JPH0745424A - 集合磁石及びその製造方法 - Google Patents
集合磁石及びその製造方法Info
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- JPH0745424A JPH0745424A JP5184707A JP18470793A JPH0745424A JP H0745424 A JPH0745424 A JP H0745424A JP 5184707 A JP5184707 A JP 5184707A JP 18470793 A JP18470793 A JP 18470793A JP H0745424 A JPH0745424 A JP H0745424A
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- magnet material
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 生産効率が優れると共に、充分に均一化され
た安定磁場により大きなトルクが得られる集合磁石の製
造方法を提供すること。 【構成】 溝形成工程（ａ）にて基体１´の一側面上に
複数のＶ字形の溝３を設け、磁石材成膜工程（ｂ）にて
複数の溝３内に磁石材料Ｓが埋設されるように基体１´
の一側面上に磁石材料Ｓを成膜する。又、磁石材除去工
程（ｃ）にて複数の溝３に埋設された磁石材料Ｓの表面
が基体１´の一側面に対して平滑化されるように基体１
´の一側面から磁石材料Ｓを除去する。更に、結合工程
（ｄ）にて先の磁石材除去工程を経て得られた基体１´
を一側面及びこれに対向する他側面が互いに突き合わさ
れるように複数結合して結合体を成した後、切断工程
（ｅ）にて結合体を磁石材料Ｓの延在方向における所定
の間隔でその延在方向とは垂直方向に切断する。
た安定磁場により大きなトルクが得られる集合磁石の製
造方法を提供すること。 【構成】 溝形成工程（ａ）にて基体１´の一側面上に
複数のＶ字形の溝３を設け、磁石材成膜工程（ｂ）にて
複数の溝３内に磁石材料Ｓが埋設されるように基体１´
の一側面上に磁石材料Ｓを成膜する。又、磁石材除去工
程（ｃ）にて複数の溝３に埋設された磁石材料Ｓの表面
が基体１´の一側面に対して平滑化されるように基体１
´の一側面から磁石材料Ｓを除去する。更に、結合工程
（ｄ）にて先の磁石材除去工程を経て得られた基体１´
を一側面及びこれに対向する他側面が互いに突き合わさ
れるように複数結合して結合体を成した後、切断工程
（ｅ）にて結合体を磁石材料Ｓの延在方向における所定
の間隔でその延在方向とは垂直方向に切断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主としてマイクロリニ
アモータ等に使用されると共に、基体に微小な磁石材料
が複数埋設されて成る集合磁石及びその製造方法に関す
る。
アモータ等に使用されると共に、基体に微小な磁石材料
が複数埋設されて成る集合磁石及びその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、マイクロリニアモータ等に備えら
れる電磁式マイクロアクチュエータには、薄いシート状
の磁石が用いられている。このようなシート状磁石にお
いては、磁石の微細化や薄膜化が必要となる上、大トル
クが要求されるが、通常平面状の磁石による構成では大
トルクが得られない。
れる電磁式マイクロアクチュエータには、薄いシート状
の磁石が用いられている。このようなシート状磁石にお
いては、磁石の微細化や薄膜化が必要となる上、大トル
クが要求されるが、通常平面状の磁石による構成では大
トルクが得られない。
【０００３】そこで、必要とされるトルクを得るために
図６に示す如く、シート状の基体１の対向面を貫通する
ように穿孔した複数の孔Ｈ内にそれぞれ磁石材料が満た
されるように成膜し、これらの磁石材料の形状異方性を
利用して各孔Ｈの延在方向に磁界の向きが揃うように磁
化することによって複数の磁石片２を有するシート状の
集合磁石を構成している。
図６に示す如く、シート状の基体１の対向面を貫通する
ように穿孔した複数の孔Ｈ内にそれぞれ磁石材料が満た
されるように成膜し、これらの磁石材料の形状異方性を
利用して各孔Ｈの延在方向に磁界の向きが揃うように磁
化することによって複数の磁石片２を有するシート状の
集合磁石を構成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した集合磁石を製
