JPH074409U - クリーンルーム用保管庫 - Google Patents
クリーンルーム用保管庫Info
- Publication number
- JPH074409U JPH074409U JP3402693U JP3402693U JPH074409U JP H074409 U JPH074409 U JP H074409U JP 3402693 U JP3402693 U JP 3402693U JP 3402693 U JP3402693 U JP 3402693U JP H074409 U JPH074409 U JP H074409U
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- JP
- Japan
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- automatic transfer
- transfer device
- shelves
- room
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 自動移載装置への給電構造に起因する塵埃や
騒音の発生のないクリーンルーム用保管庫を提供するこ
とを目的とする。 【構成】 入出庫口、複数の保管棚を有し、入出庫口と
棚間もしくは棚相互間の移載物の移載を司る自走式の自
動移載装置を備えるクリーンルーム用保管庫において、
上記自動移載装置6はバッテリ63と、上位装置70と
会話する無線装置67を搭載し、自動移載装置の台車6
1には、充電用カプラー65が設けられていることを特
徴とする。
騒音の発生のないクリーンルーム用保管庫を提供するこ
とを目的とする。 【構成】 入出庫口、複数の保管棚を有し、入出庫口と
棚間もしくは棚相互間の移載物の移載を司る自走式の自
動移載装置を備えるクリーンルーム用保管庫において、
上記自動移載装置6はバッテリ63と、上位装置70と
会話する無線装置67を搭載し、自動移載装置の台車6
1には、充電用カプラー65が設けられていることを特
徴とする。
Description
【0001】
本考案は、半導体ウェーハ、液晶表示板、レチクル、ディスク類を製造するシ ステムに用いられるクリーンルーム用保管庫に関する。
【0002】
図3は半導体ウェーハ、液晶表示板、レチクル、ディスク類を製造するクリー ンルーム内のシステムレイアウトの1例を示したものである。1は半導体ウェー ハの表面処理を行なう表面処理炉を内蔵した表面処理装置、2はウェーハ検査装 置、3の移載装置、4はウェーハ保管庫、5はウェーハ洗浄装置、6はレール1 0を走行する自走式の自動移載装置(スタッカークレーン)、7はリニアモータ 式の搬送装置、8はウェーハを段々に複数枚載置可能なウェーハカセット9を収 納した可搬式の密閉コンテナである。
【0003】
ウェーハ保管庫4は工程間搬送と工程内搬送とのバッファとして機能させてお り、ウェーハカセット9は密閉コンテナに収納しない裸のままで保管する場合が 多い。
【0004】 ウェーハ保管庫4内のスタッカークレーン6への給電は、トロリー・集電子を 用いて行なうか、もしくは、チェーン内に保持した給電線を用いて行なっている 。
【0005】 トロリー・集電子を用いると、摺動摩擦による塵埃が発生するので、集電子部 分をカバーし、カバーの出口に高性能フィルタを設けて当該塵埃をウエハ保管庫 4内に浮遊しないようにしなくてはならので、この防塵構造のためにコスト上昇 を招くという問題がある。
【0006】 また、チェーン内に保持した給電線を用いる場合、スタッカークレーン6の移 動に伴い、給電線が屈曲を繰り返すので、断線が起こりやすいと言う問題がある 他、チェーンがウェーハ保管庫4の床に対し当接・離間を繰り返すので、騒音が 発生し、塵埃も出るという問題がある。
【0007】 本考案はこの問題を解消するためになされたもので、自動移載装置への給電構 造に起因する塵埃や騒音の発生のないクリーンルーム用保管庫を提供することを 目的とする。
【0008】
本考案は上記目的を達成するため、 請求項1では、入出庫口、複数の保管棚を有し、入出庫口と棚間もしくは棚相 互間の移載物の移載を司る自走式の自動移載装置を備えるクリーンルーム用保管 庫において、 上記自動移載装置はバッテリと、上位装置と会話する無線装置を搭載し、自動 移載装置の台車には、充電用カプラーが設けられている構成とした。
【0009】 請求項2では、保管庫内の自動移載装置待機位置もしくは入出庫口の壁部に、 地上側充電用カプラーが設けられていることを特徴とする。
【0010】
本考案では、自動移載装置は、自己が搭載しているバッテリ63からの電力で 走行し、移載を行い、当該バッテリの電力を 上位装置からの命令や応答を送受 信する通信用にも利用するので、給電線や通信線を庫内に引っ張る必要がない。
【0011】
以下、本考案の1実施例を図面を参照して説明する。
