JPH0747102B2 - フィルターとその再生用手段 - Google Patents
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Description
を含む粒子物体を取り除くためのフィルターに関し、且
つ、より特定すれば、炭素を含む粒子物体を取り除き炭
素を二酸化炭素に変換することによりフィルターの再生
をする手段を組み込んでいるフィルターに関する。本発
明の主な進展は、ヂーゼルエンジン排気口や、化石燃料
パワー発生プラントや、化学処理排気路等との使用であ
る。
り除きを含む産業において、多くの適用がある。一つの
特に重要な領域は、ヂーゼル形式エンジンからの排気ガ
スの処理である。ヂーゼルエンジンからの排気粒子は、
最も深刻な大気汚染問題の一つとなった。ヂーゼルエン
ジン内の燃料の燃焼の仕方のために、排気ガスは、細か
い炭素固体の形態の考慮すべき粒子成分を含む。これら
は、例えば、一酸化炭素の濃縮の結果であり得る。環境
基準が変化しつつあり、一酸化炭素と同様に炭素を含む
粒子による大気汚染の大幅な減少がなければならないと
されている。新しい重負荷ヂーゼル出力車両の排気が19
94年までに達成しなければならないEPA基準は、0.1g/hp
−hrである。(これは、1991年に、都市バスのための基
準になるであろう。) 炭素を含む粒子の排気ガスの濾過のためのもう一つの適
用は、石炭ガス化の様々な工程で見出される。他の適用
は、例えば、シェール油分離や石炭火力タービンを含
む。
ン排気の分野で行われてきた。フィルター捕捉方法は、
排気粒子の減少のために最も有望であると考えられてい
る。一つの通路から薄膜を貫通して隣接する通路(代表
的には、ハニカム形状の)内に到ることによりガスが濾
過される「壁流」フィルターを含む様々なフィルター形
状が検討された。検討されたもう一つのタイプのフィル
ターは、発泡フィルターとよばれ、幾つかの選択された
穴を有する本体を貫通して通過する間にガスが濾過され
る。幾つかは金網を使用して作られるが、これらは、代
表的には、菫青石やムライトのようなセラミック材料か
ら作られる。このタイプの研究の概略は、レポートSP−
816として1990年2月に自動車エンジニア学会により出
版された、「ヂーゼル粒子制御における進歩」の中で報
告されている。これは、1990年SAE国際会議と展示会で
発表された書類の集積である。
な圧力低下が粒子の蓄積により発生した時のフィルター
の定期的な再生の研究がされている。周期的な再生時間
は、圧力低下の上限に達する時間により異なるであろう
が、代表的には、重負荷ヂーゼル出力トラックには、約
200マイル毎である。様々な再生形態が考慮されつつあ
り、それらは代表的には、ヂーゼル燃料バーナーや電気
抵抗点火装置や触媒や他のそのようなシステムである。
M.Sweeneyに発布された 4,319,896や、1988年5月17日にV.D.N.Raoに発布された
4,744,216や1985年10月22日にY.Ishida等に発布された
4,548,625である。触媒再生は、1978年7月25日のJ.Sai
ki等に発布された米国特許4,102,127に記載されてい
る。
フィルター内での温度勾配やフィルター材料の強度によ
り影響されるようなフィルターの構造的完全性である。
炭素粒子がフィルター面で点火される時、高熱火炎前部
或いは線がフィルターの長さに落下し、火炎線を横切る
熱衝撃を生じさせる。この問題を減少させる努力におい
て、研究者の一つのグループが、再生を始めるためのフ
ィルター面での感受体と、温度差(と熱勾配)を減少さ
