JPH0743940U - テストヘッド・スライド機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ２組の装置がケーブルで接続されていて、こ
のうちの１組の装置側を試験等のために移動する必要が
ある。このときケーブル量が大量であるとケーブルを移
動したり曲げたりすることも大変であり、同時にケーブ
ル類に大きな張力をかけてしまい、ケーブルの破損、断
線等を発生させてしまうことがある。本考案はケーブル
の破損断線を防止し、且つ省力化できる装置を提供す
る。 【構成】 移動する装置を支持台に乗せ、リニアガイド
とレールとで装置を保持し、モータとピニオンギヤとラ
ックとを組み合わせて装置を移動する。更に二組ケーブ
ル支えのお互いの一端を接続し、他端を移動する装置の
一端に接続しもう一端は床面に固定された場所に固定す
る。２組のケーブル支えは多数のケーブルを積載して移
動する装置とともに上下に動作をする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

半導体試験装置においてテストヘッドを床面に対し平行移動し、多数のケーブ ルを積載したテストヘッド・スライド機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来技術を半導体試験装置を例にして説明する。試験装置本体とデバイス試験 部であるテストヘッド部との間には、デバイスのピン数に対応して多数の信号ケ ーブルが接続されている。近年とみにＶＬＳＩデバイスなどに見られるように、 デバイスのピン数は増加の一途をたどり、これに伴いこのケーブル量も増加しそ の重量も多大なものになってきている。一方、テストヘッド部は使用者側でハン ドラやプローバなどと組み合わせて使用されるために、テストヘッド低面部にキ ャスタを設けケーブルの届く範囲で移動できる構造となっている。

【０００３】 この状況下でテストヘッド部を移動する方法を図５，図６，図７に示す。図５ は、ある人がテストヘッドを移動させ、それに伴い、他の複数人がケーブルを持 ち上げて一緒になってケーブルを移動する状態を示している。図６はテストヘッ ドは固定したままに置き、ハンドラやプローバなど周辺装置の方を移動させる方 法を示している。又、図７はケーブルをテンショナーで支えながら、テストヘッ ドを移動する状態を示している。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ケーブル量が多大になるとその重量たるものは膨大なものとなり、これに伴い 上記に説明した従来方法では以下にあげる問題を有する。 （１）ケーブル量が増加するとケーブルは自由に曲げることが難しく、ケーブル に無理な曲げや張力が掛かり、ケーブルの破損が発生する。 （２）ケーブルの重量の増加に伴い、多数の人手を必要とする。 （３）テンショナーを用いた場合、滑車近傍のケーブルに自重により大きな張力 が掛かり、断線するケーブルが発生する。 （４）周辺装置の方を移動させると、移動の際に発生する振動などにより長年機 械的精密度を保つのに不適切である。 本考案はこれらの問題を解決するための装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

２組の装置間のケーブル２３をケーブル処理リンク機構２１上に積載する。リ ンク機構２１は２組の梯子形状或いはコロコン形状のケーブル支え１９，２０か らなり、お互いの一端を繋ぎ合わせこの点をＢ点３２とする。２組のケーブル支 え１９，２０はＢ点３２を中心として回転できる構造とする。更にＢ点３２はで きるだけ線で支えるのではなく、ある程度半径のある円筒形状の構造物２２で支 える。次に１組のケーブル支え１９は、その他端を可動するテストヘッド１２の 一端に接続する。この点をＡ点３１とする。該ケーブル支えはＡ点３１を中心に 回転できる構造とする。他の１組のケーブル支え２０の他端は試験装置本体１１ 側の床面に固定された装置の一端に接続する。この点をＣ点３３とする。該ケー ブル支え２０はＣ点３３を中心として回転できる構造とする。

【０００６】 テストヘッド支持台１３にはモータ１４を取付け、支持台１３の側面内側には モータに連結され、モータによって正転逆転するピニオンギヤ１５を配置する。 さらに支持台１３側面内側にはリニアガイド１６を複数取り付ける。テストヘッ ド１２側面にはラック１８を取付け、更に両側面にはレール１７を取付る。

