JPH07508686A - フロプティカル媒体からの廃棄物の除去方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 フロプティカル媒体からの廃棄物の除去方法及び装置発明の分野 本発明は、フロプティカル（ｆ　１ｏｐｔ　１ｃａｌ）媒体の清掃方法に関し、 特に、レーザエツチング後にフロプティカル媒体の表面及び溝群から微視的廃棄 物を除去することに関する。

発明の背景 近年、フロッピーディスクシステムは、磁気ディスク記録技術と光デイスクシス テムにおける高トラツク容量サーボとを統合する展開を示している。このような システムは、５ＰＩＦの光学的データ記憶に関する会１！　（ＳＰＩＥ　０ｐｔ ｉｃａｌ　Ｄａｔａ　Ｓｔｏｒａｇｅ　Ｔｏｐｉｃａｌ　Ｍｅｅｔｉｎｇ：１９ ８９）において提示された「インサイド３２５フロプテイカルデイスク装置の手 引（ＡＮ　［ＮＴＲ０ＤＵＣＴ［ＯＮ　Ｔｏ　ＴＨＥ　ｌＮ５ＩＴＥ　３２５　 ＦＬＯＰＴ［ＣＡＬ（Ｒ）　ＤＩＳＫ　ＤＲＩＶＥ）　：ボッドウィン（Ｇｏｄ ｗｉｎ）　Ｊに記載されている。

本来、光サーボパターンは磁気フロッピーディスク上に予め記録される。この光 サーボパターンは典型的に、ディスクの回転軸線の周りで等間隔に配置された多 数の同心のトラックからなる。データは周知の磁気記録技術によって、光サーボ トラックの間の磁気「トラック」に記憶される。光サーボ機構は、磁気読取書込 ヘッドを光サーボトラックの間のデータ上に正確に案内するために設けられる。

光サーボ技術を用いることにより、比較的安価な取外し可能形媒体においてさら に高密度のトラックを利用できる。

上記のように、光サーボパターンは典型的に、ディスクの回転軸線の周りで等間 隔に配置された多数の同心のトラックからなる。米国特許第４．９６１．１２３ 号に開示されるように、各トラックは１つの連続溝（図３）からなるか、等間隔 配置された複数の円形窪み（図８）からなるか、又は等間隔配置された複数の短 い溝ないしステッチ（図９）からなることができる。光サーボトラックを磁気媒 体に刻設するために、多くの方法及び装置がある。例えば米国特許第４．９６１ 、１２３号（発明の名称「光サーボトラックを備えた磁気情報媒体記憶装置（Ｍ ａｇｎｅｔｉｃ　Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ　Ｍｅｄｉａ　Ｓｔｏｒａｇｅ　Ｗｉ ｔｈ　０ｐｔｉｃａｌ　５ｅｒｖｏ　Ｔｒａｃｋｓ）　Ｊ　）は、サーボトラッ クパターンをディスク上にレーザを用いてエツチングする方法及び装置を開示す る。

米国特許出願ｒＯＭ−８７２１及びｌ０Ｍ−８７２３（１９９２年６月１０日出 願）は、フロプティカルディスクに断続的な溝をエツチングする装置及び方法を 開示する。

フロプティカル媒体のレーザエツチングの間に、粒状廃棄物群が生成される。エ ツチング廃棄物群の寸法は、ミクロン又はミクロン以下のオーダである。これら の微細なエツチング廃棄物群は、レーザエツチングの完了後、フロプティカル媒 体の表面上及びエツチングされた溝内に残る。フロプティカル媒体が清掃されな い場合、こうした廃棄物群はフロプティカル媒体とフロプティカル駆動装置の読 取書込ヘッドとの双方を損傷する。

フロプティカル媒体の表面及び溝からレーザエツチング廃棄物群を除去すること は、製造工程における不可欠なステップである。しかし、このような微視的ない し超微視的な廃棄物群をフロプティカル表面から除去することは困難である。特 にステッチないし溝内に残る微視的廃棄物群を除去することは、一層困難である 。このような微視的廃棄物群を除去するために、エツチングされたフロプティカ ル表面をレーヨン等の合成布で拭くことが試みられている。この布はさらに、脱 イオン水等の溶剤と共に使用される。しかしこの方法では、多量の微視的廃棄物 が除去されずにステッチ内に残った。