造する場合、各孔がシート状の基板の対向面を貫通して
いるため、実際には磁石材料の成膜を行い難いという問
題がある。特に各孔の配列が縦横比において横長である
と、磁石材料の埋め込みが困難となり、各磁石片が形成
され難くなる結果、集合磁石の発生磁場が不均一になり
易く、集合磁石の生産効率が劣化され易くなってしま
う。
造する場合、各孔がシート状の基板の対向面を貫通して
いるため、実際には磁石材料の成膜を行い難いという問
題がある。特に各孔の配列が縦横比において横長である
と、磁石材料の埋め込みが困難となり、各磁石片が形成
され難くなる結果、集合磁石の発生磁場が不均一になり
易く、集合磁石の生産効率が劣化され易くなってしま
う。
【０００５】本発明は、かかる問題点を解決すべくなさ
れたもので、その技術的課題は、生産効率が優れると共
に、充分に均一化された安定磁場により大きなトルクが
得られる集合磁石及びその製造方法を提供することにあ
る。
れたもので、その技術的課題は、生産効率が優れると共
に、充分に均一化された安定磁場により大きなトルクが
得られる集合磁石及びその製造方法を提供することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、一側面
に複数の磁石片が埋設された同一の基体を複数結合して
成る集合磁石が得られる。この集合磁石において、複数
の基体による結合体を一側面及びこれに対向する他側面
を互いに突き合わせて成すか、或いは一側面にある各磁
石片同士を互いに突き合わせて成すことは好ましい。
に複数の磁石片が埋設された同一の基体を複数結合して
成る集合磁石が得られる。この集合磁石において、複数
の基体による結合体を一側面及びこれに対向する他側面
を互いに突き合わせて成すか、或いは一側面にある各磁
石片同士を互いに突き合わせて成すことは好ましい。
【０００７】又、本発明によれば、一側面に複数の棒状
磁石片が埋設された同一の第１の基体を、該一側面及び
これに対向する他側面が互いに突き合わされるように、
複数結合して成る第１の集合磁石と、一側面に複数の磁
石片が埋設されると共に、上記基体と同じ厚さを有する
第２の同一の基体を、該一側面及びこれに対向する他側
面が互いに突き合わされるように複数結合して成る第２
の集合磁石とを、それぞれ棒状磁石片の２つと磁石片の
１つとが互いに突き合わされてＵ字形となるように、結
合して成る集合磁石が得られる。
磁石片が埋設された同一の第１の基体を、該一側面及び
これに対向する他側面が互いに突き合わされるように、
複数結合して成る第１の集合磁石と、一側面に複数の磁
石片が埋設されると共に、上記基体と同じ厚さを有する
第２の同一の基体を、該一側面及びこれに対向する他側
面が互いに突き合わされるように複数結合して成る第２
の集合磁石とを、それぞれ棒状磁石片の２つと磁石片の
１つとが互いに突き合わされてＵ字形となるように、結
合して成る集合磁石が得られる。
【０００８】一方、本発明によれば、基体の一側面上に
複数の溝を設ける溝形成工程と、複数の溝内に磁石材料
が埋設されるように基体の一側面上に該磁石材料を成膜
する磁石材成膜工程と、複数の溝に埋設された磁石材料
の表面が基体の一側面に対して平滑化されるように該基
体の一側面から該磁石材料を除去する磁石材除去工程と
を含む集合磁石の製造方法が得られる。
複数の溝を設ける溝形成工程と、複数の溝内に磁石材料
が埋設されるように基体の一側面上に該磁石材料を成膜
する磁石材成膜工程と、複数の溝に埋設された磁石材料
の表面が基体の一側面に対して平滑化されるように該基
体の一側面から該磁石材料を除去する磁石材除去工程と
を含む集合磁石の製造方法が得られる。
【０００９】又、本発明によれば、上記集合磁石の製造
方法において、更に磁石材除去工程を経て得られた基体
を、一側面及びこれに対向する他側面が互いに突き合わ
されるように、複数結合して結合体を成す結合工程と、
結合体を磁石材料の延在方向における所定の間隔で該延
在方向とは垂直方向に切断する切断工程とを含む集合磁
石の製造方法が得られる。
方法において、更に磁石材除去工程を経て得られた基体
を、一側面及びこれに対向する他側面が互いに突き合わ
されるように、複数結合して結合体を成す結合工程と、
結合体を磁石材料の延在方向における所定の間隔で該延
在方向とは垂直方向に切断する切断工程とを含む集合磁
石の製造方法が得られる。
【００１０】
【実施例】以下に実施例を挙げ、本発明の集合磁石及び
その製造方法について図面を参照して詳細に説明する。