【０００７】

【作用】

テストヘッド支持台１３に取り付けられたモータ１４が正転したとき、テスト ヘッド１２は外側（試験装置本体１１から遠ざかる方向）に移動し、逆転したと きは内側（試験装置本体１１に近ずく方向）に移動するものとする。モータ１４ が作動し正転すると、これに連結されたピニオンギヤ１５が正転する。ピニオン ギヤ１５はテストヘッド１２に取り付けられたラック１８とかみ合っている。テ ストヘッドを移動させるのはこのピニオンギヤの回転力をラックに伝え直線運動 力に変換することによる。これによりラック１８を外側に押し出す。即ちテスト ヘッド１２も外側に床面に対し平行に移動する。リニアガイド１６とリニアガイ ド１６のコの字状のくぼみ部分に合致したレール１７とはテストヘッド１７本体 を支え、且つ、その作用により摩擦係数を小さくし、モータ１４による動力のみ でテストヘッド１２の移動を容易にする。

【０００８】 モータ１４が逆転するとピニオンギヤ１５の回転方向も逆になり、テストヘッ ド１２は内側に戻る。ケーブル処理リンク機構２１は、大量の重たいケーブル２ ３を全体で支える。ケーブル処理リンク機構２１の一端にあるＡ点３１はテスト ヘッド１２の移動に追随して、床面に対し平行に外側或いは内側に移動する。Ａ 点３１の移動に伴い、Ｂ点３２もその中心をＣ点３３とし半径はケーブル支え２ ０の長さとした円周上を移動する。テストヘッド１２が外側へ最大限移動したと き、Ｂ点３２を中心としてＡ点３１Ｃ点３３間は約１３０度に開き、またテスト ヘッド１２が内側に最大限移動したときは、Ｂ点３２を中心としてＡ点３１Ｃ点 ３３間は約３０度の角度を持った逆Ｖ字型状態となる。

【０００９】 このような動作をするケーブル処理リンク機構２１上に大量のケーブル２３を 積載する。ケーブル２３はリンク機構２１の動作に追随してＢ点３２を支点とし て開いたり閉じたりする動作をする。Ｂ点３２にある円筒形構造物２２は支点が 一辺に集中するのを防止する。このような構造によりリンク機構２１が停止して いるときでも動作中である時でも、ケーブル２３は移動することなく、その自重 はケーブル支え１９，２０全体に分散して支えられている。従って、ケーブル２ ３はテストヘッド１２との接続部などの箇所で大きな張力が働くことや、又、Ｂ 点３２の可動部でも極端な張力が働くことを防止する。

【００１０】

【実施例】

実施例を図１と図２とを用いて説明する。図１はケーブル処理リンク機構２１ が閉じた状態を示しており、テストヘッド１２も内側に引っ込んでいる状態を示 す。テストヘッド支持台１３とＣ点を有する固定台は床面に固定される。テスト ヘッド支持台１３にはモータ１４が取り付けられ、さらにモータ軸にはピニオン ギヤ１５を連結し、これを支持台１３側板の内側に向けて配置する。更に支持台 １３の両側板内側には上下２列に複数個のリニアガイド１６を取り付ける。この リニアガイド１６は図３に示すようにコの字型形状をしており、このくぼみ形状 に合致するレール１７をテストヘッド１２の両側板の上下に、リニアガイド１６ に合致する位置に取り付ける。テストヘッド１２の側板にはピニオンギヤ１５に かみ合う状態にラック１８が取り付けられる。この様子を図４に示す。ピニオン ギヤ１５が回転することによりラック１８へ動力を伝達する。モータ１４が正転 するとテストヘッド１２は外側へ、逆転すると内側へと移動する。

【００１１】 ケーブルリンク機構２１は２つのケーブル支え１９，２０と筒型形状物２２と から構成される。ケーブル支え１９と２０との一端は接続されこれをＢ点３２と する。Ｂ点３２を中心にして筒型形状物２２を設ける。ケーブル支え１９と２０ とはこのＢ点３２を中心として自由に回転できる。この筒型形状物２２はケーブ ルが極端に折れ曲がるのを防止する。ケーブル支え１９の他端はテストヘッド１ ２の一端に接続され、この点をＡ点３１とする。ケーブル支え１９はＡ点３１を 中心として自由に回転できる。もう１つのケーブル支え２０の他端は固定点Ｃ点 ３３に接続され、ケーブル支え２０はＣ点３３を中心に自由に回転できる。この 状態で試験装置本体１１から出て来ているケーブル２３はリンク機構２１上に載 せられ、テストヘッド１２に接続される。ケーブル全重量はリンク機構２１上に 分散されて支えられている。従って、テストヘッド接続部などの箇所で、ケーブ ル重量が加わり過大な張力が働いている所はない。