また関連技術として、他の記録媒体に気体を吹き付けることによって有害物質を 除去することが知られている。例えばスノーガン（Ｓｎｏ−Ｇｕｎ　：商標）（ カリフォルニア州チューラビスタ、ヴアトランシステムズ社（Ｖａ−Ｔｒａｎ　 Ｓｙｓｔｅｍｓ　Ｉｎｃ、）　）は、磁気フロッピーディスクからの塵埃の除去 や印刷回路板及び半導体からのフラックスの除去に使用されている。スノーガン （商標）は媒体にＣＯ２ペレット群を吹き付ける（「スノーガンクリーナの説明 と操作教書」ヴアトランシステムズ社）。スノーガンのノズルが任意の方向へ移 動して有害物質を媒体から除去する間、媒体は静止保持される。操作教書に従っ てスノーガンをフロプティカル媒体に適用した場合、微視的廃棄物の除去は不完 全であった。また吹き付は清掃の間、低温のためにフロプティカル媒体の表面が 氷結する。これは特に、同一領域に繰り返しＣ０２ペレツト群を吹き付けるとき に生じる。このようにスノーガンの有効性は、ＣＯ，ペレット群の吹き付は量が 増えるにしたがって低下する。

これらの従来技術のいずれも、レーザエツチングの後に微視的ないし超微視的な 廃棄物群をフロプティカル媒体から除去する上記課題を積極的に解決するもので はなかった。したがって本発明の目的は、微視的及び超微視的廃棄物群をフロプ ティカル媒体から除去することを改良することである。本発明のもう１つの目的 は、清掃の間にフロプティカル媒体が氷結することを防止して、微視的廃棄物群 の除去の有効性を維持することである。本発明のさらに他の目的は、廃棄物とデ ィスクとの間にさらに大きなエネルギ差を形成することによって、微視的廃棄物 群の除去を改良することである。

発明の要旨 レーザエツチングの後にフロプティカル媒体から廃棄物群を除去する装置は、回 転手段と、フロプティカル媒体を回転させるチャックと、回転するフロプティカ ル媒体に氷晶群を含有する低温気体を所定角度で吹き付ける吹き付は部とを備え る。氷晶群は廃棄物群に衝突し、衝突によって生じる運動量の変化によって廃棄 物群がフロプティカル媒体から脱離される。氷晶群によるフロプティカル媒体表 面の凍結は、チャックから伝達される熱エネルギによって防止される。

もう１つの実施例では、外部熱源がチャックに適用される。さらに低圧真空が、 回転するフロプティカル媒体の近傍に付与されて、ディスク表面から離脱した廃 棄物群をさらに運ぶ。

レーザエツチングの後にフロプティカル媒体から廃棄物群を除去する方法は、 ａ）回転用のチャック上に媒体を載せ、ｂ）媒体を回転させ、 Ｃ）氷晶群を含有する低温気体を回転する表面上に吹き付け、ｄ）ディスク表面 の温度を凍結温度以上に維持する、各ステップを具備する。氷晶群は廃棄物群に 衝突して、廃棄物群をフロプティカル媒体から脱離させる。温度は外部からの熱 の付与によって維持できる。

図面の簡単な説明 図１は、フロプティカルディスクの上面図である。

図２は、Ａ−Ａ’に沿ったフロプティカルディスクあ断面図で、スノーガン（商 標）のノズルと共に示す。

図３は、噴流の方向がディスクの回転方向に対向するような角度にノズルを配置 した１つの実施例を示す。

図４は、噴流の方向がディスクの回転方向と同一であるような角度にノズルを配 置した他の実施例を示す。

図５は、フロプティカルディスク、スノーガン、スノーガン制御装置、及び真空 装置の透視図である。

好適な実施例の詳細な説明 図１はフロプティカルディスクｌの上面図である。複数の同心の光サーボトラッ クは、Ｂ−Ｂ’間のディスク表面にエツチングされている。フロプティカルディ スクｌ上の一対の孔Ｃは、ディスク１を回転に対して固定するピンに係合する。

