JP2000149300A - 光ヘッド装置 - Google Patents
光ヘッド装置Info
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- JP2000149300A JP2000149300A JP10318841A JP31884198A JP2000149300A JP 2000149300 A JP2000149300 A JP 2000149300A JP 10318841 A JP10318841 A JP 10318841A JP 31884198 A JP31884198 A JP 31884198A JP 2000149300 A JP2000149300 A JP 2000149300A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 近接場光を利用した高密度光メモリにおい
て、記録媒体の表面に付着した微小な塵埃を除去できる
光ヘッド装置を得る。 【解決手段】 カンチレバー３に支持された浮上スライ
ダ２に取り付けたヘッド５から近接場光を照射し、記録
媒体１に情報を記録／読取る光ヘッド装置。ヘッド５の
相対的な移動方向ａ’の前方であって記録媒体１の表面
に気体を吹き付けるノズル１１を設けた。ノズル１１か
ら吹き出される空気流ｙによって記録媒体１上に付着し
た塵埃を除去する。
て、記録媒体の表面に付着した微小な塵埃を除去できる
光ヘッド装置を得る。 【解決手段】 カンチレバー３に支持された浮上スライ
ダ２に取り付けたヘッド５から近接場光を照射し、記録
媒体１に情報を記録／読取る光ヘッド装置。ヘッド５の
相対的な移動方向ａ’の前方であって記録媒体１の表面
に気体を吹き付けるノズル１１を設けた。ノズル１１か
ら吹き出される空気流ｙによって記録媒体１上に付着し
た塵埃を除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ヘッド装置、特
に、光記録媒体への高密度光記録／読取りに用いられる
光ヘッド装置に関する。
に、光記録媒体への高密度光記録／読取りに用いられる
光ヘッド装置に関する。
【０００２】
【発明の背景】近年、光学的に情報を記録／読取りする
光メモリの分野においては、コンピュータの高速化やマ
ルチメディアの発達に伴い、より大容量の情報を記録で
きる、即ち、記録密度の著しく向上した装置が望まれ、
近接場光記録技術が提案されている。レーザ光を用いた
従来の光メモリにおいて、記録密度は光の回折限界で上
限が決まり、光の波長程度（数１００ｎｍ）のマークし
か記録／読取りができなかった。近年提案されている光
の近接場光現象を用いた光メモリでは、光の波長以下の
微小開口を有するファイバプローブやSolid Immersion
Lens（固浸レンズ）を用いて記録媒体（光ディスク）
に対して記録／読取り用の光を照射し、光ヘッドと記録
媒体との間隔を数１０ｎｍまで近づけることで、光の回
折限界を超えて数１０ｎｍという小さなマークを信号と
して書き込み、読み取ることが可能である。
光メモリの分野においては、コンピュータの高速化やマ
ルチメディアの発達に伴い、より大容量の情報を記録で
きる、即ち、記録密度の著しく向上した装置が望まれ、
近接場光記録技術が提案されている。レーザ光を用いた
従来の光メモリにおいて、記録密度は光の回折限界で上
限が決まり、光の波長程度（数１００ｎｍ）のマークし
か記録／読取りができなかった。近年提案されている光
の近接場光現象を用いた光メモリでは、光の波長以下の
微小開口を有するファイバプローブやSolid Immersion
Lens（固浸レンズ）を用いて記録媒体（光ディスク）
に対して記録／読取り用の光を照射し、光ヘッドと記録
媒体との間隔を数１０ｎｍまで近づけることで、光の回
折限界を超えて数１０ｎｍという小さなマークを信号と
して書き込み、読み取ることが可能である。
【０００３】ところで、前記近接場光を利用した記録／
読取り装置では、光ヘッドと記録媒体とのギャップが極
めて小さく、このギャップに異物が存在すると誤動作を
生じるおそれが高い。空気中に浮遊する塵埃には、煙
