JPH0745668A - Ｔａｂテープ用スクリーン印刷機のステージ構造 - Google Patents
Ｔａｂテープ用スクリーン印刷機のステージ構造Info
- Publication number
- JPH0745668A JPH0745668A JP5191129A JP19112993A JPH0745668A JP H0745668 A JPH0745668 A JP H0745668A JP 5191129 A JP5191129 A JP 5191129A JP 19112993 A JP19112993 A JP 19112993A JP H0745668 A JPH0745668 A JP H0745668A
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- JP
- Japan
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- tab tape
- leads
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- stage
- tape
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】リードに変形を生じさせることなく、ＴＡＢテ
ープ上に均一にレジスト塗料を印刷することを可能にす
る。 【構成】ＴＡＢテープ１０は、ベースフィルム１の一面
にリードパターンが形成され、このフィルム１に設けら
れたデバイスホール３，アウターリードホール４等の開
口部にリード５，６が存在する。このＴＡＢテープ１０
を、ＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の印刷ステージ２
１上に支持し、印刷パターンを形成したスクリーンマス
ク９を介してＴＡＢテープ１０上からレジストインク１
６を所定のスキージ圧で塗布する。上記印刷ステージ２
１上に、リード５，６が形成されたフィルムのホール位
置に対応させて同形状でフィルム厚と同一高さの凸部２
３，２４を設ける。これにより塗布時、ホールに存在す
るリード５，６を支えてスキージ圧に抗することができ
るようにする。
ープ上に均一にレジスト塗料を印刷することを可能にす
る。 【構成】ＴＡＢテープ１０は、ベースフィルム１の一面
にリードパターンが形成され、このフィルム１に設けら
れたデバイスホール３，アウターリードホール４等の開
口部にリード５，６が存在する。このＴＡＢテープ１０
を、ＴＡＢテープ用スクリーン印刷機の印刷ステージ２
１上に支持し、印刷パターンを形成したスクリーンマス
ク９を介してＴＡＢテープ１０上からレジストインク１
６を所定のスキージ圧で塗布する。上記印刷ステージ２
１上に、リード５，６が形成されたフィルムのホール位
置に対応させて同形状でフィルム厚と同一高さの凸部２
３，２４を設ける。これにより塗布時、ホールに存在す
るリード５，６を支えてスキージ圧に抗することができ
るようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＴＡＢテープ用スクリ
ーン印刷機のステージ構造に関する。
ーン印刷機のステージ構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体実装に用いられるＴＡＢ（Tape A
utomated Bonding）方式で使用されるＴＡＢテープは、
図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、搬送用のスプロケッ
トホール２、半導体素子配設用のデバイスホール３、外
部基板との接続用のアウターリードホール４等の開口部
を有するポリイミド等のベースフィルム１に、インナー
リード５やアウターリード６等からなる銅リードパター
ンＬが形成されたものである。
utomated Bonding）方式で使用されるＴＡＢテープは、
図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、搬送用のスプロケッ
トホール２、半導体素子配設用のデバイスホール３、外
部基板との接続用のアウターリードホール４等の開口部
を有するポリイミド等のベースフィルム１に、インナー
リード５やアウターリード６等からなる銅リードパター
ンＬが形成されたものである。
【０００３】素子と接続されるインナーリード５はデバ