図２は図１のＡ−Ａ’に沿った断面図である。図２は、フロプティカル媒体から 超微視的廃棄物を除去する方法を概略的に示す。フロプティカルディスクｌは回 転用のチャック２上に置かれる。ディスクのレーザエツチングされる面は、チャ ック２から遠い方に配置される。ディスクｌが約２００　Ｏｒ　ｐｍで回転され ると、スノーガン（商標）のノズル３はディスクｌのレーザエツチング面に向け られ、多数のＣｏ２ペレット又は氷晶４の噴流を吹き付ける。上記のスノーガン （商標）は使用に適したノズルの一例である。ノズル３は矢印８で示すように、 フロプティカルディスクｌの任意半径の内側から外側へ水平方向に移動する。領 域６が清掃中であり、領域７はまだ清掃されていない。両頭域を通して、微視的 ないし超微視的粒状廃棄物１０を黒点で示す。領域５は本発明の方法によって既 に清掃されている。領域６及び領域７がまだ清掃されていないので、領域５は領 域６又は領域７よりも実質的に少ない粒状廃棄物ｌＯを有する。特にステッチ９ には粒状廃棄物ｌＯが多く集中している。

これら粒状廃棄物１０の各々は、ミクロン又はミクロン以下のオーダである。

氷晶群はディスクｌの表面の廃棄物群に衝突して、エツチングされた表面又はス テッチから廃棄物群を分離させる。ｒｃＯ２スノーによる乾燥表面の清掃（Ｄｒ ｙ　５ｕｒｆａｃｅ　Ｃｌｅａｎｉｎｇ　ｗｉｔｈ　ＣＯｚ　Ｓｎｏｗ）　Ｊ（ コンブレストエアマガジン、１９８６年８月）でウィトロック（Ｗｉｔｌ。

ｃｋ）が提案したように、氷晶群と廃棄物群との間のエネルギ伝達は清掃作用を 生じると考えられる。ディスクが静止しているとすると、高速移動する固体ＣＯ ２の多数の微粒子が多数の粒状廃棄物１０に衝突する。衝突時にＣＯ２ペレット の衝撃は、粒子付着力に打ち勝つに充分な運動量を粒状廃棄物ｌＯに伝達する。

その結果、粒状廃棄物群はフロプティカル表面から分離される。粒状廃棄物群は 、ディスク表面から離脱すると直ちに、ＣＯ□の噴流によって生じる気流により 運ばれる。

このような除去機構を改良するために、本発明においてフロプティカルディスク は、廃棄物除去の間に回転させられる。回転方向に対する噴流の方向に対応して 、廃棄物ｌＯとディスク１との間のエネルギ伝達はいずれかの方向に生じる。１ つの実施例ではノズル３は、図３Ａ〜図３０に示すように、噴流の方向がディス クの回転に対向するように配置される。図３Ａはノズル３に関するディスク１の 上面図である。矢印て示すように、ディスクｌは反時計方向に回転する。図３Ｂ は図３Ａの上半分のＹ−Ｙ’に沿った断面図である。

ノズル３が傾斜しているので、図３Ｂはノズル３の先端部のみを示す。ノズル３ はディスクｌの表面に対して直角をなす。図３０は図３Ａのｘ−ｘ’に沿ったも う１つの断面図である。ノズル３はディスク表面に対して８５°傾斜しており、 ノズル３からの噴流の方向が矢印で示すように回転方向に対向するようになって いる。ＣＯ２噴流内の氷晶群は、ディスク１の表面上の多数の粒状廃棄物ｌＯに 実質的に正面衝突する。したがって、氷晶群の運動量が廃棄物群の運動量よりも 大きいとすれば、廃棄物群のエネルギ準位はＣＯｔペレット群の衝突によって減 少する。廃棄物群は減速され、衝突によりいくらかのエネルギが熱として消費さ れる。このような運動量変化により、減速された廃棄物群と回転するディスクと の間に大きなエネルギ差が生じ、廃棄物群が直ちにディスクから離脱する。その 結果、スノーガン（商標）によるディスク清掃は、静止ディスクの場合に比べて 実質的に改良される。

