JPH074930U - 磁性流体シール装置付転がり軸受ユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ポールピース５、５の位置ずれ防止を図ると共
に、シャフト１とハウジング２との位置関係を正確に規
制する。 【構成】転がり軸受３、３の外輪９、９の間にスペーサ
１９ａ、１９ｂとポールピース５、５と永久磁石４とを
挟持して、軸力伝達手段１８を構成する。皿ばね２４の
弾力により、上記各転がり軸受３、３に予圧を付与す
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案に係る磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットは、例えば半導体製 造装置や産業機械に組み込んで、回転軸（シャフト）をケースの壁部に回転自在 に支持すると共に、この回転軸が上記壁部を挿通する部分の気密保持を確実に図 る為に利用する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば半導体製造装置の場合、内部を真空にしたケース内に設けた装置を、こ のケース外に設けたモータにより駆動する必要がある。従って、このモータによ り回転させられるシャフトを、上記ケースの壁面を貫通した状態で配置するが、 上記シャフトをケースの壁部に回転自在に支持すると共に、この壁部を貫通する 部分の気密保持を確実に図る必要がある。この様な事情に鑑みて従来から、図１ １に示す様な磁性流体シール装置付転がり軸受が知られている。

【０００３】 この磁性流体シール装置付転がり軸受は、円筒形の外周面を有するシャフト１ を、このシャフト１と同心に配置されたハウジング２の内側に、１対の転がり軸 受３、３により回転自在に支持している。上記ハウジング２は、アルミニウム合 金等の非磁性材により円筒形に造られている。このハウジング２は、図示しない ケースの壁面に設けた通孔の内側に、この通孔の内周縁との間の気密を保持した 状態で支持固定する。

【０００４】 上記ハウジング２の外周面と上記シャフト１の内周面との間には、永久磁石ユ ニットである永久磁石４と、１対のポールピース５、５と、磁性流体６、６とを 備えた磁性流体シール装置７を組み付けている。上記永久磁石４は、円輪状に形 成されて軸方向（図１１の左右方向）に亙り着磁されており、上記ハウジング２ の内周面に支持されている。この永久磁石４の両端面には、それぞれ磁性材製の ポールピース５、５を添設している。そして、各ポールピース５、５の内周縁と 上記シャフト１の外周面との間の微小隙間にそれぞれ磁性流体６、６を、上記永 久磁石４の磁力に基づいて保持している。上記各ポールピース５、５の外周縁と 上記ハウジング２の内周面との気密保持は、各ポールピース５、５の外周縁の係 止溝内に装着したＯリング１０、１０により保持している。

【０００５】 上記各微小隙間に磁性流体６、６を保持する必要上、上記シャフト１の一部外 周面で、上記各ポールピース５、５の内周縁と対向する部分は磁性材製とする必 要がある。この為に図１１の例では、シャフト１全体を磁性材製としているが、 シャフト１自体は非磁性材製とし、このシャフト１に磁性材製で円筒状のスリー ブを外嵌する場合もある。

【０００６】 又、上記ハウジング２の内周面で、上記磁性流体シール装置７を挟む位置には 、１対のスペーサ８ａ、８ｂを設けている。前記１対の転がり軸受３、３を構成 する外輪９、９は、更にこのスペーサ８ａ、８ｂを挟む位置で、上記ハウジング ２の内周面に内嵌固定している。従来構造の場合、上記１対のスペーサ８ａ、８ ｂと永久磁石４とポールピース５、５との厚さ寸法の合計は、上記外輪９、９の 端面同士の間隔よりも少し小さくしている。従って、例えばスペーサ８ａと外輪 ９の端面との間には隙間１１が存在する。

【０００７】 前記１対の転がり軸受３、３への予圧付与は、上記ハウジング２の一端（図１ １の右端）開口部に螺着した抑えナット１２の緊締により行なっている。即ち、 この抑えナット１２から一方（図１１の右方）の転がり軸受３の外輪９に加えら れた、図１１で左方向のスラスト荷重は、この転がり軸受３を構成する転動体１ ３（玉）及び内輪１４、上記シャフト１の外輪に止着したストップリング１５ａ を介して、このシャフト１に伝達される。更にこのスラスト荷重は、上記シャフ ト１の外周面に止着した別のストップリング１５ｂを介して、他方（図１１の左 方）の転がり軸受３を構成する内輪１４に伝達される。