せるための比較可能な温度を達成するための底面の第二
感受体とのマイクロ波加熱の使用を研究した。この研究
は、上記のSAEレポートの131〜140頁に報告され、且
つ、多分カナダで特許出願の主題として報告されてい
る。分かれた部品(セラミックフィルターと感受体)と
して製作されても、一体の要素として製作されても、結
果は単により良い点火装置であるが、基本的濾過ユニッ
トの本質的問題は解決していない。例えば、この構造
は、フィルターユニット内の二つの離れた地点で異なる
加熱が存在するので、装置を通じての均等な加熱を実現
できない。また、延長された使用や再生の間に、加熱部
分とフィルター部品自身との間にある種の反応の潜在力
が存在する。更に、この構造はフィルターの主要部分に
より弱いセラミックフィルター材料を使用する。
される電気接続の腐食により生じる欠陥が非常にしばし
ば経験される。
てのフィルターの均等な温度を達成するマイクロ波加熱
を使用して再生されることができる単一構造のフィルタ
ーであり、ガス流から、炭素を含む粒子と他の蒸発可能
な材料を取り除くことに使用されるフィルターを提供す
ることである。
れるガス流との接触による腐食問題にさらされる電気接
続や感受体インターフェースを利用しない、フィルター
エレメントやそれの再生のための手段を提供することで
ある。
波放射と組み合わされてマイクロ波エネルギーを熱エネ
ルギーに変換する炭化ケイ素材料から作られるフィルタ
ーエレメントを提供することである。
を取り除くのに使用されるためにマイクロ波エネルギー
を熱エネルギーに変換することを可能にする炭化ケイ素
ひげ結晶と、それに組み合わされてフィルターの大部分
をマイクロ波で照射して炭素の均等な燃焼を生じさせフ
ィルターの再生を達成する手段と、を提供することであ
る。
料を、それらを含むガス流から、フィルターで取り除
き、フィルターは要求に応じて均等に加熱されることが
できてそれに捕捉される材料のマイクロ波放射を使用し
ての蒸発によりフィルターの再生を達成する、改善され
た方法を提供することである。
詳細な説明の考慮に際して明らかになるであろう。
構成されるガス流内に導入されるフィルターエレメント
が提供され、フィルターエレメントは、マイクロ波エネ
ルギーを熱エネルギーに変換することを可能にする炭化
ケイ素ヒゲ結晶或いは他の炭化ケイ素材料から作られ
る。本発明は更に、フィルターエレメントと組み合わさ
れるマイクロ波窪みを有し、それによりマイクロ波エネ
ルギーはフィルターエレメントに加えられることができ
てフィルターの適当な部分に渡ってのほぼ均等な温度を
達成し、それにより炭素と他の類似の材料がフィルター
の再生中に均等に燃焼させられる。フィルターエレメン
トを横切る圧力差測定が再生を開始するよう使用される
ことが可能であり、且つ、温度測定装置はマイクロ波発
生源を制御して再生のための適切な温度を達成すること
が可能である。
ルターエレメント(とその断熱材)はマイクロ波窪みか
ら分離可能であり、それは必要な時に交換可能である。
を含むガス流の処理のために排気システム内に挿入され
た本発明を示す横断面図。
に理解されることができ、そこにおいて、組み合わされ
たフィルターヒーターはほぼ10で示される。この装置内
の中央に、好適実施例においては炭化ケイ素ヒゲ結晶か
ら作られるフィルターエレメント12が配置されて、ヒゲ
結晶なる用語は、代表的には数マイクロメーターまでの
平均厚さと代表的には厚さの10〜100倍の長さを有する
単一結晶の不連続繊維を意味する。ヒゲ結晶を準備する
代表的な方法は下記にしめす。これらのヒゲ結晶はいず
れかの適当な方法によりフィルターユニット12内に形成