もう１つの実施例では、図４に示すように、ノズル３からの噴流の方向は回転方 向と同一である。図４Ａはノズル３に関するディスクｌの上面図である。矢印で 示すように、ディスク１は反時計方向に回転する。図４Ｂは図４Ａの上半分のＹ −Ｙ’に沿った断面図である。ノズルが傾斜しているので、図４Ｂはノズル３０ 基端部のみを示す。ノズル３はディスクｌの表面に対して直角をなす。図４０は 図４Ａのｘ−ｘ’に沿ったもう１つの断面図である。ノズル３はディスク表面に 対して８５°傾斜しており、ノズル３からの噴流の方向が矢印で示すように回転 方向と同一になっている。Ｃ０１噴流内の氷晶群は、ディスク１の表面上で廃棄 物群に実質的同一方向に衝突する。したがって、エネルギは氷晶群から廃棄物群 へと伝達され、廃棄物群は加速される。廃棄物群の運動量は変化して、廃棄物群 と回転するディスクとの間のエネルギ準位に多大な差が生じる。

このようなエネルギ差により、ＣＯｔペレット群を静止ディスクに吹き付けた場 合よりもさらに容易に、廃棄物群がディスク表面から分離される。

廃棄物除去工程の間に、フロプティカルディスク表面に吹き付けられる氷状の噴 流はディスク表面の温度を下げる。しかし、粒状廃棄物を実質的に除去するため には、１つのトラックに繰り返して氷状噴流を吹き付けなければならない。した がって、氷状噴流の連続的吹き付けがディスク表面を徐々に氷結させる。表面が 氷で覆われると、ディスク表面から微粒子は分離されない。その結果スノーガン （商標）は、同一のトラックに繰り返して吹き付けを行なうことでその有効性を 低下させる。外部熱源から熱を加えることはできるが、外部からの加熱は、ディ スク表面の温度監視及び加熱調整を必要とする。本発明は、チャック内に蓄熱部 を設けることにより、ＣＯ２ペレット群の噴流吹き付けの間に回転ディスクを凍 結温度より高温に維持する方法及び装置を提供する。この実施例では付加的な外 部熱源は不要である。チャックはディスクよりも実質的に大きな熱部分（ｔｈｅ ｒｍａｌ　ｍａｓｓ）を有するので、ディスク温度の低下はチャックからディス クへの熱伝達によって直ちに回復される。室温が凍結温度より高ければ、チャッ クはその後、環境から熱を補充する。

もう１つの実施例では、チャック２は外部加熱器（図示せず）によって加熱され る。これによりチャック２内の蓄熱部の迅速な補充が可能となる。このように本 発明は、微視的廃棄物の除去の間にディスク温度を維持することを容易にする。

図５は、フロプティカル媒体から微視的及び超微視的廃棄物を除去する装置の透 視図である。フロプティカルディスクｌはチャック２上に置かれる。ディスクｌ がチャック２によって回転されている間、ＣＯ２ペレット群を含有する気体がノ ズル３を通してフロプティカルディスク表面に吹き付けられる。位置調整手段１ ７は、回転するフロプティカルディスク１の内径部から外径部へノズル３を移動 させる。ノズル３は所定速度で移動して、各トラックにＣＯ２気体を少なくとも 数回に亙って吹き付ける。高さ調整手段１２は、ノズル３とフロプティカルディ スクｌの表面との間の距離を一定に保つ。角度調整手段１１は、ディスク表面に 直交する面におけるノズル角度を設定する。半径角度調整手段１６は、ディスク ｌの半径に関する角度を設定する。さらに図５を参照すると、真空手段１３がホ ース１４を介して低圧源に接続され、回転するディスクｌの近傍に配置される。