（平均的な直径は６．２５μｍ程度）から平均粒径が
０．１μｍ以下の微粒子まで存在する。
読取り装置では、光ヘッドと記録媒体とのギャップが極
めて小さく、このギャップに異物が存在すると誤動作を
生じるおそれが高い。空気中に浮遊する塵埃には、煙
（平均的な直径は６．２５μｍ程度）から平均粒径が
０．１μｍ以下の微粒子まで存在する。
【０００４】半導体の製造等に使用されるクリーンルー
ム用のエアーフィルタには、１０μｍ以下の塵埃を対象
とした電気集塵器用フィルタから、０．１μｍの塵埃を
９９．９９％以上捕集できる高性能エアーフィルタまで
用意されている。しかし、近接場光を利用した記録媒体
の記録ピットの大きさは数１０ｎｍであるため、この種
の高性能エアーフィルタをもってしても記録ピット相当
の大きさの塵埃を十分に除去することは困難である。
ム用のエアーフィルタには、１０μｍ以下の塵埃を対象
とした電気集塵器用フィルタから、０．１μｍの塵埃を
９９．９９％以上捕集できる高性能エアーフィルタまで
用意されている。しかし、近接場光を利用した記録媒体
の記録ピットの大きさは数１０ｎｍであるため、この種
の高性能エアーフィルタをもってしても記録ピット相当
の大きさの塵埃を十分に除去することは困難である。
【０００５】近接場光を利用した光ヘッドにあっては、
１個の塵埃が記録領域に付着しているだけでピットが完
全に覆われたり、塵埃がプローブと記録媒体の間に喰い
込んだりし、記録／読取り時に誤動作が生じる。光記録
方式では、記録ピットが光を通さない塵埃で覆われてし
まうと光がピットに到達せず、記録されている情報を読
み取ることが全く不可能となる。情報を記録する場合も
同様である。
１個の塵埃が記録領域に付着しているだけでピットが完
全に覆われたり、塵埃がプローブと記録媒体の間に喰い
込んだりし、記録／読取り時に誤動作が生じる。光記録
方式では、記録ピットが光を通さない塵埃で覆われてし
まうと光がピットに到達せず、記録されている情報を読
み取ることが全く不可能となる。情報を記録する場合も
同様である。
【０００６】
【従来の技術と課題】記録媒体は記録／読取り動作中は
高速で回転しているため、媒体表面に単に付着しただけ
の塵埃であれば、回転で生じる空気流で吹き飛ばされる
ことが多い。しかし、静電気力で付着している塵埃であ
ると記録媒体の回転による空気流では除去されない。従
来、近接場光を利用した光ヘッドに関する文献は種々あ
るが、記録媒体表面のクリーニングに言及したものは見
当らない。
高速で回転しているため、媒体表面に単に付着しただけ
の塵埃であれば、回転で生じる空気流で吹き飛ばされる
ことが多い。しかし、静電気力で付着している塵埃であ
ると記録媒体の回転による空気流では除去されない。従
来、近接場光を利用した光ヘッドに関する文献は種々あ
るが、記録媒体表面のクリーニングに言及したものは見
当らない。
【０００７】磁気ハードディスク装置に関して、特開平
１０−６９７５３号公報では、浄化空気を記録媒体表面
に誘導することを開示しているが、塵埃のクリーニング
にまでは言及していない。ウィンチェスタ型ハードディ
スク装置ではヘッドとディスクをクリーンルーム内に封
入することで、塵埃の進入を防止している。しかし、封
入してしまうとディスクの交換ができないというデメリ
ットが生じる。
１０−６９７５３号公報では、浄化空気を記録媒体表面
に誘導することを開示しているが、塵埃のクリーニング
にまでは言及していない。ウィンチェスタ型ハードディ
スク装置ではヘッドとディスクをクリーンルーム内に封
入することで、塵埃の進入を防止している。しかし、封
入してしまうとディスクの交換ができないというデメリ
ットが生じる。
【０００８】そこで、本発明の目的は、記録媒体表面に
付着した微小な塵埃を除去できる光ヘッド装置を提供す
ることにある。
付着した微小な塵埃を除去できる光ヘッド装置を提供す
ることにある。
【０００９】
【発明の構成、作用及び効果】以上の目的を達成するた
め、本発明は、ヘッドと記録媒体とを近接状態で相対的
に移動させ、ヘッドから出射される近接場光で記録媒体
に情報を記録し、あるいは記録されている情報を読み取