される。例えば、これらのヒゲ結晶は、示されるよう
な、代表的には円筒形状を有する前もっての形成物に固
められることができる。前もっての形成物は、25メイク
ロメーター±5%の公称穴サイズを有するべきである。
代替としては、ヒゲ結晶は、薄い層(紙或いはフェル
ト)に形成され、巻かれてフィルターエレメントを形成
しても良く、再び上記の公称穴サイズを有する。無論、
フィルターの他の物理形状が、本発明の範囲内で想像さ
れる。
いはジルコニウム酸化物(アルミナ或いはジルコニア)
の剛性の高い繊維断熱材から作られる断熱層14により取
り囲まれる。好適な構造においては、断熱層はフィルタ
ーユニット12の円周表面16に対して並列し、フィルター
は適切に支持され、且つ製作や交換中の操作に充分な強
度がある。好適には、断熱層14は複数の冷却構18を備
え、ある選択された温度下に絶縁物を保持する。
でいる。この窪みは、フィルター断熱物組立体に対して
環状であり、中央開口22を備えてフィルター断熱物組立
体の外部表面24を近接して収容する。こうして、フィル
ター断熱物組立体は装置10の組立或いは更新のために、
開口22に挿入され或いはそれから取り除かれることがで
きる。
うに示される。これは、好適な形態であるが、それら
は、装置の適用により他の形状にされ得る。
表的構造が示される。これは、何れの特定の尺度にも描
かれていない。それは単に、要素の概略配置の図示であ
る。この組立体への入口は、濾過されるべきガスの源か
ら続く入口パイプ26を供える。通常は、この入口パイプ
の直径は、フィルターエレメントより小さく、従って、
分岐部分28が存在して適切なサイズを達成している。こ
の分岐部分は、複数の機械的固定具34でマイクロ波窪み
20のフランジ32に開放可能に取り付けられるフランジ30
内で終端となる。類似して、配管の収束部分36が通常、
排気パイプ38に通じるフィルターユニット12からの出口
に必要とされる。この収束部分36は、同様にフランジ40
内で終端となり、マイクロ波窪みの底フランジ42と繋が
り、複数の固定具44でそれに開放可能に取り付けられ
る。フィルターユニット(と断熱材)をフランジ30に対
して保持し且つ道路衝撃を減少させるために、図示され
るように、代表的にはスプリング手段46が設けられる。
更に、フィルターユニット12と収束部分36との間の間隙
を橋渡すように、フィルター断熱体ユニットは、代表的
には変形可能な延長スリーブ48を有する。全体の組立体
の入口部分と出口部分が熱的に保護されるために、各々
は代表的には、断熱体50,52を備える。
(図3参照)と窪み20との間の、何れかの適当な代表的
結合手段により、矢印54で示されるように、窪み20に加
えられる。
る。示されるように、フィルター−ヒーターユニット
は、入口パイプ26と排気パイプ38(ここでは図示され
ず)との間に挿入される。これらの入口パイプと排気パ
イプとの間の差圧は、上流圧力PU用の圧力線56と下流圧
力PD用の圧力線58を使用して決定される。これらの圧力
は、制御回路60上に印加され、それにより差圧が初期設
定された値を越える時にフィルター−ヒーターユニット
の再生が開始される。この再生の第一段階は、代表的に
は、(図示されないが従来の形式の装置により)フィル
ター−ヒーターユニット用のバイパスを形成することで
ある。その後、マイクロ波発生器62が、制御回路60から
のリード線64を経ての出力信号により作動される。代表
的には約2.45GHzで約1Kwから約3Kwのマイクロ波エネル
ギーが、前記カップリング54によりフィルター−ヒータ
ー10に伝送され、それにより、内側フィルターユニット
が代表的には約600−800度Cまで均等に加熱される。こ