【０００８】 上記抑えナット１２の緊締に基づくスラスト荷重が、上述の様に伝わる為、上 記一方の転がり軸受３は抑えナット１２とストップリング１５ａとの間で、上記 他方の転がり軸受３は上記ストップリング１５ｂとハウジング２の他端開口部内 周縁に形成した内向フランジ部１６との間で、それぞれ挟持されて、上記スラス ト荷重に見合った予圧が付与される。

【０００９】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、上述の様に構成される従来の磁性流体シール装置付転がり軸受ユニ ットの場合、次のの様な、解決すべき問題がある。

【００１０】 磁性流体シール装置７の性能維持が不完全となる可能性を否定出来ない。即ち 、隙間１１の存在に基づき、磁性流体シール装置７を構成するポールピース５、 ５がシャフト１の軸方向（図１１の左右方向）にずれ動く可能性がある。そして 、ずれ動いた場合には、永久磁石４の磁力による磁性流体６、６の保持力が低下 し、この磁性流体が上記ポールピース５、５の内周縁から離れて、周囲に散逸す る恐れがある。磁性流体６、６の散逸は、磁性流体シール装置７のシール性能を 阻却するだけでなく、この磁性流体シール装置７によって外部と隔てられた清浄 空間を汚染する原因となる為、好ましくない。

【００１１】 ハウジング２端面からのシャフト１の突出量Ｌを厳密に規制する事が難しい。 即ち、この突出量Ｌは、基本的には上記ハウジング２とシャフト１との軸方向に 亙る寸法で定まるが、抑えナット１２の緊締に伴なう、転がり軸受３、３への予 圧付与により、僅かとは言え変化する事が避けられない。しかも、この様な予圧 付与に基づく変化量を正確に予測する事は難しい為、予圧付与を完了した時点で の上記突出量Ｌを、μｍ単位まで厳密に規制する事は難しい。

【００１２】 仮に、この突出量Ｌを厳密に規制する必要があれば、図１２に示す様に、ハウ ジング２端部に形成した内向フランジ部１６の内側面と、この内向フランジ部１ ６に対向する外輪９の端面との間にスペーサ１７を挟持する事が考えられる。こ のスペーサ１７の厚さ寸法ｔを調節すれば、上記突出量Ｌを厳密に規制できる。 ところが、所望の突出量Ｌを得る為のスペーサ１７の厚さ寸法ｔは、上記転がり 軸受３、３への予圧付与を行なった後でなければ知る事ができない。従って、ス ペーサ１７により上記突出量Ｌを厳密に規制する為には、磁性流体シール装置付 転がり軸受ユニットを一度組み立てた後分解し、所定の厚さ寸法ｔを有するスペ ーサ１７を組み付けた状態で、再び組立作業を行なわなければならず、磁性流体 シール装置付転がり軸受ユニットの組立作業が面倒になる。

【００１３】 本考案の磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットは、上述の様な事情に鑑み て考案したものである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】

本考案の磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットは、前述した従来の磁性流 体シール装置付転がり軸受ユニットと同様に、少なくとも表面を磁性材により覆 われた円筒形の外周面を有するシャフトと、円筒形の内周面を有し、このシャフ トと同心に配置されたハウジングと、上記外周面と内周面との間に設けられた磁 性流体シール装置と、この磁性流体シール装置を挟む軸方向に離隔した２個所位 置で、上記外周面と内周面との間に設けられた少なくとも１対の転がり軸受とを 備えている。そして、上記磁性流体シール装置は、軸方向に着磁された永久磁石 を含む永久磁石ユニットと、この永久磁石ユニットに添設された磁性材製のポー ルピースと、磁性流体とから成る。又、この磁性流体は、上記ポールピースの内 周縁と、上記外周面との間の微小隙間に、上記永久磁石の磁力に基づいて保持さ れるものである。更に、上記１対の転がり軸受はそれぞれ、上記ハウジングの内 周面に内嵌支持された外輪と、上記シャフトの外周面に外嵌支持された内輪と、 外輪内周面の外輪軌道と内輪外周面の内輪軌道との間にそれぞれ複数個ずつ設け られた転動体とから成るものである。

【００１５】 特に、本考案の磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットに於いては、上記１ 対の転がり軸受を構成する１対の外輪の端面同士の間には、複数の部材を軸方向 に重ね合わせて成り、各転がり軸受に予圧を付与する力を伝達する為の軸力伝達 手段が設けられている。そして、この軸力伝達手段には、互いに軸方向に重ね合 わされた上記永久磁石ユニット及びポールピースが含まれている。又、上記１対 の転がり軸受を構成する１対の内輪の内、一方の内輪と上記シャフトとの間には 、この一方の内輪が上記軸力伝達手段から離れる方向に変位する事を阻止する変 位阻止手段が設けられている。更に、他方の内輪と上記シャフトとの間には、こ の他方の内輪を上記軸力伝達手段に向け押圧する、押圧手段が設けられている事 を特徴としている。