その製造方法について図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明の一実施例に係る集合磁石
を斜視図により示したものである。この集合磁石は、一
側面に２つの磁石片２が埋設された同一の基体１´の複
数個を、その一側面及び一側面に対向する他側面が互い
に突き合わされるように、貼り合わせて結合したもので
ある。ここで、各基体１´の一側面に垂直な方向におけ
る寸法は数１０μｍ〜数ｍｍで、同方向における各磁石
片２の寸法は数１０μｍ〜数１００μｍである。尚、磁
石片２は基体１の一側面に３つ以上設けられても良い。
を斜視図により示したものである。この集合磁石は、一
側面に２つの磁石片２が埋設された同一の基体１´の複
数個を、その一側面及び一側面に対向する他側面が互い
に突き合わされるように、貼り合わせて結合したもので
ある。ここで、各基体１´の一側面に垂直な方向におけ
る寸法は数１０μｍ〜数ｍｍで、同方向における各磁石
片２の寸法は数１０μｍ〜数１００μｍである。尚、磁
石片２は基体１の一側面に３つ以上設けられても良い。
【００１２】次に、図２（ａ）〜（ｅ）を参照してこの
集合磁石に関する製造方法を段階別に説明する。この製
造方法では、先ず図２（ａ）に示す如く、溝形成工程に
て基体１´の一側面上に複数のＶ字形の溝３を設ける。
次に図２（ｂ）に示す如く、磁石材成膜工程にて複数の
溝３内に磁石材料Ｓが埋設されるように基体１´の一側
面上に磁石材料Ｓを成膜する。引き続き、図２（ｃ）に
示す如く磁石材除去工程にて、切削，或いは研磨等によ
り、複数の溝３に埋設された磁石材料Ｓの表面が基体１
´の一側面に対して平滑化されるように基体１´の一側
面から磁石材料Ｓを除去する。
集合磁石に関する製造方法を段階別に説明する。この製
造方法では、先ず図２（ａ）に示す如く、溝形成工程に
て基体１´の一側面上に複数のＶ字形の溝３を設ける。
次に図２（ｂ）に示す如く、磁石材成膜工程にて複数の
溝３内に磁石材料Ｓが埋設されるように基体１´の一側
面上に磁石材料Ｓを成膜する。引き続き、図２（ｃ）に
示す如く磁石材除去工程にて、切削，或いは研磨等によ
り、複数の溝３に埋設された磁石材料Ｓの表面が基体１
´の一側面に対して平滑化されるように基体１´の一側
面から磁石材料Ｓを除去する。
【００１３】更に、図２（ｄ）に示す如く結合工程に
て、先の磁石材除去工程を経て得られた基体１´の複数
個を一側面及びこれに対向する他側面が互いに突き合わ
されるように結合して結合体を成した後、図２（ｅ）に
示す如く切断工程にて、結合体を磁石材料Ｓの延在方向
における所定の間隔でその延在方向とは垂直方向に切断
する。最終的に、こうして得られるシート状の基体１´
における各磁石材料Ｓの形状異方性を利用して各磁石材
料Ｓの延在方向に磁界の向きが揃うように磁化すること
によって、図１に示す如く複数の磁石片２を有するシー
ト状の集合磁石が構成される。
て、先の磁石材除去工程を経て得られた基体１´の複数
個を一側面及びこれに対向する他側面が互いに突き合わ
されるように結合して結合体を成した後、図２（ｅ）に
示す如く切断工程にて、結合体を磁石材料Ｓの延在方向
における所定の間隔でその延在方向とは垂直方向に切断
する。最終的に、こうして得られるシート状の基体１´
における各磁石材料Ｓの形状異方性を利用して各磁石材
料Ｓの延在方向に磁界の向きが揃うように磁化すること
によって、図１に示す如く複数の磁石片２を有するシー
ト状の集合磁石が構成される。
【００１４】ところで、シート状の基体１´における各
磁石材料Ｓの形状は、上述した溝形成工程にて基体１´
の一側面上に形成する溝３の形状で決定される。従っ
て、溝３の形状を半円形にすれば図３（ａ）に示される
ようなシート状の基体１´に半円形の磁石材料Ｓが埋設
された集合磁石が構成され、又溝３の形状を矩形にすれ
ば同図（ｂ）に示されるようなシート状の基体１´に矩
形の磁石材料Ｓが埋設された集合磁石が構成され、更に
溝３の形状を逆台形にすれば同図（ｃ）に示されるよう
なシート状の基体１´に逆台形の磁石材料Ｓが埋設され
た集合磁石が構成される。
磁石材料Ｓの形状は、上述した溝形成工程にて基体１´
の一側面上に形成する溝３の形状で決定される。従っ
て、溝３の形状を半円形にすれば図３（ａ）に示される
ようなシート状の基体１´に半円形の磁石材料Ｓが埋設
された集合磁石が構成され、又溝３の形状を矩形にすれ
ば同図（ｂ）に示されるようなシート状の基体１´に矩
形の磁石材料Ｓが埋設された集合磁石が構成され、更に
溝３の形状を逆台形にすれば同図（ｃ）に示されるよう