の特定の周波数範囲は、炭化ケイ素ヒゲ結晶と上手く結
合するように見出され、マイクロ波エネルギーを熱エネ
ルギーに変換するが、ヒゲ結晶と結合する何れの他の周
波数が使用されても良い。フィルターのヒゲ結晶が加熱
要素であるので、この温度は、5〜15分内に達成され、
フィルターユニットの台部分が同時に同温度に到達す
る。この加熱の間に、フィルターエレメントには、源68
からの或いは他の適当な空気源からの空気が供給され、
燃焼工程において役立つ。フィルター温度TFは、いずれ
かの適当な装置により監視され、所望の温度が所望の範
囲の外側である時に、制御回路60へのリード線66上の信
号がマイクロ波発生器62の動作を調節する。マイクロ波
加熱によるこの再生は、選択された時間継続され、蒸発
可能な材料をほぼ燃焼させる。もしマイクロ波窪みの加
熱が有害なら、冷却ガス(代表的には大気)が源68から
絶縁層内の通路を貫通して流される。フィルターユニッ
ト12内の使用に適当な炭化ケイ素ヒゲ結晶は、ここで参
照により組み込まれた米国特許番号4,873,069に報告さ
れるような次のような工程を使用して生産され得る。非
常に大きい表面積を有する非常に小さいケバ立った二酸
化シリコン粒子が、ケバ立った炭化材料と混ぜ合わされ
る。これらの材料の両方が、約40パーセント以上の空間
体積を有する。この混合物内の二酸化シリコン粒子は、
重量において、カーボン繊維の約1.5〜約2.75倍であ
る。混合物は、約1600〜1900度Cの温度まで少なくても
約0.2時間加熱され、その間に、混合物の表面で二つの
材料の間の反応の気体状の反応生成品が、炉を貫通して
不活性ガスを流すことにより安定状態に保持される。好
適には、アルミニウム金属と、ボロンとアルミニウムと
ランタン(或いはその混合物)の分析可能な化合物とか
ら構成されるグループからの触媒が、加熱段階に先立っ
て加えられる。次の例Iは、より詳細に、本発明での使
用のための炭化ケイ素ヒゲ結晶の生産を説明する。
O−Sil」のような、非常に大きい表面積(200m2/g)を
有する、非常に小さい(0.002ミクロン)ケバ立った二
酸化シリコン粒子が、乾燥状態で、完全に炭化された綿
繊維と直に混合される。無水ホウ素酸化物(B2O3)と粉
末アルミニウム金属の小さなパーセンテージが混合物に
加えられ、SiCヒゲ結晶の成長のための触媒として作用
する。
ラファイト合成容器内に積み込まれる。混合物は、1700
±50度Cの温度まで、アルゴン大気中で30−90分間さら
される。アルゴンは、一定に容器上に吹きつけられ、Si
Cヒゲ結晶の形成の間に、気体反応副産物を取り除く。
80パーセント以上の分離可能な1−3ミクロンの直径の
炭化ケイ素ヒゲ結晶を含み、残りは、粒子の且つ溶解し
たヒゲ結晶状材料である。非ヒゲ結晶材料は、機械的分
離により加熱処理された材料から取り除かれ、最終的炭
化ケイ素ヒゲ結晶製品を生じさせる。
イ素ヒゲ結晶のみのフェルト或いは紙を生産するのに利
用される。ヒゲ結晶のこれらの層は、それから、代表的
には繊維状アルミナ或いはジルコニアから作られる断熱
体(14)内の配置のために、代表的には、一体構造の波
形のフィルター構造(12)に形成される。フィルターユ
ニットは、代表的には、直径で5〜9インチで長さで9
〜12インチの真円円筒である。断熱スリーブは、代表的
には、フィルターユニットと同じ長さであり、1.5イン
チの代表的厚さを有する。従って、フィルター−断熱材
組立体の代表的直径は、約8〜12インチである。次の例
IIとIIIは、フィルターエレメントの代表的形成を説明
する。
高速高温ガス流から、細かい粒子を取り除かなければな
