JPH0748145A - 自動車用ウインドガラス及び自動車用ウインドガラスに対する被膜形成方法 - Google Patents
自動車用ウインドガラス及び自動車用ウインドガラスに対する被膜形成方法Info
- Publication number
- JPH0748145A JPH0748145A JP19210293A JP19210293A JPH0748145A JP H0748145 A JPH0748145 A JP H0748145A JP 19210293 A JP19210293 A JP 19210293A JP 19210293 A JP19210293 A JP 19210293A JP H0748145 A JPH0748145 A JP H0748145A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 可視光透過率を維持したまま、紫外線カット
率を高めた自動車用ウインドガラスを提供する。 【構成】 自動車用ウインドガラスの表面にＴiＯxＮy
（0.5≦ｘ≦1.8、0.1≦ｙ≦0.6）の被膜を５μｍ以上の
厚さで形成する。形成方法は、ターゲットをＴi、反応
ガスをＮ2とＯ2の混合ガスとした直流反応性スパッタリ
ングとする。
率を高めた自動車用ウインドガラスを提供する。 【構成】 自動車用ウインドガラスの表面にＴiＯxＮy
（0.5≦ｘ≦1.8、0.1≦ｙ≦0.6）の被膜を５μｍ以上の
厚さで形成する。形成方法は、ターゲットをＴi、反応
ガスをＮ2とＯ2の混合ガスとした直流反応性スパッタリ
ングとする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は紫外線の遮断機能を備え
た自動車用ウインドガラスと、この自動車用ウインドガ
ラスに対する紫外線の遮断機能を備えた被膜を形成する
方法に関する。
た自動車用ウインドガラスと、この自動車用ウインドガ
ラスに対する紫外線の遮断機能を備えた被膜を形成する
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】自動車用ウインドガラスは波長が290nm
〜320nmのＢ型紫外線についてはその殆どを吸収してし
まうが、波長が320nm〜400nmのＡ型紫外線はそのまま透
過してしまう。そして、Ａ型紫外線もＢ型紫外線と同様
に皮膚に色素沈着を引き起こしたり、内装品の劣化を速
めるため、遮断することが望ましい。
〜320nmのＢ型紫外線についてはその殆どを吸収してし
まうが、波長が320nm〜400nmのＡ型紫外線はそのまま透
過してしまう。そして、Ａ型紫外線もＢ型紫外線と同様
に皮膚に色素沈着を引き起こしたり、内装品の劣化を速
めるため、遮断することが望ましい。
【０００３】そこで、従来から紫外線の遮断機能を備え
たガラス板として以下のようなものが提案されている。 ＴiＯ2（高屈折率膜）とＳiＯ2（低屈折率膜）を交互
に積層した多層干渉薄膜をガラス板上に形成し、選択反
射機能にて紫外線と近赤外線を反射する。（特開平４−
１８２３２７号公報） ＺnＯ膜をガラス板上に形成して紫外線を遮断する。
（特開平１−２７１７０７号公報、特開平４−１８２３
２７号公報） ＺnＯ膜の上に更に透明導電性酸化膜と高屈折透明導
電性酸化膜とを交互に積層した多層干渉薄膜を形成し、
選択反射機能にて紫外線と赤外線を反射する。（特開平
４−１３３００４号公報） 透明な有機または無機ポリマー中に紫外線吸収剤また
は赤外線吸収剤を分散させた塗布液をガラス板上に塗布
する。（特開平４−１６００３７号公報）
たガラス板として以下のようなものが提案されている。 ＴiＯ2（高屈折率膜）とＳiＯ2（低屈折率膜）を交互
に積層した多層干渉薄膜をガラス板上に形成し、選択反
射機能にて紫外線と近赤外線を反射する。（特開平４−
１８２３２７号公報） ＺnＯ膜をガラス板上に形成して紫外線を遮断する。
（特開平１−２７１７０７号公報、特開平４−１８２３
２７号公報） ＺnＯ膜の上に更に透明導電性酸化膜と高屈折透明導
電性酸化膜とを交互に積層した多層干渉薄膜を形成し、
選択反射機能にて紫外線と赤外線を反射する。（特開平
４−１３３００４号公報） 透明な有機または無機ポリマー中に紫外線吸収剤また
は赤外線吸収剤を分散させた塗布液をガラス板上に塗布
する。（特開平４−１６００３７号公報）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した或いはの
ように多層干渉膜を形成する手段としては、スパッタリ
ング法が最も適しているが、高屈折率材料であるＴiＯ2
をターゲットとしたスパッタリングの速度は遅く、且つ
１層の厚みも100nm程度が必要で、しかもこれを複数層
積層しなければならないので極めて効率が悪く、コスト