【００１２】 図２はモータ１４が動作して、テストヘッド１２が外側に送り出されたときの 状態を示している。この場合モータ１４に連結されたピニオンギヤ１５が回転す ることによりテストヘッド１２側面に取り付けられたラック１８を送り出すこと によりテストヘッド１２が一緒に移動する。さらにリニアガイド１６とレール１ ７により摩擦が低減されて、小さな動力による移動を助けている。テストヘッド １２が外側へ移動するに従いケーブル処理リンク機構２１は、ケーブル２３を積 載したままで逆Ｖ字型形状を開いていく格好で動作する。このときテストヘッド １２の移動量に必要なケーブル長をリンク機構２１で保持しているため、テスト ヘッド１２の移動に対しリンク機構の形状は変化するが、ケーブル２３自体の移 動は生じない。従って過大な張力がかかることもなく、破損や断線を低減できる 。

【００１３】

【考案の効果】

本考案は上述の通り構成されるので、次に記載する効果を奏する。 （１）ケーブル自体の重量による過大な張力がかかることを低減できたので、そ れによる破損や断線の発生を防止できる。 （２）テストヘッドの移動量に必要なケーブル長はリンク機構上で保持している ため、テストヘッドの移動に対しリンク機構の形状は変化するがケーブル 自体は動かない。従って、破損や断線を防止できる。 （３）テストヘッドおよびリンク機構の動作はモータの駆動によっておこなわれ るため、人手を介することがなくなり、省力化が計られ安全性も高められ た。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１で移動前の状態を示す側面図である。

【図２】実施例１で移動後の状態を示す側面図である。

【図３】駆動部の詳細を示す断面図である。

【図４】駆動部のピニオンギヤとラックとを、より詳細
に示す斜視図である。

【図５】従来方法において人手による方法を示す概念図
である。

【図６】従来方法において周辺装置を移動する場合の概
念図である。

【図４】従来方法においてテンショナーを用いた場合の
概念図である。

【符号の説明】

１１ 試験装置本体 １２ テストヘッド １３ テストヘッド支持台 １４ モータ １５ ピニオンギヤ １６ リニアガイド １７ レール １８ ラック １９ ケーブル支え ２０ ケーブル支え ２１ ケーブル処理リンク機構 ２２ 円筒形状物 ２３ ケーブル ３１ Ａ点 ３２ Ｂ点 ３３ Ｃ点

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【手続補正書】

【提出日】平成７年１月２０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１で移動前の状態を示す側面図である。

【図２】実施例１で移動後の状態を示す側面図である。

【図３】駆動部の詳細を示す断面図である。

【図４】駆動部のピニオンギヤとラックとを、より詳細
に示す斜視図である。

【図５】従来方法において人手による方法を示す概念図
である。

【図６】従来方法において周辺装置を移動する場合の概
念図である。

【図７】従来方法においてテンショナーを用いた場合の
概念図である。

【符号の説明】 １１ 試験装置本体 １２ テストヘッド １３ テストヘッド支持台 １４ モータ １５ ピニオンギヤ １６ リニアガイド １７ レール １８ ラック １９ ケーブル支え ２０ ケーブル支え ２１ ケーブル処理リンク機構 ２２ 円筒形状物 ２３ ケーブル ３１ Ａ点 ３２ Ｂ点 ３３ Ｃ点

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体試験装置で、床面に固定された試
   験装置本体と、本体とは独立して置かれたテストヘッド
   とにおいて、テストヘッド支持台（１３）に取り付けた
   モータ（１４）とモータに連結したピニオンギヤ（１
   ５）と、支持台（１３）両側面内側に取り付けた複数個
   のリニアガイド（１６）と、該リニアガイドのコの字型
   のくぼみ部分に合致するテストヘッド（１２）両側面上
   に取り付けたレール（１７）と、更に側面上に取り付け
   たラック（１８）との構成により、テストヘッド（１
   ２）が床面に対し平行移動する手段と、２組のケーブル
   支え（１９，２０）のお互いの一端を繋ぎ合わせ、この
   点を可動点Ｂ点（３２）とし、両ケーブル支え（１９，
   ２０）はＢ点（３２）を中心として回転する構造をな
   し、内１組のケーブル支え（１９）の他端はテストヘッ
   ド（１２）の一端Ａ点（３１）に接続し、該ケーブル支
   えはＡ点（３１）を中心として回転する構造をなし、他
   の１組のケーブル支え（２０）の他端は床面に対し固定
   されてあるＣ点（３３）に接続し、該ケーブル支えはＣ
   点（３３）を中心として回転する構造からなるケーブル
   処理リンク機構（２１）と、を具備していることを特徴
   とするテストヘッド・スライド機構。