なシート状の基体１´に逆台形の磁石材料Ｓが埋設され
た集合磁石が構成される。
【００１５】又、上述した集合磁石の製造方法における
結合工程を一側面にある各磁性材料Ｓ同士が互いに突き
合わされるようにすれば、図４に示すような菱形の磁性
材料Ｓ´を有する結合体が得られる。このような結合体
に対しても上述したような切断を行えば、更に異なった
集合磁石が構成される。
結合工程を一側面にある各磁性材料Ｓ同士が互いに突き
合わされるようにすれば、図４に示すような菱形の磁性
材料Ｓ´を有する結合体が得られる。このような結合体
に対しても上述したような切断を行えば、更に異なった
集合磁石が構成される。
【００１６】更に、図５に示すように、上述した製造方
法における溝形成工程から結合工程までの各工程を経て
得られる図２（ｄ）に示したような結合体と、例えば図
４を参照して説明したような溝３の形状を矩形とした上
で同様に各工程を経て得られる別の結合体とを結合する
ことにより、複数のＵ字形の磁石片を有する集合磁石を
構成することもできる。この集合磁石では、一側面に複
数の棒状の磁石片２が埋設された同一の基体１´を、一
側面及びこれに対向する他側面が互いに突き合わされる
ように、複数結合して成る第１の集合磁石と、一側面に
複数の板状の磁石片２が埋設されると共に、上述した基
体１´と同じ厚さを有する同一の基体１´を、互いに一
側面及びこれに対向する他側面が突き合わされるよう
に、複数結合して成る第２の集合磁石とを、それぞれ互
いに棒状の磁石片２のうちの２つと板状の磁石片２のう
ちの１つとが突き合わされてＵ字形となるように、結合
している。
法における溝形成工程から結合工程までの各工程を経て
得られる図２（ｄ）に示したような結合体と、例えば図
４を参照して説明したような溝３の形状を矩形とした上
で同様に各工程を経て得られる別の結合体とを結合する
ことにより、複数のＵ字形の磁石片を有する集合磁石を
構成することもできる。この集合磁石では、一側面に複
数の棒状の磁石片２が埋設された同一の基体１´を、一
側面及びこれに対向する他側面が互いに突き合わされる
ように、複数結合して成る第１の集合磁石と、一側面に
複数の板状の磁石片２が埋設されると共に、上述した基
体１´と同じ厚さを有する同一の基体１´を、互いに一
側面及びこれに対向する他側面が突き合わされるよう
に、複数結合して成る第２の集合磁石とを、それぞれ互
いに棒状の磁石片２のうちの２つと板状の磁石片２のう
ちの１つとが突き合わされてＵ字形となるように、結合
している。
【００１７】上述した何れの集合磁石においても、各磁
石片２は、図６で説明したように磁石材料Ｓが基体１を
貫通した穴Ｈではなく、基体１´に設けられた様々な形
状の溝３に密接的に埋設された上で生産性良く得られ
る。又、何れの集合磁石も充分に均一化された安定磁場
が発生されるので、大きなトルクが得られる。
石片２は、図６で説明したように磁石材料Ｓが基体１を
貫通した穴Ｈではなく、基体１´に設けられた様々な形
状の溝３に密接的に埋設された上で生産性良く得られ
る。又、何れの集合磁石も充分に均一化された安定磁場
が発生されるので、大きなトルクが得られる。
【００１８】
【発明の効果】以上に述べた通り、本発明によれば、基
体の一側面上に複数の溝を設け、これらの複数の溝内に
磁石材料が埋設されるように成膜した後、不要な磁石材
料を除去して集合磁石を製造しているので、磁石材料が
密接的に埋設された状態で生産性良く集合磁石を製造で
きるようになる。又、この集合磁石の製造の場合、溝の
ピッチ，深さ，形状等を任意に変えると共に、複数の同
じ基体を突き合わせて結合した結合体を任意な寸法で切
断することにより、磁石材料の成膜時の厚さを従来の数
分の１から数１０分の１程度に抑えることができ、微小
な磁石片から成る集合磁石を安価に量産できるようにな
る。特に、溝ピッチの小さい集合磁石は、高精度なステ
ッピングモータ等の作成に有効となる。
体の一側面上に複数の溝を設け、これらの複数の溝内に
磁石材料が埋設されるように成膜した後、不要な磁石材
料を除去して集合磁石を製造しているので、磁石材料が
密接的に埋設された状態で生産性良く集合磁石を製造で
きるようになる。又、この集合磁石の製造の場合、溝の
ピッチ，深さ，形状等を任意に変えると共に、複数の同
じ基体を突き合わせて結合した結合体を任意な寸法で切
断することにより、磁石材料の成膜時の厚さを従来の数
分の１から数１０分の１程度に抑えることができ、微小
な磁石片から成る集合磁石を安価に量産できるようにな
