JPH0753888Y2 - 加工装置 - Google Patents

加工装置

Info

Publication number
JPH0753888Y2
JPH0753888Y2 JP1991091868U JP9186891U JPH0753888Y2 JP H0753888 Y2 JPH0753888 Y2 JP H0753888Y2 JP 1991091868 U JP1991091868 U JP 1991091868U JP 9186891 U JP9186891 U JP 9186891U JP H0753888 Y2 JPH0753888 Y2 JP H0753888Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
workpiece
work
polishing
piezoelectric element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1991091868U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0489653U (ja
Inventor
勲 小山
豊 井口
信也 高橋
誠一 廣江
孝志 戸井田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Citizen Watch Co Ltd
Original Assignee
Citizen Watch Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Citizen Watch Co Ltd filed Critical Citizen Watch Co Ltd
Priority to JP1991091868U priority Critical patent/JPH0753888Y2/ja
Publication of JPH0489653U publication Critical patent/JPH0489653U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0753888Y2 publication Critical patent/JPH0753888Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は回転する研磨定盤を用い
て遊離砥粒、あるいは固定砥粒により光学部品、電子部
品などの被加工物に微小角斜面、あるいは曲面を形成す
るための加工装置に関する。
【0002】
【従来技術とその課題】従来の微小角斜面、あるいは曲
面を形成するための加工方法としては、機械的な切削加
工や研削加工であらかじめ形状を形成し、その後、機械
加工で形成した形状を基に、別の加工装置を用いて研磨
加工を行っている。
【0003】しかし、この方法では被加工物の微小角斜
面の傾斜角や、曲面の曲率半径の高精度な制御を行うこ
とは、難しいという課題を有する。
【0004】そこで、たとえば特開昭60―12796
6号公報に記載された圧電素子を用いた加工装置が提案
されている。
【0005】この公報に記載の加工装置は、被加工物を
固定する微小角移動体に切り欠きを設けて、この切り欠
き部を圧電素子により弾性変形させることによって、被
加工物を変位させ、微小角斜面、あるいは曲面を加工し
ている。
【0006】しかしながら、この公報に記載の加工装置
においては、圧電素子の変位によって、微小角移動体を
変形させ、さらに被加工物を変位させる、いわば間接変
位により加工を行っている。
【0007】このため、被加工物の加工精度が向上しな
いという課題を有する。
【0008】そこで本考案の目的は、上記課題を解決し
て、同一加工装置で被加工物の微小角斜面、あるいは曲
面を高精度で加工することが可能な加工装置を提供する
ことにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本考案の加工装置は下記記載の構成を採用する。
【0010】本考案の加工装置は、研磨定盤に押接して
研磨する被加工物を一方の端部に固定し、かつ研磨定盤
に対向して配置するワーク取付台と、このワーク取付台
の他方の端部に設け、かつ研磨定盤に対してほぼ垂直方
向に変位する圧電素子と、ワーク取付台を収納するキャ
リアと、研磨定盤上でキャリアを移動させる移動機構部
とを備える。
【0011】
【作用】本考案の加工装置は、被加工物と圧電素子とが
研磨定盤に直接接触する、いわば直接変位形である。こ
れに対して特開昭60―127966号公報に記載の加
工装置は、前述のように、圧電素子の変位により、まず
微小角移動体を変形させて、さらにその後、被加工物を
変位させる間接変位形である。
【0012】したがって、本考案の加工装置において
は、突き出し量が可変な圧電素子を研磨定盤に直接接触
させているので、上記公報に記載の加工装置より加工精
度が向上する。
【0013】さらに構成が単純なので、軽量化すること
が可能で、軽荷重で研磨作業を行うことが可能となり、
被加工物にキズ、カケの発生がなく、被加工物の表面状
態が良好となる。
【0014】
【実施例】以下本考案における加工装置の実施例を図面
を基に説明する。図1は本考案における加工装置の概略
の構成を示す斜視図である。
【0015】基台13は、研磨定盤16に対して多少の
すきまを有し、かつ図示しない本加工装置の枠体に固定
している。
【0016】そして、基台13に固定するモータ10の
回転を、モータ10の回転軸10aに取り付けた偏心円
盤11と、この偏心円盤11に一端を軸支し、他端をス
ライダ14に軸支している伝達アーム12とにより、キ
ャリア18の直線往復運動に変換している。
【0017】スライダ14は、ころがり直動スライダで
あり、スライダ14のレール14aは、図1に示すよう
に、キャリア18を研磨定盤16の半径方向に移動でき
るように、基台13に固定している。
【0018】すなわち、キャリア18を研磨定盤16の