【００１６】

【作用】

上述の様に構成される本考案の磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットによ り、ハウジングの内側にシャフトを回転自在に支持すると共に、ハウジングの内 周面とシャフトの外周面との間の空間を密閉する際の作用は、前述した従来の磁 性流体シール装置付転がり軸受ユニットの場合と同様である。

【００１７】 特に、本考案の磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットの場合には、磁性流 体シール装置を構成する永久磁石ユニットとポールピースとが軸方向にずれ動く 事がなく、ポールピースの周縁部に支持された磁性流体が周囲に散逸しにくい。 又、転がり軸受への予圧付与に伴う変位を、上記ハウジングにシャフトを挿入す る以前に知る事ができる為、ハウジング端面からのシャフトの突出量を厳密に規 制する事が容易になる。

【００１８】

【実施例】

図１は本考案の第一実施例を示している。前述の図１１に示した従来構造と同 等部分には同一符号を付して重複する説明を省略し、以下、本考案の特徴部分に 就いて説明する。

【００１９】 １対の転がり軸受３、３を構成する１対の外輪９、９の端面同士の間には、こ れら各転がり軸受３、３に予圧を付与する為の軸力伝達手段１８が設けられてい る。この軸力伝達手段１８は、円輪状に形成されて軸方向に着磁された、永久磁 石ユニットそのものである永久磁石４と、この永久磁石４を挟む１対のポールピ ース５、５と、これら永久磁石４及びポールピース５、５を挟む１対のスペーサ １９ａ、１９ｂとを、互いに軸方向に亙り直列に重ね合わせて成る。この様な軸 力伝達手段１８を構成する各部材４、５、１９ａ、１９ｂ、並びに上記１対の外 輪９、９は、内向フランジ部１６と抑えナット１２との間で挟持される事により 、ハウジング２の内側に固定されている。尚、上記各スペーサ１９ａ、１９ｂは 非磁性材である事が好ましいが、磁性材であっても良い。

【００２０】 又、上記１対の転がり軸受３、３を構成する１対の内輪１４、１４の内、一方 （図１の左方）の転がり軸受３を構成する内輪１４とシャフト１との間には、変 位阻止手段であるストップリング２０を設けて、この内輪１４が上記軸力伝達手 段１８から離れる方向（図１の左方向）に変位する事を阻止している。

【００２１】 更に、他方の内輪１４と上記シャフト１との間には押圧手段２１を設けて、こ の他方の内輪１４を上記軸力伝達手段１８に向け押圧している。即ち、上記シャ フト１の外周面に螺子止め等により固定した環体２２と、上記他方の内輪１４の 端面に添設したスペーサ２３との間に皿ばね２４を設けて、上記押圧手段２１を 構成し、上記皿ばね２４の弾力により、上記他方の内輪１４を上記軸力伝達手段 １８に向け押圧している。

【００２２】 押圧手段２１による押圧力は、上記他方の転がり軸受３の内輪１４、同じく転 動体１３、同じく外輪９、軸力伝達手段１８、上記一方の転がり軸受３の外輪９ 、同じく転動体１３を介して、この一方の転がり軸受３の内輪１４にまで伝わり 、上記ストップリング２０により支承される。即ち、上記１対の転がり軸受３、 ３の何れにも、上記押圧力が加わる為、各転がり軸受３、３に、上記皿ばね２４ の弾力に応じた予圧が付与される。

【００２３】 上述の様に構成される本考案の磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットの作 用の内、１対の転がり軸受３、３によりハウジング２の内側にシャフト１を回転 自在に支持する作用、並びに磁性流体シール装置７によりハウジング２の内周面 とシャフト１の外周面との間の空間を密閉する際の作用は、前述した従来の磁性 流体シール装置付転がり軸受ユニットの場合と同様である。

【００２４】 特に、本考案の磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットの場合には、上記磁 性流体シール装置７が上記ハウジング２の内側にしっかりと固定されており、こ の磁性流体シール装置７を構成する永久磁石４とポールピース５、５とが軸方向 にずれ動く事がない。従って、各ポールピース５、５の内周縁に保持された磁性 流体６、６の保持力が失われにくく、この磁性流体６、６が周囲に散逸しにくい 。

