JPH074409U - クリーンルーム用保管庫 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 自動移載装置への給電構造に起因する塵埃や
騒音の発生のないクリーンルーム用保管庫を提供するこ
とを目的とする。 【構成】 入出庫口、複数の保管棚を有し、入出庫口と
棚間もしくは棚相互間の移載物の移載を司る自走式の自
動移載装置を備えるクリーンルーム用保管庫において、
上記自動移載装置６はバッテリ６３と、上位装置７０と
会話する無線装置６７を搭載し、自動移載装置の台車６
１には、充電用カプラー６５が設けられていることを特
徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体ウェーハ、液晶表示板、レチクル、ディスク類を製造するシ ステムに用いられるクリーンルーム用保管庫に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図３は半導体ウェーハ、液晶表示板、レチクル、ディスク類を製造するクリー ンルーム内のシステムレイアウトの１例を示したものである。１は半導体ウェー ハの表面処理を行なう表面処理炉を内蔵した表面処理装置、２はウェーハ検査装 置、３の移載装置、４はウェーハ保管庫、５はウェーハ洗浄装置、６はレール１ ０を走行する自走式の自動移載装置（スタッカークレーン）、７はリニアモータ 式の搬送装置、８はウェーハを段々に複数枚載置可能なウェーハカセット９を収 納した可搬式の密閉コンテナである。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ウェーハ保管庫４は工程間搬送と工程内搬送とのバッファとして機能させてお り、ウェーハカセット９は密閉コンテナに収納しない裸のままで保管する場合が 多い。

【０００４】 ウェーハ保管庫４内のスタッカークレーン６への給電は、トロリー・集電子を 用いて行なうか、もしくは、チェーン内に保持した給電線を用いて行なっている 。

【０００５】 トロリー・集電子を用いると、摺動摩擦による塵埃が発生するので、集電子部 分をカバーし、カバーの出口に高性能フィルタを設けて当該塵埃をウエハ保管庫 ４内に浮遊しないようにしなくてはならので、この防塵構造のためにコスト上昇 を招くという問題がある。

【０００６】 また、チェーン内に保持した給電線を用いる場合、スタッカークレーン６の移 動に伴い、給電線が屈曲を繰り返すので、断線が起こりやすいと言う問題がある 他、チェーンがウェーハ保管庫４の床に対し当接・離間を繰り返すので、騒音が 発生し、塵埃も出るという問題がある。

【０００７】 本考案はこの問題を解消するためになされたもので、自動移載装置への給電構 造に起因する塵埃や騒音の発生のないクリーンルーム用保管庫を提供することを 目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記目的を達成するため、 請求項１では、入出庫口、複数の保管棚を有し、入出庫口と棚間もしくは棚相 互間の移載物の移載を司る自走式の自動移載装置を備えるクリーンルーム用保管 庫において、 上記自動移載装置はバッテリと、上位装置と会話する無線装置を搭載し、自動 移載装置の台車には、充電用カプラーが設けられている構成とした。

【０００９】 請求項２では、保管庫内の自動移載装置待機位置もしくは入出庫口の壁部に、 地上側充電用カプラーが設けられていることを特徴とする。

【００１０】

【作用】

本考案では、自動移載装置は、自己が搭載しているバッテリ６３からの電力で 走行し、移載を行い、当該バッテリの電力を 上位装置からの命令や応答を送受 信する通信用にも利用するので、給電線や通信線を庫内に引っ張る必要がない。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案の１実施例を図面を参照して説明する。

【００１２】 図１において、４１は保管庫４の建屋、４２は保管棚である。スタッカークレ ーン６は、台車６１上に、クレーン制御装置６２の他、バッテリ６３および無線 通信装置（この例では、光通信装置）６４を搭載しており、台車６１の側壁６１ Ａには、図２に示すように、充電用カプラー６５が設けられている。６Ａはマス ト、６Ｂはマストに対し左右方向に駆動される移載部、６Ｃは車輪である。この 充電用カプラー６５は、バッテリ充電時、建屋４１の側壁４１Ａを通し、保管庫 ４外から伸びる地上側充電用カプラー６６と接続される。充電用カプラー６６は 図示矢印方向に進退駆動されるカプラーであって、自動充電制御装置６８に接続 されている。地上側の充電用カプラー６６は保管庫４内のクレーン待機位置（図 １に示す位置）にあるスタッカークレーン６の上記台車６１の側壁６１Ａに対向 する位置にある。地上側充電カプラーは床に埋め、クレーン側の充電カプラーは スタッカークレーン６の台車６１の底に設ける場合もある。

【００１３】 ６７は、光通信装置６３と通信する地上側の光通信装置であり、台車６１のフ ロントに配設されている光通信装置６３と水平方向に対向する位置にあり、保管 庫制御装置７０と有線で信号の授受を行なう。

【００１４】 本実施例では、スタッカークレーン６は、自己の台車６１に搭載したバッテリ ６３からの電力で走行し、移載を行い、当該バッテリ６３の電力を 保管庫制御 装置７０からの命令や応答を送受信する通信用にも利用することができるので、 トロリーや給電線を収納したチェーンを庫内に這わせる必要がなく、給電線や通 信線を全然使用しないから、これらの線に起因する塵埃あるいは騒音の発生は無 く、断線の心配もない。

【００１５】

【考案の効果】

本考案は以上説明した通り、保管庫内に、自動移載装置のための給電線および 通信線を引っ張る必要がないので、給電線および通信線に起因する塵埃の保管庫 内への浮遊を防止したりする構造が不要であり、給電線や通信線の断線の心配が ないので、信頼性を高めることができる。また、走行レールさえあれば、自動移 載装置は走行可能なため、大形の走行距離が長い保管庫に好適である。

【００１６】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す保管庫内部の斜視図図で
ある。

【図２】上記実施例における充電用カプラーを説明する
ための図である。

【図３】半導体製造システムの１例ょ示す図である。

【符号の説明】

４ 保管庫 ６ スタッカークレーン ６３ バッテリ ６５、６６ 充電用カプラー ７０ 保管庫制御装置

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 入出庫口、複数の保管棚を有し、入出庫
   口と棚間もしくは棚相互間の移載物の移載を司る自走式
   の自動移載装置を備えるクリーンルーム用保管庫におい
   て、 上記自動移載装置はバッテリと、上位装置と会話する無
   線装置を搭載し、自動移載装置の台車には、充電用カプ
   ラーが設けられていることを特徴とするクリーンルーム
   用保管庫。
2. 【請求項２】 保管庫内の自動移載装置待機位置もしく
   は入出庫口の壁部に、地上側充電用カプラーが設けられ
   ていることを特徴とするクリーンルーム用保管庫。