半径方向に移動させる移動機構部としては、モータ10
と、偏心円盤11と、伝達アーム12と、スライダ14
とで構成する。
【0019】ワーク取付台20は、キャリア18に収納
し、キャリア18の直線往復運動により研磨定盤16上
を摺動する。
【0020】以上本考案における加工装置の概略構成を
説明したが、その他の構成要素、たとえば研磨定盤の回
転機構などは、研磨定盤を用いた従来の研磨装置と機構
は同じなので、その説明を省略する。
【0021】図2は、キャリア18とワーク取付台20
との構成を示す平面図である。
【0022】図2に示すように、被加工物を取り付けた
ワーク取付台20を収納するキャリア18と支持部材2
6との間には、合成樹脂を海綿状にしたもの、あるいは
ゴムからなる弾性部材24を配置する。
【0023】さらに、この支持部材26とワーク取付台
20との間には、空隙部25を設ける。この空隙部25
は、図3、図4に示す、被加工物22を研磨定盤に、正
確に接触させるために設けてある。
【0024】またさらに、弾性部材24は、ワーク取付
台20が直線往復運動の運動方向が反転するときの衝撃
を緩衝する働きを有し、被加工物のキズやカケおよび剥
離を防止し、安定した被加工物の形状を得ることができ
る。
【0025】この弾性部材24は、上記例の他に、コイ
ルバネ、あるいは空気圧や磁気的反発力を利用しても良
い。
【0026】またさらに、弾性部材24のみではワーク
取付台20が、この弾性部材24に係合してしまうこと
があるので、支持部材26を弾性部材24の内側に設
け、ワーク取付台20がキャリア18に容易に収納でき
るように、かつ被加工物が研磨定盤に正確に接触できる
ようにしている。
【0027】このため、支持部材26としては、表面の
面あらさの良好な金属を使用している。
【0028】図3および図4は、それぞれワーク取付台
20を示す断面図である。
【0029】このワーク取付台20は、下面の一方の端
部に被加工物22を接着法などにより固定し、他方の端
部に微小角斜面を形成するための調整ネジ(図3)、あ
るいは微小角斜面あるいは曲面を形成するための圧電素
子30(図4)を用いた傾動制御手段を配置している。
【0030】次に、以上の加工装置の構成に基づく被加
工物への微小角斜面、および曲面の形成方法について、
図1と、図2と、図3と、図4とを交互に用いて説明す
る。
【0031】被加工物22に微小角斜面を形成するとき
は、図3に示すように、所定の角度が得られるように、
被加工物22の厚さL1と、調整ネジ28の突き出し量
L2との間に差を設ける。
【0032】その後、ワーク取付台20をキャリア18
に収納し、さらに研磨定盤16を回転させるとともにキ
ャリア18を直線往復運動させて、研磨定盤16上の遊
離砥粒、あるいは固定砥粒によって、所定の角度を有す
る斜面を被加工物22に形成する。
【0033】なお、図4に示す圧電素子30を用いて被
加工物22に微小角斜面を形成する場合には、この圧電
素子30の突き出し量を、所定の角度が得られるように
調整することにより、調整ネジ28を用いたときと同様
に、微小角斜面を形成することができる。
【0034】被加工物22に曲面を形成するときには、
図4の破線で示すように、まず圧電素子30の突き出し
量L4を被加工物22の厚さL3に合致させる。この被
加工物22の厚さL3に合わせた、圧電素子30の突き
出し量を基準点とする。
【0035】その後、ワーク取付台20をキャリア18
に収納し、さらに研磨定盤16を回転させるとともに、
キャリア18を直線往復運動させる。
【0036】このとき、キャリア18の直線往復運動に
連動して、圧電素子30に印加する電圧を制御すること
によって、圧電素子30の突き出し量L4を連続的に伸
縮させる。
【0037】具体的には、圧電素子30の先端が最上
点、および最下点になる位置を、キャリア18のストロ
ーク端、すなわち中心に最も近い位置、および中心から
最も遠い位置に合わせれば良い。
【0038】さらに、圧電素子30が基準点から正負の
方向に伸縮する量を同じにすれば、対称な形状を有する
曲面を有する被加工物22が得られる。
【0039】調整ネジ28、および圧電素子30の先端
は、研磨定盤16と接触するので耐摩耗性に優れたルビ
ーなどの貴石を使用すると良い。
【0040】
【考案の効果】以上の説明で明らかなように、本考案の
加工装置においては、ワーク取付台の一方の端部に被加
工物を固定し、ワーク取付台の他方の端部に傾動制御手
段を設け、この傾動制御手段を研磨定盤に対してほぼ垂
直方向に微小変位させるようにしている。このため同一
の加工装置で被加工物に微小角斜面、あるいは曲面を、
従来の装置より高精度で、しかも安定して加工できるよ
うなる。この加工精度の向上は、突き出し量を制御する
調整ネジや圧電素子からなる傾動制御手段を、直接研磨
定盤に接触させていることが大きく影響している。
【0041】さらに従来の加工装置より、構成が単純で
あるので、軽量化することが可能であり、軽荷重で研磨
作業を行うことができる。したがって、被加工物にキ
ズ、カケの発生がなく、被加工物の表面状態が良好とな
る効果も有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案における加工装置の概略の構成を示す斜
視図である。
【図2】本考案における加工装置のキャリアとワーク取
付台との構成を示す平面図である。
【図3】本考案における加工装置のワーク取付台を示す
断面図である。
【図4】本考案における加工装置のワーク取付台を示す
断面図である。
【符号の説明】
16 研磨定盤 18 キャリア 20 ワーク取付台 22 被加工物 24 弾性部材 26 支持部材 30 圧電素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 戸井田 孝志 埼玉県所沢市大字下富字武野840番地 シ チズン時計株式会社技術研究所内 審査官 栗田 雅弘 (56)参考文献 特開 昭60−127966(JP,A) 実開 昭58−196056(JP,U)