【００２５】 又、各転がり軸受３、３への予圧付与に伴う変位を、上記ハウジング２にシャ フト１を挿入する以前に知る事でできる。この結果、ハウジング２端面からのシ ャフト１の突出量Ｌ´を厳密に規制する事が容易になる。即ち、本考案の磁性流 体シール装置付転がり軸受ユニットの場合には、シャフト１の周囲に上記磁性流 体シール装置７及び１対のスペーサ１９ａ、１９ｂを設けると共に、１対の転が り軸受３、３の内輪１４、１４を外嵌した状態で、これら各部材を上記ハウジン グ２内に挿入する以前に、上記各転がり軸受３、３に予圧を付与できる。

【００２６】 従って、予圧付与後、ハウジング２の内向フランジ部１６に対向すべき外輪９ の端面からのシャフト１の突出量Ｈを測定しておけば、この突出量Ｈと上記内向 フランジ部１６の厚さ寸法Ｔとから、ハウジング２への組み付け完了時点に於け る上記突出量Ｌ´を正確に予測できる。所望の突出量Ｌ´を所望値とする為に、 上記外輪９の端面と内向フランジ１６の内側面との間にシム板を挟持する作業は 、分解組立等の面倒な作業を要する事なく、容易に行なえる。

【００２７】 次に、図２は本考案の第二実施例を示している。前述した従来例及び上述した 第一実施例が、磁性流体シール装置７（図１、１１参照）に円環状の永久磁石４ を、永久磁石ユニットとして含んでいたのに対し、本実施例の場合には、それぞ れが円柱状で軸方向に着磁された複数の永久磁石２５、２５を永久磁石ユニット として使用する事により、上記磁性流体シール装置７を構成している。これら複 数の永久磁石２５、２５は、円環状に配設した状態で、１対のポールピース５、 ５（図１、１１）の間に挟持される。その他の構成及び作用は、前述した第一実 施例と同様である。

【００２８】 次に、図３は本考案の第三実施例を示している。本実施例の場合、永久磁石ユ ニットを構成する円環状の永久磁石４の表面にメッキ層２６を設ける事で、この 永久磁石４の強度向上を図っている。これは、永久磁石４が軸力伝達手段１８の 構成部品であり、転がり軸受３、３（図１）に予圧を付与する為の力を伝達する 役目を持つ為である。尚、メッキ処理の方法としては、無電解ニッケルメッキが 一般的に使用できるが、ニッケルメッキ、カドミウムメッキ、亜鉛メッキ、硬質 クロムメッキ等も使用可能である。メッキ層２６の厚さは、２〜１００μｍ程度 あれば良い。又、メッキ層２６は、円環状の永久磁石４の表面だけでなく、図２ に示した円柱状の永久磁石２５、２５の表面に設ける事もできる。

【００２９】 次に、図４は本考案の第四実施例を示している。前述の第二実施例が、長さ寸 法の揃った永久磁石２５、２５（図２）を複数本円環状に配置する事により、永 久磁石ユニットとしていたのに対して、本実施例の場合には、長い永久磁石２５ ａ、２５ａと短い永久磁石２５ｂ、２５ｂとを混ぜた状態で円環状に配置する事 により、永久磁石ユニットを構成している。この内、長さの揃った長い永久磁石 ２５ａ、２５ａが、予圧付与の為の軸方向の力の伝達を行なう。本実施例の場合 には、短い永久磁石２５ｂ、２５ｂの長さ寸法を厳密に規制する必要がないので 、部品製作上有利となる。尚、上記２種類の永久磁石２５ａ、２５ｂの長さ寸法 の差dLが１０μｍあっても、短い永久磁石２５ｂ、２５ｂからポールピース５、 ５（図１）への磁力伝達に支障はない。その他の構成及び作用は、前述した第二 実施例と同様である。

【００３０】 次に、図５は本考案の第五実施例を示している。本実施例の場合には、各ポー ルピース５、５の側面外周寄り部分にスペーサ筒部２７ａ、２７ｂを、各ポール ピース５、５と一体に形成している。各ポールピース５、５とは独立したスペー サ１９ａ、１９ｂ（図１）は省略している。その他の構成及び作用は、前述した 第一実施例の場合と同様である。