アップになる。
ように多層干渉膜を形成する手段としては、スパッタリ
ング法が最も適しているが、高屈折率材料であるＴiＯ2
をターゲットとしたスパッタリングの速度は遅く、且つ
１層の厚みも100nm程度が必要で、しかもこれを複数層
積層しなければならないので極めて効率が悪く、コスト
アップになる。
【０００５】また、上述した或いはのようにＺnＯ
膜を形成する場合には、ＺnＯ膜もＴiＯ2と同様に膜厚
を厚くしなければならず、また耐久性に難点がある。
膜を形成する場合には、ＺnＯ膜もＴiＯ2と同様に膜厚
を厚くしなければならず、また耐久性に難点がある。
【０００６】更に上述したについては、紫外線吸収剤
や赤外線吸収剤は紫外線や赤外線を吸収することで黄色
や褐色に変色し、また膜自体が耐候性や耐熱性に劣るた
め、使用条件が苛酷な自動車用ウインドガラスに適用す
ることはできない。
や赤外線吸収剤は紫外線や赤外線を吸収することで黄色
や褐色に変色し、また膜自体が耐候性や耐熱性に劣るた
め、使用条件が苛酷な自動車用ウインドガラスに適用す
ることはできない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明は、自動車用ウインドガラスの表面にＴiＯxＮy
（0.5≦ｘ≦1.8、0.1≦ｙ≦0.6）の被膜を５μｍ以上の
厚さで形成した。ここで、被膜形成手段としては直流反
応性スパッタリングとし、ターゲットにはＴiを、反応
ガスにはＮ2とＯ2の混合ガスを用いる。
発明は、自動車用ウインドガラスの表面にＴiＯxＮy
（0.5≦ｘ≦1.8、0.1≦ｙ≦0.6）の被膜を５μｍ以上の
厚さで形成した。ここで、被膜形成手段としては直流反
応性スパッタリングとし、ターゲットにはＴiを、反応
ガスにはＮ2とＯ2の混合ガスを用いる。
【０００８】
【作用】ＴiＯxＮy被膜はｘ及びｙを適切に選定するこ
とで、その厚さを薄くしても紫外線透過率を低減するこ
とが可能になる。
とで、その厚さを薄くしても紫外線透過率を低減するこ
とが可能になる。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。先ず、Ｔ
iＯxＮy被膜の酸窒化度を決定するｘ及びｙについて適
正な値を知るために、光学ガラス表面にｘ及びｙを異な
らせた種々のＴiＯxＮy被膜を形成し、紫外線カット特
性や可視光透過性等の特性を比較した。その結果を以下
の（表１）及び図１に示す。
iＯxＮy被膜の酸窒化度を決定するｘ及びｙについて適
正な値を知るために、光学ガラス表面にｘ及びｙを異な
らせた種々のＴiＯxＮy被膜を形成し、紫外線カット特
性や可視光透過性等の特性を比較した。その結果を以下
の（表１）及び図１に示す。
【００１０】
【表１】
【００１１】ここで、被膜形成方法としては、直流反応
性スパッタリングを採用し、ターゲットとしてはＴiを
用い、更に反応ガスはＮ2とＯ2の混合ガスを用いた。こ
のようにターゲットをＴiとし、反応ガスをＮ2とＯ2の
混合ガスとすることで、従来のＴiＯ2被膜に比較して大
幅に成膜レートを高めることができた。
性スパッタリングを採用し、ターゲットとしてはＴiを
用い、更に反応ガスはＮ2とＯ2の混合ガスを用いた。こ
のようにターゲットをＴiとし、反応ガスをＮ2とＯ2の
混合ガスとすることで、従来のＴiＯ2被膜に比較して大
幅に成膜レートを高めることができた。
【００１２】また、上記の（表１）及び図１からも明ら
かなように、ＴiＯxＮy被膜中の酸素（Ｏ）の比率が低
いと紫外線のカット効果は高くなるが、可視光まである
程度吸収するため、吸収色を呈するとともに自動車用ウ
インドガラスとして要求される７０％以上の可視光透過
率を達成できないおそれも生じる（試料Ｂ，Ｃ）。逆に
酸素（Ｏ）の比率が高くなると紫外線のカット効果は低
くなるが可視光及び近赤外線域での吸収は小さくなる。
一方、反応ガスをＯ2：１００％とすると、吸収開始端
が350nm近傍のため、紫外線カット特性が低下し、また
Ｏ2：１０％（Ｎ2：９０％）とすると、吸収開始端が40
0nm近傍と長波長側にシフトし、紫外線カット特性及び
可視光透過特性の両方に優れる。
かなように、ＴiＯxＮy被膜中の酸素（Ｏ）の比率が低
いと紫外線のカット効果は高くなるが、可視光まである
程度吸収するため、吸収色を呈するとともに自動車用ウ
インドガラスとして要求される７０％以上の可視光透過
率を達成できないおそれも生じる（試料Ｂ，Ｃ）。逆に
酸素（Ｏ）の比率が高くなると紫外線のカット効果は低
くなるが可視光及び近赤外線域での吸収は小さくなる。
一方、反応ガスをＯ2：１００％とすると、吸収開始端
が350nm近傍のため、紫外線カット特性が低下し、また
Ｏ2：１０％（Ｎ2：９０％）とすると、吸収開始端が40
