適用
した場合、顕著な効果を奏する。
（実施例） 以下本発明の非接触式送りテーブルについて添付図を参
照して説明する。本発明に係る非接触式送りテーブルの
基本的構成は第３図の場合と同様である。従って、ここ
では本発明において特に具備せしめた摩擦停止機構につ
いて説明する。第１図および第２図は本発明に係る摩擦
停止機構例を示したもので第１図は一部縦断面図、第２
図は第１図の（Ａ），（Ｂ）線に沿った縦断面図であ
る。すべり軸受（14）にて支持されたローラ（15）をそ
のローラ（15）がテーブルガイド（２）面に摺接するよ
う内装したハウジング（16）が弾性体片、例えば弾性切
欠きばね（17）の一端に取着（接続）してある。一方上
記弾性切欠きばね（17）の他端側は直接または仲介物
（18）を介して気体軸受（３）の外周面上に固定されて
おり、またこの弾性切欠きばね（17）の反対面側には、
先端部が弾性切欠きばね（17）と離間するよう加工した
固定板（19）が一体的に取り付けてある。しかして上記
固定板（19）の先端部には電磁石（20）を、またこの電
磁石（20）と対向させて弾性切欠きばね（17）に例えば
永久磁石（21）を取着しておき、上記電磁石（20）を励
磁させて上記永久磁石（21）を反撥させることにより適
宜（選択的に）、弾性切欠きばね（17）をテーブルガイ
ド（２）面側にそらせるように付勢を与える。上記電磁
石（20）と永久磁石（21）とが設けられた弾性切欠きば
ね（17）に付勢を与える手段は電磁石（20）への通電、
非通電の切換えによって選択的に付勢を与え、また電磁
石（20）への印加電圧によって付勢力も適宜調節でき
る。
照して説明する。本発明に係る非接触式送りテーブルの
基本的構成は第３図の場合と同様である。従って、ここ
では本発明において特に具備せしめた摩擦停止機構につ
いて説明する。第１図および第２図は本発明に係る摩擦
停止機構例を示したもので第１図は一部縦断面図、第２
図は第１図の（Ａ），（Ｂ）線に沿った縦断面図であ
る。すべり軸受（14）にて支持されたローラ（15）をそ
のローラ（15）がテーブルガイド（２）面に摺接するよ
う内装したハウジング（16）が弾性体片、例えば弾性切
欠きばね（17）の一端に取着（接続）してある。一方上
記弾性切欠きばね（17）の他端側は直接または仲介物
（18）を介して気体軸受（３）の外周面上に固定されて
おり、またこの弾性切欠きばね（17）の反対面側には、
先端部が弾性切欠きばね（17）と離間するよう加工した
固定板（19）が一体的に取り付けてある。しかして上記
固定板（19）の先端部には電磁石（20）を、またこの電
磁石（20）と対向させて弾性切欠きばね（17）に例えば
永久磁石（21）を取着しておき、上記電磁石（20）を励
磁させて上記永久磁石（21）を反撥させることにより適
宜（選択的に）、弾性切欠きばね（17）をテーブルガイ
ド（２）面側にそらせるように付勢を与える。上記電磁
石（20）と永久磁石（21）とが設けられた弾性切欠きば
ね（17）に付勢を与える手段は電磁石（20）への通電、
非通電の切換えによって選択的に付勢を与え、また電磁
石（20）への印加電圧によって付勢力も適宜調節でき
る。
尚、上記構成例においては弾性体片として弾性切欠きば
ね（17）を用いたが、要はすべり軸受（14）に支持され
たローラ（15）をテーブルガイド（２）面に接しさせテ
ーブル（４）の移動（慣性などによる場合を含め）を十
分停止する程度の付勢を伝達乃至与えうるならば弾性切
欠きばね（17）以外の形状、構造でもよい。また弾性体
片に所要の付勢を選択的に与えるに当ってはテーブル
（４）の駆動、移動に関与するリニアモータの励起など
に同期して電磁石（20）を励磁させることが好ましい。
さらに一端がハウジング（16）に接続した弾性体片（1
7）の他端側の固定支持は気体軸受（３）に限らず、テ
ーブル（４）であっても差支えない。
ね（17）を用いたが、要はすべり軸受（14）に支持され
たローラ（15）をテーブルガイド（２）面に接しさせテ
ーブル（４）の移動（慣性などによる場合を含め）を十
分停止する程度の付勢を伝達乃至与えうるならば弾性切
欠きばね（17）以外の形状、構造でもよい。また弾性体
片に所要の付勢を選択的に与えるに当ってはテーブル
（４）の駆動、移動に関与するリニアモータの励起など
に同期して電磁石（20）を励磁させることが好ましい。
さらに一端がハウジング（16）に接続した弾性体片（1
7）の他端側の固定支持は気体軸受（３）に限らず、テ
ーブル（４）であっても差支えない。
（発明の効果） 本発明は、以下のような格別の作用効果を奏するもので
ある。すなわち、＜Ａ＞高速移動しているテーブルの高
精度位置決めが可能となる。ちなみに、リニアモータの
駆動により100mm/秒程度の高速で移動するテーブルを、
リニアモータの慣性力に基因する微小振動（ハンチン
グ）を惹起することなく、±0.02μｍ以下の位置決め精
度で位置決めすることが可能となる。＜Ｂ＞構造が比較
的簡単であるため、装置が大型化する弊害がなく、しか
も故障が少なく保守が容易であるばかりか、製造コスト
も廉価となる。＜Ｃ＞上記＜Ａ＞，＜Ｂ＞が相俟って、
本発明の非接触式送りテーブルは、±0.02μｍ以下の位
置決め精度が要請される集積回路の製造装置へ適用した
場合、顕著な効果を奏する。
ある。すなわち、＜Ａ＞高速移動しているテーブルの高
精度位置決めが可能となる。ちなみに、リニアモータの
駆動により100mm/秒程度の高速で移動するテーブルを、
リニアモータの慣性力に基因する微小振動（ハンチン