イスホール３内に突き出すように形成され、また外部基
板と接続されるアウターリード６はアウターリードホー
ル４を横切るように形成されている。
イスホール３内に突き出すように形成され、また外部基
板と接続されるアウターリード６はアウターリードホー
ル４を横切るように形成されている。
【０００４】前記アウターリード６あるいは電気試験等
で用いられるパッド部７を除いたリードパターンＬは、
通常、絶縁及び腐食環境からの保護のためにソルダーレ
ジスト８を塗布するが、このレジスト塗布はスクリーン
印刷法を用いるのが一般的である。
で用いられるパッド部７を除いたリードパターンＬは、
通常、絶縁及び腐食環境からの保護のためにソルダーレ
ジスト８を塗布するが、このレジスト塗布はスクリーン
印刷法を用いるのが一般的である。
【０００５】スクリーン印刷は、図４（Ａ）（Ｂ）に示
すように、ポリエステル繊維またはステンレス繊維製の
メッシュに感光乳剤を塗布・露光・現像して印刷パター
ンに対応する所定形状の透孔１５を形成したスクリーン
マスク９を、印刷ステージ１１上のＴＡＢテープ１０上
に所定間隔（ギャップａ）をもって位置合わせし、フィ
ルム吸着用吸引孔１２よりＴＡＢテープ１０を印刷ステ
ージ１１上に吸着させ、スキージホルダー１４に保持し
たゴム製スキージ１３の圧力によりスクリーン９上のレ
ジストインク１６を前記透孔１５を通して押し出し、Ｔ
ＡＢテープ１０の所定位置に転写させることにより行な
われる。
すように、ポリエステル繊維またはステンレス繊維製の
メッシュに感光乳剤を塗布・露光・現像して印刷パター
ンに対応する所定形状の透孔１５を形成したスクリーン
マスク９を、印刷ステージ１１上のＴＡＢテープ１０上
に所定間隔（ギャップａ）をもって位置合わせし、フィ
ルム吸着用吸引孔１２よりＴＡＢテープ１０を印刷ステ
ージ１１上に吸着させ、スキージホルダー１４に保持し
たゴム製スキージ１３の圧力によりスクリーン９上のレ
ジストインク１６を前記透孔１５を通して押し出し、Ｔ
ＡＢテープ１０の所定位置に転写させることにより行な
われる。
【０００６】この際、スクリーンマスク９の乳剤面と接
触するＴＡＢテープ１０のリード５，６は、スキージ圧
によって下方に押し下げられるが、従来の印刷機ではス
テージ１１が平板なため、デバイスホール３，アウター
リードホール４等のフィルム開口部内に形成されたイン
ナーリード５，アウターリード６は、ベースフィルム１
により支持されていないので、前記スキージ圧の大きさ
によっては下方に変形する可能性がある。このため、従
来は、印刷時のスキージ圧を一定値以下に制限してリー
ドの変形を防止していた。
触するＴＡＢテープ１０のリード５，６は、スキージ圧
によって下方に押し下げられるが、従来の印刷機ではス
テージ１１が平板なため、デバイスホール３，アウター
リードホール４等のフィルム開口部内に形成されたイン
ナーリード５，アウターリード６は、ベースフィルム１
により支持されていないので、前記スキージ圧の大きさ
によっては下方に変形する可能性がある。このため、従
来は、印刷時のスキージ圧を一定値以下に制限してリー
ドの変形を防止していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年Ｔ
ＡＢテープリードはファイン化の傾向にあり、リード
幅，リード間隔が微細化しているため、リード間にソル
ダレジストを確実に充填させる必要がある。ソルダレジ
ストを確実に充填させるためにはスキージ圧を高くしな
ければならないが、スキージ圧が高過ぎるとフィルム開
口部内のリード変形が顕著に現われるようになる。この
ためフィルム開口部におけるリード変形を防止する技術
が望まれていた。
ＡＢテープリードはファイン化の傾向にあり、リード
幅，リード間隔が微細化しているため、リード間にソル
ダレジストを確実に充填させる必要がある。ソルダレジ
ストを確実に充填させるためにはスキージ圧を高くしな
ければならないが、スキージ圧が高過ぎるとフィルム開
口部内のリード変形が顕著に現われるようになる。この
ためフィルム開口部におけるリード変形を防止する技術
が望まれていた。
【０００８】そこで、本発明の目的は、前記した従来技
術の欠点を解消し、リードに変形を生じさせることな
く、ＴＡＢテープ上に均一にレジストを印刷できるスク
リーン印刷機のステージ構造を提供することにある。
術の欠点を解消し、リードに変形を生じさせることな