0nm近傍と長波長側にシフトし、紫外線カット特性及び
可視光透過特性の両方に優れる。
【００１３】以上の結果を考慮して、ＴiＯxＮy被膜に
おけるｘ，ｙは以下の範囲とする。 0.5≦ｘ≦1.8 0.1≦ｙ≦0.6
おけるｘ，ｙは以下の範囲とする。 0.5≦ｘ≦1.8 0.1≦ｙ≦0.6
【００１４】次に実際の自動車用ウインドガラスに適用
した実施例と比較例について述べる。 （実施例１）ウインドガラス（HFL35）表面に前記した
反応性スパッタリング（Ｏ2:10%）によってＴiＯxＮy被
膜を20nmの厚さで形成し、その上にＴaＯxを透明保護層
として5nm積層した。尚、ＴaＯxはスパッタリングにて
成膜し、その条件はターゲット：Ｔa、スパッタ電流：
８Ａ、スパッタ電圧：４５０Ｖ、Ａrガス流量：３０scc
m、Ｎ2ガス流量：７０sccm、プロセス圧力：３．００
（mTorr）である。 （実施例２）ウインドガラス（HFL35）表面に前記した
反応性スパッタリング（Ｏ2:7%）によってＴiＯxＮy被
膜を7nmの厚さで形成し、その上にＴaＯxを透明保護層
として実施例１と同様にして5nm積層した。 （実施例３）ウインドガラス（HFL35）表面に前記した
反応性スパッタリング（Ｏ2:7%）によってＴiＯxＮy被
膜を7nmの厚さで形成し、その上にＺrＢxＯyを透明保護
層として5nm積層した。尚、ＺrＢxＯyはスパッタリング
にて成膜し、その条件はターゲット：ＺrＢ2、スパッタ
電流：４Ａ、スパッタ電圧：５２０Ｖ、Ａrガス流量：
１５sccm、Ｎ2ガス流量：８５sccm、プロセス圧力：
３．００（mTorr）である。 （比較例１）ウインドガラス（HFL35）表面に前記した
反応性スパッタリング（Ｏ2:0% Ｎ2:100%）によってＴ
iＯxＮy被膜を形成し、その上にＴaＯxを透明保護層と
して5nm積層した。 （比較例２）ウインドガラス（HFL35）表面に前記した
反応性スパッタリング（Ｏ2:7%）によってＴiＯxＮy被
膜を7nmの厚さで形成した。（透明保護層なし）
した実施例と比較例について述べる。 （実施例１）ウインドガラス（HFL35）表面に前記した
反応性スパッタリング（Ｏ2:10%）によってＴiＯxＮy被
膜を20nmの厚さで形成し、その上にＴaＯxを透明保護層
として5nm積層した。尚、ＴaＯxはスパッタリングにて
成膜し、その条件はターゲット：Ｔa、スパッタ電流：
８Ａ、スパッタ電圧：４５０Ｖ、Ａrガス流量：３０scc
m、Ｎ2ガス流量：７０sccm、プロセス圧力：３．００
（mTorr）である。 （実施例２）ウインドガラス（HFL35）表面に前記した
反応性スパッタリング（Ｏ2:7%）によってＴiＯxＮy被
膜を7nmの厚さで形成し、その上にＴaＯxを透明保護層
として実施例１と同様にして5nm積層した。 （実施例３）ウインドガラス（HFL35）表面に前記した
反応性スパッタリング（Ｏ2:7%）によってＴiＯxＮy被
膜を7nmの厚さで形成し、その上にＺrＢxＯyを透明保護
層として5nm積層した。尚、ＺrＢxＯyはスパッタリング
にて成膜し、その条件はターゲット：ＺrＢ2、スパッタ
電流：４Ａ、スパッタ電圧：５２０Ｖ、Ａrガス流量：
１５sccm、Ｎ2ガス流量：８５sccm、プロセス圧力：
３．００（mTorr）である。 （比較例１）ウインドガラス（HFL35）表面に前記した
反応性スパッタリング（Ｏ2:0% Ｎ2:100%）によってＴ
iＯxＮy被膜を形成し、その上にＴaＯxを透明保護層と
して5nm積層した。 （比較例２）ウインドガラス（HFL35）表面に前記した
反応性スパッタリング（Ｏ2:7%）によってＴiＯxＮy被
膜を7nmの厚さで形成した。（透明保護層なし）
【００１５】以上の各実施例と比較例の特性を（表２）
に比較して示すとともに、実施例１について分光特性を
調べた結果を図２に示す。
に比較して示すとともに、実施例１について分光特性を
調べた結果を図２に示す。
【００１６】
【表２】
【００１７】
【発明の効果】以上の（表２）及び図２からも明らかな
ように、本発明に係る自動車用ウインドガラスは表面に
ＴiＯxＮy（0.5≦ｘ≦1.8、0.1≦ｙ≦0.6）の被膜を５
μｍ以上の厚さで形成したことで、自動車用ウインドガ
ラスとして必要な可視光透過率（７０％）を維持したま
ま、波長400nm以下の紫外線透過率を40%以下に抑えるこ
とができる。
ように、本発明に係る自動車用ウインドガラスは表面に
ＴiＯxＮy（0.5≦ｘ≦1.8、0.1≦ｙ≦0.6）の被膜を５
μｍ以上の厚さで形成したことで、自動車用ウインドガ
ラスとして必要な可視光透過率（７０％）を維持したま
ま、波長400nm以下の紫外線透過率を40%以下に抑えるこ
とができる。
【００１８】また、ＴiＯxＮyの被膜の表面にＴaＯxま
