JP3169039B2 - Tab用テープキャリア,及びその製造方法 - Google Patents

Tab用テープキャリア,及びその製造方法

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tape carrier
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修 吉岡
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto

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  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はTAB用テープキャリ
ア,及びその製造方法に関し、特に、製造工程の複雑化
や作業の煩雑化、更には品質の低下を招かずにスリット
上に存在する導体パターンの耐折性を向上させたTAB
用テープキャリア,及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、IC,LSI等の半導体素子の実
装方式として、長尺状のテープキャリアにワイヤレスボ
ンディングで半導体素子を組み込んでゆくTAB(Tape
Automated Bonding)方式が、実装の自動化と高速化が
図れる上に折り曲げ実装に有利であるとして注目されて
いる。
【0003】図7,及び図8には、LCDパネルに実装
する折り曲げ基盤実装用のTAB用テープキャリアの構
造が示されている。このTAB用テープキャリアは、ポ
リイミド,ポリエステル等よりなる絶縁フィルムテープ
1と、その上面に接着剤を介して接着された銅箔等の金
属層をエッチング等して、絶縁フィルムテープ1の上面
に形成された導体パターン2より構成されている。ま
た、導体パターン2は半導体素子の電極と接続されるイ
ンナーリード2Aと、半導体素子を駆動するためにプリ
ント基盤と接続される入力用アウターリード2Bと、後
述するLCDパネルと接続される出力用アウターリード
2Cより構成されている。
【0004】絶縁フィルムテープ1は、搬送や後工程で
の位置決めを行うためのスプロケットホール3と、半導
体チップを収容し、その電極をインナーリード2Aに接
続するためのデバイスホール4と、入力用アウターリー
ド2Bをプリント基盤に接続するためのアウターホール
5と、折り曲げ部分における折り曲げ性を向上させるた
めのスリット6が形成された構成を有している。
【0005】スリット6は、その上の導体パターン2の
裏面を被覆する保護樹脂7を内部に有しており、保護樹
脂7は折り曲げ時に導体パターン2の支持を行って、各
リードの短絡,断線を防ぐようになっている。
【0006】つまり、TAB用テープキャリアは、図9
に示すように、デバイスホール4に半導体素子9が配置
されると共に、Auバンプ10を介してインナーリード
2Aと半導体素子9の電極がワイヤレスボンディングさ
れ、更に、半導体素子9の周囲をポッティングレジン1
1で封止されることにより半導体装置とされ、図10に
示すように、3箇所のスリット6で折り曲げられ、18
0度湾曲した状態で出力用アウターリード2CとLCD
パネル13の配線部が異方性導電膜14で接続されると
共に、入力用アウターリード2Bとプリント基盤12が
所定の方法で接続される。このとき、スリット6上の導
体パターン2は、厚さ35μm,リード幅0.05〜
0.2mmと非常に微細で機械的強度が非常に低く、折
り曲げ時に変形や断線が生じ易いが、保護樹脂7で導体
パターン2を補強しているため、それが防げるようにな
っている。
【0007】このように折り曲げ用のスリットに保護樹
脂を塗布して、この部分に導体パターンを補強するTA
B用テープキャリアとして、例えば、特開平4−307
41号公報に示されるものがある。このTAB用テープ
キャリアは、絶縁フィルムテープを折り曲げた後、スリ
ットの導体パターンに保護樹脂を塗布しており、微細な
導体パターンを変形,或いは破断させずに保護樹脂を塗
布するのが困難であるという欠点があった。
【0008】そこで、このような欠点を改良するため
に、フィルムテープの折り曲げ前、つまり、導体パター
ンを形成した後、スリットの導体パターンに保護樹脂を
塗布する方法が、特開平2−132418号公報,特開
平4−162542号公報,及び特開平5−3288号
公報によって提案されている。
【0009】これらの方法は、何れもスリットの銅箔裏
面にスクリーン印刷で保護用樹脂を塗布するもので、印
刷条件やインク状のレジストの粘度等の管理幅が狭く、
各スリットの保護樹脂の膜厚は、ばらつきの範囲内で一
定となる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のTAB
用テープキャリアによると、複数のスリットの保護樹脂
の膜厚が一定なため、折り曲げ形状に応じて特定のスリ
ットに折り曲げ応力が集中するという不都合がある。つ
まり、絶縁フィルムテープを折り曲げた時の折り曲げ形
状が、例えば、図10に示すような液晶パネルへの実装
時の状態では、両側のスリットに折り曲げ応力が集中し
てしまい、この部分で銅リードの変形や破断等が生じ
て、耐折性が低下するという不都合がある。
【0011】また、スクリーン印刷による1度の印刷で
各スリットに保護樹脂を形成しているため、各スリット
における屈曲特性を変えるためには、印刷条件を変更す