【００３１】 次に、図６は本考案の第六実施例を示している。本実施例の場合には、各ポー ルピース５、５の厚さ寸法を大きくすると共に、シャフト１の外周面で各ポール ピース５、５の内周面と対向する部分に、それぞれ複数本の凹溝２８、２８を、 上記シャフト１の円周方向に亙って形成している。そして、上記各ポールピース ５、５の内周面と、上記シャフト１の外周面で隣り合う凹溝２８、２８同士に挟 まれた部分との間に、それぞれ磁性流体６、６を保持している。本実施例の場合 、磁性流体６、６が軸方向に亙って多段に設けられる為、シール可能な圧力差を 大きくできる。

【００３２】 次に、図７は本考案の第七実施例を示している。本実施例の場合、それぞれが １対のポールピース５、５により永久磁石４を挟持したシールユニット２９、２ ９を複数組（図示の例では３組）、スペーサ３０、３０を介して軸方向に亙り重 ね合わせている。本実施例の場合も、上述した第六実施例の場合と同様に、磁性 流体６、６が軸方向に亙って多段に設けられる為、シール可能な圧力差を大きく できる。

【００３３】 次に、図８は本考案の第八実施例を示している。本実施例の場合には、非磁性 材により短円筒状に形成されたスペーサ３１の内側に円環状の永久磁石４を設け て、永久磁石ユニット３２を構成している。この永久磁石ユニット３２を、１対 のポールピース５、５の間に挟持している。スペーサ３１の長さ寸法は永久磁石 ４の長さ寸法よりも僅かに大きい。従って、上記永久磁石４の少なくとも片面と この片面が対向するポールピース５の側面との間には、微小隙間が存在するが、 永久磁石４からポールピース５、５への磁力伝達に支障はない。

【００３４】 尚、上記永久磁石ユニット３２を構成する為に、円環状の永久磁石４に代えて 、図９に示す様に、それぞれが円柱状に形成された複数本の永久磁石２５、２５ を使用する事もできる。更に、上記スペーサ３１として、図１０に示す様に、複 数に分割される構造のものを使用する事もできる。本実施例の場合、各永久磁石 ２５、２５の長さ寸法を厳密に揃える必要がない。

【００３５】 上述した各実施例は何れも、固定のハウジング２の内側にシャフト１を回転自 在に支持する構造に就いて説明したが、本考案の磁性流体シール装置付転がり軸 受ユニットは、この様な構造に限定されず、固定軸の周囲にロータを、回転自在 に支持する構造にも適用できる。但し、この様な固定軸を含む構造の場合には、 永久磁石ユニット及びポールピースは固定軸の外周面に支持し、磁性流体はポー ルピースの外周縁と上記ロータの内周面との間に保持する等、内外周が図示の実 施例の場合とは逆になる（請求項２参照）。

【００３６】

【考案の効果】

本考案の磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットは、以上に述べた通り構成 され作用するので、磁性流体シール装置の性能維持を図ると同時に清浄空間が汚 染される可能性を低くし、しかもハウジング端面からのシャフトの突出量を厳密 に規制する事を容易に行なえる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第一実施例を示す、磁性流体シール装
置付転がり軸受ユニットの半部断面図。

【図２】同第二実施例を示す、永久磁石の斜視図。

【図３】同第三実施例を示す、永久磁石の断面図。

【図４】同第四実施例を示す、永久磁石の側面図。

【図５】同第五実施例を、ハウジングを省略した状態で
示す、磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットの半部
断面図。

【図６】同第六実施例を、ハウジングを省略した状態で
示す、磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットの半部
断面図。

【図７】同第七実施例を、ハウジングを省略した状態で
示す、磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットの半部
断面図。

【図８】同第八実施例を、ハウジングを省略した状態で
示す、磁性流体シール装置付転がり軸受ユニットの半部
断面図。

【図９】第八実施例の変形例に使用する永久磁石ユニッ
トの斜視図。

【図１０】永久磁石ユニットに使用するスペーサの別例
を示す斜視図。

【図１１】従来構造の１例を示す半部断面図。

【図１２】シャフトの突出量を調節する為のスペーサの
装着状態を示す、図１１のＡ部に相当する断面図。

【符号の説明】

１ シャフト ２ ハウジング ３ 転がり軸受 ４ 永久磁石 ５ ポールピース ６ 磁性流体 ７ 磁性流体シール装置 ８ａ、８ｂ スぺーサ ９ 外輪 １０ Ｏリング １１ 隙間 １２ 抑えナット １３ 転動体 １４ 内輪 １５ａ、１５ｂ ストップリング １６ 内向フランジ部 １７ スぺーサ １８ 軸力伝達手段 １９ａ、１９ｂ スぺーサ ２０ ストップリング ２１ 押圧手段 ２２ 環体 ２３ スぺーサ ２４ 皿ばね ２５、２５ａ、２５ｂ 永久磁石 ２６ メッキ層 ２７ａ、２７ｂ スぺーサ筒部 ２８ 凹溝 ２９ シールユニット ３０、３１ スぺーサ ３２ 永久磁石ユニット