る光ヘッド装置において、前記ヘッドの相対的な移動方
向前方の記録媒体表面に気体を吹き付けるクリーニング
手段を備えている。
め、本発明は、ヘッドと記録媒体とを近接状態で相対的
に移動させ、ヘッドから出射される近接場光で記録媒体
に情報を記録し、あるいは記録されている情報を読み取
る光ヘッド装置において、前記ヘッドの相対的な移動方
向前方の記録媒体表面に気体を吹き付けるクリーニング
手段を備えている。
【００１０】本発明によれば、記録媒体表面に気体を吹
き付けることにより、媒体表面に付着した微小な塵埃が
除去され、記録／読取り時の誤動作や記録／読取り不能
といった不具合が解消される。特に、クリーニング手段
は気体を吹き付ける非接触式であるため、記録媒体が損
傷、摩耗することがなく、結露による水滴除去にも効果
を発揮する。また、記録媒体を回転させる駆動エネルギ
ーを利用して気体を吹き付ければ、給気機構を新たに設
ける必要がなくなったり、給気機構の負担を軽減するこ
とができる。
き付けることにより、媒体表面に付着した微小な塵埃が
除去され、記録／読取り時の誤動作や記録／読取り不能
といった不具合が解消される。特に、クリーニング手段
は気体を吹き付ける非接触式であるため、記録媒体が損
傷、摩耗することがなく、結露による水滴除去にも効果
を発揮する。また、記録媒体を回転させる駆動エネルギ
ーを利用して気体を吹き付ければ、給気機構を新たに設
ける必要がなくなったり、給気機構の負担を軽減するこ
とができる。
【００１１】吹き付ける気体としては、窒素やアルゴン
等の不活性ガスでもよいが、空気を用いればガスタンク
が不要であり、装置をコンパクトに構成できる。イオン
化された空気を吹き付ければ、塵埃に帯電した静電気が
中和され、塵埃除去効果が向上する。また、気体の吹出
し口と吸気口を互いに対向させて配置すれば、気体の流
れがスムーズになり、かつ、吹き飛ばされた塵埃の多く
が吸気口から装置外へ排出されることになり、除去効果
が向上する。
等の不活性ガスでもよいが、空気を用いればガスタンク
が不要であり、装置をコンパクトに構成できる。イオン
化された空気を吹き付ければ、塵埃に帯電した静電気が
中和され、塵埃除去効果が向上する。また、気体の吹出
し口と吸気口を互いに対向させて配置すれば、気体の流
れがスムーズになり、かつ、吹き飛ばされた塵埃の多く
が吸気口から装置外へ排出されることになり、除去効果
が向上する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光ヘッド装置
の実施形態について添付図面を参照して説明する。
の実施形態について添付図面を参照して説明する。
【００１３】（第１実施形態、図１、図２参照）図１に
おいて、１は記録媒体、２は浮上スライダ、５はヘッ
ド、１１は吹付けノズルである。記録媒体１は周知のも
ので、所定の速度で回転駆動され、図１においてその移
動方向を矢印ａで示す。浮上スライダ２はカンチレバー
３の先端に保持され、空気膜循環原理に基づく空気浮上
方式で記録媒体１の表面に対して所定のギャップを保っ
て浮上する。
おいて、１は記録媒体、２は浮上スライダ、５はヘッ
ド、１１は吹付けノズルである。記録媒体１は周知のも
ので、所定の速度で回転駆動され、図１においてその移
動方向を矢印ａで示す。浮上スライダ２はカンチレバー
３の先端に保持され、空気膜循環原理に基づく空気浮上
方式で記録媒体１の表面に対して所定のギャップを保っ
て浮上する。
【００１４】ヘッド５は、図２に示すように、光検出器
６と半導体レーザ７と近接場光を発生させる微小開口８
とを集積化した周知のもので、浮上スライダ２に取り付
けられている。スライダ２及びヘッド５は記録媒体１の
移動方向ａに対しては静止状態にあり、相対的には矢印
ａ’方向に移動することになる。
６と半導体レーザ７と近接場光を発生させる微小開口８
とを集積化した周知のもので、浮上スライダ２に取り付
けられている。スライダ２及びヘッド５は記録媒体１の
移動方向ａに対しては静止状態にあり、相対的には矢印
ａ’方向に移動することになる。
【００１５】吹付けノズル１１はスライダ２の真上に配
置され、開口１１ａから０．０５ｍ 3／ｍｉｎの空気流
