CN2242541Y - 一种用于真空室中的电机转动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种机械转动装置，特别是用于真空室内的转动装置。本实用新型为了提供一种体积小、造价低、密封性好，可在真空室内任意取向安装的转动装置。它是由电机安装在密封外壳中，并充以干燥空气或氮气，磁耦合件与电机的转动轴联接，磁耦合件的另一端与转动件的软铁材料做的一端相联，转动件另一端为转轴，密封绝缘电极固定在密封外壳上组成。

Description

一种用于真空室中的电机转动装置

本实用新型涉及一种机械转动装置，特别是用于真空室中的电动的转动装置。

在真空室内置入转动或平动机构是真空技术中常见的不可避免的技术问题，但是若电机直接放入真空室内则存在以下缺点：

1.电机绕组会放气，从而使真空度下降；

2.电机在真空环境工作往往出现异常，以至不能工作。

通常解决的方法是将电机置于真空室外，然后通过以下方法将转动耦合进去：

1.橡皮圈密封轴的方法

2.波纹管耦合法

3.磁耦合法

4.磁流体轴承法

用上述方法中的橡皮圈密封轴法成本最低，但是很容易漏气，只适于简单的低真空条件使用；波纹管耦合法可以获得高真空，但是由于波纹管机械扭动容易损坏而限制了其使用寿命，而另外二种耦合方法虽然密封性好，寿命长，但是成本昂贵、结构复杂，体积庞大。此外以上四种转动耦合方法都存在一个共同的缺点：即所有转动都是通过长传动杆从外面耦合进真空室，造成空间取向不方便。这些结构参见RIBER公司激光制膜产品说明书：LDM32 The LASER DEPOSITION MACHINE

图1是本实用新型的示意图。

本实用新型是这样完成的：图1中(1)是密封外壳，内充干燥空气或氮气，电机就被密封安装于其中。密封外壳前部是薄壁园筒，壁厚在40m至2mm之间选取；(2)是电机，它可以是任何所需的交流或直流马达；(3)是磁耦合件，它与电机的转动轴联接，电机的转动通过磁耦合器传至密封壳外的转动件(4)上；(4)是转动件，其一端为软磁材料制成，形状如图1所示，另一端为转轴；(5)是两个密封绝缘电极，它固定于密封外壳(1)上，它们与外壳(1)电绝缘，而且与密封外壳(1)联接是气密封的，这样的联接方式有二种即如图2所示的陶瓷绝缘电极与外壳(1)用银焊接；或者是如图3所示的螺钉—橡皮圈密封联接方式。

当电流从电极(5)流入电机(2)的绕组时，电机便带动磁耦器转动。磁耦合器的永磁体便通过磁力带动转动件(4)转动，因为避免了现在常用的各种耦合方式中所用的长传动杆，因而体积大大缩小，又因为被外壳密封住的电机是处于干燥空气或氮气环境下工作，从而不仅电机绕组放气不会影响真空室中的真空度而且电机工作也不会出现异常。

本实用新型在大容积高真空度的装置上有独具的优点，与现在常用的磁耦合，波纹管耦合或其它耦合传动结构相比。省掉了较长传动杆，可以在真空室内任意位置，按任意方位安装。

下面结合附图1-3和实施例对本实用新型进行详细的说明；

图1是本实用新型的示意图

图2是本实用新型的第一种结构图

图3是本实用新型的第二种结构图

图中1-密封外壳         2-电机

    3-磁耦合器         4-转动部件

    5-密封绝缘电极     6-转轴支撑件

    7-滚珠轴承         8-盖板

    9-电极螺母         10-电极

    11-绝缘垫          12-密封圈

    13-螺钉            14-螺母

    15-螺钉            16-密封圈

实施例1

如图2所示，(1)为密封外壳，用无磁不锈钢制成，其前端变成壁厚0.5mm的园筒，内充一个大气压的干燥空气；(2)是10W220V交流电机；(3)是磁耦合器，所用永磁材料为钕铁硼，它固定于电机转轴上；(4)是转动件，其上部是软铁制成，下部属转轴，电机转动通过磁耦合器传到转动件；(5)是绝缘密封电极；两个这样的电极用银焊接在外壳(1)上，电极的电源引线从外壳外部接于其上，在外壳内部这两个电极与电机电源引线相连；(6)是转轴支撑件；(7)是滚珠轴承。实验时整个装置放置于真空度在10^-1-10^-7Pa之间可控的真空室内。实验证明本实用新型可以全天24小时工作对真空室之真空度无任何影响，整个装置运转状态良好。

实施例2

整个装置按图3制成。(1)是外壳用无磁不锈钢制成，其上部敞开，加一盖板(8)。它也用无磁不锈钢制成，它与外壳通过氟橡皮圈(16)和螺钉(13)与外壳(1)联接；电极00)通过氟橡胶密封圈(12)和螺母(9)固定于盖板(8)上；电机(2)是6V3W直流电机，磁耦合器(3)用永磁材料是钕铁硼硬磁材料，转动件(4)其上部用软铁(工业纯铁)制成，其下端为转轴。当电机带动磁耦合器转动时，转动件(4)就跟着转动，转轴支撑件(6)是转动件(4)的支撑，它通过螺钉(15)及镙母(14)与外壳(1)联接滚珠轴承(7)。

实验时将此装置安装于真空度在10^-1至10^-7Pa可变的真空室内，实验证明本实用新型可以全天24小时工作，对真空室的真空度无任何影响，整个装置运转状态良好。

实施例3

装置按图2结构制造，其中密封外壳(1)和支撑件(6)用黄铜制成：磁耦合器件(3)的永磁材料用铁氧体制成，其余元件与实施例1相同。将此装置安装于真空度在10^-1至10^-4可调的真空室内，重复实施例1。实验结果与实施例1相同。

Claims (2)

1.一种由电机(2)、磁耦合件(3)组成的真空室内的电动转动装置，其特征在于：还包括一个前部是薄壁园筒的密封外壳(1)、转动件(4)、密封绝缘电极(5)，电机(2)安装在密封外壳(1)中，并充以干燥空气或氮气，磁耦合件(3)与电机(2)的转动轴联接，磁耦合件(3)的另一端与转动件(4)的软铁材料做的一端相联，转动件(4)另一端为转轴，密封绝缘电极(5)固定在密封外壳(1)上。

2.按权利要求1所述的用于真空室内的电机转动装置，其特征在于：密封绝缘电极(5)与密封外壳(1)固定用银焊接，或用螺钉——橡皮圈密封联接。

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