く、ＴＡＢテープ上に均一にレジストを印刷できるスク
リーン印刷機のステージ構造を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によるＴＡＢテープ用スクリーン印刷機のス
テージ構造は、デバイスホール等の所定の開口部にリー
ドが形成されているＴＡＢテープを印刷ステージ上に支
持し、スクリーンマスクからスキージ圧をＴＡＢテープ
に加えてレジストを塗布するＴＡＢテープ用のスクリー
ン印刷機において、ＴＡＢテープの開口部位置に対応す
る印刷ステージ上に、前記開口部に形成されているリー
ドを支持してスキージ圧による変形を防止する凸部を設
けるようにしたものである。
め、本発明によるＴＡＢテープ用スクリーン印刷機のス
テージ構造は、デバイスホール等の所定の開口部にリー
ドが形成されているＴＡＢテープを印刷ステージ上に支
持し、スクリーンマスクからスキージ圧をＴＡＢテープ
に加えてレジストを塗布するＴＡＢテープ用のスクリー
ン印刷機において、ＴＡＢテープの開口部位置に対応す
る印刷ステージ上に、前記開口部に形成されているリー
ドを支持してスキージ圧による変形を防止する凸部を設
けるようにしたものである。
【００１０】
【作用】印刷ステージ上にＴＡＢテープを載せると、印
刷ステージに設けた凸部がベースフィルム開口内に納ま
って開口を塞ぐ形になる。従って、この開口上に位置す
るリードは凸部により支持され、スキージ圧を大きくし
ても変形を生じない。
刷ステージに設けた凸部がベースフィルム開口内に納ま
って開口を塞ぐ形になる。従って、この開口上に位置す
るリードは凸部により支持され、スキージ圧を大きくし
ても変形を生じない。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１２】図２は、既述した図３のＴＡＢテープ１０
に対応したスクリーン印刷機の印刷ステージ２１のＴＡ
Ｂテープ１単位を示したもので、（Ａ）はその平面図、
（Ｂ）はその断面図である。
に対応したスクリーン印刷機の印刷ステージ２１のＴＡ
Ｂテープ１単位を示したもので、（Ａ）はその平面図、
（Ｂ）はその断面図である。
【００１３】この印刷ステージ２１には、図３に示した
ＴＡＢテープ１０のデバイスホール３およびアウターリ
ードホール４に対応した位置に、これらホールと略同形
状で、ベースフィルム１の厚さと略同一高さの凸部２
３，２４が形成されている。即ち、ＴＡＢテープ１単位
の中央に対応づけられる印刷ステージ１１の中央位置に
は、デバイスホール３に対応する上面が平坦な矩形をし
た凸部２３が形成され、また、その周囲にはアウターリ
ードホール４に対応する上面が平坦で長方形をした４つ
の凸部２４が設けられている。
ＴＡＢテープ１０のデバイスホール３およびアウターリ
ードホール４に対応した位置に、これらホールと略同形
状で、ベースフィルム１の厚さと略同一高さの凸部２
３，２４が形成されている。即ち、ＴＡＢテープ１単位
の中央に対応づけられる印刷ステージ１１の中央位置に
は、デバイスホール３に対応する上面が平坦な矩形をし
た凸部２３が形成され、また、その周囲にはアウターリ
ードホール４に対応する上面が平坦で長方形をした４つ
の凸部２４が設けられている。
【００１４】このように、スクリーン印刷機の印刷ステ
ージ２１面にＴＡＢテープ１０のベースフィルム開口部
と略同一形状で且つベースフィルム厚と略同一高さの凸
部２３，２４を設けるものである。しかし、凸部２３，
２４の形状はホールと必ずしも同一形状、同一厚さとす
る必要はなく、ホール内に形成されたインナーリード
５，アウターリード６を支持してリード５，６のスキー
ジ圧による変形を防止できる大きさ、形状に形成すれば
よい。
ージ２１面にＴＡＢテープ１０のベースフィルム開口部
と略同一形状で且つベースフィルム厚と略同一高さの凸
部２３，２４を設けるものである。しかし、凸部２３，
２４の形状はホールと必ずしも同一形状、同一厚さとす
る必要はなく、ホール内に形成されたインナーリード
５，アウターリード６を支持してリード５，６のスキー
ジ圧による変形を防止できる大きさ、形状に形成すれば
よい。
【００１５】本実施例では凸部の外形は、ベースフィル
ム１に設けるホールの寸法精度および印刷機のフィルム
位置決め精度を考慮して、ホール３，４のエッジより
０．１mm程小さくしている。また、印刷ステージ２１の
適宜箇所にフィルムを吸着固定するための吸引孔２２を
設けてある。