【0012】 図1において、41は保管庫4の建屋、42は保管棚である。スタッカークレ ーン6は、台車61上に、クレーン制御装置62の他、バッテリ63および無線 通信装置(この例では、光通信装置)64を搭載しており、台車61の側壁61 Aには、図2に示すように、充電用カプラー65が設けられている。6Aはマス ト、6Bはマストに対し左右方向に駆動される移載部、6Cは車輪である。この 充電用カプラー65は、バッテリ充電時、建屋41の側壁41Aを通し、保管庫 4外から伸びる地上側充電用カプラー66と接続される。充電用カプラー66は 図示矢印方向に進退駆動されるカプラーであって、自動充電制御装置68に接続 されている。地上側の充電用カプラー66は保管庫4内のクレーン待機位置(図 1に示す位置)にあるスタッカークレーン6の上記台車61の側壁61Aに対向 する位置にある。地上側充電カプラーは床に埋め、クレーン側の充電カプラーは スタッカークレーン6の台車61の底に設ける場合もある。
【0013】 67は、光通信装置63と通信する地上側の光通信装置であり、台車61のフ ロントに配設されている光通信装置63と水平方向に対向する位置にあり、保管 庫制御装置70と有線で信号の授受を行なう。
【0014】 本実施例では、スタッカークレーン6は、自己の台車61に搭載したバッテリ 63からの電力で走行し、移載を行い、当該バッテリ63の電力を 保管庫制御 装置70からの命令や応答を送受信する通信用にも利用することができるので、 トロリーや給電線を収納したチェーンを庫内に這わせる必要がなく、給電線や通 信線を全然使用しないから、これらの線に起因する塵埃あるいは騒音の発生は無 く、断線の心配もない。
【0015】
本考案は以上説明した通り、保管庫内に、自動移載装置のための給電線および 通信線を引っ張る必要がないので、給電線および通信線に起因する塵埃の保管庫 内への浮遊を防止したりする構造が不要であり、給電線や通信線の断線の心配が ないので、信頼性を高めることができる。また、走行レールさえあれば、自動移 載装置は走行可能なため、大形の走行距離が長い保管庫に好適である。
【0016】
【図1】本考案の実施例を示す保管庫内部の斜視図図で
ある。
ある。
【図2】上記実施例における充電用カプラーを説明する
ための図である。
ための図である。
【図3】半導体製造システムの1例ょ示す図である。
4 保管庫 6 スタッカークレーン 63 バッテリ 65、66 充電用カプラー 70 保管庫制御装置
Claims (2)
- 【請求項1】 入出庫口、複数の保管棚を有し、入出庫
口と棚間もしくは棚相互間の移載物の移載を司る自走式
の自動移載装置を備えるクリーンルーム用保管庫におい
て、 上記自動移載装置はバッテリと、上位装置と会話する無
線装置を搭載し、自動移載装置の台車には、充電用カプ
ラーが設けられていることを特徴とするクリーンルーム
用保管庫。 - 【請求項2】 保管庫内の自動移載装置待機位置もしく
は入出庫口の壁部に、地上側充電用カプラーが設けられ
ていることを特徴とするクリーンルーム用保管庫。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3402693U JPH074409U (ja) | 1993-06-23 | 1993-06-23 | クリーンルーム用保管庫 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3402693U JPH074409U (ja) | 1993-06-23 | 1993-06-23 | クリーンルーム用保管庫 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH074409U true JPH074409U (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=12402863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3402693U Pending JPH074409U (ja) | 1993-06-23 | 1993-06-23 | クリーンルーム用保管庫 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH074409U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014043313A (ja) * | 2012-08-25 | 2014-03-13 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | スタッカクレーン |
JP2014201402A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | 西部電機株式会社 | スタッカクレーン |
-
1993
- 1993-06-23 JP JP3402693U patent/JPH074409U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014043313A (ja) * | 2012-08-25 | 2014-03-13 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | スタッカクレーン |
JP2014201402A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | 西部電機株式会社 | スタッカクレーン |
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