ｙを、記録媒体１の表面であってヘッド５の相対的な移
動方向ａ’の前方に、斜め下方に向けて吹き付ける。開
口１１ａは媒体表面に平行な横長形状であり、横方向に
４ｍｍ、縦方向に２ｍｍの大きさとされている。
置され、開口１１ａから０．０５ｍ 3／ｍｉｎの空気流
ｙを、記録媒体１の表面であってヘッド５の相対的な移
動方向ａ’の前方に、斜め下方に向けて吹き付ける。開
口１１ａは媒体表面に平行な横長形状であり、横方向に
４ｍｍ、縦方向に２ｍｍの大きさとされている。
【００１６】気体の供給は、例えばオリエンタルモータ
社製のファンＭＤＳＳ１０−１２（最大風量０．２７ｍ
3／ｍｉｎ）を用いて外気を吸引し、図示しないチュー
ブを通じてノズル１１へ導く。気体はチューブ内で流路
面積が減少するので背圧が大きくなる。従って、気体の
一部をチューブから逃がしながらノズル１１へ導くこと
になる。このノズル１１から吹き出された空気流ｙは記
録媒体１に付着した塵埃を吹き飛ばす。なお、ノズル１
１の吸込み側には塵埃を除去するエアーフィルタが設置
されている。
社製のファンＭＤＳＳ１０−１２（最大風量０．２７ｍ
3／ｍｉｎ）を用いて外気を吸引し、図示しないチュー
ブを通じてノズル１１へ導く。気体はチューブ内で流路
面積が減少するので背圧が大きくなる。従って、気体の
一部をチューブから逃がしながらノズル１１へ導くこと
になる。このノズル１１から吹き出された空気流ｙは記
録媒体１に付着した塵埃を吹き飛ばす。なお、ノズル１
１の吸込み側には塵埃を除去するエアーフィルタが設置
されている。
【００１７】前記ノズル１１は媒体表面と約１ｍｍのギ
ャップに設定される。従って、ヘッド５のように精密な
ギャップ制御は不要であるが、少なくとも媒体表面に衝
突しないための制御は必要である。そのためには、記録
媒体１の面ぶれを検知するセンサからの信号に応じて、
ノズル１１を退避させる移動機構を設ければよい。
ャップに設定される。従って、ヘッド５のように精密な
ギャップ制御は不要であるが、少なくとも媒体表面に衝
突しないための制御は必要である。そのためには、記録
媒体１の面ぶれを検知するセンサからの信号に応じて、
ノズル１１を退避させる移動機構を設ければよい。
【００１８】ノズル１１から給気する気体は空気に限ら
ず、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスであっても
よい。紫外線を照射する等の方法でイオン化されたガス
を給気すれば、塵埃の帯電電荷が中和されるので、媒体
表面に静電的に吸着している塵埃も空気流ｙで容易に除
去される。
ず、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスであっても
よい。紫外線を照射する等の方法でイオン化されたガス
を給気すれば、塵埃の帯電電荷が中和されるので、媒体
表面に静電的に吸着している塵埃も空気流ｙで容易に除
去される。
【００１９】空気流ｙの方向に関しては、本第１実施形
態では、記録媒体１の移動方向ａに対して１８０°対向
する方向に設定した。気体の吹き出しは記録媒体１の回
転時に行われるので、このような設定によれば記録媒体
１の回転力を気体供給エネルギーに利用することができ
る。但し、空気流ｙと媒体移動方向ａとの関係は任意で
あり、９０°の角度で移動方向ａに対して直交方向に吹
き付けてもよい。
態では、記録媒体１の移動方向ａに対して１８０°対向
する方向に設定した。気体の吹き出しは記録媒体１の回
転時に行われるので、このような設定によれば記録媒体
１の回転力を気体供給エネルギーに利用することができ
る。但し、空気流ｙと媒体移動方向ａとの関係は任意で
あり、９０°の角度で移動方向ａに対して直交方向に吹
き付けてもよい。
【００２０】（第２実施形態、図３参照）本第２実施形
態は、光ファイバ２０の先端コア部を尖らせて近接場光
が発生する微小開口を形成し、プローブ２１を構成した
光ヘッド装置に、吹付けノズル１１及び吸気ダクト１２
を設けたものである。
態は、光ファイバ２０の先端コア部を尖らせて近接場光
が発生する微小開口を形成し、プローブ２１を構成した
光ヘッド装置に、吹付けノズル１１及び吸気ダクト１２
