JPH0750856Y2

JPH0750856Y2 - 真空処理装置

Info

Publication number: JPH0750856Y2
Application number: JP1985004956U
Authority: JP
Inventors: 達彦吉田
Original assignee: 日電アネルバ株式会社
Priority date: 1985-01-18
Filing date: 1985-01-18
Publication date: 1995-11-15
Anticipated expiration: 2000-01-18
Also published as: JPS61123656U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は半導体諸装置の製造装置等の真空処理装置に関
し、特に真空室の内部に機器の駆動源として使用される
真空用電動モータを配置した真空処理装置の構成に関す
る。

（従来技術とその問題点）従来これら真空処理装置の真空室内において電力を用い
た回転駆動、揺動駆動などを利用するためには、（ｉ）
真空室外（大気）より真空シールを介して真空室内へ回
転等の駆動運動を導入することが行われてきた。また、
（ii）真空室内に特に真空用に開発された専用の特殊モ
ータを設置しその駆動運動を利用する方法も考えられ
る。しかるに、（ｉ）の従来の方法では、真空室が大き
い場合や真空室内に設置された機器の数が多い場合に
は、目的の場所に駆動運動を伝達するための機構が長大
になり、とかく複雑になる欠点があった。また（ii）の
新たな方法ではこの専用の特殊モータがその回転子，固
定子，巻線等を直接真空空間に曝すものであるため、大
気中で使用される一般のモータと比較して放熱が悪く、
発熱に起因した故障を生じ易く、連続使用が出来なかっ
たり寿命が短くなったりするという欠点があると考えら
れる。また、反応性ガスを使用する真空処理装置の中で
この特殊モータを駆動源として使用した場合には、モー
タの構成物が密閉容器内の反応性ガスや反応生成物に直
接接することになるため、その影響でモータの寿命が一
段と短くなる欠点があると考えられる。

（考案の目的）本考案は上記の問題を解決して真空処理装置を小型化，
簡潔化し、長時間の連続使用に耐えるようにすることを
目的とする。

（考案の構成）本考案は、真空室と、この真空室内に配置され内部に10
0torr以上の空気又は不活性ガスが封入された密閉容器
と、この密閉容器内に収容されるとともに容器外に出力
軸を貫通させて真空室内に運動を導出する電動モータ
と、この電動モータの出力軸の貫通部分を気密封止する
封止機構とを備えたことによって前記目的を達成したも
のである。

（実施例）第１図は、本考案の実施例であって、図示しない壁によ
って形成された真空室と、この真空室内に配置される密
封容器２及びこの密封容器２に収納された電動モータ１
からなる電動モータユニットと、封止機構４とから構成
されている。

電動モータ１は、大気中で使用される通常の電動モータ
と同一仕様で作られた、同一機能の電動モータである。

また、密閉容器２は、周囲の真空雰囲気に対して真空シ
ールされたものであり、内部には大気圧の大気または不
活性ガス例えばHe,Ar,N₂ガス（６）が充填されている。

電動モータ１の出力軸３は、密閉容器２に貫通した状態
で密閉容器２の外の真空雰囲気に先端が露出している。
この出力軸３の貫通部分には、磁性流体を用いた封止機
構４が設けられ、気密を保持している。

この密閉容器２は、真空室内の必要場所にセットされて
おり、電動モータ１には密閉容器２の壁を気密に貫通
（５）する電力線を結線されている。この結果、この電
動モータ１を制御して回転させることにより、真空室内
に出力軸３を介して回転駆動運動を取出すことができる
ようになっている。

本実施例の真空処理装置においては、真空用電動モータ
が上記のような構造で真空室内に配置されているから、
充分な放熱効果をもち、大気中と同様の連続運転が可能
であって、前記の特殊モータに比して可成り小型化でき
る。かつこの電動モータユニットは真空室内の自由な位
置にセット可能であり、真空処理装置を小型化，簡潔化
する効果が著しい。電動モータ１の選択条件は、真空処
理装置のガス条件にまったく左右されず、反応性ガスの
雰囲気においても電動モータ１自身は大気中で使用する
のとなんら変わることなく使用できる長所もある。即
ち、真空用の特殊な電動モータを採用する必要は全く無
く、通常の電動モータを適宜選択して使用することがで
きる。

また、電動モータ１の熱は、密閉容器２内の空気または
不活性ガスに伝えられ、さらに空気または不活性ガスの
対流によって密閉容器２の壁に伝えられる。一方、密閉
容器２の周囲は真空雰囲気であるので、密閉容器２の熱
は専ら輻射によってその外側の真空室の壁に伝えられ放
熱される。また、密閉容器２の表面積は電動モータ１の
表面積よりも大きいため、密閉容器２を用いた場合の方
が電動モータ１のみの場合に比べ輻射による熱伝導効率
は高い。従って、真空室内に電動モータ１を配置しつつ
も、高い放熱効率を得ることができる。このため、電動
モータ１の発熱に起因した故障が少なく、また、連続使
用が可能で寿命の長い電動モータユニットとなる。

さらに、真空室の内部で反応性ガスが使用される場合で
あっても、電動モータ１が密閉容器２内に収容されてい
るため、反応性ガスや反応生成物との接触によるモータ
の寿命低下の問題はない。また逆に、電動モータ１から
潤滑材等の揮発物が漏出する場合、密閉容器２が無いと
真空室内の雰囲気の汚損に直結するが、密閉容器２があ
るため、このような雰囲気の汚損もまた防止されてい
る。

なお、実施例では、出力軸３の貫通部分の封止機構４と
して磁性流体を用いるものを示したが、磁性流体以外に
もＯリングシール、オイルシール、ベローズシールなど
を用いるなどが可能である。

また、実施例では密閉容器２内のガス圧力を大気圧に保
つものを示したが、ガス圧力は100torr以上であれば、
放熱効果は充分であることが実験によって確かめられて
いる。

また、実施例には出力軸３の回転を密閉容器２から真空
雰囲気中に導出するものをかかげたが、本考案の真空処
理装置では、揺動運動，往復運動などの駆動運動を取出
すこともできる。

（考案の効果）本考案の真空処理装置は、電動モータを真空室の内部に
配置しているため、装置全体が小型化，簡潔化し、真空
用電動モータの長時間連続使用および長寿命化が可能な
ため、装置の信頼性，安定性が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例の側面図である。１……電動モータ。２……密閉容器。３……出力軸。４
……封止機構。６……ガス。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】真空室と、この真空室内に配置され内部に
100torr以上の空気又は不活性ガスが封入された密閉容
器と、この密閉容器内に収容されるとともに容器外に出
力軸を貫通させて真空室内に運動を導出する電動モータ
と、この電動モータの出力軸の貫通部分を気密封止する
封止機構とを備えたことを特徴とする真空処理装置。