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも表面を磁性材により覆われた
   円筒形の外周面を有するシャフトと、円筒形の内周面を
   有し、このシャフトと同心に配置されたハウジングと、
   上記外周面と内周面との間に設けられた磁性流体シール
   装置と、この磁性流体シール装置を挟む軸方向に離隔し
   た２個所位置で、上記外周面と内周面との間に設けられ
   た少なくとも１対の転がり軸受とを備え、 上記磁性流体シール装置は、軸方向に着磁された永久磁
   石を含む永久磁石ユニットと、この永久磁石ユニットに
   添設された磁性材製のポールピースと、磁性流体とから
   成り、 この磁性流体は、上記ポールピースの内周縁と、上記外
   周面との間の微小隙間に、上記永久磁石の磁力に基づい
   て保持されるものであり、 上記１対の転がり軸受はそれぞれ、上記ハウジングの内
   周面に内嵌支持された外輪と、上記シャフトの外周面に
   外嵌支持された内輪と、外輪内周面の外輪軌道と内輪外
   周面の内輪軌道との間にそれぞれ複数個ずつ設けられた
   転動体とから成るものである磁性流体シール装置付転が
   り軸受ユニットに於いて、 上記１対の転がり軸受を構成する１対の外輪の端面同士
   の間には、複数の部材を軸方向に重ね合わせて成り、各
   転がり軸受に予圧を付与する力を伝達する為の軸力伝達
   手段が設けられており、 この軸力伝達手段には、互いに軸方向に重ね合わされた
   上記永久磁石ユニット及びポールピースが含まれてお
   り、 上記１対の転がり軸受を構成する１対の内輪の内、一方
   の内輪と上記シャフトとの間には、この一方の内輪が上
   記軸力伝達手段から離れる方向に変位する事を阻止する
   変位阻止手段が設けられており、 他方の内輪と上記シャフトとの間には、この他方の内輪
   を上記軸力伝達手段に向け押圧する、押圧手段が設けら
   れている事を特徴とする磁性流体シール装置付転がり軸
   受ユニット。
2. 【請求項２】 円筒形の外周面を有するシャフトと、少
   なくとも表面を磁性材により覆われた円筒形の内周面を
   有し、このシャフトと同心に配置されたハウジングと、
   上記外周面と内周面との間に設けられた磁性流体シール
   装置と、この磁性流体シール装置を挟む軸方向に離隔し
   た２個所位置で、上記外周面と内周面との間に設けられ
   た少なくとも１対の転がり軸受とを備え、 上記磁性流体シール装置は、軸方向に着磁された永久磁
   石を含む永久磁石ユニットと、この永久磁石ユニットに
   添設された磁性材製のポールピースと、磁性流体とから
   成り、 この磁性流体は、上記ポールピースの外周縁と、上記内
   周面との間の微小隙間に、上記永久磁石の磁力に基づい
   て保持されるものであり、 上記１対の転がり軸受はそれぞれ、上記ハウジングの内
   周面に内嵌支持された外輪と、上記シャフトの外周面に
   外嵌支持された内輪と、外輪内周面の外輪軌道と内輪外
   周面の内輪軌道との間にそれぞれ複数個ずつ設けられた
   転動体とから成るものである磁性流体シール装置付転が
   り軸受ユニットに於いて、 上記１対の転がり軸受を構成する１対の内輪の端面同士
   の間には、複数の部材を軸方向に重ね合わせて成り、各
   転がり軸受に予圧を付与する力を伝達する為の軸力伝達
   手段が設けられており、 この軸力伝達手段には、互いに軸方向に重ね合わされた
   上記永久磁石ユニット及びポールピースが含まれてお
   り、 上記１対の転がり軸受を構成する１対の外輪の内、一方
   の外輪と上記ハウジングとの間には、この一方の外輪が
   上記軸力伝達手段から離れる方向に変位する事を阻止す
   る変位阻止手段が設けられており、 他方の外輪と上記ハウジングとの間には、この他方の外
   輪を上記軸力伝達手段に向け押圧する、押圧手段が設け
   られている事を特徴とする磁性流体シール装置付転がり
   軸受ユニット。