たはＺrＢxＯyからなる透明保護膜を形成することで、
耐久性が大幅に向上し、更に、被膜の形成方法として、
ターゲットをＴi、反応ガスをＮ2とＯ2の混合ガスとし
た直流反応性スパッタリングとすることで、成膜レート
が大きくなり、コスト面で有利となる。
たはＺrＢxＯyからなる透明保護膜を形成することで、
耐久性が大幅に向上し、更に、被膜の形成方法として、
ターゲットをＴi、反応ガスをＮ2とＯ2の混合ガスとし
た直流反応性スパッタリングとすることで、成膜レート
が大きくなり、コスト面で有利となる。
【図１】波長と消衰計数（ｋ）との関係を示したグラフ
【図２】実施例１の分光特性を示すグラフ。
Claims (3)
- 【請求項１】 紫外線の遮断機能を備えた自動車用ウイ
ンドガラスにおいて、このウインドガラスは表面にＴi
ＯxＮy（0.5≦ｘ≦1.8、0.1≦ｙ≦0.6）の被膜を５μｍ
以上の厚さで形成していることを特徴とする自動車用ウ
インドガラス。 - 【請求項２】 前記ＴiＯxＮyの被膜の表面にはＴaＯx
またはＺrＢxＯyからなる透明保護膜が形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の自動車用ウインドガ
ラス。 - 【請求項３】 自動車用ウインドガラスの表面にＴiＯx
Ｎy被膜をスパッタリングにて形成する方法において、
スパッタリングは直流反応性スパッタリングであり、タ
ーゲットはＴiで反応ガスはＮ2とＯ2の混合ガスを用い
るようにしたことを特徴とする自動車用ウインドガラス
に対する被膜形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19210293A JPH0748145A (ja) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | 自動車用ウインドガラス及び自動車用ウインドガラスに対する被膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19210293A JPH0748145A (ja) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | 自動車用ウインドガラス及び自動車用ウインドガラスに対する被膜形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0748145A true JPH0748145A (ja) | 1995-02-21 |
Family
ID=16285693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19210293A Withdrawn JPH0748145A (ja) | 1993-08-03 | 1993-08-03 | 自動車用ウインドガラス及び自動車用ウインドガラスに対する被膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0748145A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1302148C (zh) * | 2004-07-12 | 2007-02-28 | 广州粤海真空技术有限公司 | 一种TiOxNy太阳能光热转换薄膜的制备方法 |
| WO2008102822A1 (ja) | 2007-02-20 | 2008-08-28 | Fujifilm Corporation | 紫外線吸収剤を含む高分子材料 |
| WO2009022736A1 (ja) | 2007-08-16 | 2009-02-19 | Fujifilm Corporation | ヘテロ環化合物、紫外線吸収剤及びこれを含む組成物 |
-
1993
- 1993-08-03 JP JP19210293A patent/JPH0748145A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1302148C (zh) * | 2004-07-12 | 2007-02-28 | 广州粤海真空技术有限公司 | 一种TiOxNy太阳能光热转换薄膜的制备方法 |
| WO2008102822A1 (ja) | 2007-02-20 | 2008-08-28 | Fujifilm Corporation | 紫外線吸収剤を含む高分子材料 |
| WO2009022736A1 (ja) | 2007-08-16 | 2009-02-19 | Fujifilm Corporation | ヘテロ環化合物、紫外線吸収剤及びこれを含む組成物 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001003 |