を設けたものである。
【００２１】光ファイバ２０の後端には半導体レーザと
光検出器とからなる光源ユニット２２が接続されてい
る。また、プローブ２１は保持具２３を介してプローブ
駆動機構２４に取り付けられている。この駆動機構２４
はピエゾ素子を駆動源とする周知のシェアフォース方式
でプローブ２１を記録媒体１の表面に対して所定のギャ
ップを保持するようにＺ軸方向に駆動する。プローブ２
１の周囲には、プローブ２１の振動に基づいてシェアフ
ォース力を検出するためのデバイス、即ち、レーザ光照
射ユニット２５と光検出ユニット２６とが配置されてい
る。
光検出器とからなる光源ユニット２２が接続されてい
る。また、プローブ２１は保持具２３を介してプローブ
駆動機構２４に取り付けられている。この駆動機構２４
はピエゾ素子を駆動源とする周知のシェアフォース方式
でプローブ２１を記録媒体１の表面に対して所定のギャ
ップを保持するようにＺ軸方向に駆動する。プローブ２
１の周囲には、プローブ２１の振動に基づいてシェアフ
ォース力を検出するためのデバイス、即ち、レーザ光照
射ユニット２５と光検出ユニット２６とが配置されてい
る。
【００２２】吹付けノズル１１と吸気ダクト１２は、図
３（Ｂ）に示すように、空気流ｙがプローブ２１の相対
的移動方向ａ’の前方であって記録媒体１の回転移動方
向ａとは直交する方向に媒体表面を流れるように配置さ
れている。吹付けノズル１１の開口１１ａは横方向に５
ｍｍ、縦方向に３ｍｍであり、媒体表面に空気流ｙを斜
め下方に向けて吹き付ける。気体の供給は前記ＭＤＳＳ
１０−１２を用いて行う。
３（Ｂ）に示すように、空気流ｙがプローブ２１の相対
的移動方向ａ’の前方であって記録媒体１の回転移動方
向ａとは直交する方向に媒体表面を流れるように配置さ
れている。吹付けノズル１１の開口１１ａは横方向に５
ｍｍ、縦方向に３ｍｍであり、媒体表面に空気流ｙを斜
め下方に向けて吹き付ける。気体の供給は前記ＭＤＳＳ
１０−１２を用いて行う。
【００２３】吸気ダクト１２は吸気用開口１２ａをノズ
ル１１の開口１１ａと所定間隔で対向するように配置さ
れている。ノズル１１から吹き出される空気流ｙは記録
媒体１に付着した塵埃を吹き飛ばし、飛ばされた塵埃の
大部分は吸気ダクト１２に吸引される。この吸気ダクト
１２にもノズル１１と同じファンが設置されているが、
開口１２ａを開口１１ａよりも大きくすることで吸引風
量を確保している。
ル１１の開口１１ａと所定間隔で対向するように配置さ
れている。ノズル１１から吹き出される空気流ｙは記録
媒体１に付着した塵埃を吹き飛ばし、飛ばされた塵埃の
大部分は吸気ダクト１２に吸引される。この吸気ダクト
１２にもノズル１１と同じファンが設置されているが、
開口１２ａを開口１１ａよりも大きくすることで吸引風
量を確保している。
【００２４】本発明においては、ヘッドの近辺に塵埃除
去用の気体が供給されるため、記録媒体上の空気層が乱
され、空気浮上方式ではヘッドに悪影響を及ぼす可能性
がある。しかし、本第２実施形態のようにプローブ駆動
機構２４を備えれば空気流ｙによる悪影響を排除でき
る。
去用の気体が供給されるため、記録媒体上の空気層が乱
され、空気浮上方式ではヘッドに悪影響を及ぼす可能性
がある。しかし、本第２実施形態のようにプローブ駆動
機構２４を備えれば空気流ｙによる悪影響を排除でき
る。
【００２５】また、ノズル１１及び吸気ダクト１２の媒
体表面への衝突防止機構に関して、あるいは供給する気
体の種類、イオン化することによる効果は前記第１実施
形態で説明したとおりである。
体表面への衝突防止機構に関して、あるいは供給する気
体の種類、イオン化することによる効果は前記第１実施
形態で説明したとおりである。
【００２６】（他の実施形態）なお、本発明に係る光ヘ
ッド装置は前記実施形態に限定するものではなく、その
要旨の範囲内で種々に変更することができる。特に、近
接場光を発生させる手段としては前記ヘッド５や光ファ
イバ２０以外に、固浸レンズ等種々の近接場光発生手段
を用いることができる。また、ヘッド自体の構成やその
支持機構は任意である。
ッド装置は前記実施形態に限定するものではなく、その