らない。これらの特徴は、材料特性において或る対立を
もたらす。フィルターは、充分な穴を有して、排気流に
おいて水の2インチ以下の圧力降下を生じさせねばなら
ない。それは、充分に細かい穴、或いは0.1ミクロン以
上の大きさの粒子の少なくても85%を止めるに充分な大
きさの表面積を有しなければならない。そのため、それ
は、非常に大きな表面積と、排気流圧力に抵抗する充分
に高い強度を伴う非常に薄い壁とを有しなければならな
い。
折り目を形成することにより達成される。
料の柔軟な形態を必要とする。この形態は、例Iにより
準備されたヒゲ結晶を使用するヒゲ結晶紙を作ることに
より達成される。代表的には0.003〜0.25インチの厚さ
を有するセルローズ繊維紙のシートは、良く知られるFo
urdrinier工程により形成される。ヒゲ結晶紙のシート
は、セルローズ繊維紙上に形成され、これは、0.008〜
0.050インチの厚さである。上記のシートと同じ、セル
ローズ繊維の最終シートが、SiCヒゲ結晶紙の上に形成
される。こうして、SiCヒゲ結晶紙は、次の段階中の支
持のために収容される。
に形成され、フィルターの動静を高くするための高温固
定物内に配置される。フィルターと固定物は、真空炉内
に配置され、約1200度Cに加熱されてセルローズ紙を焼
ききる。メチルトリクロロシランと水素或いは類似のSi
C形成ガスがSiC紙フィルター壁を貫通して押し込まれ、
SiCとHCLとH2製品が形成される。この段階で形成された
SiCは、紙内のSiCヒゲ結晶を結合し、フィルター形状を
剛性高く且つ強くする。フィルターは冷却され、且つ固
定物から取り除かれる。それは、それから、セラミック
ファイバー断熱外殻内に嵌め込まれ固定される。端部キ
ャップアダプターがそれから取り付けられる。
た或いは渦巻き状のフィルター形状に形成される。薄い
(0.010〜0.032インチ)板紙の前もって成型された物が
多孔性の成型品の内側に嵌め込まれる。例Iの工程から
形成された炭化ケイ素ヒゲ結晶が、水酸化アンモニウム
と分散剤としてのDarvon C(R.T.Vanderbiltからの)と
結合剤としてのメチルセルローズとを使用する水懸濁液
内に分散される。懸濁液は、40〜70重量%のSiCヒゲ結
晶を含むべきである。この懸濁液は、5〜15インチ水銀
柱高さの真空が成型品を通じて引かれながら、成型品の
内側を貫通して攪拌される。この真空は、ヒゲ結晶を、
約0.008〜約0.50インチの厚さまで、板紙の前もって成
型された物上に形成する。組立体は乾燥され、板紙の前
もって成型された物とヒゲ結晶は一体物として取り除か
れ、硬化の準備が整う。
り達成され、板紙とメチルセルローズ結合剤を炭素粒子
に変換する。炉はそれから更に1450〜1650度Cまで加熱
される。この温度に達する時、一体物は溶融シリコンで
吹きつけられ或いは溶融シリコン内に浸される。この溶
融シリコンは炭素と反応して炭化ケイ素を形成し、炭化
ケイ素ヒゲ結晶を結合して、フィルターを硬化させる。
それはそれから、断熱スリーブ内に挿入され、且ついず
れかの端部アダプターが取り付けられることができる。
うに、マイクロ波窪み20内に滑り可能に収容される。こ
の形状において、窪み内に方向付けされるマイクロ波エ
ネルギーは、フィルターの大部分を貫通してフィルター
ユニットのほぼ均等な加熱を生み出す。この均等な加熱
のために、炭素の焼ききりの間にフィルター内で温度勾
配はほぼ無く、従って、フィルターの使用やその再生の
何れかの間の潜在的損傷は無い。フィルター−断熱材組
立体は、最も重いヂーゼル出力のトラックや同様な車両
用の少なくても150000マイル操作の間、満足すべき性能