る。特に、溝ピッチの小さい集合磁石は、高精度なステ
ッピングモータ等の作成に有効となる。
【図１】本発明の一実施例に係る集合磁石を斜視図によ
り示したものである。
り示したものである。
【図２】（ａ）〜（ｅ）は、図１に示す集合磁石に係る
製造方法を段階別に説明したものである。
製造方法を段階別に説明したものである。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ本発明の他の実施
例に係る異なる集合磁石を斜視図により示したものであ
る。
例に係る異なる集合磁石を斜視図により示したものであ
る。
【図４】本発明の別の実施例に係る集合磁石を斜視図に
より示したものである。
より示したものである。
【図５】本発明の更に別の実施例に係る集合磁石を斜視
図により示したものである。
図により示したものである。
【図６】従来の集合磁石を斜視図により示したものであ
る。
る。
１，１´ 基体 ２ 磁石片 ３ 溝 Ｓ，Ｓ´ 磁石材料
Claims (6)
- 【請求項１】 一側面に複数の磁石片が埋設された同一
の基体を複数結合して成ることを特徴とする集合磁石。 - 【請求項２】 請求項１記載の集合磁石において、前記
複数の基体による結合体は、前記一側面及びこれに対向
する他側面が互いに突き合わされて成ることを特徴とす
る集合磁石。 - 【請求項３】 請求項１記載の集合磁石において、前記
複数の基体による結合体は、前記一側面にある各磁石片
同士が互いに突き合わされて成ることを特徴とする集合
磁石。 - 【請求項４】 一側面に複数の棒状磁石片が埋設された
同一の第１の基体を、該一側面及びこれに対向する他側
面が互いに突き合わされるように、複数結合して成る第
１の集合磁石と、一側面に複数の磁石片が埋設されると
共に、前記第１の基体と同じ厚さを有する同一の第２の
基体を、該一側面及びこれに対向する他側面が互いに突
き合わされるように、複数結合して成る第２の集合磁石
とを、それぞれ前記棒状磁石片の２つと前記磁石片の１
つとが互いに突き合わされてＵ字形となるように、結合
して成ることを特徴とする集合磁石。 - 【請求項５】 基体の一側面上に複数の溝を設ける溝形
成工程と、前記複数の溝内に磁石材料が埋設されるよう
に前記基体の一側面上に該磁石材料を成膜する磁石材成
膜工程と、前記複数の溝に埋設された前記磁石材料の表
面が前記基体の一側面に対して平滑化されるように該基
体の一側面から該磁石材料を除去する磁石材除去工程と
を含むことを特徴とする集合磁石の製造方法。 - 【請求項６】 請求項５記載の集合磁石の製造方法にお
いて、更に、前記磁石材除去工程を経て得られた基体
を、前記一側面及びこれに対向する他側面が互いに突き
合わされるように、複数結合して結合体を成す結合工程
と、前記結合体を前記磁石材料の延在方向における所定
の間隔で該延在方向とは垂直方向に切断する切断工程と
を含むことを特徴とする集合磁石の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5184707A JPH0745424A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 集合磁石及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5184707A JPH0745424A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 集合磁石及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0745424A true JPH0745424A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16157967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5184707A Withdrawn JPH0745424A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 集合磁石及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0745424A (ja) |
-
1993
- 1993-07-27 JP JP5184707A patent/JPH0745424A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001003 |