清掃の間に、真空手段１３はボア１５を介して低圧気体を付与する。回転するデ ィスクｌからＣｏｎの吹き付けによって離脱した廃棄物は、真空によって生じた 気流によりボア１５へ向けてさらに運ばれる。

上記装置では、以下のパラメータを使用したときに最良の結果が達成される。ノ ズル３と回転するディスクｌとの間の距離は約０゜７５インチ（１，９ｃｍ）に 維持される。ノズル３の方向は、ノズルの移動半径の面に直交して回転ディスク の表面から８５°に保持され、吹き付は方向が回転方向に対向するようになって いる。ディスクは２４０Ｏｒｐｍで回転させられ、ノズル３はディスクｌの上方 で内径部から外径部に向けて毎秒０．３インチで移動する。

本明細書では有能かつ効果的な廃棄物除去システムを開示した。

しかしながら本発明は、その精神すなわち本質的特性から逸脱することなく他の 特定の形態で実現可能であり、したがって本発明の範囲を示すものとして上記説 明ではなく添付の請求の範囲を参照すべきである。

フロントページの続き （７２）発明者　カーター、シェフ　ジ−６アメリカ合衆国、ユタ　８４０５８ ．モーガン。

ノース　ステイト　ストリート　１９８（７２）発明者　キャンプイア、アシソ ニー　エム。

アメリカ合衆国、ユタ　８４４０４　、ハリスビル、ノース　２４２５．　ウェ スト　４３６（７２）発明者　キーガー、ジョージ　ティー。

アメリカ合衆国、ユタ　８４１０９．ソルトレイク　シティ、サウス　プロモン トリードライブ　２４０２ （７２）発明者　ホールズ、ロナルド　エフ。

アメリカ合衆国、ユタ　８４０６７、　ロイ、サウス　５８００　、ウェスト　 ２３４６（７２）発明者　トーマス、フレッド　シー１．ザ　サードアメリカ合 衆国、ユタ　８４０３７　、ケイスピル、イースト　１０５０．ノース　３３１

Claims (40)