であることが注目される。もし、何れかの時に再生が適
当でなければ、フィルターを横切る差圧により決定され
た時に、ユニットは取り除かれ且つ新しいフィルター−
断熱材組立体が組込まれる。無論、もしフィルターが取
扱に充分な剛性を有して作られるならば、損傷が断熱材
に発生していなければ、それは単独で交換される。
適用使用を有するだろう。例えば、排気ガスが有害な量
の炭素を含む粒子を含む多くの石炭ガス化システムがあ
る。更に、粒子材料が比較的高温で取り除かれなければ
ならない流動床燃焼器、直接石炭火力ガスタービン等が
ある。これらの粒子の全ては、上記のフィルター−ヒー
ターシステムを使用して取り除かれることができ、その
フィルター部分はマイクロ波加熱を使用して、定期的に
(或いは要求により)再生される。炭化ケイ素ヒゲ結晶
は、ヂーゼル燃料と潤滑剤に共通して発見されるカルシ
ウムと亜鉛とリンと硫黄と鉄と酸化物を含むガスの他の
汚染物質に対し不活性である。
子を取り除くための一体構造のフィルター構造を提供す
る装置が進歩してきたことが理解される。この粒子材料
がそのような燃焼可能物を含む時、それらはマイクロ波
エネルギーで加熱されることによりフィルターから取り
除かれて、燃焼可能物を焼き代表的には二酸化炭素にな
らせることができる。一体構造フィルターの特別な性質
により、加熱はフィルター内でほぼ均等であり、温度勾
配はほぼ無く、ひび割れ或いは他の有害な構造的損傷
(熱膨張勾配により生じる)は無くなる。装置は、ヂー
ゼル燃料エンジンの排気システムに特別に有効である
が、それは、ガス流が、炭素を含む粒子(或いはその主
要部分が加熱により取り除かれることができる他の粒
子)を含む多くの分野で潜在的に有効である。
結晶を使用する。しかし、適当な濾過と、マイクロ波放
射と組み合わされて熱エネルギーを達成する炭化ケイ素
材料の他の形態が、本発明の使用に適当である。
らは、本発明の限定よりも説明を目的として提供され
た。従って、本発明は、付属する請求項とそれらの等価
物によってのみ限定されるべきである。
Claims (13)
- 【請求項1】ガス流から、熱の付与に際し蒸発可能な粒
子物を取り除くための、且つその再生のための、フィル
ター−ヒーター構造であり、 炭化ケイ素ヒゲ結晶で作られ、該ガス流から該粒子物を
取り除くフィルターエレメントであり、該炭化ケイ素ヒ
ゲ結晶は、マイクロ波の照射を受けてマイクロ波のエネ
ルギーを熱エネルギーに変換する、フィルターエレメン
トと、 該フィルターエレメントを取り囲み、冷却装置により冷
却される、断熱装置と、 該フィルターエレメント内に該ガス流を導入する装置
と、 該粒子物の取り除きの後に、該フィルターエレメントか
ら該ガス流を移す装置と、 該炭化ケイ素ヒゲ結晶に受け止められる選択された周波
数を伴うマイクロ波で、該フィルターエレメントの該炭
化ケイ素ヒゲ結晶を照射し、該粒子物の蒸発可能成分を
蒸発させる温度まで、該炭化ケイ素ヒゲ結晶の温度を上
昇させて、該フィルターエレメントからの該ガス流が、
該フィルターエレメントに保持された該粒子物の該蒸発
成分を含むようにする装置とを有する、フィルター−ヒ
ーター構造。 - 【請求項2】炭素含有粒子を含むガス流から、炭素含有
粒子を取り除く方法であり、 マイクロ波の照射を受けてマイクロ波のエネルギーを熱
エネルギーに変換する炭化ケイ素材料で作られるフィル
ターエレメントを貫通して、該ガス流を通過させる段階
と、 該フィルターエレメントを横切る差圧を監視して、該フ
ィルターエレメントによる該粒子物の捕捉を検知する段
階と、 該フィルターエレメントを横切る該差圧が、予め選択さ