る,或いは印刷するインクの粘度を変える等の工夫が必
要となる。従って、必然的に印刷を複数回行うことにな
り、製造工程が増加して作業が煩雑となると共に位置精
度が低下して品質が低下するという不都合がある。
【0012】従って、本発明の目的は製造工程の複雑化
や作業の煩雑化、更には品質の低下を招かずにスリット
上に存在する導体パターンの耐折性を向上させることが
できるTAB用テープキャリアを提供することである。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点に鑑
み、スリット上に存在する導体パターンの耐折性を向上
させるため、複数のスリットの内部に各スリットの曲げ
角度に応じた弾性率,或いは硬度を有した保護樹脂を導
体パターンの裏面を被覆するように設けたTAB用テー
プキャリアを提供するものである。
【0014】また、製造工程の複雑化や作業の煩雑化を
招かずに導体パターンの耐折性を向上させるため、絶縁
フィルムに折り曲げ用の複数のスリットを形成し、複数
のスリットが形成された絶縁フィルム上に銅箔等の金属
層を貼付し、複数のスリットの内部に、各スリットの曲
げ角度に応じた弾性率,或いは硬度の保護樹脂をスリッ
ト上の金属層を被覆するように塗布し、金属層をエッチ
ング等して、絶縁フィルムの上面に導体パターンを形成
するようにしたTAB用テープキャリアの製造方法を提
供するものである。
【0015】上記保護樹脂の塗布は、各スリット毎にデ
ィスペンサによる塗布によって行われることが好まし
い。
【0016】また、上記の製造方法において、導体パタ
ーンを形成した後、スリットが形成されている位置で上
面側から導体パターンの表面を被覆する保護樹脂を塗布
するようにしても良い。この時の保護樹脂の形成は、デ
ィスペンサによる塗布で行っても良く、或いはスクリー
ン印刷で行っても良い。このようにすると、スリット上
に存在する導体パターンの補強を片面のみに保護樹脂を
形成したときよりも高めることができ、より耐折性を向
上させることができる。
【0017】
【実施例】以下、本発明のTAB用テープキャリア,及
びその製造方法について添付図面を参照しながら詳細に
説明する。
【0018】図1には、本発明の一実施例のTAB用テ
ープキャリアを用いた半導体装置の断面構造が示されて
いる。この図において、図9と同一の部分には同一の引
用数字,符号を付したので重複する説明は省略する。
【0019】上記した半導体装置に用いられたTAB用
テープキャリアは、3本のスリット6A,6B,6Cの
内部に、それぞれの折り曲げ角度に応じた弾性率を有す
る保護樹脂7A,7B,7Cが導体パターン2の裏面を
被覆するように形成された構成を有している。
【0020】すなわち、図2に示すように、LCDパネ
ル13とプリント基盤12に折り曲げて実装する場合、
TAB用テープキャアのスリット6A,6Cに弾性率の
低い保護樹脂7A,7Cが塗布され、スリット6Bに弾
性率の高い保護樹脂7Bが塗布された構成を有してい
る。
【0021】以上の構成において、TAB用テープキャ
リアを、図2に示すように、LCDパネル13とプリン
ト基盤12に実装させて折り曲げると、最も屈曲率の高
いスリット6A,6Cの保護樹脂7A,7Cの弾性率が
スリット6Bの保護樹脂の弾性率より低いため、特定の
スリット6A,6Cに折り曲げ応力が集中するのを防ぐ
ことができ、その結果、絶縁フィルムテープ1を所定の
形状に維持することが容易になる。つまり、折り曲げ応
力の分散化が図れ、スリット6上に存在する導体パター
ン2の耐折性を向上させることができる。
【0022】上記の効果を確認するため、絶縁フィルム
テープの折り曲げ試験を行って、銅リードが破断するま
での回数を測定した。その結果、各スリットの保護樹脂
の弾性率が均一なTAB用テープキャリアは、90〜1
85回で銅リードが破断したのに対し、本発明の各スリ
ットの保護樹脂の弾性率が異なったTAB用テープキャ
リアは、100〜305回まで銅リードの破断が生じな
かった。
【0023】以下、本発明のTAB用テープキャリアの
製造方法について説明する。まず、図3において、厚さ
約50〜125μmの絶縁フィルムテープ1にスプロケ
ットホール3,デバイスホール4,アウターホール5,
及び3本のスリット6をそれぞれプレス加工により形成
する。
【0024】次に、図4において、絶縁フィルムテープ
1の上面に接着剤を塗布し、その上に厚さ約35μmの
銅箔15を加熱接着する。
【0025】更に、図5において、スリット6A,6C
の内部に40〜1×105 dyne/cm2 の弾性率を
有する保護樹脂7A,7Cを、また、スリット6Bの内
部に5×106 dyne/cm2 より大なる弾性率を有
する保護樹脂7Bをそれぞれ導体パターン2の裏面を被
覆するようにディスペンサで塗布する。
【0026】最後に、図6において、銅箔15の表面に
感光性有機レジストを塗布した後、配線パターンの焼付
・現像を行い、次に、レジストパターンに沿ってエッチ
ングして、絶縁フィルムテープ1の上面にインナーリー
ド2A,入出力用アウターリード2B,2Cを有する所
定の形状の導体パターン2を形成する。
【0027】また、必要に応じてパターン保護用のソル
ダーレジスト8を導体パターン2上に施し、最後に錫め
っき,金めっき,半田めっき等の表面処理を施して全工
程が終了する。
【0028】以上説明した製造方法では、複数のスリッ