要旨の範囲内で種々に変更することができる。特に、近
接場光を発生させる手段としては前記ヘッド５や光ファ
イバ２０以外に、固浸レンズ等種々の近接場光発生手段
を用いることができる。また、ヘッド自体の構成やその
支持機構は任意である。
【図１】本発明の第１実施形態である光ヘッド装置の概
略を示し、（Ａ）はノズルを正面から見た立面図、
（Ｂ）はノズルを側面から見た立面図。
略を示し、（Ａ）はノズルを正面から見た立面図、
（Ｂ）はノズルを側面から見た立面図。
【図２】前記光ヘッド装置のヘッドを示す正面図。
【図３】本発明の第２実施形態である光ヘッド装置の概
略を示し，（Ａ）は立面図、（Ｂ）は平面図。
略を示し，（Ａ）は立面図、（Ｂ）は平面図。
１…記録媒体 ２…浮上スライダ ５…ヘッド １１…吹付けノズル １２…吸気ダクト ２０…光ファイバ ２１…プローブ ｙ…空気流
Claims (3)
- 【請求項１】 ヘッドと記録媒体とを近接状態で相対的
に移動させ、ヘッドから出射される近接場光で記録媒体
に情報を記録し、あるいは記録されている情報を読み取
る光ヘッド装置において、 前記ヘッドの相対的な移動方向前方の記録媒体表面に気
体を吹き付けるクリーニング手段を備えたことを特徴と
する光ヘッド装置。 - 【請求項２】 前記クリーニング手段から吹き付ける気
体はイオン化された空気であることを特徴とする請求項
１記載の光ヘッド装置。 - 【請求項３】 前記クリーニング手段は、互いに対向す
る吹出し口と吸気口とを有することを特徴とする請求項
１又は請求項２記載の光ヘッド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10318841A JP2000149300A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | 光ヘッド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10318841A JP2000149300A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | 光ヘッド装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000149300A true JP2000149300A (ja) | 2000-05-30 |
Family
ID=18103564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10318841A Pending JP2000149300A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | 光ヘッド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000149300A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030065899A (ko) * | 2002-02-01 | 2003-08-09 | 엘지전자 주식회사 | 근접장용 광디스크의 오염제거방법 |
| KR100438569B1 (ko) * | 2000-12-28 | 2004-07-02 | 엘지전자 주식회사 | 근접장용 광헤드의 오염 방지 장치 |
-
1998
- 1998-11-10 JP JP10318841A patent/JP2000149300A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100438569B1 (ko) * | 2000-12-28 | 2004-07-02 | 엘지전자 주식회사 | 근접장용 광헤드의 오염 방지 장치 |
| KR20030065899A (ko) * | 2002-02-01 | 2003-08-09 | 엘지전자 주식회사 | 근접장용 광디스크의 오염제거방법 |
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