【特許請求の範囲】
1. １．レーザエッチングの後にフロプティカル媒体から廃棄物群を除去する方法で あつて、 ａ）熱部分を有したチャック上に前記フロプティカル媒体を載せて、該フロプテ ィカル媒体のレーザエッチングされる表面を該チヤツクから離れた側に配置し、 ｂ）前記チャック及び前記フロプティカル媒体を所定角速度で回転させ、 Ｃ）前記廃棄物群が実質的に除去されるまで、氷晶群を含有する低温気体を回転 する前記フロプティカル媒体の表面上に吹き付け、該回転するフロプティカル媒 体上で該氷晶群を該廃棄物群に衝突させて、該廃棄物群を該フロプティカル媒体 から脱離させ、ｄ）ステップｃ）の岡に前記回転するフロプティカル媒体を凍結 湿度以上に維持し、前記チャックの前記熱部分が該フロプティカル媒体の熱部分 より実質的に大きく、該熱部分が前記廃棄物群の除去の間に該回転するフロプテ ィカル媒体の凍結を防止する、各ステップを具備した方法。
2. ２．前記気体がＣＯ２である請求項１に記載の方法。
3. ３．前記角速度が約２０００ｒｐｍである請求項１に記載の方法。
4. ４．前記チャックが少なくとも１インチ厚のアルミニウム組体である請求項１に 記載の方法。
5. ５．前記吹き付けの方向が、回転する前記表面に直交する面上で０°と９０°と の間にあつて、該吹き付けの方向が該回転に対向する請求項１に記載の方法。
6. ６．前記吹き付けの方向が、前記回転するフロプティカル媒体の前記表面に直交 する請求項１に記載の方法。
7. ７．前記吹き付けの方向が、底転ずる前記表面に直交する面上で０°と９０°と の間にあつて、該吹き付けの方向が該回転と同一である請求項１に記載の方法。
8. ８．前記フロプティカル媒体がフロプティカルディスクであり、前記吹き付けを 任意半径の内側から外側へ横断させ、少なくとも数回に亙つて端ステッチに前記 気体を吹き付ける請求項５〜７のいずれか１項に記載の方法。
9. ９．前記熱部分が外部熱源によつて補充される請求項１に記載の方法。
10. １０．ステップｃ）が、前記回転するフロプティカル媒体の近傍に低圧気体を付 与して、脱離された前記廃棄物群をさらに運ぶステップをさらに具備する請求項 １に記載の方法。
11. １１．前記廃棄物の寸法がほぼミクロンである請求項１に記載の方法。
12. １２．レーザエッチングによつてステッチ群を形成した後にフロプティカルディ スクから微視的廃棄物群を除去する方法であつて、ａ）熱部分を有したチャック 上に前記フロプティカル媒体を載せて、前記ステッチ群を有する表面を該チャッ クから離れた側に配置し、 ｂ）前記チヤツク及び前記フロプティカルディスクを所定角速度で回転させ、 Ｃ）氷晶群を含有する低温気体を回転する前記フロプティカルディスクの前記表 面上に吹き付け、該吹き付けを任意半径の内側から外側へ横断させ、前記微視的 廃棄物群が実質的に除去されるまで所定回数繰り返して端ステッチに該気体を吹 き付け、前記ステッチ群に残る該微視的廃棄物群に該氷晶群を衝突させて、該微 視的廃棄物群を該ステッチ群から除去し、 ｄ）ステップｃ）の間に前記回転するフロプティカルディスクを凍結温度以上に 維持し、前記チャックの前記熱部分が該フロプティカルディスクの熱部分より実 質的に大きく、該熱部分が前記微視的廃棄物群の除去の間に該回転するフロプテ ィカルディスクの凍結を防止する、 各ステップを具備した方法。
13. １３．前記気体がＣＯ２である請求項１２に記載の方法。
14. １４．前記角速度が約２０００ｒｐｍである請求項１２に記載の方法。
15. １５．前記チャックが少なくとも１インチ厚のアルミニウム組体である請求項１ ２に記載の方法。
16. １６．前記吹き付けの方向が、回転する前記表面に直交する面上で該回転する表 面に関して０°と９０°との間にあって、該吹き付けの方向が該回転に対向する 請求項１２に記載の方法。
17. １７．前記吹き付けの方向が、前記回転するフロプティカル媒体の前記表面に直 交する請求項１２に記載の方法。
18. １８．前記吹き付けの方向が、回転する前記表面に直交する面上で０°と９０° との間にあって、該吹き付けの方向が該回転と同一である請求項１２に記載の方 法。
19. １９．前記所定回数の操り返しが少なくとも数回である請求項１２に記載の方法 。
20. ２０．前記熱部分が外部熱源によつて補充される請求項１２に記載の方法。
21. ２１．前記ステップｃ）が、前記回転するフロプティカル媒体の近傍に低圧気体 を付与して、脱離された前記廃棄物群をさらに運ぶステップをさらに具備する請 求項１２に記載の方法。