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 研磨定盤と移動機構部とキャリアとワー
    ク取付台とを備え、 研磨定盤は円形状で、上面に基台を有し、 移動機構部は基台に設けるモータとモータの回転軸に固
    定する偏心円盤と偏心円盤に一端を固定する伝達アーム
    と伝達アームの他端に固定しレールに案内されるスライ
    ダとを有し、モータの回転運動をスライダの直線往復運
    動に変換し、 キャリアはスライダに固定し、開口内に弾性部材と支持
    部材とを介してワーク取付台を収納し、 ワーク取付台はキャリアとの間に空隙部を設けるように
    配置し、一端に研磨定盤に対向するように被加工物を固
    着し、他端に研磨定盤に対向するように配置しほぼ垂直
    方向に変位する圧電素子を有す ることを特徴とする加工
    装置。
JP1991091868U 1991-10-15 1991-10-15 加工装置 Expired - Lifetime JPH0753888Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1991091868U JPH0753888Y2 (ja) 1991-10-15 1991-10-15 加工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1991091868U JPH0753888Y2 (ja) 1991-10-15 1991-10-15 加工装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0489653U JPH0489653U (ja) 1992-08-05
JPH0753888Y2 true JPH0753888Y2 (ja) 1995-12-13

Family

ID=31827872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1991091868U Expired - Lifetime JPH0753888Y2 (ja) 1991-10-15 1991-10-15 加工装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0753888Y2 (ja)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60127966A (ja) * 1983-12-14 1985-07-08 Hitachi Ltd 薄膜磁気ヘッドの製造装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0489653U (ja) 1992-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1113728C (zh) 光学元件研磨或抛光用的夹具
JPH0366104B2 (ja)
EP1351220A2 (en) Head supporting device and disk drive using the same
US5404680A (en) Method for polishing slight area of surface of workpiece and tool therefor
WO2012111290A1 (ja) 研磨装置
JPS6125768A (ja) 平面研摩装置の被加工物保持機構
JPH0753888Y2 (ja) 加工装置
US5091670A (en) Ultrasonic motor
EP0678359A1 (en) Polisher
JP3630958B2 (ja) レンズ保持装置
JP3673703B2 (ja) 研磨工具
JPS63169264A (ja) 傾斜制御可能なワ−ク取付台を有する加工機
JP2801241B2 (ja) 曲面加工用治具
JP3508261B2 (ja) 振動工具
JP4183892B2 (ja) 研磨工具およびこの研磨工具を用いた研磨装置
JP2511918B2 (ja) 曲面加工用治具
JPH03111163A (ja) 球面レンズの研磨装置
JPH06176321A (ja) 磁気ヘッド研磨装置および研磨方法
JP2642415B2 (ja) 回転テーブル装置
JPH0210300B2 (ja)
JP2516798B2 (ja) 修正輪式ラップ加工機
JP2522851Y2 (ja) 揺動研磨工具
JPH0727195A (ja) 滑り軸受案内機構
JPH0283152A (ja) 回転対称曲面の研磨方法
JPH1094926A (ja) テーブル装置