ム１に設けるホールの寸法精度および印刷機のフィルム
位置決め精度を考慮して、ホール３，４のエッジより
０．１mm程小さくしている。また、印刷ステージ２１の
適宜箇所にフィルムを吸着固定するための吸引孔２２を
設けてある。
【００１６】図１は、本実施例による印刷中の状態を説
明した摸式図であり、上記した印刷ステージ２１を従来
の図４の印刷ステージ１１の代りに装着している。この
印刷ステージ２１上にＴＡＢテープ１０を載置した場
合、ベースフィルム１に設けられているホール３，４内
には上記凸部２３，２４が入り込んでホールを塞ぐ形に
なり、このホール上に位置するインナーリード５やアウ
ターリード６は、いずれもステージ２１上に設けた凸部
２３，２４により支持されるため、スキージ圧を大きく
しても変形を生じない。従って、ファインパターンであ
ってもソルダレジストをリード間に確実に充填すること
ができる。
明した摸式図であり、上記した印刷ステージ２１を従来
の図４の印刷ステージ１１の代りに装着している。この
印刷ステージ２１上にＴＡＢテープ１０を載置した場
合、ベースフィルム１に設けられているホール３，４内
には上記凸部２３，２４が入り込んでホールを塞ぐ形に
なり、このホール上に位置するインナーリード５やアウ
ターリード６は、いずれもステージ２１上に設けた凸部
２３，２４により支持されるため、スキージ圧を大きく
しても変形を生じない。従って、ファインパターンであ
ってもソルダレジストをリード間に確実に充填すること
ができる。
【００１７】本実施例の効果を調べるため、従来の平板
ステージ１１および本実施例の凸部付きステージ（凸部
高さ０．１４mm）２１を用いて印刷実験を行ない、リー
ドの変形度合を測定した。実験条件は次の通りとした。
ステージ１１および本実施例の凸部付きステージ（凸部
高さ０．１４mm）２１を用いて印刷実験を行ない、リー
ドの変形度合を測定した。実験条件は次の通りとした。
【００１８】（１）使用ＴＡＢテープ：ベースフィルム
厚１２５μm 、接着剤厚２０μm 、銅箔厚３５μm 、イ
ンナーリード幅５０μm ，長さ０．８mm、アウターリー
ド幅１５０μm ，長さ２mm （２）スクリーンマスク；ポリエステル１８０メッシ
ュ、乳剤厚３０μm （３）スキージ；ウレタンゴム製、硬度７０° （４）印刷条件 〓スクリーンステージ間ギャップ：１．０mm 〓スキージ圧力（スキージ先端下死点位置）：ステージ
面基準−０．７５mm 〓スキージ速度：５０mm／秒 この結果、従来の平板ステージ１１を用いた場合には、
インナーリード先端が６０〜１２０μm 、アウターリー
ド中央が４０〜１００μm それぞれ下方に変形したのに
対して、ホール位置に凸部を設けた本実施例のステージ
２１を用いた場合には、インナーリード５、アウターリ
ード６のいずれも変形量は０〜２０μmの範囲内であ
り、印刷前の状態と同様であった。
厚１２５μm 、接着剤厚２０μm 、銅箔厚３５μm 、イ
ンナーリード幅５０μm ，長さ０．８mm、アウターリー
ド幅１５０μm ，長さ２mm （２）スクリーンマスク；ポリエステル１８０メッシ
ュ、乳剤厚３０μm （３）スキージ；ウレタンゴム製、硬度７０° （４）印刷条件 〓スクリーンステージ間ギャップ：１．０mm 〓スキージ圧力（スキージ先端下死点位置）：ステージ
面基準−０．７５mm 〓スキージ速度：５０mm／秒 この結果、従来の平板ステージ１１を用いた場合には、
インナーリード先端が６０〜１２０μm 、アウターリー
ド中央が４０〜１００μm それぞれ下方に変形したのに
対して、ホール位置に凸部を設けた本実施例のステージ
２１を用いた場合には、インナーリード５、アウターリ
ード６のいずれも変形量は０〜２０μmの範囲内であ
り、印刷前の状態と同様であった。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の印刷ステ
ージ構造によれば、レジスト印刷の際にスキージ圧力を
高くしても、ＴＡＢテープの開口部に形成されたインナ
ーリード、アウターリードは凸部により支持されるた
め、これらリードの変形を生じることがなく、レジスト
の塗布が均一且つ確実に行なえるので、ＴＡＢテープの
信頼性を大幅に向上することができる。
ージ構造によれば、レジスト印刷の際にスキージ圧力を
高くしても、ＴＡＢテープの開口部に形成されたインナ
ーリード、アウターリードは凸部により支持されるた
め、これらリードの変形を生じることがなく、レジスト