22. ２２．エッチングの後にフロプティカル媒体から廃棄物群を除去する装置であつ て、 回転手段と、 前記回転手段に連結されて前記フロプティカル媒体を所定角速度で回転させるチ ャックであつて、該フロプティカル妹体のエッチングされた表面を該チャックか ら離れた側に配置し、熱部分を有するチャックと、 回転する前記フロプティカル媒体の前記エッチングされた表面の上方に調節可能 に配置されて、氷晶群を含有する低温気体を回転する該エッチングされた表面に 吹き付け、該氷晶群を該廃棄物群に衡突させて該廃棄物群を該回転するエッチン グされた表面から脱離させ、前記チャックの前記熱部分が該フロプティカル媒体 の熱部分より実質的に大きく、該熱部分が前記廃棄物群の除去の間に該回転する フロプティカル媒体の凍結を防止する吹き付け部、とを具備した装置。
23. ２３．前記気体がＣＯ２である請求項２２に記載の装置。
24. ２４．前記角速度が約２０００ｒｐｍである請求項２２に記載の装置。
25. ２５．前記チャックが少なくとも１インチ厚のアルミニウム組体である請求項２ ２に記載の装置。
26. ２６．前記吹き付け部が、回転する前記表面に直交する面上で０°と９０°との 間のノズルに配置され、該吹き付け部が該回転に対向する方向に吹き付ける請求 項２２に記載の装置。
27. ２７．前記吹き付け部が、前記回転するフロプティカル媒体の前記表面に直交す る方向に吹き付ける請求項２２に記載の装置。
28. ２８．前記吹き付け部が、回転する前記表面に直交する面上で０°と９０°との 間の角度に配置され、該吹き付け部が該回転と同一方向に吹き付ける請求項２２ に記載の装置。
29. ２９．前記フロプティカル媒体がフロプティカルディスクであり、前記吹き付け 部が任意半径の内側から外側へ横断して、少なくとも数回に亙って端ステッチに 前記気体を吹き付けることを可能にする請求項２７〜２９のいずれか１項に記載 の装置。
30. ３０．前記熱部分が外部熱源によって補充される請求項２２に記載の装置。
31. ３１．低圧源に接続されて前記回転するフロプティカル媒体の近傍に配置される 低圧手段であって、脱離された前記廃棄物群を該回転するフロプティカル媒体か ら該低圧手段の方へさらに運ぶ低圧手段と、 前記吹き付け部に接続されて前記回転するフロプティカル媒体の上方で所定軌道 を所定速度で横断させ、前記回転するエッチングされた表面に前記気体を所定回 数操り返して吹き付けさせる位置脚岐手段、 とをさらに具備する請求項２２に記載の装置。
32. ３２．レーザエッチングの後に微視的廃棄物群を除去する装置であって、 レーザエッチングによって形成されるステッチ群を備えるフロブティカルディス クであって、微視的廃棄物群が該ステッチ群内及び該フロプティカルディスクの 表面に残されるフロプティカルディスクと、 回転手段と、 前記回転手段に連結されて前記フロプティカルディスクを回転させるチャックで あって、前記ステッチ群を有する前記表面を該チャックから離れた側に配置し、 熱部分を有するチャックと、回転する前記フロプティカルディスクの前記ステッ チを有した表面の上方に調節可能に配置されて、氷晶群を含有する低温気体を、 回転する該ステッチを有した表面に関して所定角度で、該回転するステッチを有 した表面から所定距離で、かつ該ステッチを有した表面の回転方向に関して所定 方向へ、該表面に吹き付け、該氷晶群を該廃棄物群に衝突させて該廃棄物群を該 回転するステッチを有した表面から脱離させる吹き付け部と、 低圧源に接続されて前記回転するフロプティカルディスクの近傍に配置される低 圧手段であって、脱離された前記廃棄物群を該回転するフロプティカルディスク から該低圧手段の方へさらに運ぶ低圧手段と、 前記吹き付け部に接続されて前記回転するフロプティカルディスクの上方で所定 軌道を所定速度で該吹き付け部を横断させ、端ステッチに前記気体を所定回数操 り返して吹き付けさせる位置講殖手段、とを具備した装置。
33. ３３．前記気体がＣＯ２である請求項３２に記載の装置。
34. ３４．前記角速度が約２０００ｒｐｍである請求項３２に記載の装澄。
35. ３５．前記チャックが少なくとも１インチ厚のアルミニウム組体である請求項３ ２に記載の装置。
36. ３６．前記所定角度が、回転する前記表面に直交する面上で０。と９０°との間 であり、前記吹き付け部が前記回転するディスクの任意半径の面に直交して配置 され、前記所定方向が該回転に対向する方向である請求項３２に記載の装置。
37. ３７．前記所定角度が、前記回転するフロプティカルディスクの前記表面に直交 する請求項３２に記載の装置。
38. ３８．前記所定角度が、回転する前記表面に直交する面上で００と９０°との間 であり、前記吹き付け部が前記回転するディスクの任意半径の面に直交して配置 され、前記所定方向が該回転と同一方向である請求項３２に記載の装置。
39. ３９．前記所定回数の繰り返しが少なくとも数回である請求項３２に記載の装置 。
40. ４０．前記熱部分が外部熱源によって補充される請求項３２に記載の装置。