れた上方値に達する時に、該ガス流から該フィルターエ
レメントを遮断する段階と、 該フィルターエレメントによる該粒子物の最大有効捕捉
を示す該予め選択された上方値に該差圧が達する時、選
択された周波数のマイクロ波のエネルギーで、該フィル
ターエレメントの該炭化ケイ素材料を、選択された温度
まで、選択された時間加熱して、該炭素含有粒子を蒸発
させ、該フィルターエレメントを再生する段階と、 該加熱中に、該フィルターエレメントを貫通して空気を
流し、炭素含有粒子の蒸発を促進する段階と、 該フィルターエレメントから、蒸発された炭素含有粒子
を排出する段階と、 該フィルターエレメントの再生がほぼ完了した時に、選
択された時間の後、該フィルターエレメントの炭化ケイ
素材料の加熱をやめる段階と、 該フィルターエレメントを、濾過されるべき該ガス流に
再接続する段階と、 を有する方法。 - 【請求項3】該炭化ケイ素材料は、炭化ケイ素ヒゲ結晶
である、請求項2の方法。 - 【請求項4】該加熱は、約2.45GHzの周波数と、約1000
〜3000ワットの出力のマイクロ波照射により行われる、
請求項1の方法。 - 【請求項5】該選択された温度は、約600〜800℃であ
る、請求項1の方法。 - 【請求項6】ガス流から、熱の付与に際し蒸発可能な粒
子物を取り除くための、且つその再生のための、フィル
ター−ヒーター構造であり、 炭化ケイ素材料で作られ、該ガス流から該粒子物を取り
除くフィルターエレメントであり、該炭化ケイ素材料
は、マイクロ波の照射を受けてマイクロ波のエネルギー
を熱エネルギーに変換する、フィルターエレメントと、 該フィルターエレメントの該炭化ケイ素材料に受け止め
られるマイクロ波で、該フィルターエレメントの該炭化
ケイ素材料を照射し、該フィルターエレメントに保持さ
れた該粒子物の蒸発可能成分を蒸発させる温度まで、該
フィルターエレメントの温度を上昇させる装置とを有す
る、フィルター−ヒーター構造。 - 【請求項7】該炭化ケイ素材料は、炭化ケイ素ヒゲ結晶
である、請求項6のフィルター−ヒーター構造。 - 【請求項8】該加熱は、約2.45GHzの周波数と、約1000
〜3000ワットの出力のマイクロ波照射により行われる、
請求項6のフィルター−ヒーター構造。 - 【請求項9】該フィルターエレメントを取り囲むマイク
ロ波窪み装置により、該炭化ケイ素材料はマイクロ波の
エネルギーを受け取る、請求項6のフィルター−ヒータ
ー構造。 - 【請求項10】該マイクロ波窪み装置と該フィルターエ
レメントとの間に断熱手段が配置される、請求項9のフ
ィルター−ヒーター構造。 - 【請求項11】断熱手段を貫通して冷却手段を通す通路
が、断熱手段に設けられる、請求項10のフィルター−ヒ
ーター構造。 - 【請求項12】該フィルターエレメント上に保持される
該粒子物により影響される、該フィルターエレメントを
横断する差圧を検知し、差圧に関する信号を発生する装
置と、 該差圧に関する信号が選択された値まで上昇した時に、
マイクロ波の照射を行わせ、マイクロ波のエネルギーに
より該フィルターエレメントの炭化ケイ素材料を加熱し
且つ該粒子物の蒸発可能成分を蒸発させ、該フィルター
エレメントの再生がほぼ完了した時、選択された時間の
後、マイクロ波の照射を行わなくさせる装置とを有す
る、請求項6のフィルター−ヒーター構造。 - 【請求項13】該マイクロ波の照射により該フィルター
エレメント内に選択された温度を生じさせる、該フィル
ターエレメントに設けられる温度測定装置を有する、請
求項6のフィルター−ヒーター構造。
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