の塗布が均一且つ確実に行なえるので、ＴＡＢテープの
信頼性を大幅に向上することができる。
【図１】本発明の一実施例の凸部付き印刷ステージを用
いた印刷中の状態を示す断面摸式図である。
いた印刷中の状態を示す断面摸式図である。
【図２】本発明の一実施例に係るＴＡＢテープ用印刷機
のステージ構造部分を示したもので、（Ａ）はその平面
図、（Ｂ）はそのＹ−Ｙ断面図である。
のステージ構造部分を示したもので、（Ａ）はその平面
図、（Ｂ）はそのＹ−Ｙ断面図である。
【図３】ＴＡＢテープの１単位の形状を示したもので、
（Ａ）はその平面図、（Ｂ）はそのＸ−Ｘ断面図であ
る。
（Ａ）はその平面図、（Ｂ）はそのＸ−Ｘ断面図であ
る。
【図４】従来のスクリーン印刷の方法を示すＴＡＢテー
プ幅方向の断面摸式図であり、（Ａ）は印刷開始前、
（Ｂ）は印刷中の状態をそれぞれ示す図である。
プ幅方向の断面摸式図であり、（Ａ）は印刷開始前、
（Ｂ）は印刷中の状態をそれぞれ示す図である。
１ ベースフィルム ３ デバイスホール ４ アウターリードホール ５ インナーリード ６ アウターリード ９ スクリーンマスク １０ ＴＡＢテープ １３ スキージ １４ スキージホルダー １６ レジストインク ２１ 印刷ステージ ２２ 吸引孔 ２３，２４ 凸部
Claims (1)
- 【請求項１】デバイスホール等の所定の開口部にリード
が形成されているＴＡＢテープを印刷ステージ上に支持
し、スクリーンマスクからスキージ圧をＴＡＢテープに
加えてレジストを塗布するＴＡＢテープ用のスクリーン
印刷機において、前記ＴＡＢテープの開口部位置に対応
する印刷ステージ上に、前記開口部に形成されているリ
ードを支持してスキージ圧による変形を防止する凸部を
設けたことを特徴とするＴＡＢテープ用スクリーン印刷
機のステージ構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5191129A JPH0745668A (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | Ｔａｂテープ用スクリーン印刷機のステージ構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5191129A JPH0745668A (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | Ｔａｂテープ用スクリーン印刷機のステージ構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0745668A true JPH0745668A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16269362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5191129A Pending JPH0745668A (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | Ｔａｂテープ用スクリーン印刷機のステージ構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0745668A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018500193A (ja) * | 2014-09-30 | 2018-01-11 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 広い線幅を有する導電性パターン及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-08-02 JP JP5191129A patent/JPH0745668A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018500193A (ja) * | 2014-09-30 | 2018-01-11 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 広い線幅を有する導電性パターン及びその製造方法 |
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