ト6A,6B,6Cの内部にディペンサで異なった弾性
率の保護樹脂7A,7B,7Cを形成しているため、製
造工程の複雑化や作業の煩雑化、更には品質の低下を招
かずに、各スリットの屈曲特性を任意に変えることがで
きる。なお、上記実施例では、保護樹脂7A,7B,7
Cの弾性率を異ならせたが、硬度(JIS法)等の特性
が異なる樹脂を塗布しても良い。また、保護樹脂として
は柔軟性が求められ、ゴム弾性を有するものからポリイ
ミド等の弾性率の高い樹脂の組み合わせ等が挙げられ
る。
【0029】また、上記した製造において、銅箔15を
エッチング等して、導体パターン2とした後、ソルダー
レジスト8を施す前にスリット6の位置で上面側から導
体パターン2の表面を被覆する保護樹脂を塗布しても良
い。この場合、導体パターン2の補強を裏面のみに保護
樹脂を形成したときよりも高めることができ、より耐折
性を向上させることができる。なお、この保護樹脂の弾
性率,或いは硬度も各スリット6A,6B,6Cの曲げ
角度に対応させても良い。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のTAB用
テープキャリア,及びその製造方法によると、絶縁フィ
ルムに折り曲げ用の複数のスリットを形成し、複数のス
リットが形成された絶縁フィルム上に銅箔等の金属層を
貼付し、スリットの内部に各スリットの曲げ角度に応じ
た弾性率,或いは硬度を有した保護樹脂をスリット上の
金属層を被覆するように塗布し、金属層をエッチング等
して、絶縁フィルムの上面に導体パターンを形成するよ
うにしたため、製造工程の複雑化や作業の煩雑化、更に
は品質の低下を招かずにスリット上に存在する導体パタ
ーンの耐折性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係るTAB用テープキャリ
アを用いた半導体装置を示す断面図。
【図2】一実施例のTAB用テープキャリアを用いた半
導体装置のLCDパネルへの実装状態を示す部分断面
図。
【図3】一実施例に係る製造工程を示す平面図。
【図4】一実施例に係る製造工程を示す平面図。
【図5】一実施例に係る製造工程を示す断面図。
【図6】一実施例に係る製造工程を示す平面図。
【図7】従来のTAB用テープキャリアを示す平面図。
【図8】従来のTAB用テープキャリアを示す断面図。
【図9】従来のTAB用テープキャリアを用いた半導体
装置を示す断面図。
【図10】従来のTAB用テープキャリアを用いた半導
体装置のLCDパネルへの実装状態を示す部分断面図。
【符号の説明】
1 絶縁フィルムテープ 2 導体パターン 2A インナーリード 2B 入力用アウターリード 2C 出力用アウターリード 3 スプロケットホール 4 デバイスホール 5 アウターホール 6,6A,6B,6C スリット 7,7A,7B,7C 保護樹脂 8 ソルダーレジスト 9 半導体素子 10 Auバンプ 11 ポッティングレジン 12 プリント基盤 13 LCDパネル 14 異方性導電膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多賀 勝俊 茨城県土浦市木田余町3550番地 日立電 線株式会社 システムマテリアル研究所 内 (56)参考文献 特開 昭60−216573(JP,A) 特開 平4−359443(JP,A) 特開 平5−315403(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/60 311

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のスリットが形成された絶縁フィル
    ムの上面に、前記スリット上を通過するように所定の形
    状で形成された導体パターンを有し、前記複数のスリッ
    トの位置で所定の角度で折り曲げて使用されるTAB用
    テープキャリアにおいて、 前記複数のスリットの内部に、前記所定の角度に応じた
    弾性率,或いは硬度を有した保護樹脂が前記導体パター
    ンの裏面を被覆するように設けられていることを特徴と
    するTAB用テープキャリア。
  2. 【請求項2】 絶縁フィルムに折り曲げ用の複数のスリ
    ットを形成し、 前記複数のスリットが形成された絶縁フィルム上に銅箔
    等の金属層を貼付し、 前記複数のスリットの内部に、各スリットの曲げ角度に
    応じた弾性率,或いは硬度を有した保護樹脂を前記スリ
    ット上の金属層を被覆するように塗布し、 前記金属層をエッチング等して、前記絶縁フィルムの前
    記上面に導体パターンを形成することを特徴とするTA
    B用テープキャリアの製造方法。
  3. 【請求項3】 前記保護樹脂の塗布は、ディスペンサに
    よる塗布によって行われる請求項2のTAB用テープキ
    ャリアの製造方法。
  4. 【請求項4】 前記導体パターンを形成した後、前記ス
    リットが形成されている位置で前記上面側から前記導体
    パターンの表面を被覆する保護樹脂を塗布する請求項2
    のTAB用テープキャリアの製造方法。
  5. 【請求項5】 前記導体パターンの表面を被覆する保護
    樹脂は、前記各スリットの曲げ角度に応じた弾性率,或
    いは硬度を有する請求項4のTAB用テープキャリアの
    製造方法。
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