グ）を惹起することなく、±0.02μｍ以下の位置決め精
度で位置決めすることが可能となる。＜Ｂ＞構造が比較
的簡単であるため、装置が大型化する弊害がなく、しか
も故障が少なく保守が容易であるばかりか、製造コスト
も廉価となる。＜Ｃ＞上記＜Ａ＞，＜Ｂ＞が相俟って、
本発明の非接触式送りテーブルは、±0.02μｍ以下の位
置決め精度が要請される集積回路の製造装置へ適用した
場合、顕著な効果を奏する。
第１図は本発明に係る非接触式送りテーブルが具備する
摩擦停止機構の構成例の要部拡大平面図、第２図は第１
図Ａ−Ａ線に沿った縦断面図、第３図は従来の非接触式
送りテーブルの構成例を示す斜視図である。 （２）……テーブルガイド、（３）……気体軸受、 （４）……テーブル、（５）……リニアモータ、 （14）……すべり軸受、（15）……ローラ、 （16）……ハウジング、（17）……弾性体片、 （20），（21）……付勢手段。
摩擦停止機構の構成例の要部拡大平面図、第２図は第１
図Ａ−Ａ線に沿った縦断面図、第３図は従来の非接触式
送りテーブルの構成例を示す斜視図である。 （２）……テーブルガイド、（３）……気体軸受、 （４）……テーブル、（５）……リニアモータ、 （14）……すべり軸受、（15）……ローラ、 （16）……ハウジング、（17）……弾性体片、 （20），（21）……付勢手段。
Claims (1)
- 【請求項１】テーブルと、上記テーブルに連結された複
数の気体軸受と、上記気体軸受に非接触にて軸支され上
記気体軸受を介して上記テーブルを移動自在に支持する
テーブルガイドと、上記テーブルガイドに沿って上記テ
ーブルを移動させるリニアモータと、上記テーブルガイ
ドに摺接し且つ上記テーブルの移動に追従して回転自在
に設けられたローラと、一端が上記ローラに連結され他
端が上記気体軸受又は上記テーブルに固定され且つ上記
ローラの上記テーブルガイドに対する摺接方向に弾性変
形する弾性体片と、上記弾性体片に一体的に取付けられ
た永久磁石及びこの永久磁石に対向させて設けられた電
磁石を有し上記電磁石を着磁脱磁させて上記弾性体片に
付勢を選択的に付与することにより上記ローラと上記テ
ーブルガイドとの間に上記テーブルを停止させるための
摩擦力を発生させる摩擦停止機構とを具備することを特
徴とする非接触式送りテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61041907A JPH0756519B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 非接触式送りテ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61041907A JPH0756519B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 非接触式送りテ−ブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62200283A JPS62200283A (ja) | 1987-09-03 |
| JPH0756519B2 true JPH0756519B2 (ja) | 1995-06-14 |
Family
ID=12621351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61041907A Expired - Lifetime JPH0756519B2 (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 非接触式送りテ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0756519B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02232704A (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-14 | Toshiba Corp | 摩擦駆動装置 |
| JP2760581B2 (ja) * | 1989-07-12 | 1998-06-04 | 株式会社東芝 | 位置決め装置 |
| JP2003053249A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-02-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 枚葉式塗工装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6045924U (ja) * | 1983-09-05 | 1985-04-01 | オムロン株式会社 | 空気軸受装置 |
| JPS60140722A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-25 | Canon Inc | 精密移動装置 |
-
1986
- 1986-02-28 JP JP61041907A patent/JPH0756519B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62200283A (ja) | 1987-09-03 |
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